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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010638594.4 (22)申请日 2020.07.06 (71)申请人 深圳迈菲精密有限公司 地址 518110 广东省深圳市市辖区龙华区 观湖街道樟坑径社区下围工业区一路 10号智谷B栋102 (72)发明人 吴泓谢英睿 (74)专利代理机构 北京慧而行专利代理事务所 (普通合伙) 11841 代理人 李锐 (51)Int.Cl. B24B 1/00(2006.01) B24B 57/02(2006.01) B24B 57/00(2006.01) B24B 41/0。

2、6(2012.01) B24B 41/00(2006.01) (54)发明名称 一种抛光装置 (57)摘要 本发明涉及精密加工技术领域。 本发明涉及 一种抛光装置， 抛光装置的一种方案包括载物 台， 所述载物台用于承载待加工的工件； 载液盘 与第一动力组件， 所述载液盘连接在所述第一动 力组件的输出端， 并能够由所述第一动力组件驱 动而转动； 磁体， 所述磁体用于产生使磁性抛光 液附着于所述载液盘上的磁场； 浆液添加组件， 所述浆液添加组件用于向所述载液盘输送未使 用的浆液； 以及浆液回收组件， 所述浆液回收组 件用于收集所述载液盘上已使用的浆液。 抛光装 置的一种方案能够实现磁性抛光液的自动。

3、替换， 简化了操作， 有利于工业化使用。 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 CN 111761422 A 2020.10.13 CN 111761422 A 1.一种抛光装置， 其特征在于， 包括 载物台， 所述载物台用于承载待加工的工件； 载液盘与第一动力组件， 所述载液盘连接在所述第一动力组件的输出端， 并能够由所 述第一动力组件驱动而转动； 磁体， 所述磁体用于产生使磁性抛光液附着于所述载液盘上的磁场； 浆液添加组件， 所述浆液添加组件用于向所述载液盘输送未使用的浆液； 以及浆液回收组件， 所述浆液回收组件用于收集所述载液盘上已使用的浆液。 2.根据权利要求1所述的抛光装置， 其特征。

4、在于， 还包括第二动力组件， 所述磁体连接 在所述第二动力组件的输出端， 并能够由所述第二动力组件驱动而围绕所述载液盘的自转 轴心公转。 3.根据权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 所述浆液回收组件包括电磁铁、 第三 动力组件与回收容器， 所述电磁铁与第三动力组件的输出端连接， 并能够由所述第三动力 组件驱动而在所述载液盘与所述回收容器之间运动， 且当所述电磁铁运动至所述载液盘的 上方时通电， 当所述电磁铁运动至所述回收容器的上方时断电。 4.根据权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 还包括载液盘移动组件， 以及至少两 个所述载液盘， 所述载液盘移动组件包括与所述载液盘的数量对应的载。

5、液盘获取装置， 以 及驱动所述载液盘获取装置移动的第四动力组件， 且随所述第四动力组件的驱动， 一所述 载液盘获取装置能够分离位于所述第一动力组件的输出端上的所述载液盘， 另一所述载液 盘获取装置能够将另一所述载液盘运送至所述第一动力组件的输出端。 5.根据权利要求4所述的抛光装置， 其特征在于， 所述载液盘能够沿竖直向上的方向脱 离所述载液盘， 所述载液盘移动组件还包括旋转座， 所述载液盘沿所述旋转基座的旋转方 向依次连接在所述旋转座上， 所述第四动力组件包括用于驱动所述旋转座旋转的旋转动力 装置， 以及驱动所述旋转动力装置沿竖直方向升降的升降动力装置。 6.根据权利要求5所述的抛光装置， 。

6、其特征在于， 所述第一动力组件的输出端上设有沿 竖直方向延伸的定位孔， 所述载液盘包括承载部、 连接部与定位柱， 所述连接部设于所述承 载部的底部且直径小于承载部， 所述定位柱设于所述连接部的底部且沿竖直方向延伸， 所 述载液盘在所述定位柱插接在所述定位孔内时与所述第一动力组件的输出端同步转动， 所 述载液盘在所述定位柱沿竖直向上的方向从所述定位孔内拔出后与所述第一动力组件的 输出端脱离， 所述载液盘获取装置包括具有缺口的卡环， 所述缺口的宽度大于所述连接部 的最大宽度， 所述卡环的内圈直径大于所述连接部的直径， 并小于所述承载部的直径。 7.根据权利要求5所述的抛光装置， 其特征在于， 还包。

