升压冷凝分离吸附过滤装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010248426.4 (22)申请日 2020.04.01 (71)申请人 江苏格里克真空技术有限公司 地址 226000 江苏省南通市如皋市下原镇 桃李路25号 (72)发明人 荣易 (74)专利代理机构 北京酷爱智慧知识产权代理 有限公司 11514 代理人 袁克来 (51)Int.Cl. B01D 46/30(2006.01) B01D 53/00(2006.01) B01D 53/04(2006.01) F04C 18/12(2006.01) F04C 25/02。

2、(2006.01) F04C 29/00(2006.01) (54)发明名称 一种升压冷凝分离吸附过滤装置 (57)摘要 本发明公开了一种升压冷凝分离吸附过滤 装置， 包括罗茨增压泵、 冷凝分离罐以及吸附过 滤罐， 所述冷凝分离罐内设置有多根冷却列管， 所述冷凝分离罐的顶部开设有第一进气口， 罐体 上设置有第一排气口； 所述吸附过滤罐上设置有 与所述第一排气口连通的第二进气口， 所述吸附 过滤罐内设置有的活性炭过滤棉， 所述吸附过滤 罐内还设置有导气管， 所述导气管的下端穿设到 活性炭过滤棉下方的空隙中， 所述吸附过滤罐还 设置有第二排气口； 本技术方案中： 设置的罗茨 增压泵能够提高废气的沸。

3、点， 使得废气能够更加 容易被液化排出， 最后一步还设置有吸附过滤 罐， 使得废气中会损伤干式真空泵的杂质被去 除， 延长干式真空泵的使用寿命。 权利要求书2页 说明书6页 附图6页 CN 111467904 A 2020.07.31 CN 111467904 A 1.一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 包括： 罗茨增压泵， 所述罗茨增压泵包括泵体(100)和为泵体(100)提供动力的驱动电机 (110)； 冷凝分离罐(200)， 所述冷凝分离罐(200)内设置有多根冷却列管(230)， 所述冷凝分离 罐(200)上设置有与冷却列管(230)连通的进水口和出水口， 所述冷凝分离罐(2。

4、00)的顶部 还开设有与罗茨增压泵的出口连通的第一进气口， 相对应的， 所述冷凝分离罐(200)的罐体 上设置有第一排气口； 吸附过滤罐(300)， 所述吸附过滤罐(300)上设置有与所述第一排气口连通的第二进气 口， 所述吸附过滤罐(300)内设置有与吸附过滤罐(300)内径相同的活性炭过滤棉(330)， 所 述活性炭过滤棉(330)的上下两端与吸附过滤罐(300)之间均留有空隙， 所述吸附过滤罐 (300)内还设置有与第二进气口连通的导气管(310)， 所述导气管(310)的下端穿设到活性 炭过滤棉(330)下方的空隙中， 所述吸附过滤罐(300)对应活性炭过滤棉(330)上方的空隙 还设。

5、置有第二排气口(340)； 待处理的气体依次经过罗茨增压泵、 冷凝分离罐(200)以及吸附过滤罐(300)后由第二 排气口(340)进入干式真空泵或排走。 2.根据权利要求1所述的一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 所述冷凝分离 罐(200)的顶部通过法兰连接有第一碟形封头， 所述第一进气口开设于所述第一碟形封头 上， 所述第一碟形封头的上方还固定有第一支撑平板(270)， 所述第一支撑平板(270)用于 紧固安装所述罗茨增压泵的泵体(100)。 3.根据权利要求2所述的一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 所述第一碟形 封头的下方还紧固设置有连接腔， 所述连接腔通过隔板分隔。

6、为进水腔(210)和出水腔 (220)， 所述进水腔(210)与所述进水口连通， 相应的出水腔(220)和出水口连通， 所述多根 冷却列管(230)分别与进水腔(210)和出水腔(220)连通， 多根所述冷却列管(230)的下端通 过一回水腔(240)连通以形成回路， 所述连接腔、 冷却列管(230)以及回水腔(240)均紧固连 接在一起。 4.根据权利要求1所述的一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 所述冷凝分离 罐(200)的底部焊接有第二碟形封头(250)， 所述第二碟形封头(250)的形成用于暂存冷凝 后的废液的暂存槽， 所述第二碟形封头(250)的底部还连接有第一排废管道(2。

