数据处理方法、数据处理装置及记录介质.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910752319.2 (22)申请日 2019.08.15 (30)优先权数据 2018-176256 2018.09.20 JP (71)申请人 株式会社斯库林集团 地址 日本京都府京都市上京区堀川通寺之 内上4丁目天神北町1番地之1 （邮编： 602-8585） (72)发明人 犹原英司藤原友则平藤祐美子 园田敦 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 11205 代理人 马爽臧建明 (51)Int.Cl. G05B 19/418(2006.01) 。

2、(54)发明名称 数据处理方法、 数据处理装置及记录介质 (57)摘要 本发明的数据处理方法包括如下的步骤： 为 了对包括一个以上的处理单元的基板处理装置 中所获得的时序数据进行处理， 对时序数据与基 准数据进行比较而求出时序数据的分数； 将分数 分类成多个等级； 以及针对处理单元， 显示评估 结果画面， 所述评估结果画面包括表示分数的各 等级的产生比例的曲线图、 各等级的产生次数、 表示利用规定的方法对基板进行了处理时的分 数的最差等级的产生次数的随时间的变化的曲 线图。 因此， 提供一种能够容易地掌握基板处理 装置的状态的数据处理方法、 数据处理装置及记 录有数据处理程序的记录介质。 权利。

3、要求书2页 说明书15页 附图17页 CN 110928250 A 2020.03.27 CN 110928250 A 1.一种数据处理方法， 对包括一个以上的处理单元的基板处理装置中所获得的时序数 据进行处理， 所述数据处理方法包括： 评估值计算步骤， 通过对所述时序数据与基准数据进行比较， 而求出所述时序数据的 评估值； 等级判定步骤， 将所述评估值分类成多个等级； 以及 结果显示步骤， 针对所述处理单元， 显示包括第一曲线图的评估结果画面， 所述第一曲 线图表示所述评估值的各等级的产生比例。 2.根据权利要求1所述的数据处理方法， 其特征在于， 所述第一曲线图以等级越差越容 易识别的形态。

4、来显示。 3.根据权利要求2所述的数据处理方法， 其特征在于， 所述第一曲线图以等级越差越深 的颜色来显示。 4.根据权利要求1所述的数据处理方法， 其特征在于， 所述第一曲线图是圆形曲线图或 条形曲线图。 5.根据权利要求1所述的数据处理方法， 其特征在于， 所述评估结果画面针对所述处理 单元， 还包括所述评估值的各等级的产生次数。 6.根据权利要求1所述的数据处理方法， 其特征在于， 所述评估结果画面针对所述处理 单元， 还包括第二曲线图， 所述第二曲线图表示利用规定的方法对基板进行了处理时的所 述评估值的最差等级的产生次数的随时间的变化。 7.根据权利要求6所述的数据处理方法， 其特征在。

5、于， 所述第二曲线图是柱状曲线图或 折线曲线图。 8.根据权利要求1所述的数据处理方法， 其特征在于， 还包括： 等级选择步骤， 从所述等级判定步骤中所求出的等级之中， 选择满足所赋予的条件的 基板所相关的等级； 并且 所述结果显示步骤基于所述等级选择步骤中所选择的等级， 显示所述评估结果画面。 9.根据权利要求8所述的数据处理方法， 其特征在于， 所述等级选择步骤至少以基板的 处理期间、 针对基板的处理、 及对基板进行了处理的处理单元中的任一者为条件， 选择所述 等级。 10.根据权利要求1所述的数据处理方法， 其特征在于， 所述结果显示步骤除了所述评 估结果画面以外， 还分层地显示用于选择。

6、求出所述评估值的方法的画面、 显示求出所述评 估值的历史的历史画面、 用于选择显示对象的画面、 及包括所述时序数据的曲线图的画面、 或包括表示所述评估值的随时间的变化的曲线图的趋势画面中的任一者。 11.根据权利要求10所述的数据处理方法， 其特征在于， 所述结果显示步骤显示所述趋 势画面， 在所述趋势画面内的曲线图中， 在所述历史画面内所选择的处理结果所对应的位置标 注有标记。 12.根据权利要求1所述的数据处理方法， 其特征在于， 所述结果显示步骤显示包括如 下的曲线图的日志统计画面， 所述曲线图中， 一个是针对在合计期间内所处理的基板表示 所述评估值的各等级的产生次数的随时间的变化的曲线。

