圆筒式静电纺丝近场直写装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201911018541.6 (22)申请日 2019.10.24 (71)申请人 季华实验室 地址 528200 广东省佛山市南海区桂城南 平西路13号承业大厦13层 (72)发明人 王晗张荣光 (74)专利代理机构 深圳国海智峰知识产权代理 事务所(普通合伙) 44489 代理人 王庆海 (51)Int.Cl. D01D 5/00(2006.01) (54)发明名称 一种圆筒式静电纺丝近场直写装置 (57)摘要 本发明涉及静电纺丝技术领域， 尤其涉及一 种圆筒式静电纺丝近场直。

2、写装置。 本发明的圆筒 式静电纺丝近场直写装置， 包括近场直写纺丝针 头、 圆筒式接收器、 以及高压电源， 其中： 圆筒式 接收器设置在近场直写纺丝针头的下方； 高压电 源的正极连接近场直写纺丝针头， 高压电源的负 极连接圆筒式接收器。 本发明的圆筒式静电纺丝 近场直写装置， 接收装置采用圆筒式接收器， 增 大了可纺面积， 实现了更大面积的纳米纤维图案 的打印； 极大地缩减了可实现大面积纳米纤维图 案打印的直写装置占用空间； 此外， 同时实现了 极小间距的纤维精确沉积。 权利要求书2页 说明书6页 附图3页 CN 110656382 A 2020.01.07 CN 110656382 A 1.。

3、一种圆筒式静电纺丝近场直写装置， 其特征在于， 包括近场直写纺丝针头、 圆筒式接 收器、 以及高压电源， 其中： 所述圆筒式接收器设置在所述近场直写纺丝针头的下方， 所述近场直写纺丝针头向所 述圆筒式接收器的圆周面打印纳米纤维图案； 所述高压电源的正极连接所述近场直写纺丝针头， 所述高压电源的负极连接所述圆筒 式接收器。 2.根据权利要求1所述的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 其特征在于， 所述圆筒式接收 器包括筒体外壳、 绝缘支架、 连接转轴、 以及驱动电机， 其中： 所述筒体外壳与所述高压电源的负极连接； 所述绝缘支架为十字形支架， 所述绝缘支架布置在所述筒体外壳内部且所述绝缘支架 的十字交。

4、叉点位于所述筒体外壳轴线上， 所述绝缘支架的端部均与所述筒体外壳连接支撑 所述筒体外壳， 所述绝缘支架的十字交叉处沿所述绝缘支架轴向设置有通孔； 所述连接转轴沿所述通孔贯穿所述绝缘支架， 且所述连接转轴通过所述绝缘支架带动 所述筒体外壳旋转； 所述驱动电机通过驱动所述连接转轴带动所述筒体外壳转动。 3.根据权利要求2所述的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 其特征在于， 所述连接转轴第 一端通过轴套连接所述驱动电机输出端， 并且所述轴套为绝缘轴套。 4.根据权利要求3所述的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 其特征在于： 所述连接转轴第二端与所述高压电源负极电连接； 所述筒体外壳与所述连接转轴电连接。 5。

5、.根据权利要求4所述的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 其特征在于， 所述筒体外壳靠近所述连接转轴第二端的端部设置有电接收基底固定夹件， 所述筒体 外壳通过所述电接收基底固定夹件与所述连接转轴电连接。 6.根据权利要求5所述的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 其特征在于， 所述轴套与所述 连接转轴和所述驱动电机输出端均螺纹连接。 7.根据权利要求1所述的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 其特征在于， 所述近场直写纺 丝针头安装在纺丝针头固定架上， 所述圆筒式接收器通过固定架平台安装在导轨平台上且 随所述导轨平台水平运动， 所述导轨平台安装在气动水平平台上， 其中： 所述固定架平台、 所述导轨平台、 以及所。

