粒子测定系统.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910144588.0 (22)申请日 2019.02.27 (30)优先权数据 10-2018-0131710 2018.10.31 KR (71)申请人 株式会社HCTM 地址 韩国京畿道利川市麻长面西利川路 578街74号 (72)发明人 李弘揆金哲洪崔廷锡徐永珉 (74)专利代理机构 北京华夏博通专利事务所 (普通合伙) 11264 代理人 刘俊 (51)Int.Cl. G01N 1/34(2006.01) G01N 1/44(2006.01) (54)发明名称 粒。

2、子测定系统 (57)摘要 本发明提供一种粒子测定系统， 具备2个干 燥装置， 在一个干燥装置执行对微细粒子的干燥 功能， 同时， 在另外一个干燥装置执行除湿剂的 再生功能， 从而即使不更换除湿剂， 也可以再生 除湿剂， 可半永久性地使用， 因此， 能够无繁杂的 除湿剂的更换作业的情况下更加便利地予以使 用， 可提高测定结果的连续性及准确度。 权利要求书2页 说明书8页 附图5页 CN 111122278 A 2020.05.08 CN 111122278 A 1.一种粒子测定系统， 其特征在于， 包括： 第一及第二干燥装置， 在两端部形成主流入口及主排出口， 以便微细粒子以浮质状态 流入并排出。

3、， 在中心部形成有与上述主流入口及主排出口连通的主流路， 在内部空间以包 围上述主流路的形态充填除湿剂， 以便对通过上述主流路的浮质状态的微细粒子进行干 燥； 外部空气供给部， 以使得浮质状态的微细粒子与外部空气一同， 有选择地流入到上述 第一及第二干燥装置中某一个的方式动作； 主排出线路， 上流端部分支为第一及第二分支线路而结合到上述第一及第二干燥装置 的主排出口， 以便从上述第一及第二干燥装置排出的浮质状态的微细粒子通过； 主泵， 连接到上述主排出线路的中间， 而以产生微细粒子及空气的流动的方式动作； 粒子检测装置， 连接到上述主排出线路的中间， 而检测从上述第一及第二干燥装置中 某一个排。

4、出的微细粒子； 再生干燥机构， 以有选择地再生干燥充填在上述第一及第二干燥装置中的除湿剂的方 式动作； 及 控制部， 控制上述外部空气供给部及再生干燥机构的动作， 上述控制部控制上述外部空气供给部的动作， 以向上述第一及第二干燥装置中某一个 同时供给微细粒子和外部空气， 与此同时控制上述再生干燥机构的动作来使剩下一个干燥 装置中充填的除湿剂进行再生干燥， 上述再生干燥机构包括： 空气循环供给部， 连接到上述主排出线路的下流端， 将从上述第一及第二干燥装置中 某一个排出的干燥空气供给到剩下的一个； 及 加热器， 配置在上述第一及第二干燥装置的主流路上而发热， 通过热对上述除湿剂进 行再生干燥， 。

5、上述第一及第二干燥装置形成为内部充填有除湿剂， 通过上述空气循环供给部供给的 干燥空气进行再生干燥， 上述加热器应用石英管加热器， 上述石英管加热器是发热线圈被密封在石英管内部的 形态， 上述控制部使上述空气循环供给部和加热器同时动作， 以便通过上述空气循环供给部 的干燥空气和上述加热器的热对上述除湿剂进行再生干燥。 2.根据权利要求1所述的粒子测定系统， 其特征在于， 还包括： 流入口温度湿度传感器， 对流入上述第一及第二干燥装置的主流入口的外部空气的温 度及湿度进行测定； 及 排出口温度湿度传感器， 对从上述第一及第二干燥装置的主排出口排出的干燥空气的 温度及湿度进行测定， 上述控制部接收。

6、上述流入口温度湿度传感器及排出口温度湿度传感器的测定值， 而对 上述外部空气供给部及再生干燥机构的动作进行控制。 3.根据权利要求2所述的粒子测定系统， 其特征在于， 权利要求书 1/2 页 2 CN 111122278 A 2 上述控制部对上述第一及第二干燥装置中当前被供给微细粒子的一个干燥装置， 通过 上述流入口温度湿度传感器及排出口温度湿度传感器的测定值判断干燥性能， 若所判断的 干燥性能为基准值以下， 则将上述外部空气供给部的动作转换为向剩下一个干燥装置供给 微细粒子， 并转换上述再生干燥机构的动作， 以使因上述外部空气供给部的动作转换而被 切断微细粒子供给的干燥装置再生干燥除湿剂。 。

