光刻机导正结构.pdf

《光刻机导正结构.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《光刻机导正结构.pdf（10页完成版）》请在专利查询网上搜索。

1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910866312.3 (22)申请日 2019.09.12 (71)申请人 上海信耀电子有限公司 地址 201800 上海市嘉定区恒谐路50号 (72)发明人 赵晓波王永和黄微益钱坤 (74)专利代理机构 上海申新律师事务所 31272 代理人 沈栋栋 (51)Int.Cl. B65G 47/24(2006.01) G03F 7/20(2006.01) (54)发明名称 一种光刻机导正结构 (57)摘要 本发明公开一种光刻机导正结构， 包括： 转 换机构， 所述转换机构包。

2、括： 托板和第一气缸， 所 述托板具备X轴方向和Y轴方向， 所述第一气缸与 所述托板传动连接； 第一输送机构， 所述第一输 送机构包括： 一第一电机和若干滚轮轴， 若干所 述滚轮轴分别与所述第一电机传动连接， 所述托 板供若干所述滚轮轴的上表面穿过； 第二输送机 构， 所述第二输送机构包括： 一第二气缸、 一第二 电机和若干输送组件， 所述第二气缸分别与若干 所述输送组件传动连接， 所述托板供若干所述输 送组件的上表面穿过， 所述第二电机分别与若干 所述输送组件传动连接。 本发明能够保证光刻的 对准精度， 提高产品的合格率。 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 CN 110577074 A 。

3、2019.12.17 CN 110577074 A 1.一种光刻机导正结构， 其特征在于， 包括： 转换机构， 所述转换机构包括： 托板和第一气缸， 所述托板具备X轴方向和Y轴方向， 所 述第一气缸与所述托板传动连接， 所述第一气缸用于驱动所述托板上下移动； 第一输送机构， 所述第一输送机构包括： 一第一电机和若干滚轮轴， 若干所述滚轮轴分 别与所述第一电机传动连接， 所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过， 若干所述滚轮轴 用于输送产品沿X轴方向移动； 第二输送机构， 所述第二输送机构包括： 一第二气缸、 一第二电机和若干输送组件， 所 述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接， 所述第二气缸。

4、用于驱动若干所述输送组件 上下移动， 所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过， 所述第二电机分别与若干所述输 送组件传动连接， 所述第二电机用于驱动若干所述输送组件运行， 若干所述输送组件用于 输送所述产品沿Y轴方向移动。 2.根据权利要求1所述光刻机导正结构， 其特征在于， 每一所述滚轮轴均包括： 一滚轴 和若干滚轮， 所述第一电机与所述滚轴传动连接， 若干所述滚轮均设于所述滚轴上， 若干所 述滚轮分别与所述滚轴固定连接， 且若干所述滚轮与所述滚轴同轴设置， 若干所述滚轮的 上表面均处于同一第一平面上， 所述托板供若干所述滚轮的上表面穿过， 若干所述滚轮用 于输送所述产品沿X轴方向移动。 3。

5、.根据权利要求2所述光刻机导正结构， 其特征在于， 每一所述输送组件均包括： 一主 动轮、 若干从动轮组和一输送带， 所述第二电机与所述主动轮传动连接， 若干所述从动轮 组、 所述主动轮均与所述输送带传动连接， 若干所述输送带的上表面均处于同一第二平面 上， 所述托板分别供若干所述输送带的上表面穿过， 若干所述输送带用于输送所述产品沿Y 轴方向移动。 4.根据权利要求3所述光刻机导正结构， 其特征在于， 每一所述从动轮组均包括： 三从 动轮， 一所述从动轮的上表面高于另外两所述从动轮的上表面， 三所述从动轮均与所述输 送带传动连接。 5.根据权利要求3所述光刻机导正结构， 其特征在于， 每一所。

6、述输送组件还包括： 一输送带安装板， 所述第二气缸与所述输送带安装板传动连接， 所述第二气缸用于驱 动所述输送组件上下移动； 若干安装架， 若干所述安装架均设于所述输送带安装板上， 若干所述从动轮、 所述主动 轮分别与若干所述安装架转动连接。 6.根据权利要求1所述光刻机导正结构， 其特征在于， 还包括： 第一挡板， 所述第一挡板设于所述托板的上方， 所述第一挡板用于限制所述产品在X轴 方向上的移动位置； 第二档板， 所述第二挡板设于所述托板的上方， 所述第二挡板用于限制所述产品在Y轴 方向上的移动位置。 7.根据权利要求1所述光刻机导正结构， 其特征在于， 所述转换机构还包括： 若干托板 连。