6、述气动水平平台由上到下依次水平安装； 所述纺丝针头固定架包括水平支架与竖直支架， 所述竖直支架的顶端水平连接所述水 平支架且所述水平支架位于所述固定架平台的上方， 所述竖直支架的底端与所述气动水平 平台连接； 所述近场直写纺丝针头安装在所述水平支架的下侧面且正对所述圆筒式接收 器。 8.根据权利要求7所述的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 其特征在于， 所述固定架平台 的第一端竖直安装有第一固定板， 所述固定平台的第二端竖直安装有第二固定板， 其中： 所述第一固定板与所述第二固定板相对设置； 所述圆筒式接收器水平且可旋转地布置在所述第一固定板与所述第二固定板之间。 9.根据权利要求7所述的圆筒式静。

7、电纺丝近场直写装置， 其特征在于， 所述水平支架的 下侧面安装有垂直运动导轨， 所述垂直运动导轨上安装有垂直运动执行装置， 所述近场直 权利要求书 1/2 页 2 CN 110656382 A 2 写纺丝针头通过针头紧箍架箍紧安装在所述垂直运动执行装置上。 10.根据权利要求8所述的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 其特征在于， 所述第一固定 板与所述第二固定板均为绝缘板， 并且所述第一固定板与所述第二固定板中的至少一个安 装有电源异性极接口， 所述电源异性极接口与所述高压电源负极电连接， 所述圆筒式接收 器与所述电源异性极接口电连接。 权利要求书 2/2 页 3 CN 110656382 A 3。

8、 一种圆筒式静电纺丝近场直写装置 技术领域 0001 本发明涉及静电纺丝技术领域， 尤其涉及一种圆筒式静电纺丝近场直写装置。 背景技术 0002 静电纺丝技术是一种制备微米/纳米纤维最简单、 方便的方法， 首先由Formhals于 1934年提出。 随后， 利用静电纺丝技术制备聚合物纳米纤维的研究开始广受关注。 在该项研 究之初， 还只是利用静电纺丝技术形成无序的纳米纤维。 直到2006年， 孙道恒等人提出了近 场直写技术， 利用短暂的稳定射流实现了单根纤维的精确沉积， 为直写微加工领域开拓了 新的方法。 0003 3D打印技术是一种通过逐层打印来构建实体的快速成型技术。 市面上的常见3D打 。

9、印设备-熔融沉积模式3D打印机， 无需昂贵的激光设备， 打印材料价格低廉， 总体性价比 高。 其打印原理是将热熔性材料在喷头处加热后挤出， 再通过逐层堆叠的方式实现物体的 构造。 但由于受到喷头直径的限制， 原材料挤出后在形成纤维过程中受到膨胀效应的作用， 造成纤维直径通常比喷头直径粗， 导致以此纤维堆叠而成的三维实体的精细度较差， 不能 满足微纳结构的打印要求。 因此， 基于近场直写技术的3D打印技术就受到了广泛的关注。 该 技术利用近场直写技术制备连续的微米/纳米纤维， 结合有序的纤维堆叠， 实现高精度的三 维结构， 将3D打印技术的应用拓展至更为宽广的领域。 0004 然而目前广泛用于近。

10、场直写技术的接收板通常为一个平面式的导电玻璃或者半 导体硅片， 同时接收板的运动控制需是平面上的XY轴运动， 因此这类接收板及运动控制将 导致极大的可纺面积限制， 无法实现大面积纳米纤维图案的打印。 而且， 平面接收板普遍存 在着， 当相邻两纤维需要极小间距排列时， 新形成的纤维更倾向于重复沉积在已有纤维上 的问题， 存在无法精确沉积的缺陷； 具体的是由于， 已沉积在接收板上的纤维会影响针头与 接收板平面的电场分布， 引起针头与已沉积纤维间的电场力大于针头与接收板上预期沉积 位置间的电场力， 从而使得新形成的纤维重复沉积在已有的纤维上。 因此， 很有必要对现有 技术的静电纺丝直写装置进行结构改。

11、进， 来解决现有技术中所存在的问题。 发明内容 0005 本发明的目的在于提供一种圆筒式静电纺丝近场直写装置， 接收装置采用圆筒式 接收器， 增大了可纺面积， 且缩减了装置占用空间； 此外， 利用圆筒式接收器几何外形而产 生了针头与接收板上预期沉积位置的空间位置优势， 实现极小间距的纤维精确沉积。 0006 为了实现上述目的， 本发明提供了一种圆筒式静电纺丝近场直写装置， 其特征在 于， 包括近场直写纺丝针头、 圆筒式接收器、 以及高压电源， 其中： 圆筒式接收器设置在近场 直写纺丝针头的下方， 近场直写纺丝针头向圆筒式接收器的圆周面打印纳米纤维图案； 高 压电源的正极连接近场直写纺丝针头， 。