7、4.根据权利要求1所述的粒子测定系统， 其特征在于， 在上述第一及第二干燥装置的两端部， 形成有干燥流入口及干燥排出口， 以使得由上 述空气循环供给部供给的干燥空气进行流入及排出， 上述干燥流入口及干燥排出口与上述 主流路连通。 5.根据权利要求1所述的粒子测定系统， 其特征在于， 上述空气循环供给部包括： 三通阀， 连接到述主排出线路的下流端； 第一空气循环线路， 从上述三通阀连接到上述第一干燥装置的干燥流入口； 及 第二空气循环线路， 从上述三通阀连接到上述第二干燥装置的干燥流入口， 上述控制部转换上述三通阀的内部流路以使从上述主排出线路排出的干燥空气通过 上述第一及第二空气循环线路中某一。

8、个被供给。 6.根据权利要求1所述的粒子测定系统， 其特征在于， 上述控制部控制上述第一及第二干燥装置中某一个上设置的加热器， 以相对高温发热 从而使除湿剂再生干燥， 且控制剩下一个干燥装置上设置的加热器以相对低温发热以便能 够调节外部空气的温度。 7.根据权利要求1所述的粒子测定系统， 其特征在于， 上述外部空气供给部包括： 三通阀， 在一侧连接采样线路， 上述采样线路用于流入含有微细粒子的外部空气； 第一外部空气供给线路， 从上述三通阀连接到上述第一干燥装置的主流入口； 及 第二外部空气供给线路， 从上述三通阀连接到上述第二干燥装置的主流入口， 上述控制部转换上述三通阀的内部流路， 以使通。

9、过上述采样线路流入的微细粒子及外 部空气通过上述第一及第二外部空气供给线路中某一个供给。 8.根据权利要求1所述的粒子测定系统， 其特征在于， 上述第一及第二干燥装置分别包括： 上部主体， 在上端形成有上述主流入口； 下部主体， 在下端形成有上述主排出口； 及 中心壳体， 结合到上述上部主体和下部主体之间， 在中心部配置有中空管形态的网管 以形成上述主流路， 上述网管形成为网状以便浮质状态的微细粒子通过侧壁， 上述除湿剂能够以包围上述网管的外部空间的形态填充到上述中心壳体内。 权利要求书 2/2 页 3 CN 111122278 A 3 粒子测定系统 技术领域 0001 本发明涉及粒子测定系统。

10、。 更具体来说， 涉及如下的粒子测定系统： 具备2个干燥 装置， 在一个干燥装置执行对微细粒子的干燥功能， 同时， 在另外一个干燥装置执行除湿剂 的再生功能， 从而即使不更换除湿剂， 也可以再生除湿剂， 可半永久性地使用， 因此， 能够在 没有除湿剂的更换作业的不便的情况下， 更加便利地予以使用， 可提高测定结果的连续性 及准确度。 背景技术 0002 一般来说， 如半导体工序、 LCD工序那样的纳米水平的高精密工序中， 若在作业设 备内产生污染粒子， 则可能导致致命的产品不合格， 所以在绝对无尘室那样的设备内进行 所述工序以维持高度清洁的状态， 同时在这种设备很严格地执行对污染粒子的实时监视。

11、。 0003 因此， 在这种设备中适用独立的粒子测定系统， 用于测定设备内的污染粒子， 且通 过这种粒子测定系统， 实时地测定设备内的特定腔体中的粒子分布状态。 0004 这种粒子测定系统测定腔体内的粒子的分布状态， 即， 测定粒子的大小及个数等， 因此， 除了用在绝对无尘室设备之外， 还用于测定大气污染粒子的分布状态， 或用于实验室 等测定特定粒子的分布状态， 广泛应用于很多种领域。 0005 尤其是， 最近对作为大气污染粒子的微细粒子的研究活动在活跃进行中， 微细粒 子在大气中通过大气化学反应生成超微细粒子， 产生作为二次污染物质的起因的臭氧。 此 外， 从汽车排出的微细粒子包含大量致癌成。

