外延GeSi量子点的方法.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910307554.9 (22)申请日 2019.04.17 (71)申请人 中国科学院物理研究所 地址 100190 北京市海淀区中关村南三街8 号 (72)发明人 陈弘徐然邓震贾海强 王文新王森李欣欣 (74)专利代理机构 北京泛华伟业知识产权代理 有限公司 11280 代理人 郭广迅 (51)Int.Cl. H01L 21/203(2006.01) H01L 21/205(2006.01) C09K 11/66(2006.01) B82Y 20/00(2011.01)。

2、 B82Y 40/00(2011.01) (54)发明名称 外延GeSi量子点的方法 (57)摘要 本发明提供一种外延GeSi量子点的方法， 包 括如下步骤： 步骤1)在硅衬底上采用光刻结合湿 法腐蚀技术制备截顶倒置金字塔图形， 得到图形 衬底； 所述截顶倒置金字塔的四个侧面的晶面为 (111)面； 步骤2)去除所述图形衬底上湿法腐蚀 的掩膜并清洗所述图形衬底； 步骤3)将所述图形 衬底置于外延生长装置中， 在所述截顶倒置金字 塔图形衬底上直接异质外延GeSi量子点； 步骤4) 在所述GeSi量子点上外延硅盖层。 本发明提供的 方法同时规避了干法刻蚀会损伤衬底表面以及 湿法腐蚀制备图形衬底的特。

3、征尺寸过大导致生 长的量子点特征尺寸过大的缺点。 采用本发明提 供的方法所生长的量子点大小一致， 同时量子点 的位置高度对称， 实现了量子点生长的四倍频。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 111834206 A 2020.10.27 CN 111834206 A 1.一种外延GeSi量子点的方法， 包括如下步骤： 步骤1)在硅衬底上采用光刻结合湿法腐蚀技术制备截顶倒置金字塔图形， 得到图形衬 底； 步骤2)去除所述图形衬底上湿法腐蚀的掩膜并清洗所述图形衬底； 步骤3)将所述图形衬底置于外延生长装置中， 在所述截顶倒置金字塔图形衬底上直接 异质外延GeSi量子点； 步骤4)在所述Ge。

4、Si量子点上外延硅盖层。 2.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述截顶倒置金字塔图形的四个侧面的晶面为 (111)面； 优选地， 所述GeSi量子点位于所述(111)面的交界线上。 3.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述截顶倒置金字塔的顶部开口的边长为250nm- 400nm， 底部边长为80nm-240nm， 所述截顶倒置金字塔图形的排列周期为450nm-700nm。 4.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述硅衬底的晶向为(001)。 5.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述GeSi量子点的横向尺寸为30nm-80nm。 6.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述步骤1)。

5、中的湿法腐蚀是在以下条件下进行 的： 湿法腐蚀的速率为10nm/min-80nm/min， 湿法腐蚀采用的溶液是KOH溶液。 7.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述步骤3)中的外延GeSi量子点是通过选自固态 源MBE、 气态源MBE或超高真空CVD的方式进行的。 8.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述步骤3)中的外延GeSi量子点是在以下条件下 进行的： 生长温度为600-750， 生长速率为1nm/s-0.02nm/s。 9.根据权利要求1所述的方法， 其中， 所述步骤2)中的去除所述图形衬底上湿法腐蚀的 掩膜是采用等离子体来去除的。 10.根据权利要求1所述的方法， 其中， 。

6、所述步骤2)中的清洗是采用RCA法进行。 权利要求书 1/1 页 2 CN 111834206 A 2 外延GeSi量子点的方法 技术领域 0001 本发明属于半导体技术领域。 具体地， 本发明涉及外延GeSi量子点的方法。 背景技术 0002 硅作为目前最主要的半导体材料， 在微电子器件材料领域占有主流地位。 随着集 成电路集成度不断提高， 电子器件尺寸的不断缩小， RC延迟问题越发严重， 这一效应严重制 约着电子传输信息的能力。 为了突破这一瓶颈， 需要寻找一种新的信息载体， 光子是首选的 对象。 得益于微纳加工技术的发展， 硅基光子学近十多年来实现的井喷式的发展， 目前硅基 光电器件已覆。