12、高压电源的负极连接圆筒式接收器。 0007 进一步的， 圆筒式接收器包括筒体外壳、 绝缘支架、 连接转轴、 以及驱动电机， 其 中： 筒体外壳与高压电源的负极连接； 绝缘支架为十字形支架， 绝缘支架布置在筒体外壳内 说明书 1/6 页 4 CN 110656382 A 4 部且绝缘支架的十字交叉点位于筒体外壳轴线上， 绝缘支架的端部均与筒体外壳连接支撑 所述筒体外壳， 绝缘支架的十字交叉处沿绝缘支架轴向设置有通孔； 连接转轴沿通孔贯穿 绝缘支架， 且连接转轴通过绝缘支架带动筒体外壳旋转； 驱动电机通过驱动连接转轴带动 筒体外壳转动。 0008 进一步的， 连接转轴第一端通过轴套连接驱动电机输出。

13、端， 并且轴套为绝缘轴套。 0009 进一步的， 连接转轴第二端与高压电源负极电连接； 筒体外壳与连接转轴电连接。 0010 进一步的， 筒体外壳靠近连接转轴第二端的端部设置有电接收基底固定夹件， 筒 体外壳通过电接收基底固定夹件与连接转轴电连接。 0011 进一步的， 轴套与连接转轴和驱动电机输出端均螺纹连接。 0012 进一步的， 近场直写纺丝针头安装在纺丝针头固定架上， 圆筒式接收器通过固定 架平台安装在导轨平台上且随导轨平台水平运动， 导轨平台安装在气动水平平台上， 其中： 固定架平台、 导轨平台、 以及气动水平平台由上到下依次水平安装； 纺丝针头固定架包括水 平支架与竖直支架， 竖直。

14、支架的顶端水平连接水平支架且水平支架位于固定架平台的上 方， 竖直支架的底端与气动水平平台连接； 近场直写纺丝针头安装在水平支架的下侧面且 正对圆筒式接收器。 0013 进一步的， 固定架平台的第一端竖直安装有第一固定板， 固定平台的第二端竖直 安装有第二固定板， 其中： 第一固定板与第二固定板相对设置； 圆筒式接收器水平且可旋转 地布置在第一固定板与第二固定板之间。 0014 进一步的， 水平支架的下侧面安装有垂直运动导轨， 垂直运动导轨上安装有垂直 运动执行装置， 近场直写纺丝针头通过针头紧箍架箍紧安装在垂直运动执行装置上。 0015 进一步的， 第一固定板与第二固定板均为绝缘板， 并且第。

15、一固定板与第二固定板 中的至少一个安装有电源异性极接口， 电源异性极接口与高压电源负极电连接， 圆筒式接 收器与电源异性极接口电连接。 0016 本发明的一种圆筒式静电纺丝近场直写装置， 具有以下有益效果： 0017 1、 本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 接收装置采用圆筒式接收器， 增大了 可纺面积， 实现了更大面积的纳米纤维图案的打印； 另外， 本发明的圆筒式接收器极大地缩 减了可实现大面积纳米纤维图案打印的直写装置占用空间； 此外， 本发明充分利用圆筒式 接收器由于其几何外形而产生的针头与接收器上预期沉积位置的空间位置优势， 相对于非 预期的沉积位置， 针头与接收器上预期沉积位置间的。

16、电场力比周围更强， 从而实现了极小 间距的纤维精确沉积。 0018 2、 本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 圆筒式接收器的主体部分为筒体外壳 且通过绝缘支架进行支撑， 这种空间架体式设计， 可显著减轻圆筒式接收器的重量， 从而在 驱动电机驱动下旋转更灵活、 精确。 0019 3、 本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 连接转轴通过绝缘轴套与驱动电机输 出端连接， 从而保证了圆筒式接收器与驱动电机之间的连接绝缘性。 0020 4、 本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 合理设计近场直写纺丝针头、 圆筒式 接收器的承载结构， 如纺丝针头固定架、 固定架平台、 导轨平台、 以及气动水平平台等， 。