7、括传感器， 所述第一动力组件的 输出端上设有触发装置与沿竖直方向延伸的定位孔， 所述载液盘上伸出有沿竖直方向延伸 的定位柱， 所述触发装置转过设定圈数并转动至设定位置后触发所述传感器， 以使所述第 一动力组件的输出端停止在当前状态， 所述载液盘相对所述第一动力组件的输出端沿竖直 方向运动， 以使所述定位柱插接至所述定位孔内， 或者使所述定位柱从所述定位孔内拔出。 8.根据权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 还包括第五动力组件， 所述载物台连 接在所述第五动力组件的输出端上， 所述载物台设置于所述载液盘的上方， 并能够由所述 第五动力组件驱动而相对所述载液盘沿竖直方向运动。 9.根据权利要。

8、求1所述的抛光装置， 其特征在于， 所述浆液添加组件包括储液容器、 开 权利要求书 1/2 页 2 CN 111761422 A 2 关装置、 泵与管道， 所述泵的吸口与所述储液容器之间通过所述管道连通， 所述泵循环执行 开启与停止操作， 且所述开关装置在所述泵开启后的t1时刻切断所述管道， 所述泵在开启 后的t2时刻停止， t2晚于t1。 10.根据权利要求1所述的抛光装置， 其特征在于， 所述浆液添加组件包括能够振动的 储液容器。 权利要求书 2/2 页 3 CN 111761422 A 3 一种抛光装置 技术领域 0001 本发明涉及精密加工技术领域， 尤其是涉及一种磁性复合流体抛光装置。

9、。 背景技术 0002 磁性复合流体(下面简称MCF)抛光已经逐步运用至多个领域， 其原理是通过位于 外部磁场中的磁性复合流体对工件表面进行抛光， 随着抛光的进行， 磁性复合流体会不断 磨损、 消耗， 因此需要定期的取走载液盘上使用过的磁性复合流体， 并向载液盘添加新的磁 性复合流体， 目前的抛光装置多数是采用手动替换磁性复合流体， 操作较为繁琐， 难以满足 工业化使用的需求。 发明内容 0003 本发明至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。 为此， 本发明实施例 的一个目的是提供一种抛光装置， 能够实现磁性抛光液的自动替换， 简化了操作， 有利于工 业化使用。 0004 本发明实施例。

10、所采用的技术方案是： 0005 第一方面， 提供一种抛光装置， 包括 0006 载物台， 所述载物台用于承载待加工的工件； 0007 载液盘与第一动力组件， 所述载液盘连接在所述第一动力组件的输出端， 并能够 由所述第一动力组件驱动而转动； 0008 磁体， 所述磁体用于产生使磁性抛光液附着于所述载液盘上的磁场； 0009 浆液添加组件， 所述浆液添加组件用于向所述载液盘输送未使用的浆液； 0010 以及浆液回收组件， 所述浆液回收组件用于收集所述载液盘上已使用的浆液。 0011 进一步地， 还包括第二动力组件， 所述磁体连接在所述第二动力组件的输出端， 并 能够由所述第二动力组件驱动而围绕所。

11、述载液盘的自转轴心公转。 0012 进一步地， 所述浆液回收组件包括电磁铁、 第三动力组件与回收容器， 所述电磁铁 与第三动力组件的输出端连接， 并能够由所述第三动力组件驱动而在所述载液盘与所述回 收容器之间运动， 且当所述电磁铁运动至所述载液盘的上方时通电， 当所述电磁铁运动至 所述回收容器的上方时断电。 0013 进一步地， 还包括载液盘移动组件， 以及至少两个所述载液盘， 所述载液盘移动组 件包括与所述载液盘的数量对应的载液盘获取装置， 以及驱动所述载液盘获取装置移动的 第四动力组件， 且随所述第四动力组件的驱动， 一所述载液盘获取装置能够分离位于所述 第一动力组件的输出端上的所述载液盘。

