等离子处理装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010294659.8 (22)申请日 2020.04.15 (30)优先权数据 2019-078546 2019.04.17 JP (71)申请人 日本电产株式会社 地址 日本京都府 (72)发明人 西川和宏高桥大辅野村胜 (74)专利代理机构 北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 代理人 张敬强李平 (51)Int.Cl. H01J 37/32(2006.01) (54)发明名称 等离子处理装置 (57)摘要 本发明提供一种等离子处理装置， 其对载置 于载物台的工。

2、件进行等离子处理， 该等离子处理 装置具有： 检查电路部， 其用于上述工件向上述 载物台的载置状态的检查； 等离子处理电路部， 其用于上述等离子处理； 以及第一切换部， 其能 够进行上述检查电路部与上述等离子处理电路 部的选择。 上述检查电路部具有： 检查用连接部， 其包含于上述载物台， 且在上述工件载置于上述 载物台上的上述等离子处理用的预定位置的情 况下与上述工件电连接； 以及计测部， 其设为能 够计测包括上述工件与上述检查用连接部之间 的电阻的检查用电阻。 权利要求书2页 说明书10页 附图11页 CN 111834190 A 2020.10.27 CN 111834190 A 1.一种。

3、等离子处理装置， 其对载置于载物台的工件进行等离子处理， 该等离子处理装 置的特征在于， 具有： 检查电路部， 其用于上述工件向上述载物台的载置状态的检查； 等离子处理电路部， 其用于上述等离子处理； 以及 第一切换部， 其能够进行上述检查电路部与上述等离子处理电路部的选择， 上述检查电路部具有： 检查用连接部， 其包含于上述载物台， 且在上述工件载置于上述载物台上的上述等离 子处理用的预定位置的情况下与上述工件电连接； 以及 计测部， 其设为能够计测包括上述工件与上述检查用连接部之间的电阻的检查用电 阻。 2.根据权利要求1所述的等离子处理装置， 其特征在于， 上述检查用连接部兼用于上述等离。

4、子处理电路部。 3.根据权利要求1或2所述的等离子处理装置， 其特征在于， 上述载物台具有互相电独立的第一分割载物台及第二分割载物台， 在上述第一分割载物台及上述第二分割载物台分别设有上述检查用连接部， 在通过上述第一切换部选择上述检查电路部时， 上述计测部具有的两个连接端子中的 一方与上述第一分割载物台电连接， 上述两个连接端子中的另一方与上述第二分割载物台 电连接， 上述第一分割载物台的上述检查用连接部兼用于上述等离子处理电路部。 4.根据权利要求3所述的等离子处理装置， 其特征在于， 还具有第二切换部， 该第二切换部与上述计测部并联配置， 且能够进行上述第一分割 载物台与上述第二分割载物。

5、台的电连接的切换。 5.根据权利要求1或2所述的等离子处理装置， 其特征在于， 上述载物台具有互相电独立的第一分割载物台及第二分割载物台， 在上述第一分割载物台及上述第二分割载物台分别设有上述检查用连接部， 在通过上述第一切换部选择上述检查电路部时， 上述计测部具有的两个连接端子中的 一方与上述第一分割载物台电连接， 上述两个连接端子中的另一方与上述第二分割载物台 电连接， 上述第一分割载物台及上述第二分割载物台的上述检查用连接部兼用于上述等离子 处理电路部。 6.根据权利要求15中任一项所述的等离子处理装置， 其特征在于， 上述第一切换部由多个继电器开关构成， 上述检查电路部具有在上述检查用。

6、连接部与上述计测部之间串联配置的多个上述继 电器开关。 7.根据权利要求16中任一项所述的等离子处理装置， 其特征在于， 还具有控制上述第一切换部的动作的控制部。 8.根据权利要求1所述的等离子处理装置， 其特征在于， 上述检查电路部还具有： 第一金属探针， 其设为能够与上述载物台电连接； 以及 权利要求书 1/2 页 2 CN 111834190 A 2 第二金属探针， 其设为能够与上述工件电连接， 上述计测部具有的两个连接端子中的一方与上述第一金属探针连接， 上述两个连接端 子中的另一方与上述第二金属探针连接。 9.根据权利要求8所述的等离子处理装置， 其特征在于， 上述第一切换部是使上述。

