钢板的连续真空镀膜机.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910857960.2 (22)申请日 2019.09.11 (71)申请人 佛山市佛欣真空技术有限公司 地址 528226 广东省佛山市南海区狮山镇 罗村联和工业区联桂中路7号之二 (72)发明人 武文全 (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 44205 代理人 谢泳祥 (51)Int.Cl. C23C 14/56(2006.01) (54)发明名称 一种钢板的连续真空镀膜机 (57)摘要 本发明公开了一种钢板的连续真空镀膜机， 包括真空室， 所述真空室。

2、中设有放卷装置、 收卷 装置与立式镀膜装置， 所述立式镀膜装置位于放 卷装置的竖直方向上； 所述真空室内还设有多个 转辊， 所述转辊中包括加热辊与冷却辊。 本发明 通过利用立式的镀膜装置对钢板进行镀膜， 钢板 在放卷后不再沿着走水平方向走， 而是沿着竖直 方向进入到立式镀膜装置， 在镀膜的时候， 由于 钢板的表面与水平面是垂直的， 所以在电镀的时 候， 钢板表面的杂质会在重力的作用下往下掉， 而不会集聚在钢板的表面， 因此镀膜后其表面的 成型质量更好， 而且整个镀膜机呈立式布置， 占 地空间更小。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 110629185 A 2019.12.31 CN 。

3、110629185 A 1.一种钢板的连续真空镀膜机， 其特征在于： 包括真空室， 所述真空室中设有放卷装 置、 收卷装置与立式镀膜装置， 所述立式镀膜装置位于放卷装置的竖直方向上； 所述真空室 内还设有多个转辊， 所述转辊中包括加热辊与冷却辊， 所述加热辊布置在靠近所述的放卷 装置的一侧， 所述冷却辊布置在靠近所述收卷装置的一侧。 2.根据权利要求1所述的钢板的连续真空镀膜机， 其特征在于： 所述真空室包括第一真 空腔室、 第二真空腔室与第三真空腔室， 所述第一真空腔室与第二真空腔室并排设置， 所述 第一真空腔室位于第二真空腔室的左侧， 所述第三真空腔室位于第一真空腔室与第二真空 腔室的上方。

4、； 所述放卷装置放置在第一真空腔室中， 所述收卷装置放置在第二真空腔室中； 所述立式镀膜装置位于第三真空腔室中。 3.根据权利要求2所述的钢板的连续真空镀膜机， 其特征在于： 所述第三真空腔室呈 “门” 形， 所述第三真空腔室包括左室体、 右室体与中间室体， 所述左室体与第一真空腔室通 过第一通口连通， 所述右室体与第二真空腔室通过第二通口连通； 所述立式镀膜装置包括 第一阴极溅射源组与第二阴极溅射源组， 所述第一阴极溅射源组位于左室体中， 所述第二 阴极溅射源组位于右室体中。 4.根据权利要求3所述的钢板的连续真空镀膜机， 其特征在于： 所述第一阴极溅射源组 包括多套溅射源， 多套溅射源相互。

5、平行且自下而上排布。 5.根据权利要求4所述的钢板的连续真空镀膜机， 其特征在于： 所述溅射源包括多弧溅 射源、 柱弧溅射源、 平面弧溅射源与磁控溅射源中至少一种或者若干种的组合。 6.根据权利要求3所述的钢板的连续真空镀膜机， 其特征在于： 所述左室体包括封板， 所述第一阴极溅射源组安装在封板上， 所述封板与左室体可拆连接； 所述左室体还包括备 用封板， 所述立式镀膜装置包括第一备用阴极溅射源组， 所述第一备用阴极溅射源组安装 在备用封板上， 所述备用封板与左室体可拆连接。 7.根据权利要求3所述的钢板的连续真空镀膜机， 其特征在于： 所述第一通口上设有调 节板， 所述调节板与左室体活动连接。

6、。 8.根据权利要求1所述的钢板的连续真空镀膜机， 其特征在于： 所述真空室中还设有高 压清洗离子源， 所述高压清洗离子源位于放卷装置旁。 9.根据权利要求1所述的钢板的连续真空镀膜机， 其特征在于： 所述加热辊包括辊轴， 所述辊轴中设有发热丝， 所述冷却辊包括第二辊轴， 所述第二辊轴中设有冷却管道， 所述冷 却管道中通有冷却液体。 10.根据权利要求1所述的钢板的连续真空镀膜机， 其特征在于： 所述收卷装置包括卸 料机构、 收卷辊， 所述卸料机构包括滑轨与卸料小车， 所述收卷辊安装在卸料小车上。 权利要求书 1/1 页 2 CN 110629185 A 2 一种钢板的连续真空镀膜机 技术领域。