12、， 另一所述载液盘获取装置能够将另一所述载液盘 运送至所述第一动力组件的输出端。 0014 更进一步地， 所述载液盘能够沿竖直向上的方向脱离所述载液盘， 所述载液盘移 动组件还包括旋转座， 所述载液盘沿所述旋转基座的旋转方向依次连接在所述旋转座上， 所述第四动力组件包括用于驱动所述旋转座旋转的旋转动力装置， 以及驱动所述旋转动力 说明书 1/6 页 4 CN 111761422 A 4 装置沿竖直方向升降的升降动力装置。 0015 更进一步地， 所述第一动力组件的输出端上设有沿竖直方向延伸的定位孔， 所述 载液盘包括承载部、 连接部与定位柱， 所述连接部设于所述承载部的底部且直径小于承载 部，。

13、 所述定位柱设于所述连接部的底部且沿竖直方向延伸， 所述载液盘在所述定位柱插接 在所述定位孔内时与所述第一动力组件的输出端同步转动， 所述载液盘在所述定位柱沿竖 直向上的方向从所述定位孔内拔出后与所述第一动力组件的输出端脱离， 所述载液盘获取 装置包括具有缺口的卡环， 所述缺口的宽度大于所述连接部的最大宽度， 所述卡环的内圈 直径大于所述连接部的直径， 并小于所述承载部的直径。 0016 更进一步地， 还包括传感器， 所述第一动力组件的输出端上设有触发装置与沿竖 直方向延伸的定位孔， 所述载液盘上伸出有沿竖直方向延伸的定位柱， 所述触发装置转过 设定圈数并转动至设定位置后触发所述传感器， 以使。

14、所述第一动力组件的输出端停止在当 前状态， 所述载液盘相对所述第一动力组件的输出端沿竖直方向运动， 以使所述定位柱插 接至所述定位孔内， 或者使所述定位柱从所述定位孔内拔出。 0017 进一步地， 还包括第五动力组件， 所述载物台连接在所述第五动力组件的输出端 上， 所述载物台设置于所述载液盘的上方， 并能够由所述第五动力组件驱动而相对所述载 液盘沿竖直方向运动。 0018 进一步地， 所述浆液添加组件包括储液容器、 开关装置、 泵与管道， 所述泵的吸口 与所述储液容器之间通过所述管道连通， 所述泵循环执行开启与停止操作， 且所述开关装 置在所述泵开启后的t1时刻切断所述管道， 所述泵在开启后。

15、的t2时刻停止， t2晚于t1。 0019 进一步地， 所述浆液添加组件包括能够振动的储液容器。 0020 本发明实施例的有益效果： 0021 本发明实施例通过设置载物台、 载液盘、 第一动力组件、 磁体、 浆液添加组件与浆 液回收组件， 能够实现磁性抛光液的自动替换， 简化了操作， 有利于工业化使用。 附图说明 0022 图1是第一实施例的俯视布局图； 0023 图2是第一实施例侧视图的部分剖视图； 0024 图3是第一实施例第一动力组件与载液盘连接的剖视图； 0025 图4是第一实施例载液盘移动组件与载液盘连接的剖视图； 0026 图5是第一实施例浆液回收组件、 载液盘与载液盘移动组件连接。

16、的剖视图； 0027 图6是第二实施例第一动力组件与载液盘连接的剖视图。 具体实施方式 0028 本部分将详细描述本发明的实施例， 本发明的实施例在附图中示出， 附图的作用 在于用图形补充说明书文字部分的描述， 从而能够直观地、 形象地理解本发明实施例的每 个技术特征和整体技术方案， 但其不能理解为对本发明保护范围的限制。 0029 在本发明的描述中， 如果涉及到方位描述， 例如 “上” 、“下” 、“前” 、“后” 、“左” 、“右” 等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系， 仅是为了便于描述本发明和 简化描述， 而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、 以特定的方。