12、分， 呼吸时不被气管或粘膜所捕获而深入渗透 到肺泡或移动到脑部等容易累积到体内， 以多种形态威胁人们的健康。 0006 为了这种对多种微细粒子的正确测定及研究， 最近广泛采用粒子测定系统， 一般 来说， 微细粒子吸收大气中存在的微量的水分， 或由于水分容易相互凝聚， 所以为了通过粒 子测定系统正确检测出这种微细粒子， 要求在系统上具备可干燥微细粒子的干燥装置。 0007 粒子测定系统的干燥装置， 以将浮质状态的微细粒子与外部空气一同进行加热来 进行干燥的方式构成， 或者以将浮质状态的微细粒子通过除湿剂扩散来进行干燥的方式构 成等多种方式构成。 0008 这种干燥装置根据其构成方式分别存在优缺点。

13、， 在利用除湿剂的扩散干燥装置的 情况下， 虽然有结构简单且制作容易的优点， 但是若使用一定时间以上， 则除湿剂的性能降 低， 所以存在需要周期性更换除湿剂来使用的不便。 尤其是， 在如雨季等湿度高的时期或地 方， 除湿剂的更换周期变得非常快， 这种不便倍增， 若不能正确掌握除湿剂的更换周期， 则 存在粒子测定结果的准确度显著降低的问题。 0009 【现有技术文献】 0010 【专利文献】 0011 (专利文献0001)韩国专利注册第10-1606561号 说明书 1/8 页 4 CN 111122278 A 4 发明内容 0012 【所要解决的技术课题】 0013 本发明是用于解决现有技术的。

14、问题， 本发明的目的在于提供一种粒子测定系统， 具备2个干燥装置， 在一个干燥装置执行对微细粒子的干燥功能， 同时， 在另外一个干燥装 置执行除湿剂的再生功能， 从而即使不更换除湿剂， 也可以再生除湿剂， 可半永久性地使 用， 因此， 可在没有除湿剂的更换作业的不便的情况下更加便利地使用， 可提高测定结果的 连续性和准确度。 0014 本发明的另一目的在于， 将2个干燥装置中某一个当作执行再生功能的再生干燥 机构， 通过使用剩下一个干燥装置排出的干燥空气， 即使在没有另外的附加性复杂装置的 情况下， 也能够简单地执行干燥装置的再生功能， 在活用所排出的干燥空气的这一点上， 能 够高效地利用能量。

15、， 所以提供结构简单且能量转换效率高的粒子测定系统。 0015 本发明的另一目的在于， 提供一种粒子测定系统， 在2个干燥装置配置加热器， 可 利用加热器作为再生干燥机构， 从而可更加迅速执行对干燥装置的再生作业， 并且， 在对干 燥装置的微细粒子执行干燥时， 可通过加热器调节外部空气的温度， 从而可进一步提高微 细粒子测定准确度。 0016 【解决课题的技术方案】 0017 本发明提供粒子测定系统， 该粒子测定系统包括： 第一及第二干燥装置， 在两端部 形成主流入口及主排出口以便微细粒子以浮质状态流入并排出， 在中心部形成有与上述主 流入口及主排出口连通的主流路， 在内部空间以包围上述主流路。

16、的形态充填除湿剂以便对 通过上述主流路的浮质状态的微细粒子进行干燥； 外部空气供给部， 以使得浮质状态的微 细粒子与外部空气一同有选择地流入到上述第一及第二干燥装置中某一个的方式动作； 粒 子检测装置， 对从上述第一及第二干燥装置中某一个排出的微细粒子进行检测； 再生干燥 机构， 以对充填在上述第一及第二干燥装置中的除湿剂有选择地进行再生干燥的方式动 作； 及控制部， 对上述外部空气供给部及再生干燥机构的动作进行控制， 上述控制部控制上 述外部空气供给部的动作来向上述第一及第二干燥装置中某一个一同供给微细粒子和外 部空气， 与此同时对上述再生干燥机构的动作进行控制以将在剩下一个干燥装置中充填的。

