化学气象沉积CVD外管及其加工工艺.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201911331279.0 (22)申请日 2019.12.21 (71)申请人 张忠恕 地址 100000 北京市通州区漷县镇开发区 漷兴三街6号 (72)发明人 张忠恕王连连赵鹤陈强 于洋冯继瑶张娟边占宁 孙云涛李宝军张连兴王建立 (51)Int.Cl. B23P 15/00(2006.01) C23C 16/44(2006.01) C23G 1/02(2006.01) C21D 1/26(2006.01) B08B 3/08(2006.01) (54)发明名称 一种化学气。

2、象沉积CVD外管及其加工工艺 (57)摘要 本发明公开一种化学气象沉积CVD外管及其 加工工艺， 包括石英板、 对接外管、 顶盖、 配重沿、 内口、 石英片、 外对接口， 所述石英板与对接外管 焊接为一体结构， 所述对接外管前端固定有顶 盖， 所述石英板为环形， 且位于石英板外固定设 有配重沿， 所述石英板上开有内口， 位于所述石 英板内紧邻所述内口处固定有石英片， 所述石英 片搭接在石英板内倾斜面上， 所述石英片与石英 板焊接固定。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 110977355 A 2020.04.10 CN 110977355 A 1.一种化学气象沉积CVD外管， 其特征。

3、在于： 包括石英板(1)、 对接外管(2)、 顶盖(3)、 配 重沿(4)、 内口(5)、 石英片(6)、 外对接口(7)， 所述石英板(1)与对接外管(2)焊接为一体结 构， 所述对接外管(2)前端固定有顶盖(3)。 2.根据权利要求1所述的一种化学气象沉积CVD外管， 其特征在于： 所述石英板(1)为环 形， 且位于石英板(1)外固定设有配重沿(4)。 3.根据权利要求1所述的一种化学气象沉积CVD外管， 其特征在于： 所述石英板(1)上开 有内口(5)， 位于所述石英板(1)内紧邻所述内口(5)处固定有石英片(6)， 所述石英片(6)搭 接在石英板(1)内倾斜面上， 所述石英片(6)与石。

4、英板(1)焊接固定。 4.根据权利要求1所述的一种化学气象沉积CVD外管， 其特征在于： 所述石英片(6)上开 有通孔， 且通孔小于所述内口(5)口径。 5.根据权利要求1所述的一种化学气象沉积CVD外管， 其特征在于： 所述顶盖(3)呈弧 形， 所述弧形半径300mm， 所述顶盖(3)与对接外管(2)通过焊接方式固定， 且位于顶盖(3)与 对接外管(2)的连接处固定有R35的圆弧过渡区。 6.根据权利要求1所述的一种化学气象沉积CVD外管， 其特征在于： 所述石英板(1)设有 外对接口(7)， 所述外对接口(7)上开有坡角， 所述坡角与水平方向成40度角。 7.根据权利要求3所述的一种化学气。

5、象沉积CVD外管， 其特征在于： 所述石英板(1)内倾 斜面呈广口状， 所述倾斜面与水平方向成40度。 8.根据权利要求1-7所述的一种化学气象沉积CVD外管的加工工艺， 其特征在于， 加工 工艺如下： 1)根据配件图车削石英板(1)； 2)经过酸洗机两次， 第一次采用2硝酸浸泡， 纯水清洗干净； 第二次采用2氢氟酸浸 泡， 纯水清洗干净； 3)将步骤2进行整体火抛后， 充分退火， 恒温2小时； 4)将步骤3中退火后的石英板(1)经过酸洗机进行酸洗， 采用2氢氟酸浸泡， 纯水清洗 干净， 备用； 5)通过灯工车床对接石英板与对接外管(2)、 顶盖(3)； 6)细研磨石英板、 顶盖接口部位； 2。

6、硝酸浸泡， 纯水清洗干净； 2氢氟酸浸泡， 纯水清 洗干净； 7)整体火抛， 充分退火， 恒温2小时； 8)整体检查后采用酸洗机通过2氢氟酸浸泡， 纯水清洗干净； 9)2硝酸浸泡， 2氢氟酸过酸处理， 纯水清洗干净， 洁净封装， 入库。 权利要求书 1/1 页 2 CN 110977355 A 2 一种化学气象沉积CVD外管及其加工工艺 技术领域 0001 本发明涉及石英技术领域， 尤其涉及一种化学气象沉积CVD外管及其加工工艺。 背景技术 0002 现有化学气象沉积外管体积小， 加工虽然简单， 但是耐用性差， 由于原来的封头采 用封圆头， 不利于操作， 同时原有法兰的对接采用直接对接方式， 。