17、位构造 说明书 2/6 页 5 CN 111761422 A 5 和操作， 因此不能理解为对本发明的限制。 如果某一特征被称为 “设置” 、“固定” 、“连接” 在 另一个特征， 它可以直接设置、 固定、 连接在另一个特征上， 也可以间接地设置、 固定、 连接 在另一个特征上。 0030 在本发明实施例的描述中， 如果涉及到 “若干” ， 其含义是一个以上， 如果涉及到 “多个” ， 其含义是两个以上， 如果涉及到 “大于” 、“小于” 、“超过” ， 均应理解为不包括本数， 如果涉及到 “以上” 、“以下” 、“以内” ， 均应理解为包括本数。 如果涉及到 “第一” 、“第二” ， 应 当理。

18、解为用于区分技术特征， 而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的 技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。 0031 此外， 除非另有定义， 本发明实施例所使用的技术术语和科学术语均与所属技术 领域的技术人员通常理解的含义相同。 本发明所使用的术语只是为了描述具体的实施例， 而不是为了限制本发明。 0032 第一实施例 0033 参照图1、 图2， 图1示出了第一实施例的俯视布局图， 图2示出了第一实施例侧视图 的部分剖视图。 如图所示， 本实施例包括载液盘100、 第一动力组件200、 第五动力组件300、 浆液添加组件400、 浆液回收组件500、 载液盘移动组件。

19、600与基座700， 此外， 本实施例还包 括图1中未示出的磁体与载物台。 其中， 载液盘100用于承载抛光用的磁性抛光液， 载液盘 100连接在第一动力组件200的输出端， 并能够由第一动力组件200驱动而转动。 按照图1中 所示方向， 第五动力组件300位于第一动力组件200的上方， 第五动力组件300的输出端连接 有载物台， 载物台用于承载待加工的工件， 本实施例中的载物台设置于载液盘100的上方， 并能够由第五动力组件300驱动而相对载液盘100沿竖直方向运动， 当载物台下降至设定高 度直至待加工的工件与载液盘100上的磁性复合流体接触后， 即可实现抛光。 磁体位于载液 盘100的下方。

20、， 用于产生外部磁场以使磁性复合流体附着于载液盘100上， 本实施例中的磁 体为永磁铁， 磁性抛光液为磁性复合流体。 载液盘移动组件600位于第一动力组件200的下 方， 用于将需要回收磁性复合流体的载液盘100转移至回收位置， 并将空置的载液盘100转 移至第一动力组件200的输出端， 通过载液盘100的循环使用提高抛光装置的加工效率。 浆 液添加组件400与浆液回收组件500均位于第一动力组件200的右侧， 浆液添加组件400用于 向载液盘100输送未使用的浆液， 浆液回收组件500则用于收集载液盘100上已使用的浆液。 0034 参照图1、 图3， 图3示出了本实施例第一动力组件与载液盘。

21、连接的剖视图， 如图所 示， 载液盘100为圆形， 第一动力组件200包括电机210、 主动轮220、 皮带230与从动轮240， 电 机210固定在基座700上， 从动轮240作为第一动力组件200的输出端， 通过轴承转动连接在 基座700上， 并通过皮带230与固定在电机210转轴上的主动轮220连接， 电机210转动时通过 皮带230带动从动轮240转动。 0035 从动轮240的上端面设置有沿竖直方向延伸的定位孔241， 载液盘100的底部伸出 有沿竖直方向延伸的定位柱110， 定位孔241与定位柱110均为两处， 当定位柱110插接在定 位孔241内时， 载液盘100能够与从动轮24。

22、0同步转动， 当定位柱110沿向上的方向从定位孔 241内拔出后， 载液盘100从从动轮240上分离， 即载液盘100既能够与载液盘100同步转动， 又能够沿竖直向上的方向脱离载液盘100。 0036 参照图1、 图4， 图4示出了本实施例载液盘移动组件与载液盘连接的剖视图， 如图 所示， 载液盘移动组件600包括旋转座610、 两个载液盘获取装置620与第四动力组件。 本实 说明书 3/6 页 6 CN 111761422 A 6 施例中， 旋转座610的底部伸出有旋转轴611， 顶部向水平方向对称伸出有两条连接臂612， 每一条连接臂612的末端均连接有载液盘获取装置620。 第四动力组件。