7、 0001 本发明涉及真空镀膜技术领域， 特别是钢板卷带的真空镀膜。 背景技术 0002 真空镀膜是一种由物理或者化学方法产生薄膜材料的技术， 在真空室内材料的原 子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。 此项技术可以用于生产光学镜片， 如航海望 远镜镜片等； 以及其他功能薄膜， 唱片镀铝、 装饰镀膜和材料表面改性等， 如手表外壳镀仿 金色， 机械刀具镀膜， 改变加工硬性。 真空镀膜有三种形式， 即蒸发镀膜、 溅射镀膜和离子镀 和纯离子镀膜。 0003 现有技术对连续的钢板进行镀膜加工的真空等离子体镀膜设备， 主要由放料室、 多个镀膜室、 多个过渡室和收料室所组成， 而且这些设备都是呈一字型排。

8、开， 整套镀膜设备 体积庞大， 设备长度一般达到十几米到几十米长， 设备安装时占地空间大。 发明内容 0004 本发明要解决的技术问题是： 提供一种能对钢板连续镀膜的新式设备。 0005 本发明解决其技术问题的解决方案是： 一种钢板的连续真空镀膜机， 包括真空室， 所述真空室中设有放卷装置、 收卷装置与立式镀膜装置， 所述立式镀膜装置位于放卷装置 的竖直方向上； 所述真空室内还设有多个转辊， 所述转辊中包括加热辊与冷却辊， 所述加热 辊布置在靠近所述的放卷装置的一侧， 所述冷却辊布置在靠近所述收卷装置的一侧。 0006 本发明的有益效果是： 本发明通过利用立式的镀膜装置对钢板进行镀膜， 钢板在。

9、 放卷后不再沿着走水平方向走， 而是通过转辊沿着竖直方向进入到立式镀膜装置， 在镀膜 的时候， 由于钢板的表面与水平面是垂直的， 所以在电镀的时候， 钢板表面的杂质会在重力 的作用下往下掉， 而不会集聚在钢板的表面， 因此镀膜后其表面的成型质量更好。 而且整个 镀膜机呈立式布置， 占地空间更小； 同时钢板在真空室内靠转辊实现换向， 其中转辊包括加 热辊与冷却辊， 利用加热辊可以对钢板在放卷后进行加热， 钢板一边放卷一边与加热辊的 表面发生接触， 从而使得钢板的温度升高， 升温后的钢板更利于镀膜的进行； 而在升温后， 利用冷却辊将钢板的温度降下来， 方便进行钢板的收卷。 0007 作为上述技术方。

10、案的进一步改进， 所述真空室包括第一真空腔室、 第二真空腔室 与第三真空腔室， 所述第一真空腔室与第二真空腔室并排设置， 所述第一真空腔室位于第 二真空腔室的左侧， 所述第三真空腔室位于第一真空腔室与第二真空腔室的上方； 所述放 卷装置放置在第一真空腔室中， 所述收卷装置放置在第二真空腔室中； 所述立式镀膜装置 位于第三真空腔室中。 将真空室分为三个腔室， 不仅节省材料， 而且整体的空间更小， 减少 对真空泵的负载压力， 同时三个独立的腔室使得在工作的时候操作更加方便。 0008 作为上述技术方案的进一步改进， 所述第三真空腔室呈 “门” 形， 所述第三真空腔 室包括左室体、 右室体与中间室体。

11、， 所述左室体与第一真空腔室通过第一通口连通， 所述右 室体与第二真空腔室通过第二通口连通； 所述立式镀膜装置包括第一阴极溅射源组与第二 说明书 1/4 页 3 CN 110629185 A 3 阴极溅射源组， 所述第一阴极溅射源组位于左室体中， 所述第二阴极溅射源组位于右室体 中。 采用该结构后， 使得第三真空腔室的结构更加紧凑， 而且利用两个阴极溅射源组对钢板 进行真空镀膜， 增大成膜速率。 所述第一阴极溅射源组包括多套溅射源， 多套溅射源相互平 行且自下而上排布。 所述溅射源包括多弧溅射源、 柱弧溅射源或者平面弧溅射源。 根据生产 的实际需要， 可以设置第一阴极溅射源组的溅射源， 该溅射。

12、源可以采用多弧溅射源、 柱弧溅 射源、 平面弧溅射源或者磁控溅射源的其中一种或者其中若干种的组合。 0009 作为上述技术方案的进一步改进， 所述左室体包括封板， 所述第一阴极溅射源组 安装在封板上， 所述封板与左室体可拆连接。 所述左室体还包括备用封板， 所述立式镀膜装 置包括第一备用阴极溅射源组， 所述第一备用阴极溅射源组安装在备用封板上， 所述备用 封板与左室体可拆连接。 由于每个溅射源的用量是有限的， 当需要更换阴极溅射源的时候， 可以通过直接将封板卸下或打开来进行维修， 然后将新的阴极溅射源连通备用封板一并安 装在左室体中。 减少设备的停机时间。 0010 作为上述技术方案的进一步改。