7、51)。 5.根据权利要求1所述的一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 所述吸附过滤 罐(300)上下两端均通过椭圆形封头(350)进行密封， 所述椭圆形封头(350)焊接于所述吸 附过滤罐(300)。 6.根据权利要求5所述的一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 所述吸附过滤 罐(300)上端的椭圆形封头(350)还固定设置有第二支撑平板(370)， 所述第二支撑平板 (370)用于紧固安装所述罗茨增压泵的驱动电机(110)。 7.根据权利要求1-6任一项所述的一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 还包 括一个罩壳箱(400)， 所述罩壳箱(400)套在冷凝分离罐(2。

8、00)和吸附过滤罐(300)的外部。 8.根据权利要求7所述的一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 所述吸附过滤 罐(300)的罐体上对应所述活性炭过滤棉(330)的位置还开设有检修门(360)， 所述罩壳箱 (400)对应所述检修门(360)的位置设置有让位孔。 权利要求书 1/2 页 2 CN 111467904 A 2 9.根据权利要求8所述的一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 所述吸附过滤 罐(300)内紧固设置有两个多孔金属板(320)， 两个多孔金属板(320)形成用于固定所述活 性炭过滤棉(330)的固定空间， 所述多孔金属板(320)上还覆盖有金属丝网。 10。

9、.根据权利要求8或9所述的一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 所述活性 炭过滤棉(330)由多个1/4圆的扇形块拼合而成。 权利要求书 2/2 页 3 CN 111467904 A 3 一种升压冷凝分离吸附过滤装置 技术领域 0001 本发明涉及技术领域， 具体涉及一种升压冷凝分离吸附过滤装置。 背景技术 0002 现在很多化工、 制药领域的真空工艺中都开始使用干式真空泵来替代液环泵抽吸 有机介质等杂质， 实现节能减排， 干式真空泵相对于传统的液环泵和蒸汽喷射泵最大的环 保优势就是不产生任何废水。 另外， 由于很多有机介质是高沸点化学物质， 化学性质比较活 泼， 在使用干式真空泵抽吸。

10、的过程中， 很容易在干式真空泵的压缩过程中发生凝固(压力上 升， 工艺介质沸点升高)、 氧化反应(干式真空泵的排气口处于常压， 可能存在大量的空气) 或/和聚合反应(干式真空泵在泵腔排气口处， 有温度， 有压力， 还可能富有氧气)。 从而形成 高分子的固态硬化物粘附在干式真空泵的转子或者泵腔上， 或者烧结(脱氢反应， 碳化)粘 附在干式真空泵的转子或者泵腔上。 0003 干式真空泵的转子与泵体、 隔板之间的间隙非常小， 当这些硬物(高分子固态物， 烧结物)粘附在干式真空泵的转子和泵腔内时， 会填充满内部的间隙， 在干式真空泵运行的 时候不断的对转子的密封面进行磨损， 一段时间后， 其转子的密封。

11、面(像螺杆泵的螺杆尖锐 面)会被磨损钝化， 造成间隙变大， 从而使得干式真空泵抽气效率和真空度急速下降。 若是 这些硬物过多， 还会造成转子卡死， 引起干式真空泵故障。 0004 现在很多使用干式真空泵的工艺中， 都会在其入口增加一个冷凝器， 希望通过冷 凝去除有机高沸点物质。 但是这种做法并不是特别有效， 原因如下： 0005 1、 在高真空时， 很多有机介质的气体的沸点很低， 例如乙酸乙酯的在-0.099Mpa时 的沸点只有1 ， 其在常压时的沸点是80 ， 因此如果不能提供冷冻水(需要低于-15 )则不能 有效的把有机介质冷凝下来， 在常温环境下， 很容易二次汽化。 0006 2、 有些。