23、包括用于驱动旋转座 610旋转的旋转动力装置(未示出)， 以及驱动旋转动力装置沿竖直方向升降的升降动力装 置(未示出)， 即载液盘获取装置620既能够绕旋转轴611的轴心旋转， 也能够沿竖直方向升 降。 0037 参照图1， 载液盘获取装置620为半圆形的卡环， 卡环的一侧形成有缺口。 参照图4， 载液盘100还包括承载部120与连接部130， 连接部130位于承载部120的底部， 且直径小于承 载部120的直径， 定位柱110位于连接部130的底部。 卡环的缺口的宽度大于连接部130的最 大宽度(直径)， 同时卡环的内圈直径大于连接部130的直径， 并小于承载部120的直径， 如 此， 当卡。

24、环位于与连接部130等高的位置时， 通过卡环的水平移动即可使得连接部130进入 至卡环中， 然后卡环向上运动即可对载液盘100进行托举。 0038 参照图1、 图5， 图5示出了本实施例浆液回收组件、 载液盘与载液盘移动组件连接 的剖视图， 如图所示， 浆液回收组件500包括电磁铁510、 第三动力组件520与回收容器(图1、 图5中未示出)， 第三动力组件520包括沿水平方向设置的电机-丝杆驱动装置， 电磁铁510由 第三动力组件520驱动而水平滑动， 当电磁铁510滑动至载液盘100的上方时， 电磁铁510通 电以吸取载液盘100上的磁性复合流体， 当电磁铁510滑动至回收容器上方时， 电。

25、磁铁510断 电， 吸取的磁性复合流体在重力作用下下落至回收容器中。 0039 参照图1， 浆液添加组件400包括喷嘴410、 泵420、 储液容器430与管道440， 喷嘴410 与泵420之间， 以及泵420与储液容器430之间均通过管道440连通， 喷嘴410位于从动轮240 的上方， 能够向固定在从动轮240上的载液盘100喷射磁性复合流体。 0040 此外， 本实施例还设置有人机交互界面， 便于操作人员进行抛光参数的控制。 0041 基于上述结构， 并参照图1， 本实施例的工作流程为： 0042 首先， 将空置的载液盘100(记为第一载液盘)固定在从动轮240上， 并通过浆液添 加组。

26、件400向空置的载液盘100上喷射磁性复合流体， 待加工的工件通过粘接等方式固定在 载物台的底部， 载液盘移动组件600停留在图1所示状态， 载液盘移动组件600左侧的第一载 液盘获取装置620(记为第一载液盘获取装置)处于空置状态， 载液盘移动组件600右侧的载 液盘获取装置620(记为第二载液盘获取装置)上固定有空置的第二载液盘100(记为第二载 液盘， 图1中未示出)。 0043 然后启动第五动力组件300驱动载物台下移， 并启动第一动力组件200驱动第一载 液盘转动， 直至待加工的工件与磁性复合流体接触以进行抛光。 当打磨一定时间后， 载液盘 移动组件600的旋转动力装置启动， 驱动旋。

27、转座610沿图1中的顺时针方向旋转90 ， 直至从 动轮240上的第一载液盘的连接部卡入第一载液盘获取装置中， 然后载液盘移动组件600的 升降动力装置启动， 第一载液盘获取装置带动第一载液盘向上运动脱离从动轮240， 然后旋 转动力装置启动， 驱动旋转座610沿图1中的顺时针方向旋转180 ， 第二载液盘获取装置带 动第二载液盘运动至从动轮240的上方， 然后升降动力装置启动， 第二载液盘获取装置带动 第二载液盘运动向下运动直至第二载液盘固定在从动轮240上， 然后第二载液盘获取装置 向上复位， 旋转动力装置启动驱动旋转座610沿图1中的逆时针方向旋转90 ， 第一载液盘获 取装置带动第一载。

28、液盘运动至电磁铁510的下方， 电磁铁510通电吸取第一载液盘上的磁性 复合流体， 使得第一载液盘处于空置状态， 随后电磁铁510移动至回收容器上方并断电， 吸 说明书 4/6 页 7 CN 111761422 A 7 取的磁性复合流体在重力作用下下落至回收容器中， 重复上述过程即可实现磁性复合流体 的自动替换。 本实施例可以实现抛光工作与回收工作的同步进行， 有利于提升抛光效率。 0044 第二实施例 0045 本实施例是第一实施例的改进实施例， 参照图6， 图6示出了本实施例第一动力组 件与载液盘连接的剖视图， 如图所示， 还包括第二动力组件800， 第二动力组件800包括电机 810、 。