7、接杆和一动板， 所述动板与所述第一气缸传动连接， 所述动板通过若干所述托板连接杆 与所述托板固定连接， 若干所述托板连接杆均呈竖直设置。 8.根据权利要求3所述光刻机导正结构， 其特征在于， 所述托板上设有若干第一通槽和 若干第二通槽， 若干所述第一通槽分别供若干所述滚轮的上表面穿过， 若干所述第二通槽 权利要求书 1/2 页 2 CN 110577074 A 2 分别供若干所述输送带的上表面穿过。 9.根据权利要求3所述光刻机导正结构， 其特征在于， 还包括： 滚轮轴承座安装板， 所述滚轮轴承安装板设于所述托板的一端， 若干所述滚轴的一端 分别通过第一轴承座与所述滚轮轴承座安装板转动连接； 。

8、电机安装板， 所述电机安装板设于所述托板的另一端， 所述第一电机设于所述电机安 装板上， 若干所述滚轴的另一端分别穿过所述电机安装板； 滚轮支撑板， 所述滚轮支撑板设于所述电机安装板远离所述滚轮轴承座安装板的一 侧， 若干所述滚轴的另一端分别通过第二轴承座与所述滚轮支撑板转动连接； 固定板， 所述固定板的两端分别与所述滚轮轴承座安装板的下端、 所述电机安装板的 下端固定连接， 所述动板活动设于所述固定板的下方， 若干所述托板连接杆均穿过所述固 定板； 若干支撑杆， 若干所述支撑杆的两端分别与所述滚轮轴承座安装板、 所述电机安装板 固定连接。 10.根据权利要求9所述光刻机导正结构， 其特征在于。

9、， 还包括： 电机调速器， 所述电机 调速器设于所述电机安装板上， 所述电机调速器分别与所述第一电机、 所述第二电机信号 连接， 所述电机调速器分别用于调节所述第一电机、 所述第二电机的传动速度。 权利要求书 2/2 页 3 CN 110577074 A 3 一种光刻机导正结构 技术领域 0001 本发明涉及光刻机定位的技术领域， 尤其涉及一种光刻机导正结构。 背景技术 0002 光刻机是半导体产业的关键设备， 也被誉为半导体产业皇冠上的明珠。 集成电路 里的晶体管是通过光刻工艺在晶圆上做出来的， 光刻工艺决定了半导体的线路的线宽， 同 时也决定了芯片的性能和功耗， 套刻精度的基本含义是指前后。

10、两道光刻工序之间彼此图形 的对准精度， 如果对准的偏差过大， 就会之间影响产品良率。 0003 现有技术上， 板材在光刻机中定位较难， 无法保证光刻的对准精度， 导致产品的合 格率较低。 发明内容 0004 针对现有的光刻机存在板材定位难的上述问题， 现旨在提供一种光刻机导正结 构， 能够保证光刻的对准精度， 提高产品的合格率。 0005 具体技术方案如下： 0006 一种光刻机导正结构， 包括： 转换机构， 所述转换机构包括： 托板和第一气缸， 所述 托板具备X轴方向和Y轴方向， 所述第一气缸与所述托板传动连接， 所述第一气缸用于驱动 所述托板上下移动； 0007 第一输送机构， 所述第一输。

11、送机构包括： 一第一电机和若干滚轮轴， 若干所述滚轮 轴分别与所述第一电机传动连接， 所述托板供若干所述滚轮轴的上表面穿过， 若干所述滚 轮轴用于输送产品沿X轴方向移动； 0008 第二输送机构， 所述第二输送机构包括： 一第二气缸、 一第二电机和若干输送组 件， 所述第二气缸分别与若干所述输送组件传动连接， 所述第二气缸用于驱动若干所述输 送组件上下移动， 所述托板供若干所述输送组件的上表面穿过， 所述第二电机分别与若干 所述输送组件传动连接， 所述第二电机用于驱动若干所述输送组件运行， 若干所述输送组 件用于输送所述产品沿Y轴方向移动。 0009 上述的光刻机导正结构， 其中， 每一所述滚。

