紫外线处理装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910863058.1 (22)申请日 2019.09.12 (30)优先权数据 2018-172906 2018.09.14 JP (71)申请人 株式会社日本光电科技 地址 日本国东京都八王子市散田町 丁目 番 号 (72)发明人 山越裕司石井新大原洋 (74)专利代理机构 上海华诚知识产权代理有限 公司 31300 代理人 汤国华 (51)Int.Cl. C02F 1/32(2006.01) A61L 2/10(2006.01) A61L 2/24(2006.01) 。

2、A61L 2/26(2006.01) B01J 19/12(2006.01) C02F 103/04(2006.01) (54)发明名称 紫外线处理装置 (57)摘要 本发明提供一种紫外线处理装置， 在不导致 冷却性能降低的情况下， 实现冷却风扇的失效保 护功能。 紫外线处理装置具备： 容器， 其收纳处理 对象物； 紫外线灯， 其对处理对象物照射紫外线； 以及控制盘(20)， 其收纳有控制对紫外线灯的电 力供给的电路设备， 在该紫外线处理装置中， 为 了冷却控制盘(20)内的电路设备， 在形成于该控 制盘的框体(21)上的一个排气口(22)上串联设 置两个风扇(F1、 F2)。 在运转时， 构。

3、成为， 始终驱 动第一风扇(F1)， 由该第一风扇排出的空气流使 非驱动状态的第二风扇(F2)空转地通过第二风 扇。 具备检测第一风扇(F1)的异常的异常检测器 (25)， 根据由异常检测器检测到第一风扇(F1)的 异常而起动第二风扇(F2)。 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 CN 110902752 A 2020.03.24 CN 110902752 A 1.一种紫外线处理装置， 其特征在于， 具备： 容器， 其收纳处理对象物； 紫外线灯， 其对所述处理对象物照射紫外线； 控制盘， 其收纳有控制向所述紫外线灯的电力供给的电路设备； 以及 两个风扇， 其为了冷却所述控制盘内的电路设备而串。

4、联设置在形成于该控制盘的框体 上的排气口上。 2.根据权利要求1所述的紫外线处理装置， 其特征在于， 在运转时， 始终驱动所述两个风扇中的第一风扇， 由该第一风扇排出的空气流使非驱 动状态的第二风扇空转地通过所述第二风扇。 3.根据权利要求2所述的紫外线处理装置， 其特征在于， 具备异常检测器， 所述异常检测器检测所述第一风扇的异常， 根据由所述异常检测器检测到所述第一风扇的异常而起动所述第二风扇。 4.根据权利要求3所述的紫外线处理装置， 其特征在于， 所述异常检测器是在通电时的风扇的转速变为规定阈值以下时检测为异常的类型， 对 于所述第二风扇则不设置该类型的异常检测器。 5.根据权利要求4。

5、所述的紫外线处理装置， 其特征在于， 在更换检测到异常的所述第一风扇时， 也一起更换所述第二风扇。 6.根据权利要求1至5中的任一项所述的紫外线处理装置， 其特征在于， 在所述控制盘的框体上形成有一个以上的吸气开口。 7.根据权利要求1至5中的任一项所述的紫外线处理装置， 其特征在于， 在所述控制盘的框体上形成有两个以上的排气口， 在每个排气口上至少串联地配置有 两个所述风扇。 8.根据权利要求1至5中的任一项所述的紫外线处理装置， 其特征在于， 所述处理对象物是液体。 权利要求书 1/1 页 2 CN 110902752 A 2 紫外线处理装置 技术领域 0001 本发明涉及紫外线处理装置，。

6、 特别涉及紫外线处理装置所具备的控制设备的冷却 构造的改良。 背景技术 0002 在半导体、 FPD(平板显示器)的工厂中， 在产品的制造工序中使用超纯水。 在该超 纯水的水质项目中有活菌数和TOC(总有机碳)浓度。 使用紫外线杀菌装置作为用于使微生 物灭活的设备， 使用低压UV氧化装置作为用于降低TOC浓度的设备之一。 这些装置在圆筒形 的反应容器内填充有一根或多根发出254nm光或185nm光的紫外线的低压水银灯。 该灯被一 根一根地装入石英制的灯保护管内， 以避免与容器内的被处理水直接接触。 被处理水在该 灯保护管的外侧和反应容器的内侧之间一边被曝露于紫外线一边被压送。 处理水中的微生 。

7、物被曝露在254nm光的紫外线中而被灭活。 该灭活一般也表现为杀菌。 另外， 由曝露在185nm 光的紫外线中的处理水生成OH自由基， OH自由基成为氧化剂， 将TOC氧化分解。 同时， 通过来 自低压水银灯的185nm光和254nm光， 直接分解有机物。 同样的反应只要是发出波长300nm以 下的光源(紫外线灯)， 就不限于低压水银灯， 在中压水银灯、 高压水银灯、 准分子灯等中也 会发生。 作为灯保护管的材料， 使用石英、 蓝宝石、 氟树脂等。 下述专利文献1示出这样的紫 外线处理装置的一例。 0003 但是， 紫外线处理装置附带有用于控制对灯的通电的控制盘， 其中包含的稳定器 的发热量大。