7、载物台和上述第一金属探针及上述第二金属探针中的至少 任一方移动的移动机构。 10.根据权利要求19中任一项所述的等离子处理装置， 其特征在于， 上述等离子处理在大气压下进行。 权利要求书 2/2 页 3 CN 111834190 A 3 等离子处理装置 技术领域 0001 本发明涉及一种等离子处理装置。 背景技术 0002 目前， 已知如下方法： 在使工件位于设在一对电极间的载置台的状态下， 通过在一 对电极间施加高频来产生等离子， 对工件进行等离子处理。 0003 在日本特开201087049号公报中公开了一种等离子处理装置， 该等离子处理装 置具有： 对置配置的上部电极及下部电极； 以及载。

8、置部， 其具备载置面， 该载置面以使具有 被处理面的工件位于上部电极及下部电极之间的方式载置工件。 在具备载置面的下部电极 设有从载置面出没自如的销(突起)。 突起在其前端面比载置面突出的突出状态和与载置面 一致的容纳状态之间移动。 0004 现有技术文献 0005 专利文献 0006 专利文献1： 日本特开201087049号公报 发明内容 0007 发明所要解决的课题 0008 根据日本特开201087049号公报的结构， 能够在载置面上的预定位置准确地配 置工件。 但是， 在该结构中， 无法掌握配置于预定位置的工件是否相对于载置面正确地载 置。 例如， 在工件与载置面之间形成有微小的间隙。

9、的情况下， 存在不能适当地进行等离子处 理的可能性。 0009 本发明的目的在于提供能够将工件适当地组装到载物台进行等离子处理的技术。 0010 用于解决课题的方案 0011 本发明的示例性的等离子处理装置对载置于载物台的工件进行等离子处理， 该等 离子处理装置具有： 检查电路部， 其用于上述工件向上述载物台的载置状态的检查； 等离子 处理电路部， 其用于上述等离子处理； 以及第一切换部， 其能够进行上述检查电路部与上述 等离子处理电路部的选择。 上述检查电路部具有： 检查用连接部， 其包含于上述载物台， 且 在上述工件载置于上述载物台上的上述等离子处理用的预定位置的情况下与上述工件电 连接；。

10、 以及计测部， 其设为能够计测包括上述工件与上述检查用连接部之间的电阻的检查 用电阻。 0012 发明效果 0013 根据示例性的本发明， 能够将工件适当地组装于载物台进行等离子处理。 附图说明 0014 图1是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的结构的示意图。 0015 图2是表示从图1所示的状态切换了使用的电路部的状态的示意图。 说明书 1/10 页 4 CN 111834190 A 4 0016 图3是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的结构的块图。 0017 图4是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的控制部进行的控制处理的流程 图。 0018 图5是表示本发明的实施方式的等离子处。

11、理装置的第一变形例的示意图。 0019 图6是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第二变形例的示意图。 0020 图7是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第三变形例的示意图。 0021 图8是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第四变形例的示意图。 0022 图9是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第五变形例的示意图。 0023 图10是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第六变形例的示意图。 0024 图11是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第六变形例的示意图。 0025 图12是表示本发明的实施方式的等离子处理装置的第七变形例的示意图。 0026 图中： 0027 1载。

12、物台， 4第一切换部， 5计测部， 7控制部， 9第二切换部， 11第一分 割载物台， 12第二分割载物台， 13检查用连接部， 41第一继电器开关， 42第二继电 器开关， 43第三继电器开关， 44第四继电器开关， 45第五继电器开关， 46第六继电 器开关， 47第一移动机构， 48第二移动机构， 100等离子处理装置， 101第一金属探 针， 102第二金属探针， 200工件， C1等离子处理电路部， C2检查电路部。 具体实施方式 0028 以下， 参照附图对本发明的示例性的实施方式详细地进行说明。 在本说明书中， 在 进行等离子处理装置100的说明时， 将相对于载物台1供工件200。

13、配置的一侧设为上， 定义上 下方向。 另外， 将平行于与上下方向正交的面的方向设为水平方向。 这些方向是用于对各部 分的形状、 位置关系进行说明的名称， 不限定实际的位置关系及方向。 0029 1.关于等离子处理的结构 0030 图1是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的结构的示意图。 如图1所示， 等离子处理装置100具有载物台1、 电极部2以及电源部3。 0031 载物台1是载置成为等离子处理的对象的工件200的场所。 载物台1主要由例如金 属等具有导电性的部件构成。 在本实施方式中， 载物台1是在水平方向上扩展的板状。 载物 台1通过后述的继电器开关41接通而与电源部3电连接。 。