12、工艺介质即使冷凝下来了， 也是以气溶胶的形式存在， 并不能被汇集， 随着 不凝性气体依然会被抽吸到干式真空泵中。 0007 而干式真空泵采用的溶剂洗涤、 氮气吹扫都是无法彻底避免这些情况出现的。 且 当出现高分子凝固物、 烧结以及碳化后， 溶剂洗涤和氮气吹扫都无法对这些物质进行清理 和去除。 0008 因此干式真空泵(尤其是螺杆干式真空泵)在应用于这些有机介质的时候， 极其容 易出现有机物质在干式真空泵泵腔内发生结焦， 碳化、 聚合、 凝固等现象， 对干式真空泵的 磨损非常厉害， 再加上有机溶剂中存在一些酸性液体， 直接导致干式真空泵在短时间内就 会发生故障， 运行1-2年就彻底报废。 因此需。

13、要一种新的工艺装置来解决上述问题。 发明内容 0009 针对现有技术中的缺陷， 本发明提供一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 能够对废 气作增压以及液化除杂的处理， 使得最终进入干式真空泵中的气体具有更少的杂质。 0010 本发明提供一种的技术方案是： 一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 包 说明书 1/6 页 4 CN 111467904 A 4 括： 0011 罗茨增压泵， 所述罗茨增压泵包括泵体和为泵体提供动力的驱动电机； 0012 冷凝分离罐， 所述冷凝分离罐内设置有多根冷却列管， 所述冷凝分离罐上设置有 与冷却列管连通的进水口和出水口， 所述冷凝分离罐的顶部还开设有与罗茨增压泵。

14、的出口 连通的第一进气口， 相对应的， 所述冷凝分离罐的罐体上设置有第一排气口； 0013 吸附过滤罐， 所述吸附过滤罐上设置有与所述第一排气口连通的第二进气口， 所 述吸附过滤罐内设置有与吸附过滤罐内径相同的活性炭过滤棉， 所述活性炭过滤棉的上下 两端与吸附过滤罐之间均留有空隙， 所述吸附过滤罐内还设置有与第二进气口连通的导气 管， 所述导气管的下端穿设到活性炭过滤棉下方的空隙中， 所述吸附过滤罐对应活性炭过 滤棉上方的空隙还设置有第二排气口； 0014 待处理的气体依次经过罗茨增压泵、 冷凝分离罐以及吸附过滤罐后由第二排气口 进入干式真空泵或排走。 0015 本技术方案中： 设置的罗茨增压。

15、泵能够提高废气的沸点， 使得废气能够更加容易 被液化排出， 为了对废气进行更加充分的处理， 最后一步还设置有吸附过滤罐， 通过活性炭 过滤棉能够吸附废气中未被液化的有机工艺介质和粉末颗粒物， 使得废气中会损伤干式真 空泵的杂质被去除， 延长干式真空泵的使用寿命。 0016 进一步， 所述冷凝分离罐的顶部通过法兰连接有第一碟形封头， 所述第一进气口 开设于所述第一碟形封头上， 所述第一碟形封头的上方还固定有第一支撑平板， 所述第一 支撑平板用于紧固安装所述罗茨增压泵的泵体。 第一支撑平板使得罗茨增压泵的泵体与冷 凝分离罐能够更加的紧凑， 节省空间。 0017 进一步， 所述第一碟形封头的下方还紧。

16、固设置有连接腔， 所述连接腔通过隔板分 隔为进水腔和出水腔， 所述进水腔与所述进水口连通， 相应的出水腔和出水口连通， 所述多 根冷却列管分别与进水腔和出水腔连通， 多根所述冷却列管的下端通过一回水腔连通以形 成回路， 所述连接腔、 冷却列管以及回水腔均紧固连接在一起。 将连接腔、 冷却列管以及回 水腔均紧固连接在一起且和第一碟形封头固定， 能够更加方便检修， 在实际操作时， 能够通 过将第一碟形封头吊起的方式带出附着在第一碟形封头上的连接腔、 冷却列管以及回水 腔。 0018 进一步， 所述冷凝分离罐的底部焊接有第二碟形封头， 所述第二碟形封头的形成 用于暂存冷凝后的废液的暂存槽， 所述第二。

