精密半导体清洗装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910967045.9 (22)申请日 2019.10.12 (71)申请人 盐城矽润半导体有限公司 地址 224500 江苏省盐城市滨海经济开发 区工业园人民南路延伸段 （滨海治润 电子有限公司内） (72)发明人 陈建华薛敬伟王锡胜胡长文 刘庆贵 (74)专利代理机构 北京艾皮专利代理有限公司 11777 代理人 冯铁惠 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/687(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08。

2、B 13/00(2006.01) (54)发明名称 一种精密半导体清洗装置 (57)摘要 本发明涉及半导体技术领域， 公开了一种精 密半导体清洗装置， 包括箱体、 控制器、 水箱、 半 导体进出口、 废水出口； 箱体的内部左侧固定安 装有气缸腔， 气缸腔的内中部固定有气缸， 气缸 的右侧输出端设置有穿过气缸腔的横向的活塞 杆， 活塞杆的末端固定安装有旋转安装块， 旋转 安装块的右侧转动连接有与活塞杆同轴心的连 接杆， 连接杆的末端固定安装有夹持块， 箱体的 内部右侧固定安装有旋转电机腔， 旋转电机腔的 内中部设置有旋转电机， 旋转电机的左侧输出端 转动连接有穿过旋转电机腔的旋转杆， 旋转杆的 。

3、末端也固定安装有夹持块。 夹持块的一侧设置有 夹持口， 位于夹持块上方的箱体的内顶部向下设 置有两组喷水口。 本发明冲洗速度快， 全面， 精度 高， 效果好。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 110676197 A 2020.01.10 CN 110676197 A 1.一种精密半导体清洗装置， 包括箱体 （10） 、 控制器 （11） 、 水箱 （12） 、 半导体进出口 （13） 、 废水出口 （17） ； 箱体 （10） 的左侧壁中部固定安装有控制器 （11） ， 箱体 （10） 的顶部左侧 固定安装有一组水箱 （12） ， 水箱 （12） 的右侧箱体 （10） 上向下开设有。

4、半导体进出口 （13） ， 其 特征在于， 箱体 （10） 设置为透明结构， 箱体 （10） 的内部左侧固定安装有气缸腔 （19） ， 气缸腔 （19） 的内中部固定有气缸 （20） ， 气缸 （20） 的右侧输出端设置有穿过气缸腔 （19） 的横向的活 塞杆 （21） ， 活塞杆 （21） 的末端固定安装有旋转安装块 （22） ， 旋转安装块 （22） 的右侧转动连 接有与活塞杆 （21） 同轴心的连接杆 （23） ， 连接杆 （23） 的末端固定安装有夹持块 （16） ， 箱体 （10） 的内部右侧固定安装有旋转电机腔 （18） ， 旋转电机腔 （18） 的内中部设置有旋转电机 （24） 。

5、， 旋转电机 （24） 的左侧输出端转动连接有穿过旋转电机腔 （18） 的旋转杆 （25） ， 旋转杆 （25） 的末端也固定安装有夹持块 （16） ， 夹持块 （16） 的一侧设置有夹持口 （26） ， 位于夹持块 （16） 上方的箱体 （10） 的内顶部向下设置有两组喷水口 （28） ， 喷水口 （28） 的顶部通过输水管 （29） 连通到固定在箱体 （10） 上表面的水箱 （12） 上， 输水管 （29） 上设置有电磁阀， 箱体 （10） 的底部左右两侧向下开设有废水出口 （17） 。 2.根据权利要求1所述的一种精密半导体清洗装置， 其特征在于， 箱体 （10） 的底部固定 安装有四组。

6、用于保持箱体 （10） 底部稳定的垫块。 3.根据权利要求2所述的一种精密半导体清洗装置， 其特征在于， 箱体 （10） 的横截面设 置为上部半圆形下部矩形。 4.根据权利要求3所述的一种精密半导体清洗装置， 其特征在于， 半导体进出口 （13） 的 中部设置有一组推拉式的口盖 （14） 。 5.根据权利要求4所述的一种精密半导体清洗装置， 其特征在于， 口盖 （14） 的顶部固定 安装有推块 （13） 。 6.根据权利要求1所述的一种精密半导体清洗装置， 其特征在于， 夹持口 （26） 的内表面 固定粘贴有橡胶垫 （27） 。 7.根据权利要求6所述的一种精密半导体清洗装置， 其特征在于， 。

7、气缸 （20） 、 旋转电机 （24） 、 喷水口 （28） 、 电磁阀均与控制器 （11） 电性连接。 8.根据权利要求1或2所述的一种精密半导体清洗装置， 其特征在于， 位于两组废水出 口 （17） 之间的箱体 （10） 的内表面固定安装有一组中部向上凸起的导流板。 权利要求书 1/1 页 2 CN 110676197 A 2 一种精密半导体清洗装置 技术领域 0001 本发明涉及半导体技术领域， 具体是一种精密半导体清洗装置。 背景技术 0002 半导体片的清洗是一项非常精细的工作， 而且半导体片对清洗环境的要求较为苛 刻， 在清洗过程中， 需要保证周边环境的清洁， 同时对半导体片的清洗。