14、此外， 载置于载物台1的上侧的工件 200由例如金属等导电性的材料构成。 在继电器开关41接通的情况下， 工件200经由载物台1 与电源部3电连接。 0032 电极部2与载置于载物台1的工件200对置配置。 详细来说， 电极部2隔着间隙S配置 于在载物台1载置的工件200的上侧。 电极部2是上下延伸的柱状。 在本实施方式中， 电极部2 大致由金属等导电性的部件构成。 电极部2具有覆盖导电性的部件的下表面的电介质21。 因 此， 工件200与电介质21在上下方向上隔着间隙S对置。 电介质21例如由氧化铝、 氧化锆或易 切削陶瓷等陶瓷材料构成。 0033 就电源部3而言， 与电连接于载物台1的端子。

15、相反的一侧的端子电连接于电极部2。 电源部3是高电压电源。 电源部3是能够以高频施加高电压的交流电源。 电源部3施加的电压 的频率例如是1kHz100kHz。 电源部3施加的电压的波形优选脉冲波形。 但是， 施加电压的 说明书 2/10 页 5 CN 111834190 A 5 波形例如也可以是正弦波或矩形波等其它波形。 另外， 电源部3施加的电压的大小例如是 5kVPP20kVPP。 施加电压的大小例如考虑电极部2与工件200的上下方向间的间隙S的大小 等而适当地设定。 0034 工件200载置于载物台1， 在图1所示的状态下由电源部3施加高频的高电压。 由此， 在电极部2与工件200之间进。

16、行电介质阻挡放电， 向间隙S供给的处理气体被等离子化。 等离 子P与工件200的表面接触， 工件200的表面被进行等离子处理。 即， 等离子处理装置100对载 置于载物台1的工件200进行等离子处理。 等离子处理例如包括表面改性处理、 薄膜形成处 理、 灰化处理或清洗处理等。 0035 此外， 处理气体可以由未图示的气体供给单元从外部供给至间隙S。 但是， 也可以 不配置气体供给单元， 处理气体也可以是自然地供给至间隙S的气体。 另外， 处理气体的种 类只要根据处理目的适当地选择即可， 没有特别限制。 例如， 在去除附着于金属制的工件 200的表面的切削油等残渣的情况下， 处理气体可以是对氮微。

17、量地添加了氧的混合气体。 0036 另外， 在能够通过由电源部3施加的电压的波形控制来抑制电弧放电的情况等下， 电极部2也可以没有电介质21。 即， 电极部2的电介质21不是必须的。 0037 另外， 在本实施方式中， 等离子处理在大气压下进行。 由此， 与在密闭容器内配置 工件200并在减压下进行等离子处理的情况相比， 能够提高作业效率。 另外， 因为不需要耐 减压的牢固的密闭容器， 所以能够低价地进行等离子处理。 但是， 等离子处理装置100也可 以设为在减压下进行等离子处理的装置。 0038 由以上的说明可知， 等离子处理装置100具有用于等离子处理的等离子处理电路 部C1。 等离子处理。

18、电路部C1具有载物台1、 电极部2以及电源部3。 等离子处理电路部C1与经 由通过电介质阻挡放电产生的等离子与电极部2电连接的工件200一同形成等离子处理时 的电路。 0039 2.关于载置状态的检查的结构 0040 图2是表示从图1所示的状态切换了使用的电路部的状态的示意图。 等离子处理装 置100设为能够从使用图1所示的等离子处理电路部C1的状态切换到使用图2所示的检查电 路部C2的状态。 该切换通过第一切换部4进行。 换言之， 等离子处理装置100具有等离子处理 电路部C1、 检查电路部C2、 以及第一切换部4。 第一切换部4能够进行等离子处理电路部C1与 检查电路部C2的选择。 004。

19、1 检查电路部C2用于工件200向载物台1的载置状态的检查。 检查电路部C2具有检查 用连接部13和计测部5。 0042 检查用连接部13包含于载物台1。 在工件200配置于载物台1上的等离子处理用的 预定位置的情况下， 检查用连接部13与工件200电连接。 换言之， 在检查用连接部13与工件 200未电连接的情况下， 工件200未配置于载物台1上的等离子处理用的预定位置。 在这样的 状态下， 不能适当地进行等离子处理。 在工件200与检查用连接部13电连接的状态下， 可适 当地进行使用了等离子处理电路部C1的等离子处理。 0043 在本实施方式中， 检查用连接部13是从载物台1的上表面朝向上。