7、图， 一个是针对在所述合计期间内 所处理的基板， 将所述评估值的最差等级的产生次数按产生主要因素加以划分并以排序形 权利要求书 1/2 页 2 CN 110928250 A 2 式表示的曲线图。 13.根据权利要求1所述的数据处理方法， 其特征在于， 所述基准数据是其它时序数据。 14.一种数据处理装置， 对包括一个以上的处理单元的基板处理装置中所获得的时序 数据进行处理， 所述数据处理装置包括： 评估值计算部， 通过对所述时序数据与基准数据进行比较， 而求出所述时序数据的评 估值； 等级判定部， 将所述评估值分类成多个等级； 以及 结果显示部， 针对所述处理单元， 显示包括第一曲线图的评估结。

8、果画面， 所述第一曲线 图表示所述评估值的各等级的产生比例。 15.根据权利要求14所述的数据处理装置， 其特征在于， 所述第一曲线图以等级越差越 容易辨认的形态来显示。 16.根据权利要求14所述的数据处理装置， 其特征在于， 所述评估结果画面针对所述处 理单元， 还包括所述评估值的各等级的产生次数。 17.根据权利要求14所述的数据处理装置， 其特征在于， 所述评估结果画面针对所述处 理单元， 还包括第二曲线图， 所述第二曲线图表示利用规定的方法对基板进行了处理时的 所述评估值的最差等级的产生次数的随时间的变化。 18.根据权利要求14所述的数据处理装置， 其特征在于， 还包括， 等级选择。

9、部， 从所述等级判定部中所求出的等级之中， 选择满足所赋予的条件的基板 所相关的等级； 并且 所述结果显示部基于所述等级选择部中所选择的等级， 显示所述评估结果画面。 19.根据权利要求14所述的数据处理装置， 其特征在于， 所述结果显示部除了所述评估 结果画面以外， 还分层地显示用于选择求出所述评估值的方法的画面、 显示求出所述评估 值的历史的历史画面、 用于选择显示对象的画面、 及包括所述时序数据的曲线图的画面、 或 包括表示所述评估值的随时间的变化的曲线图的趋势画面中的任一者。 20.一种记录有数据处理程序的记录介质， 所述数据处理程序对包括一个以上的处理 单元的基板处理装置中所获得的时。

10、序数据进行处理， 所述记录有数据处理程序的记录介质 的特征在于， 中央处理器利用存储器而使计算机执行： 评估值计算步骤， 通过对所述时序数据与基准数据进行比较， 而求出所述时序数据的 评估值； 等级判定步骤， 将所述评估值分类成多个等级； 以及 结果显示步骤， 针对所述处理单元， 显示包括第一曲线图的评估结果画面， 所述第一曲 线图表示所述评估值的各等级的产生比例。 权利要求书 2/2 页 3 CN 110928250 A 3 数据处理方法、 数据处理装置及记录介质 技术领域 0001 本发明涉及一种数字数据(digital data)处理， 特别是涉及一种由基板处理装置 测定的数据的处理方法。

11、、 处理装置及处理程序。 背景技术 0002 作为检测设备或装置的异常的方法， 已经知道如下的方法： 利用传感器等， 测定表 示设备或装置的动作状态的物理量(例如， 长度、 角度、 时间、 速度、 力、 压力、 电压、 电流、 温 度、 流量等)， 并对按时序顺序排列测定结果而获得的时序数据进行分析。 当设备或装置在 相同条件下进行相同动作时， 如果没有异常， 时序数据就会同样地发生变化。 因此， 可以对 同样地变化的多个时序数据进行相互比较， 检测出异常的时序数据， 并对其进行分析而确 定异常的产生部位或原因。 0003 在半导体基板(以下称为基板)的制造工序中， 利用多个基板处理装置而执行。

12、一系 列的处理。 基板处理装置包含一个以上的处理单元， 所述一个以上的处理单元对基板进行 一系列处理中的特定处理。 处理单元按照预定的顺序(称为方案(recipe)对基板进行处 理。 这时， 基于处理单元的测定结果， 可获得时序数据。 通过对所获得的时序数据进行分析， 能够确定产生有异常的处理单元或异常的原因。 0004 与本申请发明相关联地， 在日本专利特开2001-265431号公报中， 记载了如下的错 误输出方法： 针对单独产生的错误(error)， 将错误信息显示于第一层， 针对因先前的错误 而产生的错误， 将错误信息显示于第二层以下的下位层区。 在国际公开第2003/85504号中，。