13、进， 所述第一通口上设有调节板， 所述调节板与左 室体活动连接。 通过调节板可以调整第一通口的口径， 以适应钢板的放卷变化。 0011 作为上述技术方案的进一步改进， 所述真空室中还设有高压清洗离子源， 所述高 压清洗离子源位于放卷装置旁。 高压清洗离子源在工作时会产生两个作用： 一是清洗钢板 的表面， 使方便获得一个洁净的表面， 从而提高膜层和钢板的结合力； 二是在镀膜过程中有 辅助沉积成膜的作用， 由高压清洗离子源产生的等离子体与溅射产物发生相互作用， 增大 溅射产物的离化率， 从而大幅度提高溅射镀膜效率。 0012 作为上述技术方案的进一步改进， 所述加热辊包括辊轴， 所述辊轴中设有发热。

14、丝， 所述冷却辊包括第二辊轴， 所述第二辊轴中设有冷却管道， 所述冷却管道中通有冷却液体。 当然了， 除了利用发热丝之外， 也可以往加热辊轴中通入高温的液体， 从而起到加热的效 果。 0013 作为上述技术方案的进一步改进， 所述收卷装置包括卸料机构、 收卷辊， 所述卸料 机构包括滑轨与卸料小车， 所述收卷辊安装在卸料小车上。 通过卸料机构， 可以方便对镀膜 后的钢板进行回收。 附图说明 0014 为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案， 下面将对实施例描述中所需要使 用的附图作简单说明。 显然， 所描述的附图只是本发明的一部分实施例， 而不是全部实施 例， 本领域的技术人员在不付出创造性劳。

15、动的前提下， 还可以根据这些附图获得其他设计 方案和附图。 0015 图1是本发明的实施例一的正视图； 0016 图2是本发明的实施例一的俯视图； 0017 图3是本发明的实施例二的正视图。 具体实施方式 0018 以下将结合实施例和附图对本发明的构思、 具体结构及产生的技术效果进行清 楚、 完整地描述， 以充分地理解本发明的目的、 特征和效果。 显然， 所描述的实施例只是本发 说明书 2/4 页 4 CN 110629185 A 4 明的一部分实施例， 而不是全部实施例， 基于本发明的实施例， 本领域的技术人员在不付出 创造性劳动的前提下所获得的其他实施例， 均属于本发明保护的范围。 本发明。

16、之较佳实施 例在附图中示出， 附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述， 使人能够直观地、 形 象地理解本发明的每个技术特征和整体技术方案， 但其不能理解为对本发明保护范围的限 制。 0019 在本发明的描述中， 需要理解的是， 涉及到方位描述， 例如上、 下、 前、 后、 左、 右等 指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系， 仅是为了便于描述本发明和简 化描述， 而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、 以特定的方位构造和 操作， 因此不能理解为对本发明的限制。 0020 在本发明的描述中， 若干的含义是一个或者多个， 多个的含义是两个以上， 大于、 小于、 超过。

17、等理解为不包括本数， 以上、 以下、 以内等理解为包括本数。 如果有描述到第一、 第二只是用于区分技术特征为目的， 而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所 指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。 0021 本发明的描述中， 除非另有明确的限定， 设置、 安装、 连接等词语应做广义理解， 所 属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体 含义。 同时， 本发明创造中的各个技术特征， 在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。 0022 实施一： 参照图1图2， 一种钢板的连续真空镀膜机， 包括真空室1， 所述真空室1 包括第一真空腔室11。

18、、 第二真空腔室12与第三真空腔室13， 所述第一真空腔室11与第二真 空腔室12并排设置， 所述第一真空腔室11位于第二真空腔室12的左侧， 所述第三真空腔室 13位于第一真空腔室11与第二真空腔室12的上方； 所述第三真空腔13室呈 “门” 形， 所述第 三真空腔室13包括左室体131、 右室体132与中间室体133， 所述左室体131与第一真空腔室 11通过第一通口连通， 所述右室体132与第二真空腔室12通过第二通口连通。 0023 所述第一真空腔室11中设有放卷装置2， 所述第二真空腔室12中设有收卷装置3， 所述放卷装置2包括放卷辊， 所述放卷辊中设有阳极导电机构； 所述收卷装置3。

