药液供应装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910725870.8 (22)申请日 2019.08.07 (30)优先权数据 10-2018-0114607 2018.09.27 KR (71)申请人 细美事有限公司 地址 韩国忠清南道天安市 (72)发明人 金载烈郑容徐永昊金大星 吴凡政田光福权铉九孙尚郁 (74)专利代理机构 北京同立钧成知识产权代理 有限公司 11205 代理人 杨贝贝臧建明 (51)Int.Cl. B05C 5/02(2006.01) B05C 11/10(2006.01) (54)发明名称 。

2、药液供应装置 (57)摘要 药液供应装置可包括药液吐出部件、 储存 槽、 药液供应部件及药液循环部件。 所述药液吐 出部件能够向基板上吐出药液， 所述储存槽能够 储存向所述药液吐出部件供应的所述药液。 所述 药液供应部件能够将储存于所述储存槽的所述 药液供应到所述药液吐出部件， 所述药液循环部 件能够从所述药液吐出部件向所述储存槽循环 所述药液。 本发明的药液供应装置能够防止药液 供应装置内的药液停滞或闭塞。 权利要求书2页 说明书8页 附图1页 CN 110947578 A 2020.04.03 CN 110947578 A 1.一种药液供应装置， 其特征在于， 包括： 药液吐出部件， 其用。

3、于向基板上吐出药液； 储存槽， 其用于储存向所述药液吐出部件供应的所述药液； 药液供应部件， 其用于将储存于所述储存槽的所述药液供应到所述药液吐出部件； 以 及 药液循环部件， 其用于从所述药液吐出部件向所述储存槽循环所述药液。 2.根据权利要求1所述的药液供应装置， 其特征在于： 所述药液供应部件包括： 供应线路， 其用于连接所述储存槽与所述药液吐出部件； 以及 供应泵， 其用于从所述储存槽向所述药液吐出部件泵送所述药液， 所述药液循环部件包括： 循环线路， 其用于连接所述药液吐出部件与所述储存槽； 以及 循环泵， 其用于从所述药液吐出部件向所述储存槽泵送所述药液。 3.根据权利要求1所述的。

4、药液供应装置， 其特征在于： 所述药液供应部件连接于所述储存槽的第一部分， 所述药液循环部件连接于所述储存 槽的第二部分。 4.根据权利要求1所述的药液供应装置， 其特征在于， 还包括： 气泡去除部件， 其配置在所述储存槽内用于去除所述药液的内部能够发生的气泡。 5.根据权利要求4所述的药液供应装置， 其特征在于： 所述气泡去除部件包括具有多个孔的至少一个板， 所述至少一个板在所述储存槽的内 部向垂直于所述药液的流动方向的方向将所述储存槽的空间划分为多个区间。 6.根据权利要求5所述的药液供应装置， 其特征在于： 所述至少一个板含有疏水性物质。 7.根据权利要求5所述的药液供应装置， 其特征在。

5、于： 各所述孔具有300 m至500 m的孔。 8.根据权利要求1所述的药液供应装置， 其特征在于， 还包括： 负压供应部件， 其用于向所述药液吐出部件提供负压以保持所述药液吐出部件的弯月 面。 9.根据权利要求8所述的药液供应装置， 其特征在于， 还包括： 负压调节部件， 其用于调整向所述药液吐出部件提供的负压而预定地所述药液吐出部 件的弯月面。 10.根据权利要求9所述的药液供应装置， 其特征在于， 所述负压调节部件包括： 感测部件， 其用于感测所述药液的状态； 以及 控制部件， 其用于根据所述感测部件感测到的所述药液的状态控制所述负压供应部 件。 11.根据权利要求9所述的药液供应装置，。

6、 其特征在于， 所述负压调节部件包括： 感测部件， 其用于感测所述药液的状态； 以及 控制部件， 其用于根据所述感测部件感测到的所述药液的状态控制所述药液供应部件 的供应泵及所述药液循环部件的循环泵。 权利要求书 1/2 页 2 CN 110947578 A 2 12.根据权利要求10或11所述的药液供应装置， 其特征在于， 所述感测部件包括： 第一压力传感器， 其用于感测在所述供应线路的内部流动的所述药液的第一压力； 第二压力传感器， 其用于感测在所述循环线路的内部流动的所述药液的第二压力； 以 及 流量传感器， 其用于感测在所述循环线路的内部流动的所述药液的流量， 其中， 所述控制部件根据。