13、 记载了一种半导体系统进程(system process)用的图形用户界面(graphical user interface)， 其包括用于显示各种信息的屏幕(screen)。 0005 在基板处理装置中， 基于多个测定结果， 而获得多个时序数据。 因此， 用户(基板处 理装置的操作员(operator)在观察到包含时序数据的所有异常的显示画面时， 无法容易 地掌握基板处理装置的状态。 发明内容 0006 因此， 本发明的目的在于提供一种数据处理方法， 能够容易地掌握基板处理装置 的状态。 0007 本发明的第一方面是一种数据处理方法， 对包括一个以上的处理单元的基板处理 装置中所获得的时序数。

14、据进行处理， 所述数据处理方法包括： 0008 评估值计算步骤， 通过对所述时序数据与基准数据进行比较， 而求出所述时序数 据的评估值； 0009 等级判定步骤， 将所述评估值分类成多个等级； 以及 0010 结果显示步骤， 针对所述处理单元， 显示包括第一曲线图的评估结果画面， 所述第 一曲线图表示所述评估值的各等级的产生比例。 0011 本发明的第二方面根据本发明的第一方面， 所述第一曲线图以等级越差越容易识 说明书 1/15 页 4 CN 110928250 A 4 别的形态来显示。 0012 本发明的第三方面根据本发明的第二方面， 所述第一曲线图以等级越差越深的颜 色来显示。 0013。

15、 本发明的第四方面根据本发明的第一方面至第三方面中的任一方面， 所述第一曲 线图是圆形曲线图或条形曲线图。 0014 本发明的第五方面根据本发明的第一方面至第四方面中的任一方面， 所述评估结 果画面针对所述处理单元， 还包括所述评估值的各等级的产生次数。 0015 本发明的第六方面根据本发明的第一方面至第五方面中的任一方面， 所述评估结 果画面针对所述处理单元， 还包括第二曲线图， 所述第二曲线图表示利用规定的方法对基 板进行了处理时的所述评估值的最差等级的产生次数的随时间的变化。 0016 本发明的第七方面根据本发明的第六方面， 所述第二曲线图是柱状曲线图或折线 曲线图。 0017 本发明的。

16、第八方面根据本发明的第一方面至第七方面中的任一方面， 还包括： 0018 等级选择步骤， 从所述等级判定步骤中所求出的等级之中， 选择满足所赋予的条 件的基板所相关的等级； 并且 0019 所述结果显示步骤基于所述等级选择步骤中所选择的等级， 显示所述评估结果画 面。 0020 本发明的第九方面根据本发明的第八方面， 所述等级选择步骤至少以基板的处理 期间、 针对基板的处理、 及对基板进行了处理的处理单元中的任一者为条件， 选择所述等 级。 0021 本发明的第十方面根据本发明的第一方面至第九方面中的任一方面， 所述结果显 示步骤除了所述评估结果画面以外， 还分层地显示用于选择求出所述评估值的。

17、方法的画 面、 显示求出所述评估值的历史的历史画面、 用于选择显示对象的画面、 及包括所述时序数 据的曲线图的画面、 或包括表示所述评估值的随时间的变化的曲线图的趋势(trend)画面 中的任一者。 0022 本发明的第十一方面根据本发明的第十方面， 所述结果显示步骤显示所述趋势画 面， 0023 在所述趋势画面内的曲线图中， 在所述历史画面内经选择的处理结果所对应的位 置标注有标记。 0024 本发明的第十二方面根据本发明的第一方面至第十一方面中的任一方面， 所述结 果显示步骤显示包括如下的曲线图的日志(log)统计画面， 所述曲线图中， 一个是针对在合 计期间内所处理的基板表示所述评估值的。

18、各等级的产生次数的随时间的变化的曲线图， 一 个是针对在所述合计期间内所处理的基板， 将所述评估值的最差等级的产生次数按产生主 要因素加以划分并以排序形式表示的曲线图。 0025 本发明的第十三方面根据本发明的第一方面至第十二方面中的任一方面， 所述基 准数据是其它时序数据。 0026 本发明的第十四方面是一种数据处理装置， 对包括一个以上的处理单元的基板处 理装置中所获得的时序数据进行处理， 所述数据处理装置包括： 0027 评估值计算部， 通过对所述时序数据与基准数据进行比较， 而求出所述时序数据 说明书 2/15 页 5 CN 110928250 A 5 的评估值； 0028 等级判定部。