7、使用性与外管达不到现有 使用要求， 为此本申请人根据需要特别设计了一种新型的化学气象沉积CVD外管。 发明内容 0003 本发明的目的在于提供一种化学气象沉积CVD外管及其加工工艺， 以解决上述背 景技术中提出的问题。 0004 本发明的目的是通过下述技术方案予以实现： 一种化学气象沉积CVD外管， 包括石 英板、 对接外管、 顶盖、 配重沿、 内口、 石英片、 外对接口， 所述石英板与对接外管焊接为一体 结构， 所述对接外管前端固定有顶盖。 0005 进一步地， 所述石英板为环形， 且位于石英板外固定设有配重沿。 0006 进一步地， 所述石英板上开有内口， 位于所述石英板内紧邻所述内口处固。

8、定有石 英片， 所述石英片搭接在石英板内倾斜面上， 所述石英片与石英板焊接固定。 0007 进一步地， 所述石英片上开有通孔， 且通孔小于所述内口口径。 0008 进一步地， 所述顶盖呈弧形， 所述弧形半径300mm， 所述顶盖与对接外管通过焊接 方式固定， 且位于顶盖与对接外管的连接处固定有R35的圆弧过渡区。 0009 进一步地， 所述石英板设有外对接口， 所述外对接口上开有坡角， 所述坡角与水平 方向成40度角。 0010 进一步地， 所述石英板内倾斜面呈广口状， 所述倾斜面与水平方向成40度。 0011 一种化学气象沉积CVD外管的加工工艺， 加工工艺如下： 0012 1)根据配件图车。

9、削石英板； 0013 2)经过酸洗机两次， 第一次采用2硝酸浸泡， 纯水清洗干净； 第二次采用2氢氟 酸浸泡， 纯水清洗干净； 0014 3)将步骤2进行整体火抛后， 充分退火， 恒温2小时； 0015 4)将步骤3中退火后的石英板经过酸洗机进行酸洗， 采用2氢氟酸浸泡， 纯水清 洗干净， 备用； 0016 5)通过灯工车床对接石英板与对接外管、 顶盖； 0017 6)细研磨石英板、 顶盖接口部位； 2硝酸浸泡， 纯水清洗干净； 2氢氟酸浸泡， 纯 水清洗干净； 0018 7)整体火抛， 充分退火， 恒温2小时； 0019 8)整体检查后采用酸洗机通过2氢氟酸浸泡， 纯水清洗干净； 0020 。

10、9)2硝酸浸泡， 2氢氟酸过酸处理， 纯水清洗干净， 洁净封装， 入库。 说明书 1/3 页 3 CN 110977355 A 3 0021 与现有技术相比， 本发明的有益效果是： 该发明对接外管的主管体扩管， 本采用利 用德国阿诺德扩管机， 自主研发扩管工艺进行操作， 自主研发扩管工艺， 使母管由200*9* 3500扩大至450*6*1300， 在加工中克服了母管壁厚度大， 扩管时间长， 易产生析晶和颗粒 的问题。 封头改进为现在的片平底， 贴片的办法， 原来的封头无法达到外观要求， 而且壁厚， 操作者无法将弧顶厚度达到图纸要求， 用圆片V弯方法与管体对接， 保证顶片圆弧平整光 滑， 与国。

11、际先进水平同步。 石英板、 对接外管采用缠法兰方式进行， 管体大法兰缠法兰工艺， 改进对接外管主体管与石英板对接的工艺方法。 该发明直径大， 管体壁厚， 要求平面度高， 透明度高， 整体体积大。 附图说明 0022 图1是本发明整体示意图。 具体实施方式 0023 下面将结合本发明实施例中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行清楚、 完 整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而不是全部的实施例， 基于 本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例， 都属于本发明保护的范围。 0024 如图1所示， 一种化学气象沉积CVD外管。