8、也是一项费时费力的 工作。 0003 中国专利 （公告号： CN 110112086 A， 公告日： 2019.08.09） 公开一种半导体片清洗 设备， 包括上料系统、 下料系统、 运转系统和抓取系统， 上料系统和下料系统均包括两条料 带， 通过两条料带的同步运行， 实现半导体片的间歇上料和下料， 当抓取系统在链条的作用 下移动至凸轮环轨的清洗区时， 抓取系统伸入到清洗盒中， 当抓取系统在链条的作用下移 动至凸轮环轨的平行区时， 抓取系统离开清洗盒； 上料系统和下料系统之间设置有开爪限 位器， 当抓取系统运动至上料系统和下料系统时， 与开爪限位器接触， 抓取系统打开。 但是 该清洗设备， 无。

9、法保证能够冲洗半导体的每个位置， 会导致冲洗不全面， 影响冲洗的精度。 发明内容 0004 本发明的目的在于提供主题， 以解决上述背景技术中提出的问题。 0005 为实现上述目的， 本发明提供如下技术方案： 一种精密半导体清洗装置， 包括箱 体、 控制器、 水箱、 半导体进出口、 废水出口； 箱体的左侧壁中部固定安装有控制器， 通过控 制器可控制整个装置各个部件的启停。 箱体设置为透明结构， 便于使用者观察内部的情况。 箱体的顶部左侧固定安装有一组水箱， 水箱的右侧箱体上向下开设有半导体进出口， 箱体 的内部左侧固定安装有气缸腔， 气缸腔的内中部固定有气缸， 气缸的右侧输出端设置有穿 过气缸腔。

10、的横向的活塞杆， 活塞杆的末端固定安装有旋转安装块， 旋转安装块的右侧转动 连接有与活塞杆同轴心的连接杆， 连接杆的末端固定安装有夹持块。 箱体的内部右侧固定 安装有旋转电机腔， 旋转电机腔的内中部设置有旋转电机， 旋转电机的左侧输出端转动连 接有穿过旋转电机腔的旋转杆， 旋转杆的末端也固定安装有夹持块。 夹持块的一侧设置有 夹持口， 夹持口的内部用于夹持半导体本体的一侧， 通过左右两侧夹持块可将从半导体进 出口进入的半导体本体进行夹持固定。 通过启动气缸带动活塞杆左右移动， 进而带动连接 杆末端的夹持块左右调整位置， 通过先将半导体本体的右端放置到旋转杆末端的夹持块 中， 然后通过移动左侧的。

11、连接杆末端的夹持块将半导体本体紧紧的固定在两组夹持块之 间， 然后启动旋转电机带动旋转杆转动， 然后驱动位于两组夹持块之间的半导体本体旋转。 位于夹持块上方的箱体的内顶部向下设置有两组喷水口， 喷水口的顶部通过输水管连通到 固定在箱体上表面的水箱上， 输水管上设置有电磁阀， 用于控制输水管中水的流动， 通过喷 水口向下喷水， 进而对夹持在夹持块之间的半导体本体进行清洗， 通过采用旋转清洗的方 式便于对半导体本体进行全方位的充分的冲洗。 所述箱体的底部左右两侧向下开设有废水 出口， 通过废水出口便于将冲洗的废水排出。 说明书 1/3 页 3 CN 110676197 A 3 0006 作为本发明。

12、进一步的方案： 箱体的底部固定安装有四组用于保持箱体底部稳定的 垫块。 0007 作为本发明进一步的方案： 箱体的横截面设置为上部半圆形下部矩形， 在保持箱 体整体放置稳定的同时， 也可提高箱体的美观性。 0008 作为本发明进一步的方案： 半导体进出口的中部设置有一组推拉式的口盖， 口盖 的顶部固定安装有推块， 通过设置推拉式的口盖便于开合半导体进出口。 0009 作为本发明进一步的方案： 夹持口的内表面固定粘贴有橡胶垫， 橡胶垫的设置在 提高半导体本体夹持力的同时， 也可防止半导体本体受到磨损。 0010 作为本发明进一步的方案： 所述气缸、 旋转电机、 喷水口、 电磁阀均与控制器电性 连。

13、接。 0011 作为本发明再进一步的方案： 位于两组废水出口之间的箱体的内表面固定安装有 一组中部向上凸起的导流板， 导流板的设置便于引导冲洗产生的废水快速的向废水出口中 流动， 防止在箱体的内部发生堆积。 0012 与现有技术相比， 本发明的有益效果是： 通过将待清洗的半导体夹持在箱体的中 间位置， 然后将其设置为旋转状态， 进而再通过两组喷水口对其进行冲洗， 便于全方位的进 行冲洗， 保证冲洗的精度。 附图说明 0013 图1为一种精密半导体清洗装置的外部结构示意图。 0014 图2为一种精密半导体清洗装置的主视内部结构示意图。 0015 图3为一种精密半导体清洗装置中夹持块的结构示意图。。