17、碟形封头的底部还连接有第一排废管道。 暂存 槽在收集到一定量的废液时， 便通过第一排废管道将废液及时排出， 避免影响后续的使用。 0019 进一步， 所述吸附过滤罐上下两端均通过椭圆形封头进行密封， 所述所述椭圆形 封头焊接于所述吸附过滤罐。 0020 进一步， 所述吸附过滤罐上端的椭圆形封头还固定设置有第二支撑平板， 所述第 二支撑平板用于紧固安装所述罗茨增压泵的驱动电机。 同理， 第二支撑平板能够使得整个 装备的结构更加紧凑， 节省空间。 0021 进一步， 还包括一个罩壳箱， 所述罩壳箱套在冷凝分离罐和吸附过滤罐的外部。 所 述罩壳箱能够将冷凝分离罐和吸附过滤罐固定在一起， 使得更具有整。

18、体性， 且能够对冷凝 分离罐和吸附过滤罐起到一定的保护作用。 0022 进一步， 所述吸附过滤罐的罐体上对应所述活性炭过滤棉的位置还开设有检修 说明书 2/6 页 5 CN 111467904 A 5 门， 所述罩壳箱对应所述检修门的位置设置有让位孔。 随着使用时间的增加， 活性碳过滤棉 的过滤效果会下降， 通过检修门能够快速的对活性碳过滤棉进行更换， 保证吸附过滤罐的 正常工作。 0023 进一步， 所述吸附过滤罐内紧固设置有两个多孔金属板， 两个多孔金属板形成用 于固定所述活性炭过滤棉的固定空间， 所述多孔金属板上还覆盖有金属丝网。 多孔金属板 能够对活性炭过滤棉进行固定， 金属丝网能够防。

19、止活性炭过滤棉的棉絮物和颗粒物进入干 式真空泵中。 0024 进一步， 所述活性炭过滤棉由多个1/4圆的扇形块拼合而成。 扇形块的活性炭过滤 棉的体积更小， 更加方便拆装。 0025 本发明的有益效果是： 通过罗茨增压泵提升废气的压力， 再通过冷凝分离罐和吸 附过滤罐对废气中的有机介质进行液化分离以及吸附过滤， 使得最终进入干式真空泵中的 气体减少烧结、 碳化、 聚合和凝固的现象， 保证了干式真空泵的安全。 0026 在本申请的描述中， 需要理解的是， 本申请中的术语仅用于描述目的， 而不能理解 为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。 在本发明的描述中，“多 个” 的含义是。

20、两个以上， 除非另有明确具体的限定。 附图说明 0027 为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案， 下面将对具体 实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。 在所有附图中， 类似的元件 或部分一般由类似的附图标记标识。 附图中， 各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。 0028 图1为本发明实施例的结构示意图； 0029 图2为本发明实施例的俯视图； 0030 图3为图2中的A向剖视图； 0031 图4为图2中的B向剖视图； 0032 图5为图2中的C向剖视图； 0033 图6为本发明实施例中性炭过滤棉的结构示意图。 0034 附图标记： 泵体100、 驱动电机。

21、110、 冷凝分离罐200、 进水腔210、 出水腔220、 冷却列 管230、 回水腔240、 第二碟形封头250、 第一排废管道251、 进气管道260、 第一支撑平板270、 吸附过滤罐300、 导气管310、 多孔金属板320、 活性炭过滤棉330、 第二排气口340、 椭圆形封 头350、 第二排废管道351、 检修门360、 第二支撑平板370、 罩壳箱400。 具体实施方式 0035 这里， 要说明的是， 本发明涉及的功能、 方法等仅仅是现有技术的常规适应性应 用。 因此， 本发明对于现有技术的改进， 实质在于硬件之间的连接关系， 而非针对功能、 方法 本身， 也即本发明虽然涉及。