17、从而 实现了近场直写装置结构的紧凑性及各活动部件之间的活动协调性。 0021 5、 本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 只需通过近场直写纺丝针头、 圆筒式 说明书 2/6 页 5 CN 110656382 A 5 接收器的单轴移动以及圆筒式接收器的旋转即可实现大面积纺丝， 纺丝控制更加简单。 附图说明 0022 为了更清楚的说明本发明实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍， 显而易见的， 下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提下， 还可以 根据这些附图获得其它附图。 0023 。

18、图1为本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置的整体结构示意图； 0024 图2为本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置的圆筒式接收器的截面结构示意 图； 0025 图3为本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置的圆筒式接收器的布置示意图； 0026 图4为本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置的第二固定板的结构示意图； 0027 图5为本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置的筒体外壳的端部结构示意图； 0028 图6为本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置的近场直写纺丝针头的布置结构示 意图； 0029 图7为本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置的连接转轴的结构示意图； 0030 图中： 1-近场直写纺丝针头、 2-圆筒。

19、式接收器、 21-筒体外壳、 22-绝缘支架、 23-连 接转轴、 24-驱动电机、 241-驱动电机输出端、 3-轴套、 41-电接收基底固定夹件、 42-电源异 性极接口、 43-第一导线、 44-第二导线、 51-固定架平台、 52-导轨平台、 53-气动水平平台、 61-水平支架、 62-竖直支架、 71-第一固定板、 72-第二固定板、 721-转轴孔、 81-垂直运动导 轨、 82-垂直运动执行装置、 83-针头紧箍架； 具体实施方式 0031 下面将结合本发明中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行清楚、 完整的描 述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而不是。

20、全部的实施例。 基于本发明 中的实施例， 本领域普通的技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实 施例， 都属于本发明的保护范围。 0032 如图1所示， 本发明实施例的一种圆筒式静电纺丝近场直写装置， 包括近场直写纺 丝针头1、 圆筒式接收器2、 以及高压电源， 其中： 圆筒式接收器2设置在近场直写纺丝针头1 的下方， 且近场直写纺丝针头1与圆筒式接收器2轴线垂直， 近场直写纺丝针头向圆筒式接 收器的圆周面打印纳米纤维图案； 高压电源的正极连接近场直写纺丝针头1， 高压电源的负 极连接圆筒式接收器2。 0033 具体的， 近场直写纺丝针头1即为打印喷头， 其上可以连接微量注射泵，。

21、 用以不断 向近场直写纺丝针头1提供打印材料， 本发明的近场直写纺丝针头1可以采用现有技术的纺 丝针头， 也可以自行设计， 本发明不做具体限定， 均属于本发明保护范围。 圆筒式接收器2即 对应于现有技术的接收板， 用于接收近场直写纺丝针头1喷出的打印材料且在特定的位置 形成纺丝沉积。 圆筒式接收器2位于近场直写纺丝针头1的正上方且水平布置， 此外， 圆筒式 接收器2与近场直写纺丝针头1可发生沿圆筒式接收器2中心轴线方向的相对运动， 圆筒式 接收器2可绕其中心轴线旋转， 从而实现近场直写纺丝针头1在圆筒式接收器2圆周面打印 说明书 3/6 页 6 CN 110656382 A 6 纳米纤维图案。。

22、 高压电源主要用于与近场直写纺丝针头1和圆筒式接收器2分别电连接， 从 而在二者之间形成特定的电场。 0034 本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 接收装置采用圆筒式接收器2， 增大了可 纺面积， 实现了更大面积的纳米纤维图案的打印； 另外， 本发明的圆筒式接收器2极大地缩 减了可实现大面积纳米纤维图案打印的直写装置占用空间； 此外， 本发明充分利用圆筒式 接收器2由于其几何外形而产生的针头与接收器上预期沉积位置的空间位置优势， 相对于 非预期的沉积位置， 针头与接收器上预期沉积位置间的电场力比周围更强， 从而实现了极 小间距的纤维精确沉积。 0035 更具体的， 在相同场源(U， q)情况。