20、方延伸的销形状。 与此对应地， 在工件200的下表面形成有供检查用连接部13插入的未图示的凹部。 通过将检 查用连接部13设为销形状， 能够易于将工件200简单地配置于预定位置。 检查用连接部13具 有导电性。 检查用连接部13的上端部例如可以是球面状。 检查用连接部13可以与载物台1为 说明书 3/10 页 6 CN 111834190 A 6 单一部件。 另外， 检查用连接部13也可以由与载物台1不同的部件构成， 通过固定于载物台1 而与载物台1成为一体。 0044 此外， 检查用连接部13也可以不是销形状， 例如可以是载物台1的上表面的一部分 的平面区域。 在该结构的情况下， 工件200。

21、例如可以利用通过负压产生单元产生的负压固定 于平面区域。 另外， 检查用连接部13也可以是形成于载物台1的上表面的凹部。 在该结构的 情况下， 在工件200的下表面可以设有插入到凹部的凸部。 0045 在载物台1的上表面配置有多个检查用连接部13。 检查用连接部13的数量例如优 选设为三个。 由此， 能够减少载物台1上的检查用连接部13的数量并平衡性良好地支撑工件 200。 另外， 由此， 能够抑制在等离子处理中工件200从预定位置偏离的事态的发生。 0046 详细来说， 载物台1具有互相电独立的第一分割载物台11及第二分割载物台12。 第 一分割载物台11和第二分割载物台12在水平方向上隔开。

22、间隔地配置。 在第一分割载物台11 与第二分割载物台12的水平方向之间配置有绝缘部件14。 绝缘部件14例如由绝缘性的树脂 或陶瓷等构成。 此外， 第一分割载物台11通过第一导线6a经由后述的继电器开关41与电源 部3连接。 另一方面， 未设置将第二分割载物台12与电源部3连接的导线。 另外， 载物台1具有 的分割载物台的数量可以是三个以上。 0047 在第一分割载物台11及第二分割载物台12分别设有检查用连接部13。 在本实施方 式中， 在第一分割载物台11设有一个检查用连接部13。 在第二分割载物台12设有两个检查 用连接部13。 以下， 有时将配置于第一分割载物台11的检查用连接部13记。

23、载为第一检查用 连接部131。 有时将配置于第二分割载物台12的检查用连接部13记载为第二检查用连接部 132。 0048 此外， 例如， 在检查用连接部13的数量是三个， 且分割载物台的数量是三个的情况 下， 可以在各分割载物台各配置有一个检查用连接部13。 即， 即使检查用连接部13是三个以 上， 也可以在第二分割载物台12仅设置一个检查用连接部13。 0049 计测部5设为能够测定包括工件200与检查用连接部13之间的电阻的检查用电阻。 在本实施方式中， 计测部5是电阻计。 在利用第一切换部4选择检查电路部C2时， 计测部5具 有的两个连接端子(未图示)中的一方与第一分割载物台11电连接。

24、。 两个连接端子中的另一 方与第二分割载物台12连接。 0050 在本实施方式中， 第一切换部4由多个继电器开关4143构成。 构成第一切换部4 的继电器开关优选为耐压性高的机械式的继电器开关。 第一继电器开关41配置于将电源部 3和第一分割载物台11连接的第一导线6a的中途。 如果第一继电器开关41接通， 则电源部3 和第一分割载物台11电连接。 如果第一继电器开关41断开， 则电源部3和第一分割载物台11 电断开。 0051 第二继电器开关42配置于将计测部5和第一分割载物台11连接的第二导线6b的中 途。 如果第二继电器开关42接通， 则计测部5和第一分割载物台11电连接。 如果第二继电。

25、器 开关42断开， 则计测部5和第一分割载物台11电断开。 第三继电器开关43配置于将计测部5 和第二分割载物台12连接的第三导线6c的中途。 如果第三继电器开关43接通， 则计测部5和 第二分割载物台12电连接。 如果第三继电器开关43断开， 则计测部5和第二分割载物台12电 断开。 0052 如图1所示， 第一继电器开关41接通， 且第二继电器开关42及第三继电器开关43断 说明书 4/10 页 7 CN 111834190 A 7 开， 由此选择等离子处理电路部C1。 由此， 能够进行使用了上述的等离子处理电路部C1的工 件200的等离子处理。 0053 另一方面， 如图2所示， 第一继。