12、， 包括石英板1、 对接外管2、 顶盖3、 配重沿 4、 内口5、 石英片6、 外对接口7， 所述石英板1与对接外管2焊接为一体结构， 所述对接外管2 前端固定有顶盖3。 0025 在本实施例中， 所述石英板1为环形， 且位于石英板1外固定设有配重沿4。 0026 在本实施例中， 所述石英板1上开有内口5， 位于所述石英板1内紧邻所述内口5处 固定有石英片6， 所述石英片6搭接在石英板1内倾斜面上， 所述石英片6与石英板1焊接固 定。 0027 在本实施例中， 所述石英片6上开有通孔， 且通孔小于所述内口5口径。 0028 在本实施例中， 所述顶盖3呈弧形， 所述弧形半径300mm， 所述顶盖。

13、3与对接外管2通 过焊接方式固定， 且位于顶盖3与对接外管2的连接处固定有R35的圆弧过渡区。 0029 在本实施例中， 所述石英板1设有外对接口7， 所述外对接口7上开有坡角， 所述坡 角与水平方向成40度角。 0030 在本实施例中， 所述石英板1内倾斜面呈广口状， 所述倾斜面与水平方向成40度。 0031 一种化学气象沉积CVD外管的加工工艺， 其特征在于， 加工工艺如下： 0032 1)根据配件图车削石英板1； 0033 2)经过酸洗机两次， 第一次采用2硝酸浸泡， 纯水清洗干净； 第二次采用2氢氟 酸浸泡， 纯水清洗干净； 0034 3)将步骤2进行整体火抛后， 充分退火， 恒温2小。

14、时； 0035 4)将步骤3中退火后的石英板1经过酸洗机进行酸洗， 采用2氢氟酸浸泡， 纯水清 洗干净， 备用； 0036 5)通过灯工车床对接石英板与对接外管2、 顶盖3； 0037 6)细研磨石英板、 顶盖接口部位； 2硝酸浸泡， 纯水清洗干净； 2氢氟酸浸泡， 纯 说明书 2/3 页 4 CN 110977355 A 4 水清洗干净； 0038 7)整体火抛， 充分退火， 恒温2小时； 0039 8)整体检查后采用酸洗机通过2氢氟酸浸泡， 纯水清洗干净； 0040 9)2硝酸浸泡， 2氢氟酸过酸处理， 纯水清洗干净， 洁净封装， 入库。 0041 所述该发明的石英板、 对接外管对接采用缠。

15、法兰方式连接， 所述将原来的接口印 明显改进为缠法兰， 即是在原管上缠石英条片， 使管体与法兰一体， 从外观和使用性上均达 到一流水平。 0042 此管由主体管、 顶片和法兰组成， 法兰面为密封面， 要求平面度1mm， 防止漏气。 顶盖为圆弧形， 使气体更均匀由上至下扩散， 此管相当于一个大型密封容器， 将石英舟、 保 温筒及内管等一些CVD工艺中必备的石英部件装在其中， 通过喷嘴将这个石英部件所需气 体在压力作用下， 慢慢充入管体， 由上至下扩散至管体每一个部位。 在温度作用下， 慢慢沉 积在硅片表面。 由于所用气体多为有毒有害气体， 所以使用时保证密封面法兰与硅胶O环配 合使用， 保证内部。

16、在110-3的真空状态不漏气， 完成CVD工艺化学气相沉积。 0043 对于本领域技术人员而言， 显然本发明不限于上述示范性实施例的细节， 而且在 不背离本发明的精神或基本特征的情况下， 能够以其他的具体形式实现本发明。 因此， 无论 从哪一点来看， 均应将实施例看作是示范性的， 而且是非限制性的， 本发明的范围由所附权 利要求而不是上述说明限定， 因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有 变化囊括在本发明内。 不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。 0044 此外， 应当理解， 虽然本说明书按照实施方式加以描述， 但并非每个实施方式仅包 含一个独立的技术方案， 说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见， 本领域技术人员应当 将说明书作为一个整体， 各实施例中的技术方案也可以经适当组合， 形成本领域技术人员 可以理解的其他实施方式。 说明书 3/3 页 5 CN 110977355 A 5 图1 说明书附图 1/1 页 6 CN 110977355 A 6 。