7、来自所述感测部件的所述第一压力、 所述第二压力及所述流 量控制所述负压供应部件或者， 所述供应泵及所述循环泵。 13.根据权利要求1所述的药液供应装置， 其特征在于， 还包括： 缓冲部件， 其用于吸收能够因所述药液的流动而发生的所述储存槽的振动。 14.根据权利要求1所述的药液供应装置， 其特征在于， 还包括： 缓冲储存槽， 其用于临时储存向所述储存槽供应的所述药液。 15.一种药液供应装置， 其特征在于， 包括： 药液吐出部件， 其用于向基板上吐出药液； 储存槽， 其用于储存向所述药液吐出部件供应的所述药液； 缓冲储存槽， 其用于临时储存向所述储存槽供应的所述药液； 以及 气泡去除部件， 其。

8、配置在所述储存槽的内部， 用于去除从所述储存槽的第二部分向所 述储存槽的第一部分流动的所述药液的内部能够发生的气泡， 所述药液吐出部件连接于所述储存槽的第一部分， 所述缓冲储存槽连接于所述储存槽 的第二部分。 16.根据权利要求15所述的药液供应装置， 其特征在于： 所述气泡去除部件包括具有多个孔的至少一个板， 所述至少一个板在所述储存槽的内 部向垂直于所述药液的流动方向的方向将所述储存槽的空间划分为多个区间。 17.根据权利要求16所述的药液供应装置， 其特征在于： 所述板含有疏水性物质。 18.根据权利要求16所述的药液供应装置， 其特征在于： 各所述孔具有300 m至500 m的直径。 。

9、权利要求书 2/2 页 3 CN 110947578 A 3 药液供应装置 技术领域 0001 本发明的实施例涉及药液供应装置。 更具体来讲， 本发明的实施例涉及包括能够 向基板上吐出药液的药液吐出部件及能够储存所述药液的储存槽的药液供应装置。 0002 本申请享有2018年9月27日向韩国特许厅申请的韩国发明申请第10-2018- 0114607号的优先权。 背景技术 0003 用于液晶显示装置、 有机发光显示装置等显示装置的制造工程的现有的药液供应 装置大体可包括具有用于向基板上吐出药液的多个喷嘴的喷墨头之类的药液吐出部件与 储存供应到所述药液吐出部件的药液的储存槽(reservoir)。。

10、 0004 在现有的药液供应装置中， 从所述储存槽向所述药液吐出部件供应的药液在所述 储存槽内从所述储存槽的一部分向所述储存槽的另一部分流动。 该情况下， 所述药液可能 会停滞于在所述储存槽内或在连接所述储存槽与所述药液吐出部件的药液供应线路内堵 住。 因此， 所述储存槽内的所述药液内可能会发生气泡， 所述药液通过所述药液供应线路的 过程中包含于所述药液内的气泡可能会增大。 含有这种气泡的药液供应到所述药液吐出部 件的情况下， 所述药液可能无法从所述药液吐出部件吐出到所述基板上， 或者所述药液可 能从所述药液吐出部件向所述基板上吐出不充分。 0005 以往为了防止所述气泡的发生及增大导致所述药。

11、液无法吐出或不充分地吐出到 所述基板上而频繁维修保养所述药液吐出部件。 因此， 具有用于维修保养所述药液吐出部 件的费用及时间上升的问题。 所述药液含有被添加颜料的有机溶剂的情况下， 在所述储存 槽内所述有机溶剂内的所述颜料可能会沉淀， 因此所述药液可能无法具备所需的特性。 发明内容 0006 技术问题 0007 本发明的一个目的是提供能够防止药液供应装置内的药液停滞或闭塞的药液供 应装置。 0008 本发明的另一目的是提供能够有效地去除药液供应装置内的药液内能够发生的 气泡的药液供应装置。 0009 技术方案 0010 根据用于达成上述本发明的一个目的的本发明的一个方面， 提供一种可包括药液。