17、 除湿剂进行再生干燥。 0018 此外， 上述粒子测定系统还包括： 主排出线路， 上流端部分支为第一及第二分支线 路并结合到上述第一及第二干燥装置的主排出口， 从而使得从上述第一及第二干燥装置排 出的浮质状态的微细粒子通过； 及主泵， 连接到上述主排出线路的中间， 而以产生微细粒子 及空气的流动的方式动作， 上述粒子检测装置连接到上述主排出线路的中间， 检测微细粒 子。 0019 此外， 上述粒子测定系统还包括： 流入口温度湿度传感器， 对流入上述第一及第二 干燥装置的主流入口的外部空气的温度及湿度进行测定； 及排出口温度湿度传感器， 对从 上述第一及第二干燥装置的主排出口排出的干燥空气的温度。

18、及湿度进行测定， 上述控制部 接收上述流入口温度湿度传感器及排出口温度湿度传感器的测定值， 而对上述外部空气供 给部及再生干燥机构的动作进行控制。 0020 此外， 上述控制部对上述第一及第二干燥装置中当前被供给微细粒子的一个干燥 装置， 通过上述流入口温度湿度传感器及排出口温度湿度传感器的测定值判断干燥性能， 说明书 2/8 页 5 CN 111122278 A 5 若所判断的干燥性能为基准值以下， 则将上述外部空气供给部的动作转换为向剩下一个干 燥装置供给微细粒子， 并转换上述再生干燥机构的动作， 以使因上述外部空气供给部的动 作转换而被切断微细粒子供给的干燥装置再生干燥除湿剂。 0021。

19、 此外， 上述再生干燥机构包括空气循环供给部， 该空气循环供给部连接到上述主 排出线路的下流端， 将从上述第一及第二干燥装置中某一个排出的干燥空气向剩下的一个 供给， 上述第一及第二干燥装置构成为充填到内部的除湿剂被通过上述空气循环供给部供 给的干燥空气进行再生干燥。 0022 此外， 在上述第一及第二干燥装置的两端部形成有干燥流入口及干燥排出口， 以 使得由上述空气循环供给部供给的干燥空气进行流入及排出， 上述干燥流入口及干燥排出 口与上述主流路连通。 0023 此外， 上述空气循环供给部包括： 连接到述主排出线路的下流端的三通阀； 从上述 三通阀连接到上述第一干燥装置的干燥流入口的第一空气。

20、循环线路； 及从上述三通阀连接 到上述第二干燥装置的干燥流入口的第二空气循环线路， 上述控制部转换上述三通阀的内 部流路， 以使从上述主排出线路排出的干燥空气通过上述第一及第二空气循环线路中某一 个被供给。 0024 此外， 上述再生干燥机构还包括加热器， 该加热器设置在上述第一及第二干燥装 置的主流路上而进行散热， 上述加热器可通过上述控制部控制动作。 0025 此外， 上述加热器可应用发热线圈被密封在石英管内部的形态的石英管加热器。 0026 此外， 上述控制部控制上述第一及第二干燥装置中某一个上设置的加热器以相对 高温发热从而使除湿剂再生干燥， 且控制剩下一个干燥装置上设置的加热器以相对。

21、低温发 热以便能够调节外部空气的温度。 0027 此外， 上述外部空气供给部包括： 三通阀， 在一侧连接采样线路， 该采样线路用于 流入含有微细粒子的外部空气； 第一外部空气供给线路， 从上述三通阀连接到上述第一干 燥装置的主流入口； 及第二外部空气供给线路， 从上述三通阀连接到上述第二干燥装置的 主流入口， 上述控制部转换上述三通阀的内部流路以使通过上述采样线路流入的微细粒子 及外部空气通过上述第一及第二外部空气供给线路中某一个供给。 0028 此外， 上述第一及第二干燥装置分别包括： 上部主体， 在上端形成有上述主流入 口； 下部主体， 在下端形成有上述主排出口； 及中心壳体， 结合到上述。

22、上部主体和下部主体 之间， 在中心部配置有中空管形态的网管以形成上述主流路， 上述网管形成为网状以便浮 质状态的微细粒子通过侧壁， 上述除湿剂能够以包围上述网管的外部空间的形态填充到上 述中心壳体内。 0029 【发明效果】 0030 根据本发明， 具备2个干燥装置， 在一个干燥装置对微细粒子执行干燥功能， 同时， 在另外一个干燥装置执行除湿剂的再生功能， 由此， 即使不更换除湿剂， 也可以再生除湿 剂， 可半永久性地使用， 因此， 可在没有除湿剂的更换作业的不便的情况下， 能够更加便利 地使用， 可提高测定结果的连续性及正确度。 0031 此外， 在2个干燥装置中某一个上， 将从剩下一个排出。