12、轮轴均包括： 一滚轴和若干滚轮， 所述 第一电机与所述滚轴传动连接， 若干所述滚轮均设于所述滚轴上， 若干所述滚轮分别与所 述滚轴固定连接， 且若干所述滚轮与所述滚轴同轴设置， 若干所述滚轮的上表面均处于同 一第一平面上， 所述托板供若干所述滚轮的上表面穿过， 若干所述滚轮用于输送所述产品 沿X轴方向移动。 0010 上述的光刻机导正结构， 其中， 每一所述输送组件均包括： 一主动轮、 若干从动轮 组和一输送带， 所述第二电机与所述主动轮传动连接， 若干所述从动轮组、 所述主动轮均与 所述输送带传动连接， 若干所述输送带的上表面均处于同一第二平面上， 所述托板分别供 若干所述输送带的上表面穿过。

13、， 若干所述输送带用于输送所述产品沿Y轴方向移动。 0011 上述的光刻机导正结构， 其中， 每一所述从动轮组均包括： 三从动轮， 一所述从动 说明书 1/5 页 4 CN 110577074 A 4 轮的上表面高于另外两所述从动轮的上表面， 三所述从动轮均与所述输送带传动连接。 0012 上述的光刻机导正结构， 其中， 每一所述输送组件还包括： 0013 一输送带安装板， 所述第二气缸与所述输送带安装板传动连接， 所述第二气缸用 于驱动所述输送组件上下移动； 0014 若干安装架， 若干所述安装架均设于所述输送带安装板上， 若干所述从动轮、 所述 主动轮分别与若干所述安装架转动连接。 001。

14、5 上述的光刻机导正结构， 其中， 还包括： 0016 第一挡板， 所述第一挡板设于所述托板的上方， 所述第一挡板用于限制所述产品 在X轴方向上的移动位置； 0017 第二档板， 所述第二挡板设于所述托板的上方， 所述第二挡板用于限制所述产品 在Y轴方向上的移动位置。 0018 上述的光刻机导正结构， 其中， 所述转换机构还包括： 若干托板连接杆和一动板， 所述动板与所述第一气缸传动连接， 所述动板通过若干所述托板连接杆与所述托板固定连 接， 若干所述托板连接杆均呈竖直设置。 0019 上述的光刻机导正结构， 其中， 所述托板上设有若干第一通槽和若干第二通槽， 若 干所述第一通槽分别供若干所述。

15、滚轮的上表面穿过， 若干所述第二通槽分别供若干所述输 送带的上表面穿过。 0020 上述的光刻机导正结构， 其中， 还包括： 0021 滚轮轴承座安装板， 所述滚轮轴承安装板设于所述托板的一端， 若干所述滚轴的 一端分别通过第一轴承座与所述滚轮轴承座安装板转动连接； 0022 电机安装板， 所述电机安装板设于所述托板的另一端， 所述第一电机设于所述电 机安装板上， 若干所述滚轴的另一端分别穿过所述电机安装板； 0023 滚轮支撑板， 所述滚轮支撑板设于所述电机安装板远离所述滚轮轴承座安装板的 一侧， 若干所述滚轴的另一端分别通过第二轴承座与所述滚轮支撑板转动连接； 0024 固定板， 所述固定。

16、板的两端分别与所述滚轮轴承座安装板的下端、 所述电机安装 板的下端固定连接， 所述动板活动设于所述固定板的下方， 若干所述托板连接杆均穿过所 述固定板； 0025 若干支撑杆， 若干所述支撑杆的两端分别与所述滚轮轴承座安装板、 所述电机安 装板固定连接。 0026 上述的光刻机导正结构， 其中， 还包括： 电机调速器， 所述电机调速器设于所述电 机安装板上， 所述电机调速器分别与所述第一电机、 所述第二电机信号连接， 所述电机调速 器分别用于调节所述第一电机、 所述第二电机的传动速度。 0027 上述技术方案与现有技术相比具有的积极效果是： 0028 本发明由第一气缸驱动托板向下运动， 使托板。

17、的上表面低于若干滚轮轴的上表 面， 再由第一电机驱动若干滚轮轴旋转， 使产品沿X轴方向运动， 并由第一挡板对产品进行 限位， 完成产品在X轴方向上的定位， 由第一气缸驱动托板向上运动， 使托板的上表面高于 若干滚轮轴的上表面， 并由第二气缸驱动输送组件向上运动， 使输送组件的上表面高于托 板的上表面， 由第二电机驱动输送组件运行， 使产品沿Y轴方向运动， 并由第二挡板对产品 进行限位， 完成产品在Y轴方向上的定位， 从而保证了光刻机在抓取产品时， 抓取位置一致 说明书 2/5 页 5 CN 110577074 A 5 性。 本发明实现产品在光刻机中的定位， 能够保证光刻的对准精度， 提高了产品。