12、 吐出部件、 储存槽、 药液供应部件及药液循环部件的药液供应装置。 所述药液吐出部件能够 向基板上吐出药液， 储存槽能够储存向所述药液吐出部件供应的所述药液。 所述药液供应 部件能够将储存于所述储存槽的所述药液供应到所述药液吐出部件， 所述药液循环部件能 够从所述药液吐出部件向所述储存槽循环所述药液。 0011 根据例示性的实施例， 所述药液供应部件可包括能够连接所述储存槽与所述药液 吐出部件的供应线路及能够从所述储存槽向所述药液吐出部件泵送所述药液的供应泵， 所 说明书 1/8 页 4 CN 110947578 A 4 述药液循环部件可包括能够连接所述药液吐出部件与所述储存槽的循环线路及能够。

13、从所 述药液吐出部件向所述储存槽泵送所述药液的循环泵。 0012 根据例示性的实施例， 所述药液供应部件可连接于所述储存槽的第一部分， 所述 药液循环部件可连接于所述储存槽的第二部分。 0013 根据例示性的实施例， 所述药液供应装置还可以包括配置在所述储存槽内用于去 除所述药液的内部能够发生的气泡的气泡去除部件。 0014 根据例示性的实施例， 所述气泡去除部件可包括具有多个孔的至少一个板， 所述 至少一个板可在所述储存槽的内部向垂直于所述药液的流动方向的方向将所述储存槽的 空间划分为多个区间。 其中， 所述至少一个板可含有疏水性物质。 并且， 各所述孔可具有约 300 m至约500 m的孔。

14、。 0015 根据例示性的实施例， 所述药液供应装置还可以包括用于向所述药液吐出部件提 供负压以保持所述药液吐出部件的弯月面。 0016 根据例示性的实施例， 所述药液供应装置还可以包括能够调整向所述药液吐出部 件提供的负压而预定地所述药液吐出部件的弯月面的负压调节部件。 0017 根据例示性的实施例， 所述负压调节部件可包括能够感测所述药液的状态的感测 部件及能够根据所述感测部件感测到的所述药液的状态控制所述负压供应部件的控制部 件。 0018 根据另一例示性的实施例， 所述负压调节部件可包括能够感测所述药液的状态的 感测部件及能够根据所述感测部件感测到的所述药液的状态控制所述药液供应部件的。

15、供 应泵及所述药液循环部件的循环泵的控制部件。 0019 根据例示性的实施例， 所述感测部件可包括能够感测在所述供应线路的内部流动 的所述药液的第一压力的第一压力传感器、 能够感测在所述循环线路的内部流动的所述药 液的第二压力的第二压力传感器及能够感测在所述循环线路的内部流动的所述药液的流 量的流量传感器。 并且， 所述控制部件能够根据来自所述感测部件的所述第一压力、 所述第 二压力及所述流量控制所述负压供应部件或者， 所述供应泵及所述循环泵。 0020 根据例示性的实施例， 所述药液供应装置还可以包括能够吸收能够因所述药液的 流动而发生的所述储存槽的振动的缓冲部件。 0021 根据例示性的实。

16、施例， 还可以包括能够临时储存向所述储存槽供应的所述药液的 缓冲储存槽。 0022 根据用于达成上述本发明的另一目的的本发明的另一方面， 提供一种可包括药液 吐出部件、 储存槽、 缓冲储存槽及气泡去除部件的药液供应装置。 药液吐出部件能够向基板 上吐出药液， 所述储存槽能够储存向所述药液吐出部件供应的所述药液。 所述缓冲储存槽 能够临时储存向所述储存槽供应的所述药液， 所述气泡去除部件配置在所述储存槽的内 部， 能够去除从所述储存槽的第二部分向所述储存槽的第一部分流动的所述药液的内部能 够发生的气泡。 其中， 所述药液吐出部件可连接于所述储存槽的第一部分， 所述缓冲储存槽 可连接于所述储存槽的。