23、的干燥空气用作执行再生功 能的再生干燥机构， 由此， 即使没有单独的附加性复杂装置， 也能够执行干燥装置的再生功 能， 在应用所排出的干燥空气的这一点上， 能够高效利用能量， 具有结构简单且能效高的效 说明书 3/8 页 6 CN 111122278 A 6 果。 0032 此外， 在2个干燥装置配置加热器， 可将加热器用作再生干燥机构， 从而可更加迅 速执行对干燥装置的再生作业， 并且， 在对干燥装置的微细粒子执行干燥功能时， 可通过加 热器调节外部空气的温度， 具有可提高微细粒子测定准确度的效果。 附图说明 0033 图1是示意性地示出本发明的一实施例的粒子测定系统的结构的图。 0034 。

24、图2是功能性地示出本发明的一实施例的粒子测定系统的结构的框图。 0035 图3是示意性地示出本发明的一实施例的粒子测定系统的干燥装置的结构的图。 0036 图4及图5是示意性地示出本发明的一实施例的粒子测定系统的动作转换状态的 图。 具体实施方式 0037 下面， 参照附图详细说明本发明的优选实施例。 首先， 关于各附图中构成要素的参 考标记的附加， 对于相同的构成要素即便表示于不同的图上也尽量标注了相同的标记。 此 外， 在对本发明的说明中， 若认为对关联公知结构或功能的具体说明可能会使得本发明的 主旨变得不清楚， 则省略其详细说明。 0038 图1是示意性地示出本发明的一实施例的粒子测定系。

25、统的结构的图， 图2是功能性 地示出本发明的一实施例的粒子测定系统的结构的框图， 图3是示意性地示出本发明的一 实施例的粒子测定系统的干燥装置的结构的图， 图4及图5是示意性地示出本发明的一实施 例的粒子测定系统的动作转换状态的图。 0039 本发明的一实施例的粒子测定系统是能够利用2个干燥装置使除湿剂的更换周期 变得很长或可不更换除湿剂而半永久地使用的系统， 其包括： 第一及第二干燥装置100a、 100b、 外部空气供给部200、 粒子检测装置300、 再生干燥机构600及控制部800。 0040 第一及第二干燥装置100a、 100b以利用除湿剂的扩散干燥方式构成为相同形态， 在两端部形。

26、成主流入口121及主排出口122， 以便微细粒子以浮质状态流入并排出， 在中心 部形成与主流入口121及主排出口122连通的主流路123， 在内部空间以包围主流路123的形 态充填除湿剂110， 从而对通过主流路123的浮质状态的微细粒子进行干燥。 0041 若进一步仔细观察第一及第二干燥装置100a、 100b的结构， 包括： 在上端形成有主 流入口121的上部主体101； 在下端形成有主排出口122的下部主体102； 以及中心壳体103， 结合到上部主体101和下部主体102之间， 在中心部配置有中空管形态的网管111以形成主 流路123。 0042 网管111形成为网状以使在主流路123。

27、中流动的浮质状态的微细粒子通过侧壁， 除 湿剂110以包围网管111的外部空间的形态充填到中心壳体103。 浮质状态的微细粒子在主 流路123中流动的过程中， 被包围网管111的除湿剂110进行干燥。 0043 外部空气供给部200以使得浮质状态的微细粒子与外部空气一同， 有选择地流入 第一及第二干燥装置100a、 100b中某一个的方式动作。 0044 这种外部空气供给部200包括： 三通阀220， 在一侧连接采样线路210以便流入含有 微细粒子的外部空气； 第一外部空气供给线路230， 从三通阀220连接到第一干燥装置100a 说明书 4/8 页 7 CN 111122278 A 7 的主。

28、流入口12； 第二外部空气供给线路240， 从三通阀220连接到第二干燥装置100b的主流 入口121。 0045 在采样线路210的末端连接单独的采样装置211， 该采样装置211可向外部空气供 给部200供给微细粒子。 采样装置211可适用生成用于实验的粒子的粒子生成装置， 与此不 同还可以适用可在大气或工厂等空间可适用流入粒子的装置的、 用于将微细粒子与外部空 气一同以浮质状态供给的多种装置。 0046 这种外部空气供给部200转换三通阀220的内部流路， 使得通过采样线路210流入 的微细粒子及外部空气， 再通过从第一及第二外部空气供给线路230、 240中选择的某一个 供给到第一干燥。