22、一点功能、 方法， 但并不包含对功能、 方法本身提出的改进。 本发 明对于功能、 方法的描述， 是为了更好的说明本发明， 以便更好的理解本发明。 0036 下面将结合附图对本发明技术方案的实施例进行详细的描述。 以下实施例仅用于 更加清楚地说明本发明的技术方案， 因此只作为示例， 而不能以此来限制本发明的保护范 围。 说明书 3/6 页 6 CN 111467904 A 6 0037 需要注意的是， 除非另有说明， 本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本发 明所属领域技术人员所理解的通常意义。 0038 如图1-6所示， 本实施例提供的一种升压冷凝分离吸附过滤装置， 其特征在于， 包 括罗茨。

23、增压泵、 冷凝分离罐200以及吸附过滤罐300， 所述罗茨增压泵包括泵体100和为泵体 100提供动力的驱动电机110， 所述泵体100具有吸气口和出气口； 所述冷凝分离罐200内设 置有多根冷却列管230， 所述冷凝分离罐200上设置有与冷却列管230连通的进水口和出水 口， 所述冷凝分离罐200的顶部还开设有与罗茨增压泵的出口连通的第一进气口， 相对应 的， 所述冷凝分离罐200的罐体上设置有第一排气口； 所述吸附过滤罐300上设置有与所述 第一排气口连通的第二进气口， 所述吸附过滤罐300内设置有与吸附过滤罐300内径相同的 活性炭过滤棉330， 所述活性炭过滤棉330的上下两端与吸附过。

24、滤罐300之间均留有空隙， 所 述吸附过滤罐300内还设置有与第二进气口连通的导气管310， 所述导气管310的下端穿设 到活性炭过滤棉330下方的空隙中， 所述吸附过滤罐300对应活性炭过滤棉330上方的空隙 还设置有第二排气口340； 0039 为了保证罗茨增压泵的增压效果， 需要采用大功率的驱动电机110， 例如同等抽气 能力下， 该罗茨增压泵的电机功率是标准罗茨真空泵的5倍左右， 其目的是用于产生高压 差。 即大幅提高原先干式真空泵吸入口的压力， 例如原先吸入口的真空度是2kpa(- 0.098MpaG)， 通过罗茨增压泵， 其出气口的压力可以达到20kpa(-0.080MpaG)。 。

25、如原先吸入 口的真空度是6kpa(-0.094MpaG)， 则通过罗茨增压泵， 其出气口的压力可以达到40kpa(- 0.06MpaG)， 压缩比可以达到8-10倍左右， 最大压差可以达到40kpa左右。 此时罗茨增压泵的 内部间隙都会比较大(因为压缩比很高， 气体压缩热很大， 出气口温度会非常高， 为了避免 卡死隐患， 所以间隙余量要大于传统标准型)， 但是它的作用不是用于提高抽气能力， 或者 提高真空度， 而是在原有的真空度下， 对有机气体进行强力压缩， 由于压力升高， 有机气体 的沸点也会大幅上升。 例如极易发生聚合反应的环氧丙烷气体， 在入口5kpa时沸点温度接 近0 ， 在40kpa。

26、时， 其沸点温度则可以达到30 ， 此时用常温水(20 )就可以有效的对环氧丙 烷气体进行冷凝。 0040 由于罗茨增压泵的压缩比很高， 造成出气口温度很高， 同时会有部分有机工艺介 质在罗茨增压泵发生了烧结， 碳化现象。 由于罗茨泵的结构， 气体从顶部进入， 压缩后从底 部直接排出， 而且间隙大， 不太容易造成堆积而引起卡泵现象。 同时罗茨泵很容易通过泵的 吸入口对转子、 泵腔进行洗涤， 因此利用高压缩比升压的同时， 对于那些因高温容易进行烧 结、 结炭的有机介质进行了预处理。 减少了该物质进入到后面的干式真空泵中。 0041 待处理的气体依次经过罗茨增压泵、 冷凝分离罐200以及吸附过滤罐。