7、盖了光发射、 光调制、 光传输、 光探测等领域， 其中光调制、 光传输、 光探测器 件均实现了直接用硅材料制作， 且制作工艺与集成电路工艺兼容， 可以在一个硅片上兼容 电子器件和光子器件， 进一步衍生出硅基光电子学的领域。 然而硅基光发射仍是制约硅基 光电子学的重要因素， 原因在于硅是间接带隙材料， 载流子的复合发光只能通过声子辅助 才能发生， 是一个二级过程， 发光几率较低， 无法形成有效的硅基光源， 特别是硅基电致激 光器。 目前使用的光源都是硅片上键合III-V族激光器， 其与集成电路工艺的不兼容性， 制 约了这一体系的应用。 0003 GeSi量子点、 纳米线等低维材料的发光是有望实现。

8、硅基电致发光的一种重要途 径。 在量子结构中的量子限制效应可以有效展宽电子和空穴的波函数,从而增加电子和空 穴波函数的交叠,显著增加电子和空穴的复合发光几率,为实现硅基光源提新的解决途径。 目前， 制备量子点的方法主要分为两类： 一类是自组装生长， 即先进行二维生长， 形成异质 薄膜， 然后二维异质薄膜在应力的作用下转变为三维生长的量子点。 这种方法的优点是能 制备出高密度、 无缺陷的量子点， 但是量子点生长无序， 尺寸大小不均匀， 会导致发光峰的 非均匀展宽， 进而降低波峰增益影响器件性能。 二类是在图形衬底生长量子点， 即先在衬底 表面做图形， 然后利用不同晶面上外延生长的差异， 在凹槽和。

9、凸脊上得到量子点。 这种方法 的优点是所获得的量子点的尺寸和位置分布均匀， 而且可以根据设计实现人为控制。 0004 但是在图形衬底上生长量子点也存在一定问题。 干法刻蚀可以制备特征尺寸在几 十纳米的图形， 用来生长几十纳米的量子点， 然而， 干法刻蚀过程中难免会在生长表面引入 损伤和污染； 湿法腐蚀也可以制备图形衬底， 同时相对于干法刻蚀， 可以降低表面损伤， 但 是由于湿法腐蚀不可避免会出现横向钻蚀， 造成图形衬底尺寸扩大难以制备特征尺寸小于 100纳米的图形， 进而用此图形衬底生长的量子点尺寸过大， 量子效应不明显。 发明内容 0005 本发明的目的是提供一种在大特征尺寸图形上外延均匀且。

10、具有对称性小尺寸量 子点的方法， 即用湿法腐蚀制备几百纳米量级尺寸的截顶倒置金字塔图形， 在其上生长几 十纳米尺寸的量子点。 0006 本发明的目的是通过以下技术方案实现的。 0007 本发明提供一种外延GeSi量子点的方法， 包括如下步骤： 说明书 1/4 页 3 CN 111834206 A 3 0008 步骤1)在硅衬底上采用光刻结合湿法腐蚀技术制备截顶倒置金字塔图形， 得到图 形衬底； 0009 步骤2)去除所述图形衬底上湿法腐蚀的掩膜并清洗所述图形衬底； 0010 步骤3)将所述图形衬底置于外延生长装置中， 在所述截顶倒置金字塔图形衬底上 直接异质外延GeSi量子点； 0011 步骤。

11、4)在所述GeSi量子点上外延硅盖层。 0012 优选地， 在本发明所述的方法中， 所述截顶倒置金字塔图形的四个侧面的晶面为 (111)面。 0013 优选地， 在本发明所述的方法中， 所述GeSi量子点位于所述(111)面的交界线上。 0014 优选地， 在本发明所述的方法中， 所述截顶倒置金字塔的顶部开口的边长为 150nm-400nm， 底部边长为80nm-200nm， 所述截顶倒置金字塔图形的排列周期为450nm- 700nm。 0015 优选地， 在本发明所述的方法中， 所述硅衬底的晶向为(001)。 0016 优选地， 在本发明所述的方法中， 所述GeSi量子点的横向尺寸为30nm。