19、， 将所述评估值分类成多个等级； 以及 0029 结果显示部， 针对所述处理单元， 显示包括第一曲线图的评估结果画面， 所述第一 曲线图表示所述评估值的各等级的产生比例。 0030 本发明的第十五方面根据本发明的第十四方面， 所述第一曲线图以等级越差越容 易辨认的形态来显示。 0031 本发明的第十六方面根据本发明的第十四或第十五方面， 所述评估结果画面中， 针对所述处理单元， 还包括所述评估值的各等级的产生次数。 0032 本发明的第十七方面根据本发明的第十四方面至第十六方面中的任一方面， 所述 评估结果画面针对所述处理单元， 还包括第二曲线图， 所述第二曲线图表示利用规定的方 法对基板进行。

20、了处理时的所述评估值的最差等级的产生次数的随时间的变化。 0033 本发明的第十八方面根据本发明的第十四方面至第十七方面中的任一方面， 还包 括： 0034 等级选择部， 从所述等级判定部中所求出的等级之中， 选择满足所赋予的条件的 基板所相关的等级； 并且 0035 所述结果显示部基于所述等级选择部中所选择的等级， 显示所述评估结果画面。 0036 本发明的第十九方面根据本发明的第十四方面至第十八方面中的任一方面， 所述 结果显示部除了所述评估结果画面以外， 还分层地显示用于选择求出所述评估值的方法的 画面、 显示求出所述评估值的历史的历史画面、 用于选择显示对象的画面、 及包括所述时序 数。

21、据的曲线图的画面、 或包括表示所述评估值的随时间的变化的曲线图的趋势画面中的任 一者。 0037 本发明的第二十方面是一种记录有数据处理程序的记录介质， 所述数据处理程序 对包括一个以上的处理单元的基板处理装置中所获得的时序数据进行处理， 在所述记录有 数据处理程序的记录介质中， 中央处理器(Central Processing Unit， CPU)利用存储器而 使计算机执行所述数据处理程序： 0038 评估值计算步骤， 通过对所述时序数据与基准数据进行比较， 而求出所述时序数 据的评估值； 0039 等级判定步骤， 将所述评估值分类成多个等级； 以及 0040 结果显示步骤， 针对所述处理单。

22、元， 显示包括第一曲线图的评估结果画面， 所述第 一曲线图表示所述评估值的各等级的产生比例。 0041 根据所述第一方面、 第十四方面或第二十方面， 针对处理单元， 显示包含第一曲线 图的评估结果画面， 所述第一曲线图表示评估值的各等级的产生比例。 因此， 用户能够通过 观察第一曲线图， 而容易地识别在处理单元中各等级(特别是最差等级)是以何种程度的比 例而产生。 特别是当基板处理装置包含多个处理单元时， 用户通过对多个第一曲线图进行 相互比较， 可以容易地识别在哪个处理单元中以高比例而产生最差等级。 这样， 用户可以容 易地掌握基板处理装置的状态。 0042 根据所述第二方面、 第三方面或第。

23、十五方面， 通过以等级越差越容易识别的形态 (以越深的颜色)显示第一曲线图， 而使得所述效果变得显著。 0043 根据所述第四方面， 通过使用圆形曲线图或条形曲线图作为第一曲线图， 可以容 说明书 3/15 页 6 CN 110928250 A 6 易地表示评估值的各等级的产生比例。 0044 根据所述第五方面或第十六方面， 用户可以获知处理单元的评估值的各等级的产 生次数的准确值。 0045 根据所述第六方面或第十七方面， 用户通过观察第二曲线图， 可以获知最差等级 的产生状况的随时间的变化， 识别处理单元是否接近异常状态。 0046 根据所述第七方面， 通过使用柱状曲线图或折线曲线图作为第。

24、二曲线图， 可以容 易地表示最差等级的产生状况的随时间的变化。 0047 根据所述第八方面或第十八方面， 评估结果画面基于满足条件的基板所相关的评 估值的等级而显示。 因此， 用户给出适当的条件， 可以容易地掌握基板处理装置的状态。 0048 根据所述第九方面， 用户可以容易地掌握特定期间内的处理单元的状态、 已进行 特定处理时的处理单元的状态、 及特定的处理单元的状态。 0049 根据所述第十方面或第十九方面， 通过分层地显示各种画面， 用户可以针对具有 差等级的评估值的基板， 容易地分析时序数据或评估值。 0050 根据所述第十一方面， 用户可以容易地识别在历史画面内经选择的处理结果所对 。

25、应的趋势画面内的曲线图上的位置。 0051 根据所述第十二方面， 用户通过观察日志统计画面， 可以识别评估值的各等级的 产生次数的随时间的变化， 并且容易地识别大量产生最差等级的主要因素。 0052 根据所述第十三方面， 通过使用其它时序数据作为基准数据， 可以针对时序数据 求出适当的评估值。 0053 本发明的这些目的及其它目的、 特征、 形态及效果将参照附图， 利用以下的详细说 明而进一步明确。 附图说明 0054 图1是表示本发明实施方式的数据处理装置的构成的框图。 0055 图2是表示图1所示的基板处理装置的概略构成的图。 0056 图3是将图1所示的数据处理装置的时序数据形成为曲线图。