27、300后由第二 排气口340进入干式真空泵或排走。 0042 设置的罗茨增压泵能够提高废气的沸点， 使得废气能够更加容易被液化排出， 为 了对废气进行更加充分的处理， 最后一步还设置有吸附过滤罐300， 通过活性炭过滤棉330 能够吸附废气中未被液化的有机工艺介质和粉末颗粒物， 使得废气中会损伤干式真空泵的 杂质被去除， 延长干式真空泵的使用寿命。 0043 所述冷凝分离罐200的顶部通过法兰连接有第一碟形封头， 法兰面上有密封条， 确 保了密封性。 所述第一进气口开设于所述第一碟形封头上， 所述第一碟形封头的上方还固 定有第一支撑平板270， 所述第一支撑平板270用于紧固安装所述罗茨增压泵。

28、的泵体100。 第 说明书 4/6 页 7 CN 111467904 A 7 一支撑平板270使得罗茨增压泵的泵体100与冷凝分离罐200能够更加的紧凑， 节省空间。 所 述第一支撑平板270上安装有四个支撑腿以支撑泵体100。 为了提升废气与冷却列管230的 接触时间， 在泵体100的出气口处连接有进气管道260， 所述进气管道260穿过所述第一碟形 封头并向下延伸至靠近冷凝分离罐200底部的位置。 0044 所述第一碟形封头的下方还紧固设置有连接腔， 所述连接腔通过隔板分隔为进水 腔210和出水腔220， 所述进水腔210与所述进水口连通， 相应的出水腔220和出水口连通， 所 述多根冷却。

29、列管230分别与进水腔210和出水腔220连通， 多根所述冷却列管230的下端通过 一回水腔240连通以形成回路， 使得冷却列管230中的水是可以流动的， 可以增加冷却列管 230的吸热能力， 所述连接腔、 冷却列管230以及回水腔240均紧固连接在一起。 将连接腔、 冷 却列管230以及回水腔240均紧固连接在一起且和第一碟形封头固定， 能够更加方便检修， 在实际操作时， 能够通过将第一碟形封头吊起的方式带出附着在第一碟形封头上的连接 腔、 冷却列管230以及回水腔240。 0045 所述冷凝分离罐200的底部焊接有第二碟形封头250， 所述第二碟形封头250的形 成用于暂存冷凝后的废液的暂。

30、存槽， 所述第二碟形封头250的底部还连接有第一排废管道 251。 暂存槽在收集到一定量的废液时， 便通过第一排废管道251将废液及时排出， 避免影响 后续的使用。 0046 所述吸附过滤罐300上下两端均通过椭圆形封头350进行密封， 所述所述椭圆形封 头350焊接于所述吸附过滤罐300。 0047 所述吸附过滤罐300上端的椭圆形封头350还固定设置有第二支撑平板370， 所述 第二支撑平板370用于紧固安装所述罗茨增压泵的驱动电机110。 同理， 第二支撑平板370能 够使得整个装备的结构更加紧凑， 节省空间。 所述吸附过滤罐300下端的椭圆形封头350连 接有第二排废管道351。 00。

31、48 为了使得冷凝分离罐200和吸附过滤罐300能够连接为一个整体， 还包括一个罩壳 箱400， 所述罩壳箱400套在冷凝分离罐200和吸附过滤罐300的外部。 所述罩壳箱400能够将 冷凝分离罐200和吸附过滤罐300固定在一起， 使得更具有整体性， 且能够对冷凝分离罐200 和吸附过滤罐300起到一定的保护作用。 0049 在罩壳箱400的顶部的面板是可拆卸的， 并且是两块， 分别开方形孔对应冷凝分离 罐200和吸附过滤罐300， 第一支撑平板270和第二支撑平板370是放置在罩壳箱400上方的 角钢上， 可以采用螺栓固定。 0050 在罩壳的顶部的面板的中间开有两个孔洞， 分别安装了冷却。