17、第二部分。 0023 根据例示性的实施例， 所述气泡去除部件可包括具有多个孔的至少一个板， 所述 至少一个板在所述储存槽的内部可向垂直于所述药液的流动方向的方向将所述储存槽的 空间划分为多个区间。 该情况下， 所述板可含有疏水性物质。 并且， 各所述孔可具有约300 m 说明书 2/8 页 5 CN 110947578 A 5 至约500 m的直径。 0024 技术效果 0025 根据本发明的例示性实施例， 能够通过所述药液循环部件持续循环所述药液， 因 此能够防止所述药液在所述储存槽、 所述供应线路及/或所述循环线路内停滞或闭塞。 因此 能够防止所述药液内发生气泡或存储于所述储存槽内的所述药。

18、液的有机溶剂内的颜料沉 淀。 并且， 能够通过所述气泡去除部件有效去除储存于所述储存槽的药液内能够发生的气 泡。 因此所述气泡去除部件能够防止药液不从所述药液吐出部件向所述基板上吐出或向所 述基板上吐出不充分。 尤其， 能够有效地节省用于去除所述药液内能够发生的气泡的时间 与费用。 0026 但本发明的效果不限于上述效果， 在不超出本发明的思想及领域的范围内可进行 多种扩张。 附图说明 0027 图1是用于说明本发明的例示性实施例的药液供应装置的简要流程图； 0028 图2是用于说明本发明的例示性实施例的药液供应装置的气泡去除部件的简要平 面图。 具体实施方式 0029 以下说明本发明的例示性。

19、实施例。 本发明可实施多种变更， 可以具有多种形实施 方式， 说明书对例示性实施例进行详细说明。 但这并非旨在将本发明限定于特定的公开的 实施方式， 应该理解为包括本发明的思想及技术范围内的所有变更、 等同物及替代物。 在说 明各附图时对类似的构成要素使用类似的附图标记。 第一、 第二等术语可用于说明多种构 成要素， 但所述构成要素不得限定于所述术语。 所述术语只是用于使一个构成要素与其他 构成要素相区分。 本申请中使用的术语只是用于说明特定实施例， 而并非限定本发明。 单数 型语句在文中无其他明确说明的情况下还包括复数型语句。 应理解本申请中所述的 “包括” 或 “构成” 等术语旨在指定存在。

20、说明书上记载的特征、 数量、 步骤、 动作、 构成要素、 部件或其 组合， 而不应理解为预先排除一个或多个其他特征或数量、 步骤、 动作、 构成要素、 部件或其 组合的存在或附加可能性。 0030 若无另行定义， 包括技术术语或科学术语在内的在此使用的所有术语均表示与本 发明所属技术领域的普通技术人员通常理解相同的意思。 通常使用的词典中定义过的术语 应解释为与相关技术的文章脉络的意思相一致的意思， 本申请中没有明确定义的情况下不 得解释为理想或过度形式性的意思。 0031 以下参见附图对本发明的例示性实施例的药液供应装置进行更具体的说明。 用相 同或类似的附图标记标注附图中相同或类似的构成要。

21、素。 0032 图1是用于说明本发明的例示性实施例的药液供应装置的简要流程图。 图2是用于 说明本发明的例示性实施例的药液供应装置的气泡去除部件的简要平面图。 0033 参见图1， 药液供应装置100可用于在液晶显示装置、 有机发光显示装置等显示装 置的制造工程向基板上供应药液。 例如， 所述药液供应装置100可在向所述基板上形成滤色 器、 取向膜或有机发光层的工程汇总向所述基板上提供指定的药液。 所述指定的药液可含 说明书 3/8 页 6 CN 110947578 A 6 有根据形成到所述基板上的层含适当的颜料的有机溶剂。 该情况下， 所述药液的有机溶剂 内的所述颜料可能会沉淀。 0034 。

22、如图1所例示， 所述药液供应装置100可包括药液吐出部件11、 储存槽13、 药液供应 部件15及药液循环部件17。 0035 所述药液吐出部件11可向所述基板上供应所述指定的药液。 在例示性实施例中， 所述药液吐出部件11可包括能够向所述基板上以喷墨方式吐出所述药液的多个喷墨头 11a、 11b、 11c。 例如， 所述药液吐出部件11大体可以以三个喷墨头11a、 11b、 11c为一个包 (pack)单位包括喷墨头。 并且， 所述喷墨头11a、 11b、 11c可分别包括能够向所述基板上以喷 墨方式喷射所述药液的多个喷嘴。 0036 在例示性实施例中， 各所述药液吐出部件11的喷墨头11a。