26、而表示的图。 0057 图4是表示作为图1所示的数据处理装置而发挥作用的计算机的构成例的框图。 0058 图5是表示图1所示的数据处理装置的动作的流程图。 0059 图6是表示图1所示的数据处理装置的评估结果画面的图。 0060 图7是放大地表示图6所示的评估结果画面的一部分的图。 0061 图8是表示图1所示的数据处理装置的方案选择画面的图。 0062 图9(a)与图9(b)是表示图6所示的评估结果画面中所含的图标的变化的图。 0063 图10是表示图6所示的评估结果画面的一部分的图。 0064 图11是表示图1所示的数据处理装置的其它评估结果画面的图。 0065 图12是表示图1所示的数据。

27、处理装置的评分(scoring)设定画面的图。 0066 图13是表示图1所示的数据处理装置的评分历史画面的图。 0067 图14是表示图1所示的数据处理装置的详细分数画面的图。 0068 图15是表示图1所示的数据处理装置的曲线图画面的图。 0069 图16是表示图1所示的数据处理装置的趋势画面的图。 说明书 4/15 页 7 CN 110928250 A 7 0070 图17是表示图1所示的数据处理装置的概要(summary)画面的图。 0071 图18是表示图1所示的数据处理装置的曲线图画面的图。 0072 图19是表示图1所示的数据处理装置的趋势画面的图。 0073 图20是表示图1所。

28、示的数据处理装置的日志统计画面的图。 0074 符号的说明 0075 10： 数据处理装置 0076 11： 数据存储部 0077 12： 分数计算部 0078 13： 等级判定部 0079 14： 分数/等级存储部 0080 15： 过滤部 0081 16： 结果显示部 0082 17： 指示输入部 0083 20： 基板处理装置 0084 21： 分度器部 0085 22： 处理部 0086 23： 匣盒保持部 0087 24： 分度器机器人 0088 25： 处理单元 0089 26： 基板搬运机器人 0090 27： 基板接递部 0091 30： 计算机 0092 31： CPU 00。

29、93 32： 主存储器 0094 33： 存储部 0095 34： 输入部 0096 35： 显示部 0097 36： 通信部 0098 37： 记录介质读取部 0099 38： 键盘 0100 39： 鼠标 0101 40： 记录介质 0102 41： 数据处理程序 0103 50、 59： 评估结果画面 0104 51： 显示区域 0105 52： 圆形曲线图 0106 53： 等级产生次数 0107 54、 9194： 柱状曲线图 0108 5557、 55a、 55b、 8184、 95、 96： 图标 说明书 5/15 页 8 CN 110928250 A 8 0109 58： 下拉。

30、菜单 0110 60： 方案选择画面 0111 61： 开关 0112 62： 方案列表 0113 71： 评分设定画面 0114 72： 评分历史画面 0115 73： 详细分数画面 0116 74、 77： 曲线图画面 0117 75、 78： 趋势画面 0118 76： 概要画面 0119 85： 搜索设定部 0120 86： 搜索按钮 0121 87： 标记 0122 90： 日志统计画面 0123 LV： 等级 0124 RD： 基准数据 0125 SC： 分数 0126 S101S109： 步骤 0127 SD： 时序数据 具体实施方式 0128 以下， 参照附图， 说明本发明实施。

31、方式的数据处理方法、 数据处理装置及数据处理 程序。 本实施方式的数据处理方法典型的是使用计算机而执行。 本实施方式的数据处理程 序是用于使用计算机而实施数据处理方法的程序。 本实施方式的数据处理装置典型的是使 用计算机而构成。 执行数据处理程序的计算机作为数据处理装置而发挥作用。 0129 图1是表示本发明实施方式的数据处理装置的构成的框图。 图1所示的数据处理装 置10包括数据存储部11、 分数计算部12、 等级判定部13、 分数/等级存储部14、 过滤(filter) 部15、 结果显示部16及指示输入部17。 数据处理装置10与基板处理装置20连接而使用。 0130 基板处理装置20包。