23、下， 电场强度都与极间距成反比， 因此在本发明 中， 圆筒式接收器2与近场直写纺丝针头1最接近， 即极间距最小处， 就是当前接收板器预期 沉积位置， 比较与非预期的沉积位置， 针头与接收器上预期沉积位置间的电场力比周围更 强， 从而实现了极小间距的纤维精确沉积， 而这都得益于圆筒式接收器在几何空间上的优 点。 0036 在本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置的上述实施例中， 对圆筒式接收器2进 行了单独的结构设计， 如图2、 图3所示， 圆筒式接收器2包括筒体外壳21、 绝缘支架22、 连接 转轴23、 以及驱动电机24， 其中： 筒体外壳21与高压电源的负极连接； 绝缘支架22为十字形 支架，。

24、 绝缘支架22布置在筒体外壳21内部且绝缘支架22的十字交叉点位于筒体外壳21轴线 上， 绝缘支架22的端部均与筒体外壳21连接支撑所述筒体外壳21， 绝缘支架22的十字交叉 处沿绝缘支架22轴向设置有通孔； 连接转轴23沿通孔贯穿绝缘支架22， 且连接转轴23通过 绝缘支架22带动筒体外壳21旋转； 驱动电机24通过驱动连接转轴23带动筒体外壳21转动。 0037 具体的， 筒体外壳21的外表面即为圆筒式接收器2的纺丝接收面， 即在筒体外壳21 外表面上形成纳米纤维图案， 由于纺丝接收面由传统的平面改进为圆形曲面， 从而大大增 加了可纺面积， 实现了更大面积的纳米纤维图案的打印； 此外， 圆。

25、筒式接收器2与现有平面 接收板相比， 打印相同面积的纤维图案， 其所占用的空间更小。 连接转轴23主要用于实现与 驱动电机24轴接传动动力， 此外用于实现筒体外壳21的旋转支撑， 连接转轴23可以通过各 种形式的支撑结构旋转支撑， 例如图1中示出的相对设置的固定板， 对于连接转轴23的支撑 结构本发明不做具体限定， 本领域技术人员可根据实际情况设计。 0038 进一步的， 如图7所示， 连接转轴23第一端(连接转轴靠近驱动电机的一端为第一 端， 远离驱动电机的一端为第二端)通过轴套3连接驱动电机输出端241， 并且轴套3为绝缘 轴套。 具体的， 轴套3的两端均设置有内螺纹， 连接转轴23第一端。

26、及驱动电机输出端241端部 均设置有与轴套3内螺纹匹配的外螺纹， 轴套3与连接转轴23和驱动电机输出端241均通过 螺纹连接， 即轴套3可以是两端均加工有内螺纹的长螺母。 0039 进一步的， 如图1所示， 近场直写纺丝针头1安装在纺丝针头固定架上， 圆筒式接收 器2通过固定架平台51安装在导轨平台52上且随导轨平台52水平运动， 导轨平台52安装在 气动水平平台53上， 其中： 固定架平台51、 导轨平台52、 以及气动水平平台53由上到下依次 水平安装； 纺丝针头固定架包括水平支架61与竖直支架62， 竖直支架62的顶端水平连接水 平支架61且水平支架61位于固定架平台51的上方， 竖直支。

27、架62的底端与气动水平平台53连 接； 近场直写纺丝针头1安装在水平支架61的下侧面且正对圆筒式接收器2， 近场直写纺丝 针头1与圆筒式接收器2的垂直距离可根据打印材料、 所选纺丝针头型号等具体调整， 本发 说明书 4/6 页 7 CN 110656382 A 7 明不做具体限定。 0040 具体的， 固定架平台51为平板式结构， 主要用于圆筒式接收器2的承载与安装； 固 定架平台51安装在导轨平台52上， 可沿导轨平台52滑动； 导轨平台52上布置有导轨， 用于引 导固定架平台51按照指定的轨迹滑动； 导轨平台52安装在气动水平平台53， 气动水平平台 53即为一个水平安装的平台且通过气动方。