23、、 11b、 11c可包括约128个 或约256个喷嘴。 所述喷嘴可以以预定的间隔排列成一列， 能够以 g单位的量向所述基板上 吐出所述药液。 并且， 各所述药液吐出部件11的喷墨头11a、 11b、 11c可包括多个压电元件， 所述压电元件的数量可实质性地对应于所述喷嘴的数量。 该情况下， 可通过所述压电元件 的动作使得所述药液通过所述喷嘴向所述基板上吐出。 并且， 可通过控制施加到所述压电 元件的电压独立地调节从所述喷嘴吐出的所述药液的量。 0037 所述储存槽13可储存所述药液， 能够向所述药液吐出部件11提供储存的所述药 液。 所述储存槽13的内部可具有用于储存所述药液的预定的空间。 。

24、0038 再次参见图1， 所述药液供应部件15可以将所述药液从所述储存槽13供应到所述 药液吐出部件11。 在例示性实施例中， 所述药液供应部件15可包括供应线路15a及供应泵 15b。 所述供应线路15a可相互连接所述储存槽13与所述药液吐出部件11使得所述药液能够 从储存槽13供应到所述药液吐出部件11。 所述供应泵15b能够将所述药液从所述储存槽13 泵送到所述药液吐出部件11。 并且， 所述供应泵15b能够调节从所述储存槽13向所述药液吐 出部件11供应的药液的量。 0039 所述药液循环部件17能够向所述储存槽13循环提供到所述药液吐出部件11的所 述药液。 根据例示性的实施例， 所。

25、述药液循环部件17能够在所述药液从所述储存槽13流动 到所述药液吐出部件11后使所述药液从所述药液吐出部件11重新流向所述储存槽13。 即， 所述药液能够通过所述药液循环部件17在从所述储存槽13到所述药液吐出部件11之间循 环。 该情况下， 所述药液循环部件17能够从所述药液吐出部件11不经其他构成要素直接向 所述储存槽13循环所述药液。 换而言之， 所述药液循环部件17可以将所述药液吐出部件11 直接连接到所述储存槽13。 0040 根据例示性的实施例， 所述药液循环部件17可包括循环线路17a及循环泵17b。 所 述循环线路17a能够相互连接所述药液吐出部件11与所述储存槽13使得所述药。

26、液能够流动 到所述储存槽13。 所述循环泵17b能够从所述药液吐出部件11向所述储存槽13泵送所述药 液。 并且， 所述循环泵17b能够调节从所述药液吐出部件11向所述储存槽13循环的药液的 量。 例如， 所述循环泵17b可串联于所述循环线路17a。 0041 在例示性实施例中， 所述药液供应部件15从所述储存槽13向所述药液吐出部件11 供应所述药液时， 所述药液能够从所述储存槽13的第一部分流出。 并且， 所述药液循环部件 17从所述药液吐出部件11向所述储存槽13内循环所述药液时， 所述药液能够流入所述储存 槽13的第二部分。 所述药液能够在所述储存槽13内从所述第二部分向所述第一部分流。

27、动。 说明书 4/8 页 7 CN 110947578 A 7 因此， 所述药液供应部件15可连接于所述储存槽13的第一部分， 所述药液循环部件17可连 接于所述储存槽13的第二部分。 0042 如上所述， 所述药液供应部件15可将所述储存槽13连接于所述药液吐出部件11， 所述药液循环部件17能够将所述药液吐出部件11连接于所述储存槽13， 因此所述药液能够 在所述储存槽13与所述药液吐出部件11之间持续循环。 因此， 能够通过所述药液供应部件 15与所述药液循环部件17防止所述药液在所述储存槽13、 所述供应线路15a及/或所述循环 线路17a内停滞或闭塞(blocking)。 其结果， 。