29、装置100a或第二干燥装置100b。 三通阀220的内部流路转换动作可通过控 制部800进行控制。 0047 粒子检测装置300检测从第一及第二干燥装置100a、 100b中某一个排出的微细粒 子。 这种粒子检测装置300可利用可测定光散射方式粒子测定传感器等， 可测定粒子的大小 及个数的多种装置。 0048 第一及第二干燥装置100a、 100b的主排出口122上连接主排出线路500， 以便所排 出的浮质状态的微细粒子通过， 粒子检测装置300连接到这种主排出线路500的中间区间， 以检测微细粒子。 在粒子检测装置300的下流端安装流量计310， 用于调节流入粒子检测装 置300的微细粒子的。

30、流量。 0049 主排出线路500的上流端部分支为第一及第二分支线路510、 520， 分别连接到第一 干燥装置100a及第二干燥装置100b。 在第一及第二分支线路510、 520相互结合的部位配置 单独的三通阀530， 通过三通阀530的内部流路转换可产生从第一干燥装置100a及第二干燥 装置100b中选择的某一个装置向主排出线路500的微细粒子及空气的排出流动。 0050 此外， 可在主排出线路500的中间区间连通结合单独的主泵400， 可通过主泵400的 动作在整体系统中产生微细粒子及空气的流动。 在主泵400的下流端可安装流量计410用以 调节微细粒子及空气流动的流量， 在流量计41。

31、0的下流端可安装过滤器420用以过滤所排出 的微细粒子。 0051 再生干燥机构600可分别选择充填到第一及第二干燥装置100a、 100b中的除湿剂 110， 来有选择地进行再生干燥， 控制部800控制外部空气供给部200及再生干燥机构600的 动作。 0052 此时， 控制部800控制外部空气供给部200的动作， 以便向第一及第二干燥装置 100a、 100b中某一个同时供给微细粒子和外部空气， 与此同时控制再生干燥机构600的动 作， 以使充填在剩下一个干燥装置中的除湿剂110再生干燥。 0053 此外， 还具备： 用于测定流入第一及第二干燥装置100a、 100b的主流入口121的外 。

32、部空气的温度及湿度的流入口温度湿度传感器710， 以及用于测定从第一及第二干燥装置 100a、 100b的主排出口122排出的干燥空气的温度及湿度的排出口温度湿度传感器720， 如 图1及图3所示， 流入口温度湿度传感器710可在第一及第二干燥装置100a、 100b的内部空间 分别与主流入口121邻接安装， 如图1所示， 排出口温度湿度传感器720可安装在主排出线路 500上。 当然， 排出口温度湿度传感器720也在第一及第二干燥装置100a、 100b的内部空间， 分别与主排出口122邻接安装。 0054 此时， 控制部800接收流入口温度湿度传感器710及排出口温度湿度传感器720的 说。

33、明书 5/8 页 8 CN 111122278 A 8 测定值， 控制外部空气供给部200及再生干燥机构600的动作。 0055 更具体来说， 控制部800对第一及第二干燥装置100a、 100b中当前被供给微细粒子 的一个干燥装置， 通过流入口温度湿度传感器710及排出口温度湿度传感器720的测定值判 断干燥性能， 若判断的干燥性能为基准值以下， 则转换外部空气供给部200的动作向剩下一 个干燥装置供给微细粒子， 与此同时转换再生干燥机构600的动作， 以使因外部空气供给部 200的动作转换而被切断微细粒子供给的干燥装置再生干燥除湿剂110。 0056 由此， 在某一个干燥装置执行干燥微细粒。

34、子的干燥功能， 在该过程的执行中， 在剩 下一个干燥装置通过再生干燥机构600执行再生干燥除湿剂110的再生功能。 在经过一定期 间之后， 控制部800再次对外部空气供给部200和再生干燥机构600的动作状态进行动作转 换， 以使得在执行干燥功能的干燥装置执行再生功能， 在执行再生功能的干燥装置执行干 燥功能。 通过没一定期间重复这种动作转换过程， 可在一个干燥装置执行对微细粒子的干 燥功能的期间， 在另外一个干燥装置执行对除湿剂110的再生功能， 从而即使不更换除湿剂 110， 也能够继续再生除湿剂110， 从而能够半永久地使用。 0057 对这种控制部800的外部空气供给部200及再生干燥。