29、磁体固定座820、 联轴器830与轴承840， 电机810安装在基座700上， 电机810的驱动轴通 过联轴器830与磁体固定座820下端连接轴固定连接， 磁体固定座820通过轴承840转动连接 在基座700上， 磁体900安装在磁体固定座820的上端面上， 且磁体900偏离磁体固定座820的 旋转轴心， 本实施例中磁体固定座820的旋转轴心与载液盘100的自转轴心重合， 即磁体900 绕载液盘100的自转轴心发生公转， 从而能够对磁性复合流体进行搅拌。 0046 第三实施例 0047 本实施例是第一实施例的改进实施例， 由于第一实施例中的载液盘100与从动轮 240之间采用定位柱与定位孔进行。

30、连接， 而载液盘100通过载液盘移动组件600进行移栽， 其 上定位柱的位置较为固定， 因此只需要固定从动轮240上定位孔的位置就可以实现载液盘 100与从动轮240在固定位置的对接， 本实施例提供了一种从动轮240定位方式， 载液盘100 上设置有一条黑线作为触发装置， 基座700上固定有黑白线传感器， 当载液盘100转动至设 定圈数后(此时认为已经需要更换磁性复合流体)， 当载液盘100再次转动直至黑线触发黑 白线传感器时， 从动轮240停止转动， 由于黑白线传感器的位置固定， 因此从动轮240每次都 能静止在相同的固定位置。 0048 第四实施例 0049 本实施例是第一实施例的改进实施。

31、例。 为了让每次喷射的磁性复合流体的体积恒 定， 本实施例通过单片机控制泵的循环启停， 每次泵的吸口吸取1ml的磁性复合流体需要2 秒， 而磁性复合流体从泵的出口喷出1ml需要5秒的时间。 如果设置泵的开启时间为5秒的 话， 泵的吸口吸取的磁性复合流体大于1ml， 多出来的磁性复合流体滞留在管道内， 时间长 后会发生变质， 影响抛光的效果。 为了解决上述问题， 本实施例在泵的吸口与储液容器之间 的管道上增加了电磁阀作为开关装置， 设定电磁阀在泵开启后的t1时刻切断管道， 而泵在 开启后的t2时刻停止， t2晚于t1， 即当泵吸取的磁性复合流体达到了要求的量之后， 电磁阀 切断管道， 泵停止吸取。

32、储液容器里的磁性复合流体， 同时泵还在持续运行， 直到将管道里的 磁性复合流体全部喷射干净， 如此可以避免磁性复合流体的滞留。 0050 第五实施例 0051 本实施例是第一实施例的改进实施例， 本实施例与第一实施例的区别在于储液容 器采用振动容器， 如漩涡振动仪， 通过漩涡振动仪的高频振动带动储液容器中的磁性复合 流体振动， 防止磨料颗粒和羟基铁粉聚集， 使磁性复合流体保持较好的抛光性能。 0052 第六实施例 0053 本实施例是第一实施例的改进实施例， 本实施例与第一实施例的区别在于储液容 器和回收容器之间连通， 回收容器中使用过的磁性复合流体会回流至储液容器中， 实现磁 性复合流体的循。

33、环使用。 0054 第七实施例 0055 本实施例是第一实施例的替代实施例， 本实施例与第一实施例的区别在于未设置 说明书 5/6 页 8 CN 111761422 A 8 载液盘移动组件， 同时只设置一个载液盘100， 在需要替换磁性复合流体时， 电磁铁510直接 运动至载液盘100的上方吸取使用过的磁性复合流体。 0056 以上是对本发明的实施例进行了具体说明， 但本发明并不限于所述实施例， 熟悉 本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换， 这些等 同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。 此外， 在不冲突的情况下， 本发 明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。 说明书 6/6 页 9 CN 111761422 A 9 图1 说明书附图 1/4 页 10 CN 111761422 A 10 图2 说明书附图 2/4 页 11 CN 111761422 A 11 图3 图4 说明书附图 3/4 页 12 CN 111761422 A 12 图5 图6 说明书附图 4/4 页 13 CN 111761422 A 13 。