28、能够使得储存于所述储存槽13内的所述药液内 不发生气泡， 能够使得所述储存槽13内的所述药液内所含的所述有机溶剂内含有的颜料不 发生沉淀。 0043 如图2所例示， 所述药液供应装置100还可以包括气泡去除部件19。 0044 参见图1及图2， 所述药液供应装置100的气泡去除部件19可位于所述储存槽13内， 能够实质性地去除在所述储存槽13与所述药液吐出部件11之间循环的所述药液内能够发 生的气泡。 即， 所述气泡去除部件19能够实质性地去除通过所述药液供应部件15与所述药 液循环部件17在所述药液吐出部件11与所述储存槽13之间循环的所述药液内能够发生的 气泡。 并且， 所述气泡去除部件1。

29、9还能够去除循环的所述药液内所含的杂质， 例如， 颗粒物。 0045 在例示性实施例中， 所述气泡去除部件19能够将所述储存槽13内的空间划分为多 个区间。 例如， 所述气泡去除部件19能够将所述储存槽13的空间划分为三个区间。 该情况 下， 所述气泡去除部件19可包括至少一个板。 所述气泡去除部件19在所述储存槽13内可向 实质上垂直于所述药液的流动方向的方向划分所述储存槽13的空间。 例如， 所述气泡去除 部件19可包括向实质上垂直于从所述储存槽13的第二部分向所述储存槽13的第一部分流 动的所述药液的流动方向的方向配置的一个以上的板。 0046 如上所述， 所述气泡去除部件19能够将所述。

30、储存槽13的空间划分成多个区间， 因 此能够防止当向所述药液吐出部件11提供所述药液时及/或从所述药液吐出部件11循环所 述药液时所述储存槽13内的所述药液发生扰流， 防止所述药液在所述储存槽13内波动或旋 转。 因此， 能够最小化或防止在所述储存槽13内流动的所述药液内发生气泡。 0047 如图2所例示， 所述气泡去除部件19能够在去除所述药液内发生的气泡的同时不 阻断或延迟所述储存槽13内所述药液的流动。 在例示性实施例中， 所述气泡去除部件19的 至少一个板上可形成有多个孔33。 例如， 所述气泡去除部件19的所述板的孔33可分别具有 约300 m至约700 m的直径。 优选地， 所述板。

31、的孔33可分别具有约500 m的直径。 因此， 能够通 过所述气泡去除部件19去除大小比所述气泡去除部件19的孔33的直径大的气泡。 但可根据 所述药液吐出部件11的尺寸、 所述药液的种类等调整所述孔33的直径。 换而言之， 能够通过 调整所述气泡去除部件19的孔33的直径去除大小实质上比设定大小大或小的气泡。 另外， 大小实质上比所述设定大小小的气泡能够通过所述气泡去除部件19的孔33， 但这种相对小 的气泡咋所述药液通过所述储存槽13、 所述药液供应部件15、 所述药液吐出部件11及所述 药液循环部件17继续循环期间能够增大成大小实质上比所述设定大小大的气泡。 如上增大 的气泡也最终能够被。

32、所述气泡去除部件19的孔33在所述储存槽13内有效去除。 0048 在另一例示性实施例中， 所述气泡去除部件19的至少一个板的表面31可含疏水性 物质。 例如， 可在所述至少一个板的表面31上涂布疏水性物质。 所述至少一个板的表面31含 有所述疏水性物质的情况下， 向所述药液吐出部件11提供所述药液时及/或从所述药液吐 说明书 5/8 页 8 CN 110947578 A 8 出部件11循环所述药液时， 所述药液不会附在所述板的表面31上或所述板的孔33内部， 因 此， 能够使得所述药液在所述储存槽13内更顺畅地流动。 并且， 所述至少一个板的孔33的内 面上也可分别涂有所述疏水性物质。 00。

33、49 根据图1及图2例示的药液供应装置100， 能够通过包括所述至少一个板的气泡去 除部件19有效地去除所述储存槽13中储存的药液内能够发生的气泡。 其结果， 所述气泡去 除部件19能够防止药液无法从所述药液吐出部件11向所述基板上吐出或无法充分地吐出 到所述基板上。 并且， 能够有效地节省用于去除所述药液内能够发生的气泡的时间与费用。 图1例示所述药液供应装置100的气泡去除部件19包括配置在所述储存槽13内的两个板， 但 可根据所述药液供应装置100的尺寸、 所述药液的种类等增加或减少所述气泡去除部件19 的板的数量。 0050 再次参见图1， 所述药液供应装置100还可以包括负压供应部件。