26、电器开关41断开， 且第二继电器开关42及第三继电 器开关43接通， 由此选择检查电路部C2。 检查电路部C2具有计测部5、 包括第一检查用连接 部131的第一分割载物台11、 以及包括第二检查用连接部132的第二分割载物台12。 如果在 载物台1载置有工件200， 则检查电路部C2与工件200一同形成电阻计测电路。 0054 在工件200在载物台1载置于用于进行等离子处理的适当的位置的情况下， 工件 200和检查用连接部13接触， 在该部分不会产生大的电阻。 因此， 计测部5计测出将构成电阻 计测电路的各部件的电阻值加起来的电阻值、 或者与其接近的电阻值。 另一方面， 有时工件 200未正确。

27、地载置于载物台1， 在工件200与检查用连接部13之间产生间隙。 在该情况下， 计 测部5计测出大幅超过将各部件的电阻值加起来的电阻值的电阻值。 即， 根据本实施方式， 能够基于计测部5的计测结果， 确认工件200是否适当地载置于用于进行等离子处理的预定 位置， 能够适当地进行等离子处理。 0055 在等离子处理装置100中， 检查用连接部13兼用于等离子处理电路部C1。 因此， 能 够将具有等离子处理电路部C1和检查电路部C2这两个电路部的等离子处理装置100的结构 简化。 另外， 在本结构中， 能够对在等离子处理时构成等离子处理用的电路的部分直接应用 使用了检查电路部C2的检查。 因此， 。

28、能够降低在等离子处理时产生问题的可能性。 0056 在本实施方式中， 第一分割载物台11的检查用连接部13兼用于等离子处理电路部 C1。 即， 第一检查用连接部131兼用于等离子处理电路部C1。 在进行等离子处理时， 包括第一 检查用连接部131的第一分割载物台11为电通道。 由于工件200向载物台1的载置的方法不 合适， 可能引起在第一检查用连接部131与工件200之间产生间隙。 如果在这样的状态下进 行等离子处理， 则存在在第一检查用连接部131与工件200之间的间隙产生放电的可能性。 如果产生这样的异常放电， 则不仅不能在工件200的表面进行预定的等离子处理， 还可能对 工件200造成损。

29、伤。 在本实施方式中， 通过使用了检查电路部C2的检查， 能够在进行等离子 处理之前检测在第一检查用连接部131与工件200之间是否产生了间隙。 因此， 根据本实施 方式， 能够不对工件200造成损伤地对工件200的表面适当地进行等离子处理。 0057 另外， 在本实施方式中， 将载物台1分割为包括第一检查用连接部131的第一分割 载物台11和包括第二检查用连接部132的第二分割载物台12， 因此仅通过将工件200载置于 载物台1便能够简单地进行使用检查电路部C2的检查。 而且， 在本实施方式中， 构成为仅两 个分割载物台11、 12中的一方兼用于等离子处理电路部C1和检查电路部C2， 因此能。

30、够简化 配线。 0058 3.关于控制处理 0059 图3是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的结构的块图。 如图3所示， 等 离子处理装置100具有上述的电源部3、 第一切换部4以及计测部5。 等离子处理装置100还具 有控制部7。 控制部7控制整个等离子处理装置100。 控制部7例如由具备CPU(Central Processing Unit)、 RAM(Random Access Unit)以及ROM(Read Only Memory)等的计算机构 成。 0060 此外， 等离子处理装置100还具有通知部8。 在通过使用了检查电路部C2的检查对 工件200的载置状态检测出异常的情。

31、况下， 通知部8将异常通知给操作员。 通知部8例如可以 说明书 5/10 页 8 CN 111834190 A 8 是通过声音通知异常的单元。 另外， 通知部8例如可以是利用显示文字等的显示画面通知异 常的单元。 另外， 通知部8例如可以是利用光的点亮通知异常的单元。 通知部8也可以是将上 述的多个单元组合的结构。 0061 控制部7控制第一切换部4的动作。 在本实施方式中， 控制部7控制第一继电器开关 41、 第二继电器开关42以及第三继电器开关43的接通、 断开。 据此， 能够通过控制部7使第一 切换部4自动动作， 能够减轻作业负担。 此外， 控制部7还控制电源部3、 计测部5以及通知部8。