35、机构600的动作转换过程， 可 设置成单纯地没一定周期重复， 但是也可以设置成通过当前微细粒子执行干燥功能的干燥 装置的流入口温度湿度传感器710及排出口温度湿度传感器720的测定值判断干燥性能， 根 据判断结果实现动作转换过程。 0058 接下来， 详细说明本发明的一实施例的再生干燥机构600。 0059 如图1及图2所示， 再生干燥机构600可包括空气循环供给部610， 该空气循环供给 部610连接到主排出线路500的下流端， 可将从第一及第二干燥装置100a、 100b中某一个排 出的干燥空气供给到剩下的一个。 0060 此时， 第一及第二干燥装置100a、 100b使充填到内部的除湿剂。

36、110被通过空气循环 供给部610供给的干燥空气进行再生干燥。 例如， 在第一及第二干燥装置100a、 100b的两端 部形成干燥流入口131及干燥排出口132， 以便通过空气循环供给部610供给的干燥空气进 行流入及排出， 干燥流入口131及干燥排出口132形成为与主流路123连通。 0061 空气循环供给部610包括： 三通阀611， 连接到主排出线路500的下流端； 第一空气 循环线路612， 从三通阀611连接到第一干燥装置100a的干燥流入口131； 第二空气循环线路 613， 从三通阀611连接到第二干燥装置100b的干燥流入口131。 0062 控制部800可进行如下的动作控制：。

37、 转换三通阀611的内部流路， 以使从主排出线 路500排出的干燥空气通过第一及第二空气循环线路612、 613中某一个被供给到第一及第 二干燥装置100a、 100b。 0063 此外， 再生干燥机构600更包含配置在第一及第二干燥装置100a、 100b的主流路 123上而散热的加热器620， 加热器620可通过控制部800被控制动作。 0064 如图3所示， 加热器620可适用石英管加热器， 该石英管加热器是在中空管形态的 石英管622内部密封发热线圈621， 该发热线圈621被供给电源而发热。 通过使用这种石英管 加热器， 可防止微细粒子的化学变性， 能够抑制加热器产生新的追加性粒子，。

38、 从而能够提高 微细粒子测定准确度。 此外， 这种石英管加热器， 在石英材质的特性上具有光滑的表面， 所 以在微细粒子的流动过程中防止在加热器表面沉积粒子的现象， 从而能够得到更加准确的 测定结果。 说明书 6/8 页 9 CN 111122278 A 9 0065 根据以上说明的结构， 本发明的一实施例的粒子测定系统的动作状态， 首先， 如图 4所示， 在第一期间， 通过外部空气供给部200， 外部空气和微细粒子流入第一干燥装置 100a。 在通过第一干燥装置100a的内部主流路123的过程中， 通过除湿剂110， 微细粒子及外 部空气干燥， 在干燥状态下通过主排出口122排出。 通过主排出。

39、口122排出的微细粒子及干 燥空气经由第一分支线路510沿着主排出线路500流动。 在主排出线路500， 通过粒子检测装 置300测定粒子， 在通过下流端的过滤器420过滤之后， 干燥空气流入空气循环供给部610。 在空气循环供给部610， 通过三通阀611， 沿着第二空气循环线路613流动而流入第二干燥装 置100b的干燥流入口131。 在第二干燥装置100b， 通过干燥流入口131流入的干燥空气沿着 主流路123流动， 而排出到干燥排出口132， 在此过程中， 再生第二干燥装置100b的除湿剂 110。 在干燥排出口132连接再生干燥排出线路141， 通过第二干燥装置100b的干燥空气经由。

40、 三通阀140， 通过再生干燥排出线路141排出到外部。 这种微细粒子及空气的流动通过安装 在主排出线路500上的主泵400的动作实现。 0066 即， 在第一期间流入第一干燥装置100a的外部空气以通过第一干燥装置100a的除 湿剂110干燥的干燥空气状态排出， 干燥的干燥空气通过空气循环供给部610流入第二干燥 装置100b， 在通过第二干燥装置100b的主流路123的过程中除去第二干燥装置100b的除湿 剂110上的水分， 以再生除湿剂110。 0067 除了通过这种空气循环供给部610供给干燥空气之外， 控制部800使第二干燥装置 100b的加热器620进行发热动作， 以蒸发除湿剂11。

