激光晶化光路系统、低温多晶硅薄膜及其制备方法.pdf

上传人：1*** 文档编号：10412 上传时间：2018-01-11 格式：PDF 页数：9 大小：579.26KB
收藏 版权申诉 举报 下载
激光晶化光路系统、低温多晶硅薄膜及其制备方法.pdf_第1页
第1页 / 共9页
激光晶化光路系统、低温多晶硅薄膜及其制备方法.pdf_第2页
第2页 / 共9页
激光晶化光路系统、低温多晶硅薄膜及其制备方法.pdf_第3页
第3页 / 共9页
文档描述：

《激光晶化光路系统、低温多晶硅薄膜及其制备方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《激光晶化光路系统、低温多晶硅薄膜及其制备方法.pdf（9页完成版）》请在专利查询网上搜索。

本发明涉及激光晶化领域，公开了一种激光晶化光路系统，在所述激光晶化光路系统中设置有干涉模块，所述干涉模块包括相互平行的第一全反镜、第二全反镜、及第一半透半反镜，所述第一半透半反镜设于第一全反镜与第二全反镜之间，所述第一全反镜的角度可调节，使用时调节所述第一全反镜的角度使其偏移所述平行方向。采用该技术具有结构设计简单、激光光能利用率高和光强分布稳定的优点。 。

展开阅读全文
内容关键字: 激光 晶化光路 系统 低温 多晶 薄膜 及其 制备 方法
关于本文
本文标题：激光晶化光路系统、低温多晶硅薄膜及其制备方法.pdf
链接地址：https://www.zhuanlichaxun.net/p-10412.html
关于我们 - 网站声明 - 网站地图 - 资源地图 - 友情链接 - 网站客服 - 联系我们

copyright@ 2017-2018 zhuanlichaxun.net网站版权所有
经营许可证编号:粤ICP备2021068784号-1