32、 的动作。 另外， 控制部7从计测部5接收计测部5的计测结果。 0062 图4是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的控制部7进行的控制处理的 流程图。 如果工件200载置于载物台1， 则控制部7开始控制动作。 此外， 控制部7对于工件200 载置于载物台1的情况可以自动进行检测， 也可以按照来自操作员的指令进行检测。 控制部 7例如通过对从未图示的摄像机得到的图像进行图像处理， 自动检测工件200载置于载物台 1。 0063 在步骤S1中， 控制部7控制第一切换部4来选择检查电路部C2。 详细而言， 控制部7 将第一继电器开关41断开， 并将第二继电器开关42及第三继电器开关43接通。。

33、 由此， 等离子 处理装置100能够进行使用了检查电路部C2的检查动作。 控制部7通过选择检查电路部C2的 动作的结束， 将处理进入到接下来的步骤S2。 0064 在步骤S2中， 控制部7控制计测部5计测检查用电阻。 由此， 控制部7从计测部5取得 检查用电阻的计测结果。 控制部7通过计测结果的取得， 将处理进入到接下来的步骤S3。 0065 在步骤S3中， 控制部7确认从计测结果中是否发现异常。 详细而言， 在取得的电阻 值为预定的阈值以上的情况下， 控制部7检测出工件200未适当地载置于载物台1的异常状 态。 另一方面， 在取得的电阻值小于预定的阈值的情况下， 控制部7未检测出异常状态。 。

34、控制 部7在检测出异常的情况下(在步骤S3为是(Yes)， 将处理进入到步骤S4。 另一方面， 控制部 7在未检测到异常的情况下(在步骤S3为否(No)， 将处理进入到步骤S5。 0066 在步骤S4中， 控制部7控制通知部8， 向操作员通知工件200的载置状态不合适。 通 过通知部8的动作， 例如发出警报声。 由此， 操作员能够进行将工件200重新放置于载物台1 等对应。 0067 在步骤S5中， 控制部7控制第一切换部4选择等离子处理电路部C1。 详细而言， 控制 部7使第一继电器开关41接通， 并使第二继电器开关42及第三继电器开关43断开。 由此， 等 离子处理装置100能够进行使用了。

35、等离子处理电路部C1的等离子处理。 控制部7通过选择等 离子处理电路部C1的动作的结束， 将处理进入到接下来的步骤S6。 0068 在步骤S6中， 控制部7控制电源部3的动作而产生等离子。 通过等离子的产生， 对工 件200的表面进行等离子处理。 在本实施方式中， 在工件200适当地载置于载物台1的状态下 进行等离子处理， 因此能够适当地进行工件200的等离子处理。 0069 4.变形例 0070 (41.第一变形例) 0071 图5是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第一变形例的示意图。 图5 表示选择了等离子处理电路部C1A的状态。 如图5所示， 在第一变形例的等离子处理装置 1。

36、00A中， 载物台1取代被设置成能够与电源部3连接， 而是被设置成可接地。 0072 在选择了等离子处理电路部C1A的情况下， 构成第一切换部4A的第一继电器开关 说明书 6/10 页 9 CN 111834190 A 9 41A接通， 载物台1接地。 详细而言， 第一分割载物台11接地。 第一继电器开关41A配置于将第 一分割载物台11和大地连接的第四导线6d的中途。 此外， 在选择了等离子处理电路部C1A的 情况下， 第二继电器开关42及第三继电器开关43断开。 在这样的结构中， 也与上述的实施方 式相同地， 能够在工件200适当地载置于载物台1的状态下进行等离子处理， 能够适当地进 行工。

37、件200的等离子处理。 0073 (42.第二变形例) 0074 图6是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第二变形例的示意图。 图6 表示选择了等离子处理电路部C1的状态。 在第二变形例的等离子处理装置100B中， 第一切 换部4B也由多个继电器开关4145构成。 但是， 在追加了第四继电器开关44及第五继电器 开关45这一点上与上述的实施方式不同。 0075 在第二变形例中， 检查电路部C2B具有在检查用连接部13与计测部5之间串联配置 的多个继电器开关4245。 详细而言， 与上述的实施方式的结构相比， 在第一检查用连接部 131与计测部5之间追加了第四继电器开关44。 第四继电。