14、 0016 其中： 箱体10， 控制器11， 水箱12， 半导体进出口13， 口盖14， 半导体本体15， 夹持块 16， 废水出口17， 旋转电机腔18， 气缸腔19， 气缸20， 活塞杆21， 旋转安装块22， 连接杆23， 旋 转电机24， 旋转杆25， 夹持口26， 橡胶垫27， 喷水口28， 输水管29。 具体实施方式 0017 下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。 0018 实施例一 请参阅图1-3， 一种精密半导体清洗装置， 包括箱体10、 控制器11、 水箱12、 半导体进出 口13、 废水出口17； 箱体10的底部固定安装有四组用于保持箱体10底部稳定的。

15、垫块。 箱体10 设置为透明结构， 便于使用者观察内部的情况。 箱体10的横截面设置为上部半圆形下部矩 形， 在保持箱体10整体放置稳定的同时， 也可提高箱体10的美观性。 箱体10的左侧壁中部固 定安装有控制器11， 通过控制器11可控制整个装置各个部件的启停。 箱体10的顶部左侧固 定安装有一组水箱12， 水箱12的右侧箱体10上向下开设有半导体进出口13， 半导体进出口 13的中部设置有一组推拉式的口盖14， 口盖14的顶部固定安装有推块， 通过设置推拉式的 口盖14便于开合半导体进出口13。 0019 箱体10的内部左侧固定安装有气缸腔19， 气缸腔19的内中部固定有气缸20， 气缸 。

16、20的右侧输出端设置有穿过气缸腔19的横向的活塞杆21， 活塞杆21的末端固定安装有旋转 安装块22， 旋转安装块22的右侧转动连接有与活塞杆21同轴心的连接杆23， 连接杆23的末 说明书 2/3 页 4 CN 110676197 A 4 端固定安装有夹持块16。 箱体10的内部右侧固定安装有旋转电机腔18， 旋转电机腔18的内 中部设置有旋转电机24， 旋转电机24的左侧输出端转动连接有穿过旋转电机腔18的旋转杆 25， 旋转杆25的末端也固定安装有夹持块16。 夹持块16的一侧设置有夹持口26， 夹持口26的 内部用于夹持半导体本体15的一侧， 通过左右两侧夹持块16可将从半导体进出口1。

17、3进入的 半导体本体15进行夹持固定。 夹持口26的内表面固定粘贴有橡胶垫27， 橡胶垫27的设置在 提高半导体本体15夹持力的同时， 也可防止半导体本体15受到磨损。 通过启动气缸20带动 活塞杆21左右移动， 进而带动连接杆23末端的夹持块16左右调整位置， 通过先将半导体本 体15的右端放置到旋转杆25末端的夹持块16中， 然后通过移动左侧的连接杆23末端的夹持 块16将半导体本体15紧紧的固定在两组夹持块16之间， 然后启动旋转电机24带动旋转杆25 转动， 然后驱动位于两组夹持块16之间的半导体本体15旋转。 位于夹持块16上方的箱体10 的内顶部向下设置有两组喷水口28， 喷水口2。

18、8的顶部通过输水管29连通到固定在箱体10上 表面的水箱12上， 输水管29上设置有电磁阀， 用于控制输水管29中水的流动， 通过喷水口28 向下喷水， 进而对夹持在夹持块16之间的半导体本体15进行清洗， 通过采用旋转清洗的方 式便于对半导体本体15进行全方位的充分的冲洗。 所述箱体10的底部左右两侧向下开设有 废水出口17， 通过废水出口17便于将冲洗的废水排出。 所述气缸20、 旋转电机24、 喷水口28、 电磁阀均与控制器11电性连接。 0020 本发明的工作原理是： 首先通过半导体进出口13将待清洗的半导体本体15放置到 箱体10的内部， 然后半导体本体15的右侧夹持在右侧夹持块16。

19、的内部， 然后启动气缸20带 动左侧的夹持块16向右移动， 然后将半导体本体15的左侧进行稳固， 然后启动喷水口28将 水箱12中的水向下对半导体本体15进行喷洒， 然后启动旋转电机24带动旋转杆25转动， 进 而带动半导体本体15进行旋转冲洗， 然后冲洗产生的废水通过废水出口17进行排出。 0021 实施例二 在实施例一的基础上， 位于两组废水出口17之间的箱体10的内表面固定安装有一组中 部向上凸起的导流板， 导流板的设置便于引导冲洗产生的废水快速的向废水出口17中流 动， 防止在箱体10的内部发生堆积。 0022 上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明， 但是本专利并不限于上述实施方 式， 在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内， 还可以在不脱离本专利宗旨的前提下 做出各种变化。 说明书 3/3 页 5 CN 110676197 A 5 图1 图2 说明书附图 1/2 页 6 CN 110676197 A 6 图3 说明书附图 2/2 页 7 CN 110676197 A 7 。