32、括多个处理单元25， 在各处理单元25中， 测定表示处理单元25 的动作状态的多个物理量(例如， 长度、 角度、 时间、 速度、 力、 压力、 电压、 电流、 温度、 流量 等。 以下， 也称为参数)。 由此， 可获得多个时序数据SD。 再者， 在这里， 基板处理装置20设为 包含多个处理单元25， 但基板处理装置20也可以包括一个处理单元25。 通常， 基板处理装置 20只要包括一个以上的处理单元25即可。 0131 数据存储部11存储着利用所述方法而求出的时序数据SD、 及时序数据SD的期待值 数据即基准数据RD。 在基准数据RD中， 例如， 可使用多个时序数据之中作为期待值数据而判 断为。

33、最佳的其它时序数据。 分数计算部12针对数据存储部11中所存储的时序数据SD， 求出 评估值(以下称为分数)。 分数计算部12通过从数据存储部11读出与时序数据SD相对应的基 准数据RD， 对两者进行比较， 而求出分数SC。 0132 等级判定部13将分数计算部12中所求出的分数SC分类成多个等级， 输出分数SC的 说明书 6/15 页 9 CN 110928250 A 9 等级LV。 分数/等级存储部14存储着分数计算部12中所求出的分数SC、 及等级判定部13中所 求出的等级LV。 过滤部15从分数/等级存储部14中所存储的分数SC及等级LV之中， 选择满足 所赋予的条件的基板所相关的分数。

34、SC及等级LV。 分数计算部12作为评估值计算部而发挥作 用， 过滤部15作为等级选择部而发挥作用。 0133 结果显示部16针对处理单元25， 显示包含曲线图的评估结果画面， 所述曲线图表 示分数SC的各等级的产生比例。 对指示输入部17， 输入来自用户的指示。 用户利用指示输入 部17， 指示分数计算部12的分数的计算方法、 等级判定部13的等级的设定方法、 过滤部15的 过滤方法、 结果显示部16中所显示的画面的选择等。 0134 图2是表示基板处理装置20的概略构成的图。 基板处理装置20包括分度器 (indexer)部21及处理部22。 分度器部21包括多个匣盒保持部23及分度器机器。

35、人24。 处理部 22包括多个处理单元25及基板搬运机器人26。 在匣盒保持部23， 载置收容多个基板的匣盒 (未图示)。 分度器机器人24进行从匣盒取出基板的动作、 及将基板放入至匣盒的动作。 处理 单元25包括用于对基板进行处理的空间(以下称为腔体(chamber)。 腔体与处理单元25一 一对应。 在腔体的内部， 例如， 进行利用处理液清洗基板等的处理。 基板搬运机器人26进行 将基板搬入至处理单元25的动作、 及从处理单元25搬出基板的动作。 处理单元25的个数可 以是任意。 例如， 当处理单元25的个数为十二个时， 将层叠着三个处理单元25的塔形 (tower)结构体设置于基板搬运机。

36、器人26的周围的四个部位。 0135 分度器机器人24从载置于匣盒保持部23的匣盒取出处理对象的基板， 将所取出的 基板经由基板接递部27递交至基板搬运机器人26。 基板搬运机器人26将从分度器机器人24 接收到的基板搬入至对象的处理单元25。 当针对基板的处理结束后， 基板搬运机器人26从 对象的处理单元25取出基板， 将所取出的基板经由基板接递部27递交至分度器机器人24。 分度器机器人24将从基板搬运机器人26接收到的基板放入至对象的匣盒。 分度器部21及处 理部22的控制通过基板处理装置20的控制部(未图示)来进行。 0136 以下， 将处理单元25对一块基板进行的处理称为 “单位处理。

37、” 。 在执行单位处理的 过程中， 在处理单元25中， 利用传感器等而测定多个物理量(参数)。 基于多个物理量的测定 结果， 获得多个时序数据SD。 所获得的多个时序数据SD存储于数据存储部11。 当将时序数据 SD形成为曲线图而表示时， 例如， 如图3中以实线所示。 当将所对应的基准数据RD形成为曲 线图而表示时， 例如， 如图3中以虚线所示。 在图3所示的示例中， 时序数据SD与基准数据RD 相比在上升时延迟。 0137 图4是表示作为数据处理装置10而发挥作用的计算机的构成例的框图。 图4所示的 计算机30包括CPU 31、 主存储器32、 存储部33、 输入部34、 显示部35、 通信。