38、器开关44在第二继电器开关42与计 测部5之间串联配置。 即， 在第一检查用连接部131与计测部5之间配置有串联配置的两个继 电器开关42、 44。 另外， 与上述的实施方式的结构相比， 在第二检查用连接部132与计测部5 之间追加了第五继电器开关45。 第五继电器开关45在第三继电器开关43与计测部5之间串 联配置。 即， 在第二检查用连接部132与计测部5之间配置有串联配置的两个继电器开关43、 45。 0076 根据本变形例， 即使在例如第二继电器开关42及第三继电器开关43发生故障而没 有断开的情况下， 如果第四继电器开关44及第五继电器开关45断开， 则也能够阻止在等离 子处理时电流。

39、流入计测部5。 即， 根据本变形例， 能够降低在等离子处理时电流流入计测部5 而使计测部5发生故障的可能性。 0077 此外， 在本变形例中， 配置于第一检查用连接部131与计测部5之间以及第二检查 用连接部132与计测部5之间的继电器开关的个数分别也可以为三个以上。 另外， 在第一检 查用连接部131与计测部5之间和在第二检查用连接部132与计测部5之间， 配置的继电器开 关的数量也可以不同。 0078 (43.第三变形例) 0079 图7是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第三变形例的示意图。 图7 表示选择了等离子处理电路部C1的状态。 第三变形例的等离子处理装置100C与第二。

40、变形例 的结构大致相同。 但是， 等离子处理装置100C还具有第二切换部9。 这一点与第二变形例不 同。 0080 第二切换部9与计测部5并联配置。 第二切换部9能够进行第一分割载物台11与第 二分割载物台12的电连接的切换。 第二切换部9可以是继电器开关。 构成第二切换部9的继 电器开关优选耐压性高的机械式的继电器开关。 第二切换部9的动作优选由控制部7控制。 详细而言， 第二切换部9的一方的端子经由第五导线6e和第二导线6b的一部分与第一分割 载物台11和第二继电器开关42的一方的端子电连接。 第二切换部9的另一方的端子经由第 六导线6f和第三导线6c的一部分与第二分割载物台12和第三继电。

41、器开关43的一方的端子 电连接。 0081 在利用第一切换部4C选择检查电路部C2C时， 第二切换部9被设为断开。 由此， 能够 说明书 7/10 页 10 CN 111834190 A 10 维持第一分割载物台11与第二分割载物台12的绝缘状态， 适当地检查载物台1上的工件200 的载置状态。 另一方面， 在利用第一切换部4C选择等离子处理电路部C1时， 第二切换部9被 设为接通。 由此， 在进行等离子处理时， 能够使第一分割载物台11和第二分割载物台12导 通。 因此， 即使在等离子处理时第二第五继电器开关4245发生故障而没有断开的情况 下， 也能够抑制在计测部5的两端施加高电压。 即，。

42、 能够降低计测部5发生故障的可能性。 0082 此外， 也可以不设置第四继电器开关44及第五继电器开关45。 0083 (44.第四变形例) 0084 图8是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第四变形例的示意图。 图8 表示选择了等离子处理电路部C1的状态。 第四变形例的等离子处理装置100D与第三变形例 的结构大致相同。 但是， 第二切换部9D的配置不同。 0085 在本变形例中， 第二切换部9D的一方的端子经由第七导线6g和第二导线6b的一部 分与第二继电器开关42的一方的端子和第四继电器开关44的一方的端子电连接。 第二切换 部9D的另一方的端子经由第八导线6h和第三导线6c的。

43、一部分与第三继电器开关43的一方 的端子和第五继电器开关45的一方的端子电连接。 在本变形例中， 第二切换部9D也在切换 部4D选择检查电路部C2D时被设为断开， 在第一切换部4D选择等离子处理电路部C1时被设 为接通。 在本变形例中， 也能够降低计测部5发生故障的可能性。 0086 (45.第五变形例) 0087 图9是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第五变形例的示意图。 图9 表示选择了等离子处理电路部C1E的状态。 就第五变形例的等离子处理装置100E而言， 第二 分割载物台12设为能够与电源部3电连接这一点与上述的实施方式的结构不同。 通过该变 更， 设置将第二分割载物台1。

44、2和电源部3连接的第九导线6i， 在第九导线6i的中途配置有第 六继电器开关46。 第六继电器开关46与第一第三继电器开关4143一同构成第一切换部 4E。 0088 在本变形例中， 第一分割载物台11及第二分割载物台12的检查用连接部13兼用于 等离子处理电路部C1E。 在选择等离子处理电路部C1E时， 第一继电器开关41和第六继电器 开关46设为接通， 第二继电器开关42和第三继电器开关43设为断开。 在选择检查电路部C2 时， 第一继电器开关41和第六继电器开关46设为断开， 第二继电器开关42和第三继电器开 关43设为接通。 0089 在本变形例中， 即使包括第一检查用连接部131的第。