8、， 因此必须设置由空冷用风扇构成的冷却装置。 在该情况下， 为了进行失效保 护， 希望采用双重风扇结构， 使得即使在风扇发生故障时也能够确保冷却性能。 但是， 已知 如果将两个风扇并联地设置在排气口上， 则会产生不良情况。 在并联设置在排气口上的两 个风扇中的一个因故障而停止的情况下， 通过运转着的风扇的吸引力， 外部空气通过该故 障的风扇从排气口向反方向进入， 从吸气口吸入的空气量与之相应地减少， 控制盘内的冷 却性能会降低。 0004 现有技术文献 0005 专利文献 0006 专利文献1： 国际公开WO2016/143829 发明内容 0007 发明要解决的技术问题 0008 本发明是鉴。

9、于上述的点而完成的， 其目的在于提供一种紫外线处理装置， 该紫外 线处理装置对双重风扇的配置进行了改进， 以便能够在不导致冷却性能降低的情况下发挥 失效保护功能。 0009 用于解决问题的技术手段 0010 本发明的紫外线处理装置具备： 容器， 其收纳处理对象物； 紫外线灯， 其对所述处 理对象物照射紫外线； 控制盘， 其收纳有控制向所述紫外线灯的电力供给的电路设备； 以及 说明书 1/4 页 3 CN 110902752 A 3 两个风扇， 其为了冷却所述控制盘内的电路设备而串联设置在形成于该控制盘的框体上的 排气口上。 0011 由于在排气口上串联设置冷却用的两个风扇， 因此即使在其中一台。

10、发生故障的情 况下， 该排气口的排气气流的流动也不会变化， 不会发生外部空气从排气口向相反方向进 入的现象。 因此， 能够尽可能地抑制控制盘内的冷却性能的降低。 0012 在一实施例中， 可以构成为， 在运转时， 始终驱动所述两个风扇中的第一风扇， 由 该第一风扇排出的空气流使非驱动状态的第二风扇空转地通过该第二风扇。 另外， 也可以 具备检测所述第一风扇的异常的异常检测器， 根据由所述异常检测器检测到所述第一风扇 的异常而起动所述第二风扇。 附图说明 0013 图1是概略表示本发明的一实施例的紫外线处理装置的外观的立体图。 0014 图2是表示图1中的控制盘的冷却构造的概略图。 0015 图。

11、3是与控制盘的冷却相关的框图。 具体实施方式 0016 图1是概略表示一实施例的紫外线处理装置10的外观的立体图， 作为一例为对液 体进行紫外线处理的装置， 例如为进行本说明书的开头所述的超纯水处理的装置。 容器11 是具有取入口11a和排出口11b的密闭型的圆筒形容器， 该取入口11a取入作为处理对象物 的液体， 该排出口11b排出处理完毕的液体。 在容器11的内部设置有1个或多个紫外线灯12 (图3)， 向在内部流动的液体(处理对象物)照射紫外线。 在更换灯时等， 通过打开设置在容 器11的端部的盖子11c， 能够接近紫外线灯12， 进行该灯的装卸。 0017 在容器11的外侧的适当部位(。

12、在图示例中为上部)配置有控制盘20。 控制盘20将用 于控制对紫外线灯12的通电的稳定器24等各种电路设备收纳在框体21内。 为了冷却在控制 盘20内发热的稳定器24等， 如图2所示， 在控制盘20的框体21上形成排气口22， 在该排气口 22上串联设置两个风扇F1、 F2。 在控制盘20的框体21的适当部位形成有吸气开口23。 根据设 置在排气口22上的风扇F1、 F2的驱动， 外部空气从吸气开口23被吸引到框体21的内部， 如图 中箭头所示， 在冷的空气流通过框体21内的过程中， 冷却收纳在内部的稳定器24等电路设 备， 成为暖气的空气流从排气口22排出。 当然， 这种空冷(热交换)的结构。

13、本身是公知的。 吸 气开口23不限于一处， 也可以适当地在多处形成， 使得能够有效地冷却内部的稳定器24等 电路设备。 0018 在本发明中， 其特征在于， 在一个排气口22上串联设置有两个风扇F1、 F2。 作为一 个运用方式， 在紫外线处理装置10运转时， 始终驱动(电源接通)两个风扇F1、 F2中的第一风 扇(例如F1)， 其余的第二风扇(例如F2)处于非驱动状态(电源断开)。 在该情况下， 响应于第 一风扇F1的驱动而从排气口22排出的空气流使非驱动状态的第二风扇F2空转(带动旋转) 地通过该第二风扇F2。 始终驱动的第一风扇F1的排气能力具有冷却框体21内的稳定器24等 电路设备所需。