34、21。 0051 所述负压供应部件21为了在从所述药液吐出部件11向所述基板上提供所述药液 期间保持所述药液吐出部件11的弯月面(meniscus)， 能够向所述药液吐出部件11提供负 压。 并且， 所述负压供应部件21为了使得不向所述药液吐出部件11提供所述药液期间所述 药液吐出部件11仍保持弯月面， 可向所述药液吐出部件11提供所述负压。 尤其， 所述负压供 应部件21为了使得从所述药液吐出部件11向所述储存槽13循环所述药液时所述药液吐出 部件11仍能够保持弯月面， 可向所述药液吐出部件11提供所述负压。 如上， 所述负压供应部 件21能够向所述药液吐出部件11提供所述负压， 因此能够使。

35、得所述药液吐出部件11的喷墨 头11a、 11b、 11c的喷嘴的端部保持所需的弯月面。 0052 在另一例示性实施例中， 所述药液供应装置100可包括正压供应部件(未例示)。 该 情况下， 能够防止不向所述基板上供应所述药液时所述药液吐出部件11的弯月面被所述负 压供应部件21向所述药液吐出部件11提供的所述负压破坏， 在向所述基板上供应所述药液 时， 所述正压供应部件能够向所述药液吐出部件11提供正压适当地保持所述药液吐出部件 11的弯月面。 0053 在所述药液供应装置100中， 所述负压供应部件21可以与所述储存槽13连接成并 联结构。 所述负压供应部件21可由流出部分及流入部分构成。。

36、 其中， 所述负压供应部件21的 流出部分及所述流入部分可分别包括能够比例控制的阀组件。 在另一例示性实施例中， 所 述负压供应部件21的流出部分可包括能够开/闭控制的阀组件， 所述负压供应部件21的流 入部分可包括能够比例控制的阀组件。 如上， 能够通过包括能够分别具有这种阀组件的所 述流出部分及流入部分的负压供应部件21更精密地保持所述药液吐出部件11的弯月面。 0054 在又一例示性实施例中， 所述负压供应部件21可包括双重结构的泵控制器。 通过 这种负压供应部件21在向所述药液吐出部件11提供的所述药液的流量变化的情况下也能 够更精密地保持所述药液吐出部件11的弯月面。 0055 如上。

37、所述， 所述药液供应装置100可包括具有多种构成的负压供应部件21， 因此所 述药液在向所述药液吐出部件11供应时及所述药液未在向所述药液吐出部件11供应时都 能够适当地保持所述药液吐出部件11的弯月面。 0056 在例示性实施例中， 所述药液供应装置100还可以包括负压调节部件23。 所述负压 调节部件23可调整向所述药液吐出部件11提供的所述负压使得供应所述药液及循环所述 药液时所述药液吐出部件11更稳定地保持预定的弯月面。 例如， 所述负压调节部件23可直 说明书 6/8 页 9 CN 110947578 A 9 接控制所述负压供应部件21以更稳定地保持所述药液吐出部件11的弯月面。 选。

38、择性地， 所 述负压调节部件23可通过控制所述药液供应部件15的供应泵15b及所述药液循环部件17的 循环泵17b使所述药液吐出部件11更稳定地保持预定的弯月面。 0057 根据例示性的实施例， 所述负压调节部件23可包括感测部件23a、 23b、 23c及控制 部件23d。 所述感测部件能够感测所述药液的多种状态， 所述控制部件能够根据所述感测部 件感测到的所述药液的状态控制所述负压供应部件21。 具体来讲， 所述感测部件可包括第 一压力传感器23a、 第二压力传感器23b及流量传感器23c。 其中， 所述第一压力传感器23a可 感测在所述药液供应部件15的供应线路15a内流动的所述药液的第。