38、部36及记录介质读 取部37。 对于主存储器32， 例如， 可使用动态随机存取存储器(Dynamic Random Access Memory， DRAM)。 对于存储部33， 例如， 可使用硬盘(hard disk)。 对于输入部34， 例如， 包含键 盘38及鼠标39。 对于显示部35， 例如， 可使用液晶显示器。 通信部36是有线通信或无线通信 的接口电路(interface circuit)。 与基板处理装置20或其它数据处理装置之间的通信使 用通信部36而进行。 记录介质读取部37是记录有程序等的记录介质40的接口电路。 对于记 录介质40， 例如， 可使用只读光盘存储器(Compa。

39、ct Disc Read-Only Memory， CD-ROM)等非 暂时性的记录介质。 再者， 以上所述的计算机30的构成只是一例， 可以使用任意的计算机来 构成数据处理装置10。 说明书 7/15 页 10 CN 110928250 A 10 0138 以下， 说明计算机30作为数据处理装置10而发挥作用的情况。 这时， 存储部33存储 着数据处理程序41、 时序数据SD及基准数据RD。 时序数据SD是利用通信部36从基板处理装 置20接收的数据。 数据处理程序41及基准数据RD例如， 也可以利用通信部36从服务器 (server)或其它计算机接收， 还可以利用记录介质读取部37从记录介。

40、质40读出。 基准数据 RD也可以是由用户利用输入部34从存储部33中所存储的时序数据SD之中选择的数据。 在执 行数据处理程序41时， 数据处理程序41、 时序数据SD及基准数据RD被复制传输至主存储器 32。 CPU 31通过使用主存储器32作为操作用存储器， 执行主存储器32中所存储的数据处理 程序41， 而进行如下的处理， 即， 求出时序数据SD的分数SC的处理、 求出分数SC的等级LV的 处理、 选择满足所赋予的条件的基板所相关的分数SC及等级LV的处理、 基于所选择的分数 SC及等级LV显示评估结果画面的处理等。 这时， 计算机30作为数据处理装置10而发挥作用。 0139 图5是。

41、表示数据处理装置10的动作的流程图。 在数据处理装置10开始动作之前， 在 数据存储部11中存储着时序数据SD及基准数据RD。 数据处理装置10反复执行图5所示的步 骤S101步骤S109。 0140 如图5所示， 分数计算部12判断是否存在未处理的时序数据SD， 在是(Yes)的情况 下进入至步骤S102， 在否(No)的情况下进入至步骤S105(步骤S101)。 在前者的情况下， 分数 计算部12求出未处理的时序数据SD的分数SC(步骤S102)。 在步骤S102中， 分数计算部12通 过对时序数据SD与相对应的基准数据RD进行比较而求出分数SC。 0141 其次， 等级判定部13求出在步。

42、骤S102中所求出的分数SC的等级LV(步骤S103)。 等 级判定部13具有用于分数SC的等级划分的多个阈值。 在步骤S103中， 等级判定部13通过对 步骤S102中所求出的分数SC与多个阈值进行比较， 而求出分数SC的等级LV。 其次， 分数/等 级存储部14存储着步骤S102中所求出的分数SC、 及步骤S103中所求出的等级LV(步骤 S104)。 0142 其次， 结果显示部16判断是否对画面进行更新， 在是(Yes)的情况下进入至步骤 S106， 在否(No)的情况下进入至步骤S101(步骤S105)。 在步骤S105中， 结果显示部16在分 数/等级存储部14存储着新的等级LV时。

43、、 用户输入了指示时等， 判断为对画面进行更新。 0143 在步骤S105中为是(Yes)的情况下， 结果显示部16判断应显示的画面的种类是评 估结果画面还是日志统计画面， 在前者的情况下进入至步骤S107， 在后者的情况下进入至 步骤S109(步骤S106)。 在前者的情况下， 过滤部15从分数/等级存储部14中所存储的分数SC 及等级LV之中， 选择满足所赋予的条件的基板所相关的分数SC及等级LV(步骤S107)。 其次， 结果显示部16基于步骤S107中所选择的分数SC及等级LV， 显示评估结果画面(步骤S108)。 0144 在步骤S106中为日志统计画面的情况下， 结果显示部16显示。

44、日志统计画面(步骤 S109)。 执行步骤S108或步骤S109之后， 数据处理装置10的控制进入至步骤S101。 0145 在图5所示的流程图中， 分数计算部12所进行的步骤S102相当于评估值计算步骤。 等级判定部13所进行的步骤S103相当于等级判定步骤。 过滤部15所进行的步骤S107相当于 等级选择步骤。 结果显示部16所进行的步骤S108及步骤S109相当于结果显示步骤。 0146 以下， 设为基板处理装置20包括12个处理单元25， 等级判定部13将分数SC分类成 四个等级。 当基板处理装置20进行一次单位处理时， 获得多个时序数据SD。 分数计算部12针 对每个基板， 对各时序。