32、水进口手打阀门， 和 冷却水出口手打阀门。 在阀门后则是三通， 其中一路冷却水是给罗茨增压泵， 另一路冷却水 则是给冷凝分离罐200的冷却列管230使用。 0051 整个罩壳箱400采用内嵌式的底脚螺栓固定孔， 在面板4个角， 分别开有内嵌的底 脚固定安装孔和空间， 然后进行包边， 使得整个罩壳箱400看不到内部冷凝分离罐200和吸 附过滤罐300的， 但是却可以方便的进行更换活性炭过滤棉330和抽芯洗涤冷凝列管。 使得 外观更加的美观， 整洁和规整。 0052 所述吸附过滤罐300的罐体上对应所述活性炭过滤棉330的位置还开设有检修门 360， 所述罩壳箱400对应所述检修门360的位置设置。

33、有让位孔。 随着使用时间的增加， 活性 碳过滤棉的过滤效果会下降， 通过检修门360能够快速的对活性碳过滤棉进行更换， 保证吸 说明书 5/6 页 8 CN 111467904 A 8 附过滤罐300的正常工作。 0053 所述吸附过滤罐300内紧固设置有两个多孔金属板320， 两个多孔金属板320形成 用于固定所述活性炭过滤棉330的固定空间， 所述多孔金属板320上还覆盖有金属丝网。 多 孔金属板320能够对活性炭过滤棉330进行固定， 金属丝网能够防止活性炭过滤棉330的棉 絮物和颗粒物进入干式真空泵中。 所述活性炭过滤棉330由多个1/4圆的扇形块拼合而成。 扇形块的活性炭过滤棉330。

34、的体积更小， 更加方便拆装(每次放入1/4的扇形形状的活性炭 过滤棉330， 通过旋转调整， 可以沿着中间的导气管310， 依次堆放， 从而实现了在上下多孔 金属板320内填满活性炭过滤棉330， 确保了吸附过滤的有效性)。 这样气体从导气管310出 来后， 会穿过下部的多孔金属板320(这个分布板上均匀开着通气孔， 从而实现了气体的分 布)均匀的进入上下两个多孔金属板320的活性炭过滤棉330。 那些无法被冷凝回收的有机 工艺介质以及粉末颗粒物则在这里被活性炭过滤棉330吸附和拦截。 净化后的工艺气体绝 大部分是不凝性气体， 例如氮气、 氧气， 水蒸气等不凝性气体， 以及极其微量的有机工艺介。

35、 质， 穿过上部的多孔金属板320， 然后从吸附过滤罐300的罐体侧面上部出去。 最终进入干式 真空泵或者直接排放到管道或大气中。 0054 通过罗茨增压泵提升废气的压力， 再通过冷凝分离罐200和吸附过滤罐300对废气 中的有机介质进行液化分离以及吸附过滤， 使得最终进入干式真空泵中的气体减少烧结、 碳化、 聚合和凝固的现象， 保证了干式真空泵的安全。 0055 在本申请中， 除非另有明确的规定和限定， 术语 “相连” 、“连接” 、“固定” 等术语应 做广义理解， 例如， 可以是固定连接， 也可以是可拆卸连接， 或成一体； 可以是电连接； 可以 是直接相连， 也可以通过中间媒介间接相连， 。

36、可以是两个元件内部的连通或两个元件的相 互作用关系。 对于本领域的普通技术人员而言， 可以根据具体情况理解上述术语在本发明 中的具体含义。 0056 本发明的说明书中， 说明了大量具体细节。 然而， 能够理解， 本发明的实施例可以 在没有这些具体细节的情况下实践。 在一些实例中， 并未详细示出公知的方法、 系统和技 术， 以便不模糊对本说明书的理解。 0057 最后应说明的是： 以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案， 而非对其限制； 尽 管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明， 本领域的普通技术人员应当理解： 其依 然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改， 或者对其中部分或者全部技。

37、术特征进 行等同替换； 而这些修改或者替换， 并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术 方案的范围， 其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。 说明书 6/6 页 9 CN 111467904 A 9 图1 说明书附图 1/6 页 10 CN 111467904 A 10 图2 说明书附图 2/6 页 11 CN 111467904 A 11 图3 说明书附图 3/6 页 12 CN 111467904 A 12 图4 说明书附图 4/6 页 13 CN 111467904 A 13 图5 说明书附图 5/6 页 14 CN 111467904 A 14 图6 说明书附图 6/6 页 15 CN 111467904 A 15 。