19、包括卸料机 构31与收卷辊32， 所述卸料机构包括滑轨与卸料小车， 所述收卷辊安装在卸料小车上。 0024 所述第一真空腔室11以及左室体131中均设有加热辊5， 所述第二真空腔室12与右 室体132中均设有冷却辊6。 0025 所述左室体131中设有第一阴极溅射源41， 所述第一阴极溅射源组41包括多套溅 射源， 多套溅射源相互平行且自下而上合理排布。 所述右室体132中设有第二阴极溅射源 42， 所述第二阴极溅射源组42的结构跟第一阴极溅射源组42的结构相同。 0026 工作的时候， 钢板a首先从放卷装置2中放出， 放出的时候同时带上阳极； 接着钢板 a经过多个加热辊5后进入到左室体131。

20、， 然后过渡到中间室体133， 接着经过冷却辊6进入到 右室体132， 最后经过冷却辊6后进入到收卷辊中。 在放卷与收卷同时工作的同时， 左室体 131中的第一阴极溅射源组41以及右室体132中的第二阴极溅射源组42通电工作， 此时钢板 a的外表面即可在第三真空腔室13中即可表面形成一个膜层。 0027 进一步作为优选的实施方式， 所述左室体131包括封板134， 所述第一阴极溅射源 组41安装在封板上134， 所述封板134与左室体131可拆连接。 同时所述左室体131还包括备 用封板135， 立式镀膜装置还包括第一备用阴极溅射源组43， 所述第一备用阴极溅射源组43 安装在备用封板上135。

21、， 所述备用封板135与左室体131可拆连接。 说明书 3/4 页 5 CN 110629185 A 5 0028 一般一次安装的时候， 第一阴极溅射源组41是足够将整卷的钢板完成镀膜的。 而 当完成镀膜后， 需要更换第一阴极溅射源组41， 由于更换的时间较长， 如果是等整个钢卷镀 膜完成后再进行装卸， 会使得镀膜机有较长的停机时间。 而为了缩短这个停机时间， 通过设 置备用封板135， 而且将第一备用阴极溅射源组43安装在备用封板135上， 当钢板在镀膜的 同时， 可以对第一备用阴极溅射源组43进行更换， 当镀膜完成后， 直接将第一备用阴极溅射 源组43以及备用封板135代替现有的封板134。

22、以及第一阴极溅射源组41， 缩短停机时间。 而 卸下来的第一阴极溅射源组就可以慢慢对其进行更换。 0029 同理， 在右室体132中设有与左室体131结构相似的快速更换结构。 0030 进一步作为优选的实施方式， 所述第一通口上设有调节板7， 所述调节板7与左室 体131活动连接。 通过左右滑动调节板7， 可以调整第一通口的位置与大小。 因为钢板在放卷 的时候， 随着钢卷的厚度逐渐减少， 钢板的张力也发生变化， 有可能会使得钢板在通过第一 通口的时候会发生位置的偏移。 因此利用调节板7可以保证钢板的顺利动作。 同样的， 所述 的右室体132中也可以设置调节板7。 0031 进一步作为优选的实施。

23、方式， 所述所述第一真空腔室11中还设有高压清洗离子源 8， 所述高压清洗离子源8有两个， 两个高压清洗离子源8位于放卷位置的附近。 钢板在放卷 后， 马上利用高压清洗离子源8对钢板的表面进行处理。 在一些实施例中， 高压清洗离子源8 的数量还可以适当增加。 0032 进一步作为优选的实施方式， 所述加热辊5包括辊轴， 所述辊轴中设有发热丝， 所 述冷却辊6包括第二辊轴， 所述第二辊轴中设有冷却管道， 所述冷却管道中通有冷却液体。 0033 实施例二： 参见图3， 本实施例的真空镀膜机的结构原理跟实施例一的相同。 区别 在于本实施例中的转辊的结构布局不一样。 通过巧妙地设置转辊， 可以使得钢板。

24、在放卷后 是钢板的内表面进行镀膜。 而且对钢板的内表面进行镀膜的时候， 由于钢卷是从内侧进入 到左室体131， 也是从内侧出右室体131， 从而可以使得中间室体133的尺寸更小， 从而可以 减少第三真空腔室13的尺寸。 0034 在一些实施例中， 在中间室体133中也可以设置阴极溅射源组。 0035 以上对本发明的较佳实施方式进行了具体说明， 但本发明创造并不限于所述实施 例， 熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可作出种种的等同变型或替 换， 这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。 说明书 4/4 页 6 CN 110629185 A 6 图1 说明书附图 1/3 页 7 CN 110629185 A 7 图2 说明书附图 2/3 页 8 CN 110629185 A 8 图3 说明书附图 3/3 页 9 CN 110629185 A 9 。