39、一压力， 所述第二压力 传感器23b可感测在所述药液循环部件17的循环线路17a内流动的所述药液的第二压力。 并 且， 所述流量传感器23c能够感测在所述供应线路15a内流动的所述药液的流量。 所述控制 部件23d能够根据来自所述感测部件的所述药液的第一压力、 所述药液的第二压力及所述 药液的流量控制所述负压供应部件21。 0058 根据例示性的实施例， 根据表示所述药液的第一压力与所述药液的第二压力之间 的差的值与表示所述药液的流量变动的值， 当所述负压不同于预先设定的值的情况下所述 负压调节部件23能够调节所述负压供应部件21。 因此， 通过所述负压供应部件21保持所述 药液吐出部件11的。

40、弯月面期间也能够通过所述负压调节部件23更精密地调整所述药液吐 出部件11的弯月面。 0059 在另一例示性实施例中， 所述负压调节部件23的控制部件23d可根据来自所述感 测部件的所述药液的第一压力、 所述药液的第二压力及所述药液的流量控制所述药液供应 部件15的供应泵15b及所述药液循环部件17的循环泵17b。 因此， 根据表示所述药液的第一 压力及所述药液的第二压力之间的差的值与表示所述药液的流量变动的值， 当所述负压不 同于预先设定的值的情况下， 所述控制部件23d能够优选地调节所述供应泵15b及循环泵 17b。 0060 在另一例示性实施例中， 所述药液供应装置100可包括能够感测所。

41、述储存槽13内 储存的所述药液的水平面的液位传感器、 能够感测所述储存槽13内储存的药液的温度的温 度传感器等。 在又一例示性实施例中， 所述药液供应装置100还可以包括为了使在内部循环 的所述药液保持预定温度而能够加热所述储存槽13内的所述药液的加热部件。 0061 在所述药液供应装置100中， 所述药液通过所述药液吐出部件11、 所述药液供应部 件15、 所述药液循环部件17及所述储存槽13循环能够引起所述储存槽13的振动。 因此， 所述 药液供应装置100可包括能够吸收由于所述药液的循环而能够发生的所述储存槽13的振动 的缓冲部件(damping member)25。 0062 在例示性。

42、实施例中， 所述储存槽13、 所述药液吐出部件11、 所述循环线路17a、 所述 循环泵17b及所述缓冲部件25可配置成实质上串联构成。 例如， 所述储存槽13、 所述药液吐 出部件11、 所述循环线路17a、 所述循环泵17b及所述缓冲部件25可排列成一个循环回路结 构。 0063 在另一例示性实施例中， 所述药液供应装置100可包括能够临时储存向所述储存 槽13供应的所述药液的缓冲储存槽14。 不采用这种缓冲储存槽14而从容纳所述药液的储存 容器(canister)向所述储存槽13直接供应所述药液的情况下， 所述药液吐出部件11的弯月 面可能会被破坏。 例如， 所述药液用来自所述储存容器的。

43、氮气供应到所述储存槽13， 运送所 说明书 7/8 页 10 CN 110947578 A 10 述药液的氮气的压力施加于所述储存槽13而能够破破坏所述药液吐出部件11的弯月面。 考 虑到这种问题， 所述药液供应装置100可包括大体可配置在所述储存槽13的上游的所述缓 冲储存槽14。 0064 根据另一例示性的实施例， 所述药液吐出部件11连接于所述储存槽13的第一部分 的情况下， 所述缓冲储存槽14可连接于所述储存槽13的第二部分。 从所述缓冲储存槽14向 储存槽13供应的所述药液能够从所述储存槽13的第二部分向所述储存槽13的第一部分流 动。 该情况下， 所述气泡去除部件19能够有效地去除在所述储存槽13内流动的所述药液内 能够发生的气泡。 并且， 所述气泡去除部件19可去除所述药液内可能含有的颗粒物之类的 杂质。 0065 本发明的例示性的实施例的药液供应装置可有利地用于液晶显示装置、 有机发光 显示装置等显示装置的制造工程。 0066 以上参见本发明的例示性实施例进行了说明， 但本技术领域的普通技术人员应理 解可以在不超出技术方案记载的本发明的思想及领域的范围内对本发明进行多种修改及 变更。 说明书 8/8 页 11 CN 110947578 A 11 图1 图2 说明书附图 1/1 页 12 CN 110947578 A 12 。