12、-80nm。 0017 优选地， 在本发明所述的方法中， 所述步骤1中的湿法腐蚀是在以下条件下进行 的： 湿法腐蚀的速率为10nm/min-80nm/min， 湿法腐蚀采用的溶液是KOH溶液。 0018 优选地， 在本发明所述的方法中， 所述步骤3中的外延GeSi量子点是通过选自固态 源MBE、 气态源MBE或超高真空CVD的方式进行的。 0019 优选地， 在本发明所述的方法中， 所述步骤3中的外延GeSi量子点是在以下条件下 进行的： 生长温度为600-750， 生长速率为1nm/s-0.02nm/s。 0020 优选地， 在本发明所述的方法中， 所述步骤2中的去除所述图形衬底上湿法腐蚀的。

13、 掩膜是采用等离子体来去除的。 0021 优选地， 在本发明所述的方法中， 所述步骤2中的清洗是采用RCA法进行。 0022 本发明具有如下有益效果： 0023 1.本发明提供了一种在大特征尺寸图形上外延均匀且具有对称性小尺寸量子点 的方法， 即用湿法腐蚀制备几百纳米量级的截顶倒金字塔图形， 在其上生长几十纳米的量 子点。 这一方法同时规避了干法刻蚀会损伤衬底表面以及湿法腐蚀制备图形衬底的特征尺 寸过大导致生长的量子点特征尺寸过大的缺点。 0024 2.采用本发明提供的方法所生长的量子点大小一致， 分布均匀， 且量子点分布于 衬底(111)面的交界线上， 量子点横向尺寸为30nm-80nm， 。

14、同时量子点的位置具有高度对称 性， 实现了量子点生长的四倍频。 0025 3.本发明在图形衬底上外延量子点前， 无需生长缓冲层以弥补在图形衬底加工过 程中的损伤。 0026 4.本发明的方法简单实用， 成本低廉， 同时兼顾科研和生产的需求， 为解决硅基发 光器件打下基础。 附图说明 0027 以下， 结合附图来详细说明本发明的实施方案， 其中： 0028 图1是本发明实施例1制备的截顶倒置金字塔图形示意图； 说明书 2/4 页 4 CN 111834206 A 4 0029 图2是本发明实施例1制备的量子点生长位置示意图； 0030 图3是本发明实施例1制备的截顶倒置金字塔图形的制作流程图； 。

15、0031 图4是本发明实施例1制备的截顶倒置金字塔的SEM图； 0032 图5是本发明实施例1制备的外延GeSi量子点的SEM图； 0033 图6是本发明实施例2制备的外延GeSi量子点的SEM图； 0034 图7是本发明实施例3制备的外延GeSi量子点的SEM图。 具体实施方式 0035 下面结合具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述， 给出的实施例仅为了阐 明本发明， 而不是为了限制本发明的范围。 0036 实施例1 0037 步骤1)在硅图形衬底上制作截顶倒置金字塔图形。 0038 具体参照图3所示的制备截顶倒置金字塔图形的制作流程图。 0039 首先， 选取晶向为(001)的N型单晶。

16、硅片作为衬底， 其表面天然存在6nm到10nm二氧 化硅氧化层， 在其上旋涂光刻胶。 然后， 用干涉曝光系统制备周期为600nm， 大小为240nm的 二维光刻胶点阵。 随后， 通过RIE干法刻蚀二氧化硅层， 刻蚀气体为CHF3与Ar气， 将光刻胶图 形转移到二氧化硅层， 同时形成氟碳聚合物掩膜， 用于后续湿法腐蚀， 湿法腐蚀采用KOH腐 蚀溶液， 腐蚀速率为20nm/min， 并以氟碳聚合物为湿法腐蚀掩膜， 制备出二维截顶倒金字塔 图形。 图形衬底形貌如图2所示， 周期为600nm， 图形顶部开口的边长为280nm， 底部边长为 160nm的截顶倒置金字塔图形， 所述截顶倒置金字塔的四个侧面。