14、的充分的能力。 0019 如后面所述， 在始终驱动的第一风扇F1发生故障时， 起动第二风扇F2， 利用该第二 风扇F2的排气功率从排气口22排出空气流， 由此， 确保框体21内的稳定器24等电路设备的 说明书 2/4 页 4 CN 110902752 A 4 冷却能力。 因此， 优选第二风扇F2的排气能力与所述第一风扇F1相同。 但是， 在实施本发明 时， 第一风扇F1及第二风扇F2不一定限定于具有同等的排气能力， 也可以适当不同。 即， 如 果将第二风扇F2的工作期间看作是到更换发生了故障的第一风扇F1为止的暂时的救济期 间， 则即使第二风扇F2是排气能力比第一风扇F1稍低的风扇， 也能够容。

15、许。 0020 这样， 由于为失效保护用而设置的两个风扇F1、 F2串联设置在一个排气口22上， 因 此即使在一台发生了故障的情况下， 只要另一台工作， 该排气口22中的排气气流的流动方 向就不会变化， 不会发生外部空气从该排气口22向相反方向进入的现象。 因此， 与并联配置 两个风扇F1、 F2的情况相比， 能够尽可能地抑制风扇故障时控制盘20内的冷却性能降低。 0021 图3是与控制盘20的冷却控制相关的框图。 第一风扇F1附带有异常检测器25， 该异 常检测器25在通电时的该风扇的转速变为规定阈值以下时检测为异常。 在紫外线处理装置 10运转时， 风扇切换控制部26以始终驱动(电源接通)。

16、第一风扇F1、 使第二风扇F2处于非驱 动状态(电源断开)的方式控制各风扇的通电。 在由异常检测器25检测到第一风扇F1的异常 时， 风扇切换控制部26根据该异常检测信号自动地进行控制， 以使第一风扇F1的电源断开， 使第二风扇F2处于驱动状态(电源接通)。 由此， 在始终驱动的第一风扇F1发生了故障时， 自 动地起动第二风扇F2， 利用该第二风扇F2的排气功率从排气口22排出空气流， 由此， 能够确 保框体21内的稳定器24等电路设备的冷却能力， 达到失效保护功能。 0022 此外， 在第二风扇F2上， 也可以不必附带地设置所述异常检测器25那样的异常检 测器。 如果将由单纯的转速降低检测器。

17、构成的异常检测器设置在第二风扇F2上， 则在通常 运转时电源断开的第二风扇F2以低转速带动旋转时， 有可能将其检测为转速降低异常， 因 此， 最好不在第二风扇F2上设置异常检测器。 但是， 这样的话， 由于不能检测出第二风扇F2 的异常， 因此在更换发生了故障的第一风扇F1时， 可以考虑进行将没有发生异常的第二风 扇F2也一起更换为新品这样的运用。 0023 在上述实施例中， 在控制盘20的框体21上仅示出了一个排气口22， 但不限于此， 也 可以在框体21上设置两个以上的排气口22。 在这种情况下， 两个风扇F1和F2最好串联配置 在每个排气口上。 但是， 不限于此， 只要在至少一个排气口2。

18、2上串联配置两个风扇F1、 F2即 可。 0024 另外， 也可以在一个排气口22上串联配置三个以上的风扇F1、 F2、 。 这种情况下 的各风扇的电源接通/断开的运用， 只要在紫外线处理装置10运转时， 始终驱动(电源接通) 1个或2个以上的风扇(第一风扇)， 使其余的风扇(第二风扇)处于非驱动状态(电源断开)即 可。 0025 在本发明的紫外线处理装置中， 收纳处理对象物的容器不限于上述那样的密闭型 的容器10， 也可以是上方与外部空间接触的开放型的容器。 另外， 处理对象物不限于水或其 他液体， 也可以是固体物。 在处理对象物为固体物的情况下， 收纳处理对象物的容器是指提 供用于将该处理对象的固体物曝露于放射自紫外线灯12的紫外线的处理空间的处理容器 或处理室。 0026 符号说明 0027 10 紫外线处理装置 0028 11 容器 0029 12 紫外线灯 说明书 3/4 页 5 CN 110902752 A 5 0030 20 控制盘 0031 21 框体 0032 22 排气口 0033 23 吸气开口 0034 24 稳定器 0035 25 异常检测器 0036 26 风扇切换控制部 0037 F1、 F2 风扇。 说明书 4/4 页 6 CN 110902752 A 6 图1 图2 图3 说明书附图 1/1 页 7 CN 110902752 A 7 。