18、的合格率。 附图说明 0029 图1为本发明一种光刻机导正结构的整体结构俯视图； 0030 图2为本发明一种光刻机导正结构的整体结构剖视图； 0031 图3为本发明一种光刻机导正结构的整体结构分解图； 0032 图4为本发明一种光刻机导正结构中输送组件的结构示意图； 0033 附图中： 1、 托板； 2、 第一气缸； 3、 第一电机； 4、 滚轮轴； 5、 第二气缸； 6、 第二电机； 7、 输送组件； 8、 滚轴； 9、 滚轮； 10、 主动轮； 11、 输送带； 12、 从动轮； 13、 输送带安装板； 14、 安装 架； 15、 第一挡板； 16、 第二档板； 17、 托板连接杆； 18。

19、、 动板； 19、 第一通槽； 20、 第二通槽； 21、 滚轮轴承座安装板； 22、 电机安装板； 23、 滚轮支撑板； 24、 固定板； 25、 支撑杆； 26、 电机调速 器； 27、 拖链连接块。 具体实施方式 0034 下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明， 但不作为本发明的限定。 0035 图1为本发明一种光刻机导正结构的整体结构俯视图， 图2为本发明一种光刻机导 正结构的整体结构剖视图， 图3为本发明一种光刻机导正结构的整体结构分解图， 图4为本 发明一种光刻机导正结构中输送组件的结构示意图， 如图1至图4所示， 示出了一种较佳实 施例的光刻机导正结构， 包括： 转换机构。

20、、 第一输送机构和第二输送机构， 转换机构包括： 托 板1和第一气缸2， 托板1具备X轴方向和Y轴方向， 第一气缸2与托板1传动连接， 第一气缸2用 于驱动托板1上下移动， 第一输送机构包括： 一第一电机3和若干滚轮轴4， 若干滚轮轴4分别 与第一电机3传动连接， 托板1供若干滚轮轴4的上表面穿过， 若干滚轮轴4用于输送产品沿X 轴方向移动， 第二输送机构包括： 一第二气缸5、 一第二电机6和若干输送组件7， 第二气缸5 分别与若干输送组件7传动连接， 第二气缸5用于驱动若干输送组件7上下移动， 托板1供若 干输送组件7的上表面穿过， 第二电机6分别与若干输送组件7传动连接， 第二电机6用于驱。

21、 动若干输送组件7运行， 若干输送组件7用于输送产品沿Y轴方向移动。 0036 进一步， 作为一种较佳的实施例， 每一滚轮轴4均包括： 一滚轴8和若干滚轮9， 第一 电机3与滚轴8传动连接， 若干滚轮9均设于滚轴8上， 若干滚轮9分别与滚轴8固定连接， 且若 干滚轮9与滚轴8同轴设置， 若干滚轮9的上表面均处于同一第一平面上， 托板1供若干滚轮9 的上表面穿过， 若干滚轮9用于输送产品沿X轴方向移动。 0037 进一步， 作为一种较佳的实施例， 每一输送组件7均包括： 一主动轮10、 若干从动轮 组和一输送带11， 第二电机6与主动轮10传动连接， 若干从动轮组、 主动轮10均与输送带11 传。

22、动连接， 若干输送带11的上表面均处于同一第二平面上， 托板1分别供若干输送带11的上 表面穿过， 若干输送带11用于输送产品沿Y轴方向移动。 0038 进一步， 作为一种较佳的实施例， 每一从动轮组均包括： 三从动轮12， 一从动轮12 的上表面高于另外两从动轮12的上表面， 三从动轮12均与输送带11传动连接。 0039 进一步， 作为一种较佳的实施例， 每一输送组件7还包括： 一输送带安装板13和若 干安装架14， 第二气缸5与输送带安装板13传动连接， 第二气缸5用于驱动输送组件7上下移 动， 若干安装架14均设于输送带安装板13上， 若干从动轮12、 主动轮10分别与若干安装架14 。