28、式可实现竖直方向的升降。 水平支架61与竖直支 架62主要用于实现近场直写纺丝针头1在圆筒式接收器2上方的悬空支撑。 0041 更进一步的， 水平支架61的下侧面安装有垂直运动导轨81， 垂直运动导轨81上安 装有垂直运动执行装置82， 近场直写纺丝针头1通过针头紧箍架83箍紧安装在垂直运动执 行装置82上。 具体的， 垂直运动导轨81即为垂直布置的导轨， 用于引导近场直写纺丝针头1 在竖直方向运动。 垂直运动执行装置82主要用于提供近场直写纺丝针头1垂直滑动的动力， 可选的垂直运动执行装置82可以是伸缩电机， 伸缩电机安装在垂直运动导轨81上， 通过其 动作伸缩电机主体可沿垂直运动导轨81滑。

29、动， 近场直写纺丝针头1箍紧在伸缩电机主体上， 随伸缩电机一起垂直滑动。 0042 进一步的， 如图1、 图3所示， 固定架平台51的第一端竖直安装有第一固定板71， 固 定平台的第二端竖直安装有第二固定板72， 其中： 第一固定板71与第二固定板72相对设置； 圆筒式接收器2水平且可旋转地布置在第一固定板71与第二固定板72之间， 即圆筒式接收 器2的轴线水平且与固定板垂直， 圆筒式接收器2可绕其轴线旋转。 以图3中所示， 固定架平 台51的右端为第一端， 左端为第二端。 0043 进一步的， 如图4、 图5所示， 第一固定板71与第二固定板72均为绝缘板， 并且第一 固定板71与第二固定板。

30、72中的至少一个安装有电源异性极接口42， 电源异性极接口42与高 压电源负极通过电连接， 圆筒式接收器2与电源异性极接口42电连接。 0044 具体的， 连接转轴23第二端所在转轴孔721通过第一导线43与电源异性极接口42 电连接， 从而实现与高压电源负极电连接； 筒体外壳21与连接转轴23通过第二导线44电连 接。 筒体外壳21靠近连接转轴23第二端的端部设置有电接收基底固定夹件41， 电接收基底 固定夹件41作为一个接线端， 筒体外壳21通过电接收基底固定夹件41与连接转轴23电连 接， 即电接收基底固定夹件41与连接转轴23第二端通过第二导线44电连接； 在筒体外壳21 的端部可以设。

31、置端盖， 从而便于第二导线44的布置， 此外也具有一定的防尘效果。 0045 本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 实现了大面积的纳米纤维图案的打印， 且装置占用空间小， 此外实现了极小间距的纤维精确沉积。 0046 为了更清楚的理解本发明的内容， 现对本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置的 工作过程进行简单的描述： 0047 本发明的圆筒式静电纺丝近场直写装置， 首先向近场直写纺丝针头注入纺丝溶液 (或称为打印材料)； 接通高压电源在纺丝针头与圆筒式接收器之间形成高压电场， 纺丝溶 液由高压电源在纺丝针头不断喷出射流； 在近场直写纺丝针头与圆筒式接收器之间的距离 内， 打印材料经过拉伸、 溶剂。

32、挥发或冷却固化等过程， 最终在圆筒式接收器预定位置上形成 纳米级纤维铺层。 当然打印过程中， 圆筒式接收器的移动及旋转根据打印图案轮廓由计算 机控制。 0048 以上借助具体实施例对本发明做了进一步描述， 但是应该理解的是， 这里具体的 描述， 不应理解为对本发明的实质和范围的限定， 本领域内的普通技术人员在阅读本说明 说明书 5/6 页 8 CN 110656382 A 8 书后对上述实施例做出的各种修改， 都属于本发明所保护的范围。 说明书 6/6 页 9 CN 110656382 A 9 图1 图2 说明书附图 1/3 页 10 CN 110656382 A 10 图3 图4 图5 说明书附图 2/3 页 11 CN 110656382 A 11 图6 图7 说明书附图 3/3 页 12 CN 110656382 A 12 。