17、为(111)面。 0040 步骤2)去除图形衬底上的掩膜以及清洗图形衬底。 0041 采用等离子体去胶来去除氟碳聚合物掩膜， 且去胶气体为氧气， 清洗图形衬底用 传统的RCA方法。 0042 步骤3)将图形衬底置于气态源MBE中， 在截顶倒金字塔图形衬底上外延横向尺寸 为60nm， 高度为30nm的GeSi量子点， 量子点分布于所述(111)面的交界线上。 0043 采用气态源MBE来生长GeSi量子点， 用乙硅烷(Si2H6)和锗烷(GeH4)分别作为硅和 锗的气体源， 控制乙硅烷流量为5sccm， 锗烷流量为7.5sccm， 生长温度为600， 此条件下 GeSi量子点生长速率为0.04n。

18、m/s， 生长时间为100s。 如此， 即可获得横向尺寸为60nm， 高度 为30nm的GeSi量子点， 量子点Ge组分为0.15。 量子点分布于所述(111)面的交界线上， 实现 了量子点生长的四倍频。 0044 步骤4)在上述的GeSi量子点上外延50nm厚度的Si盖层， 以减小表面非辐射复合； 控制乙硅烷流量为20sccm， 生长温度为780， 此条件下Si层生长速率为0.25nm/s， 生长时 间为200s。 0045 实施例2 0046 在硅图形衬底上制作截顶倒置金字塔图形， 其方法与实施例1相同。 图形衬底周期 为600nm， 图形顶部开口的边长为300nm， 底部边长为240nm。

19、的截顶倒置金字塔图形。 0047 将图形衬底置于气态源MBE中， 在截顶倒金字塔图形衬底上外延横向尺寸为30nm， 高度为10nm的GeSi量子点， 量子点分布于所述(111)面的交界线上。 0048 采用气态源MBE来生长GeSi量子点， 用乙硅烷(Si2H6)和锗烷(GeH4)分别作为硅和 说明书 3/4 页 5 CN 111834206 A 5 锗的气体源， 控制乙硅烷流量为2.5sccm， 锗烷流量为5sccm， 生长温度为600， 此条件下 GeSi量子点生长速率为0.02nm/s,生长时间为70s。 如此， 即可获得横向尺寸为30nm， 高度为 10nm的GeSi量子点， 量子点G。

20、e组分为0.2。 量子点分布于所述(111)面的交界线上， 实现了量 子点生长的四倍频。 0049 在上述的GeSi量子点上外延50nm厚度的Si盖层， 以减小表面非辐射复合； 控制乙 硅烷流量为20sccm， 生长温度为780， 此条件下Si层生长速率为0.25nm/s， 生长时间为 200s。 0050 实施例3 0051 在硅图形衬底上制作截顶倒置金字塔图形， 其方法与实施例1相同。 图形衬底周期 为600nm， 图形顶部开口的边长为300nm， 底部边长为140nm的截顶倒置金字塔图形。 0052 将图形衬底置于气态源MBE中， 在截顶倒金字塔图形衬底上外延横向尺寸为80nm， 高度为。

21、40nm的GeSi量子点， 量子点分布于所述(111)面的交界线上。 0053 采用气态源MBE来生长GeSi量子点， 用乙硅烷(Si2H6)和锗烷(GeH4)分别作为硅和 锗的气体源， 控制乙硅烷流量为10sccm， 锗烷流量为15sccm， 生长温度为600， 此条件下 GeSi量子点生长速率为0.1nm/s,生长时间为50s。 如此， 即可获得横向尺寸为80nm， 高度为 40nm的GeSi量子点， 量子点Ge组分为0.15。 量子点分布于所述(111)面的交界线上， 实现了 量子点生长的四倍频。 0054 在上述的GeSi量子点上外延50nm厚度的Si盖层， 以减小表面非辐射复合； 控制乙 硅烷流量为20sccm， 生长温度为780， 此条件下Si层生长速率为0.25nm/s， 生长时间为 200s。 说明书 4/4 页 6 CN 111834206 A 6 图1 图2 图3 说明书附图 1/3 页 7 CN 111834206 A 7 图4 图5 说明书附图 2/3 页 8 CN 111834206 A 8 图6 图7 说明书附图 3/3 页 9 CN 111834206 A 9 。