23、说明书 3/5 页 6 CN 110577074 A 6 转动连接。 0040 进一步， 作为一种较佳的实施例， 光刻机导正结构还包括： 第一挡板15和第二档板 16， 第一挡板15设于托板1的上方， 第一挡板15用于限制产品在X轴方向上的移动位置， 第二 挡板16设于托板的上方， 第二挡板16用于限制产品在Y轴方向上的移动位置。 0041 以上仅为本发明较佳的实施例， 并非因此限制本发明的实施方式及保护范围。 0042 本发明在上述基础上还具有如下实施方式： 0043 本发明的进一步实施例中， 请继续参见图1至图4所示， 转换机构还包括： 若干托板 连接杆17和一动板18， 动板18与第一气。

24、缸2传动连接， 动板18通过若干托板连接杆17与托板 1固定连接， 若干托板连接杆17均呈竖直设置。 0044 本发明的进一步实施例中， 托板1上设有若干第一通槽19和若干第二通槽20， 若干 第一通槽19分别供若干滚轮9的上表面穿过， 若干第二通槽20分别供若干输送带11的上表 面穿过。 0045 本发明的进一步实施例中， 光刻机导正结构还包括： 滚轮轴承座安装板21， 滚轮轴 承安装板21设于托板1的一端， 若干滚轴8的一端分别通过第一轴承座与滚轮轴承座安装板 21转动连接。 0046 本发明的进一步实施例中， 光刻机导正结构还包括： 电机安装板22， 电机安装板22 设于托板1的另一端，。

25、 第一电机3设于电机安装板22上， 若干滚轴8的另一端分别穿过电机安 装板22。 0047 本发明的进一步实施例中， 光刻机导正结构还包括： 滚轮支撑板23， 滚轮支撑板23 设于电机安装板22远离滚轮轴承座安装板21的一侧， 若干滚轴8的另一端分别通过第二轴 承座与滚轮支撑板23转动连接。 0048 本发明的进一步实施例中， 光刻机导正结构还包括： 固定板24， 固定板24的两端分 别与滚轮轴承座安装板21的下端、 电机安装板22的下端固定连接， 动板18活动设于固定板 24的下方， 若干托板连接杆17均穿过固定板24。 0049 本发明的进一步实施例中， 光刻机导正结构还包括： 若干支撑杆。

26、25， 若干支撑杆25 的两端分别与滚轮轴承座安装板21、 电机安装板22固定连接。 0050 本发明的进一步实施例中， 光刻机导正结构还包括： 电机调速器26， 电机调速器26 设于电机安装板22上， 电机调速器26分别与第一电机3、 第二电机6信号连接， 电机调速器26 分别用于调节第一电机3、 第二电机6的传动速度。 0051 优选地， 托板1上设有拖链连接块27。 0052 下面说明本发明的工作过程： 0053 步骤S1： 由第一气缸2驱动托板1向下运动， 使托板1的上表面低于若干滚轮轴4的 上表面； 0054 步骤S2： :由第一电机3驱动若干滚轮轴4旋转， 使产品沿X轴方向运动， 。

27、直至产品与 第一挡板15相抵， 由第一挡板15对产品进行限位， 完成产品在X轴方向上的定位； 0055 步骤S3： 由第一气缸2驱动托板1向上运动， 使托板1的上表面高于若干滚轮轴4的 上表面； 0056 步骤S4： 由第二气缸5驱动输送组件7向上运动， 使输送组件7的上表面高于托板1 的上表面； 说明书 4/5 页 7 CN 110577074 A 7 0057 步骤S5： 由第二电机6驱动输送组件7运行， 使产品沿Y轴方向运动， 直至产品与第 二挡板16相抵， 由第二挡板16对产品进行限位， 完成产品在Y轴方向上的定位。 0058 本发明的这种第一输送机构和第二输送机构并不同时且分离的运动。

28、可以使产品 在沿其中一轴运动时而不受另一轴输送机构的影响， 从而保证了产品输送时的定位精度。 0059 本发明实现产品在光刻机中的定位， 从而保证了光刻机在抓取产品时， 抓取位置 一致性， 能够保证光刻的对准精度， 提高了产品的合格率。 0060 以上所述仅为本发明较佳的实施例， 并非因此限制本发明的实施方式及保护范 围， 对于本领域技术人员而言， 应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的 等同替换和显而易见的变化所得到的方案， 均应当包含在本发明的保护范围内。 说明书 5/5 页 8 CN 110577074 A 8 图1 图2 说明书附图 1/2 页 9 CN 110577074 A 9 图3 图4 说明书附图 2/2 页 10 CN 110577074 A 10 。