45、一分割载物台11和包括第二 检查用连接部132的第二分割载物台12中的一方的分割载物台存在问题， 也能够利用另一 侧的分割载物台构成等离子处理用的电路， 进行等离子处理。 0090 此外， 第一分割载物台11及第二分割载物台12也可以取代设为能够与电源部3连 接， 而是设为能够接地。 0091 (46.第六变形例) 0092 图10及图11是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第六变形例的示意 图。 图10表示选择了等离子处理电路部C1F的状态。 图11表示选择了检查电路部C2F的状态。 0093 在本变形例中， 等离子处理电路部C1F也具有载物台1F、 电极部2以及电源部3。 但 是。

46、， 载物台1F与上述的实施方式不同， 未被分割。 0094 在本变形例中， 检查电路部C2F也具有检查用连接部13和计测部5。 但是， 在本变形 说明书 8/10 页 11 CN 111834190 A 11 例中， 检查电路部C2F还具有第一金属探针101和第二金属探针102。 这一点与上述的实施方 式不同。 第一金属探针101设为能够与载物台1F电连接。 第二金属探针102设为能够与工件 200电连接。 0095 计测部5具有的两个连接端子(未图示)中的一方与第一金属探针101连接。 两个连 接端子中的另一方与第二金属探针102连接。 如果如图11所示地使第一金属探针101的前端 接触载物。

47、台1F， 且使第二金属探针102的前端接触工件200， 则形成测定检查用电阻的电阻 计测电路。 0096 即， 在本变形例中， 也能够确认工件200是否适当地配置于载物台1F。 在本变形例 中， 在构成电阻计测电路时， 由于利用了金属探针101、 102， 因此能够减小与载物台1F及工 件200的接触部位处的电阻。 因此， 能够易于准确判断检查用连接部13与工件200之间的电 阻。 0097 在本变形例中， 等离子处理装置100F也具有能够进行检查电路部C2F与等离子处 理电路部C1F的选择的第一切换部4F。 但是， 其结构与上述的实施方式不同。 第一切换部4F 是使载物台1F和第一金属探针1。

48、01及第二金属探针102中的至少任一方移动的移动机构。 0098 在本变形例中， 第一切换部4F具有第一移动机构47和第二移动机构48。 第一移动 机构47是能够将载物台1F沿水平方向移动的公知的机构。 第二移动机构48是能够将第一金 属探针101及第二金属探针102与计测部5一同沿上下方向移动的公知的机构。 此外， 第二移 动机构48也可以是仅使计测部5和第一金属探针101及第二金属探针102中的第一金属探针 101及第二金属探针102移动的机构。 0099 从图10所示的状态起， 利用第一移动机构47使载物台1F向左方移动， 而且利用第 二移动机构48使计测部5、 第一金属探针101以及第。

49、二金属探针102向下方移动。 由此， 可得 到选择了检查电路部C2F的状态。 即， 能够计测包括工件200与检查用连接部13之间的电阻 的检查用电阻。 0100 另一方面， 从图11所示的状态起， 利用第一移动机构47使载物台1F向右方移动， 而 且利用第二移动机构48使计测部5、 第一金属探针101以及第二金属探针102向上方移动。 由 此， 可得到选择了等离子处理电路部C1F的状态。 在选择了等离子处理电路部C1F的状态下， 载置于载物台1F的工件200和电极部2对置。 由此， 能够利用通过电介质阻挡放电而产生的 等离子P对工件200的表面进行等离子处理。 0101 根据本变形例， 能够使。

50、用移动机构47、 48进行检查电路部C2F与等离子处理电路部 C1F的选择， 能够高效率地进行检查电路部C2F与等离子处理电路部C1F的切换。 此外， 使载 物台1F移动的移动机构47和使金属探针101、 102的移动机构48也可以仅设置任一方。 在该 情况下， 基于各移动机构47、 48的移动方向可以从图10及图11所示的移动方向适当地变更。 0102 (47.第七变形例) 0103 图12是表示本发明的实施方式的等离子处理装置100的第七变形例的示意图。 图 12表示选择了等离子处理电路部C1的状态。 第七变形例的等离子处理装置100G是与上述的 实施方式(参照图1及图2)的结构大致相同的。