45、数据SD求出分数SC。 等级判定部13对应于分数SC的种类， 具有三个阈 值THa阈值THc(其中， THaTHbTHc)。 等级判定部13利用阈值THa阈值THc将分数SC分 说明书 8/15 页 11 CN 110928250 A 11 类成四个等级。 更详细地说， 等级判定部13将未达THa的分数、 THa以上且未达THb的分数、 THb以上且未达THc的分数及THc以上的分数， 分别分类成等级1等级4。 分数SC越小(分数 SC越好)， 等级LV越小。 等级1等级4之中， 等级1是最佳等级， 等级4是最差等级。 0147 图6是表示结果显示部16所显示的评估结果画面的图。 图6所示的评。

46、估结果画面50 对应于多个处理单元25， 具有多个显示区域51。 多个显示区域51二维地配置于评估结果画 面50内。 在评估结果画面50的左侧部分， 显示基板处理装置20的外观图或识别符 (identifier， ID)、 状态显示图标等。 在评估结果画面50的上侧部分， 显示图标55图标57。 再者， 图6所示的评估结果画面50是差等级的产生次数多时的说明用的画面。 实际上， 差等 级的产生次数少于图6所示的值。 0148 评估结果画面50中， 对应于十二个处理单元25， 具有十二个显示区域51。 在各显示 区域51的内部， 显示圆形曲线图52、 等级产生次数53及柱状曲线图54。 显示于圆。

47、形曲线图52 的内部的字符串 “CHn(n为自然数)” 表示与处理单元25相对应的腔体的编号为n。 0149 在显示评估结果画面50时， 设定分数评估期间(例如三十天)， 关于在分数评估期 间内所处理的基板， 针对处理单元25求出分数SC的等级1等级4的产生次数。 等级产生次 数53包括等级1等级4的产生次数及其合计(在字符T的右下方所标明的数字)。 0150 圆形曲线图52表示等级1等级4的产生比例。 圆形曲线图52以等级越差用户越容 易识别的形态来显示。 在评估结果画面50的背景为白色的情况下， 圆形曲线图52例如以等 级越差越深的颜色来显示。 等级1等级4分别例如以淡水蓝色、 深水蓝色、。

48、 浅蔚蓝色及深蔚 蓝色来显示。 0151 柱状曲线图54表示利用规定的方法对基板进行了处理时的分数的最差等级的产 生次数的随时间的变化。 分数评估期间被分割成三个期间(以下称为第一期间第三期 间)， 从多个方案之中选择一个方案(以下称为特定方案)。 将在第一期间第三期间内对某 个基板(一块基板)以特定方案进行了处理时的结果， 分别称为第一方案处理结果第三方 案处理结果。 柱状曲线图54按时序顺序表示第一方案处理结果第三方案处理结果所含的 等级4的产生次数。 在柱状曲线图54的各柱状线上， 显示等级4的产生次数。 在柱状曲线图54 的各柱状线下， 分别显示为 “旧的(old)” 、“中等(mid。

49、dle)” 及 “最新(latest)” 。 柱状曲线图 54以最高的柱状线的高度为固定的方式， 对高度进行调整而显示。 0152 当分数评估期间为三十天时， 分数评估期间被分割成从三十天前到二十一天前为 止的第一期间、 从二十天前到十一天前为止的第二期间、 以及从十天前到当天为止的第三 期间。 柱状曲线图54例如， 表示在三十天前利用特定方案对基板进行了处理时的方案处理 结果中所含的等级4的产生次数、 在十五天前利用特定方案对基板进行了处理时的方案处 理结果中所含的等级4的产生次数、 以及当前利用特定方案对基板进行了处理时的方案处 理结果中所含的等级4的产生次数。 0153 用户通过观察评估。

50、结果画面50， 可以容易地掌握基板处理装置20的状态。 特别是 本实施方式的基板处理装置20包含多个处理单元25。 因此， 用户能够容易地掌握多个时序 数据所表示的基板处理装置20的异常状态， 所述多个时序数据在处理单元25中基于多个测 定结果而获得。 0154 再者， 在图6中， 为了附图描绘的方便， 利用白色、 黑色及图案来表现评估结果画面 50， 但实际上， 评估结果画面50是使用多种颜色来显示。 评估结果画面50也可以取代圆形曲 说明书 9/15 页 12 CN 110928250 A 12 线图52， 而包含表示分数的各等级的产生比例的条形曲线图， 还可以取代柱状曲线图54， 而 包。