41、0的水分， 再生除湿剂110。 因此， 对第二干 燥装置100b的除湿剂110的再生干燥功能通过干燥空气供给及加热器620的发热， 更加迅速 且完整实现。 0068 在第一期间以如上所述的动作状态进行， 若通过第一干燥装置100a的流入口温度 湿度传感器710及排出口温度湿度传感器720的测定值判断为第一干燥装置100a的干燥性 能下降到基准值以下， 则如图5所示， 通过转换外部空气供给部200的动作， 将微细粒子及外 部空气流入第2干燥装置100b。 即， 在第一期间结束后开始的第二期间， 通过外部空气供给 部200的动作转换， 微细粒子及外部空气被供给到干燥装置100b。 此时， 第二干燥。

42、装置100b 的除湿剂110在第一期间处于再生的状态， 第二干燥装置100b以干燥性能良好的状态执行 对微细粒子及外部空气的干燥功能。 0069 通过第二干燥装置100b时干燥的微细粒子及空气， 以与图4中所说明的方式相同 的方式经由第二分支线路520排出到主排出线路500， 在通过主排出线路500的过程中， 被粒 子检测装置300检测测定微细粒子。 0070 另一方面， 与外部空气供给部200的动作转换一同， 转换空气循环供给部610的三 通阀611的内部流路， 因此， 通过了主排出线路500的干燥空气通过空气循环供给部610流入 不是第二干燥装置100b的第一干燥装置100a， 在以相同方。

43、式通过第一干燥装置100a的过程 中， 再生第一干燥装置100a的除湿剂110。 此时， 对加热器620的动作状态也转换， 从而第一 干燥装置100a的加热器620动作而将第一干燥装置100a的除湿剂110与干燥空气一同进行 再生。 0071 通过继续反复这种转换过程， 某一个干燥装置执行对微细粒子的干燥功能， 在该 期间剩下一个干燥装置再生， 因此， 即使不更换干燥装置的除湿剂110也能够继续使用干燥 装置， 从而能够更加便利地进行运营， 可提高测定结果的连续性及正确度。 说明书 7/8 页 10 CN 111122278 A 10 0072 另一方面， 关于控制部800， 说明了只有执行再。

44、生功能的干燥装置的加热器620动 作， 但是， 与此不同， 执行干燥功能的干燥装置的加热器620的动作也能够控制成以相对低 温状态发热以便调节外部空气的温度。 0073 即， 以图4所示的状态为例， 当微细粒子及外部空气被供给到第一干燥装置100a 时， 能够使第二干燥装置100b的加热器620以大约100程度的相对高温发热， 以便再生第 二干燥装置100b的除湿剂110， 使第一干燥装置100a的加热器620根据需要以大约30程度 的相对低温发热， 以便调节通过内部空间的外部空气的温度。 0074 以上的说明书仅仅以本发明的技术思想为例进行了说明， 只要是本发明所属技术 领域的普通技术人员，。

45、 可在本发明的本质性特性的范围内进行多种修改和变性。 因此， 在本 发明中公开的实施例不是用于限定本发明的技术思想的， 而是仅是用于说明， 并不以这些 实施例限定本发明的技术实现的范围。 本发明的保护范围应根据下面的请求范围来解释， 与此同等范围内的所有技术思想都应解释为落入本发明的权利范围内。 0075 附图标记说明 0076 100a 第一干燥装置 0077 100b 第二干燥装置 0078 110 除湿剂 0079 200 外部空气供给部 0080 300 粒子检测装置 0081 400 主泵 0082 500 主排出线路 0083 600 再生干燥机构 0084 610 空气循环供给部 0085 620 加热器 0086 710 流入口温度湿度传感器 0087 720 排出口温度湿度传感器 0088 800 控制部 说明书 8/8 页 11 CN 111122278 A 11 图1 说明书附图 1/5 页 12 CN 111122278 A 12 图2 说明书附图 2/5 页 13 CN 111122278 A 13 图3 说明书附图 3/5 页 14 CN 111122278 A 14 图4 说明书附图 4/5 页 15 CN 111122278 A 15 图5 说明书附图 5/5 页 16 CN 111122278 A 16 。