磁场探针台测试系统及测试方法.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010652988.5 (22)申请日 2020.07.08 (71)申请人 致真精密仪器 （青岛） 有限公司 地址 266100 山东省青岛市崂山区松岭路 393号北京航空航天大学青岛研究院6 号楼3层 申请人 北京航空航天大学 (72)发明人 张学莹林冠屹王麟 (74)专利代理机构 北京智绘未来专利代理事务 所(普通合伙) 11689 代理人 赵卿肖继军 (51)Int.Cl. G01R 33/12(2006.01) G01R 33/00(2006.01) G01R 1。

2、/067(2006.01) G01R 1/073(2006.01) (54)发明名称 一种磁场探针台测试系统及测试方法 (57)摘要 一种磁场探针台测试系统， 其包括： 用于减 震、 承载和固定其余部件的基座， 用于放置样品 的样品承载模块， 用于在不同测试磁场环境下测 试样品不同特性的探针模块， 电磁铁模块， 以及 用于观测探针模块和样品并进行操作， 采集图像 数据的显微测量装置， 所述电磁铁模块包括： 磁 铁桥架、 励磁电源和多个可拆卸的电磁铁单元， 磁铁桥架安装在基座上， 用于固定电磁铁单元； 多个可拆卸的电磁铁单元中的任意一个电磁铁 单元可拆卸地安装在磁铁桥架上， 用于在励磁电 源的激。

3、励下产生磁场。 所述磁场探针台测试系统 使用可拆卸、 可调节的电磁铁单元， 可以灵活地 生成一维或二维磁场， 并能够对不同尺寸的样品 进行兼容， 达到晶圆级样品测试探针台要求， 最 高可达24英寸。 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 CN 111766551 A 2020.10.13 CN 111766551 A 1.一种磁场探针台测试系统， 其包括： 用于减震、 承载和固定其余部件的基座(1)， 用于 放置样品的样品承载模块， 用于在不同测试磁场环境下测试样品不同特性的探针模块， 电 磁铁模块， 以及用于观测探针模块和样品并进行操作， 采集图像数据的显微测量装置(10)， 其特征在于： 。

4、所述电磁铁模块包括： 磁铁桥架(2)、 励磁电源和多个可拆卸的电磁铁单元(3)， 磁铁桥 架(2)安装在基座(1)上， 用于固定电磁铁单元(3)； 多个可拆卸的电磁铁单元(3)中的任意 一个电磁铁单元(3)可拆卸地安装在磁铁桥架(2)上， 用于在励磁电源的激励下产生磁场； 所述样品承载模块包括： 用于放置样品的样品台(6)和用于移动样品台(6)的位移台 (7)， 其中样品台(6)的样品盘面积最大可简兼容24英寸样品进行测试。 2.根据权利要求1所述的磁场探针台测试系统， 其特征在于： 多个可拆卸的电磁铁单元(3)包括第一电磁铁单元， 第一电磁铁单元包括： 垂直磁极、 第一水平磁极和第二水平磁极。

5、， 第一水平磁极与第二水平磁极相对， 构成水平磁极对， 每个 磁极上均绕制有线圈； 绕制在垂直磁极和水平磁极上的线圈通设定方向电流后， 可产生沿垂直方向的磁场， 用于样品在垂直磁场中的测试； 绕制在水平磁极对上的线圈通设定方向电流后可产生沿水 平磁极对方向的磁场用于样品在面内磁场中的测试； 垂直磁极与水平磁极对单独使用或同 时使用； 和/或 多个可拆卸的电磁铁单元(3)包括第二电磁铁单元， 第二电磁铁单元包括： 第三水平磁 极和第四水平磁极， 第三水平磁极与第四水平磁极相对， 构成水平磁极对， 每个磁极上均绕 制有线圈， 绕制在水平磁极对上的线圈通电后可产生沿水平磁极对方向的磁场。 3.根据权。

6、利要求1或2所述的磁场探针台测试系统， 其特征在于： 多个可拆卸的电磁铁单元(3)包括第三电磁铁单元， 第三电磁铁单元包括： 垂直磁极， 垂直磁极上绕制有线圈， 绕制在垂直磁极上的线圈通电后， 可产生沿垂直方向的磁场； 和/ 或 第三电磁铁单元还包括增强磁极， 增强磁极上绕制有线圈， 增强磁极轭铁为单极或两 个相对。 4.根据权利要求2或3中任一项所述的磁场探针台测试系统， 其特征在于： 在其中一个或者多个磁极的尖端附近设置磁传感器， 用单个磁传感器的信号或者多个 磁传感器信号的组合， 反馈到计算机或者单片机装置， 读取磁场； 进一步地可以根据读取的 磁场， 调节各励磁线圈的电流， 从而对磁场。

7、进行反馈调节。 5.根据权利要求1-4中任一项所述的磁场探针台测试系统， 其特征在于： 所述电磁铁模块还包括： 磁铁固定桌， 磁铁固定桌上方连接电磁铁单元(3)的磁极， 下 端固定于基座(1)之上， 用于克服在进行晶圆级样品测试时产生形变。 6.根据权利要求1-5中任一项所述的磁场探针台测试系统， 其特征在于： 所述样品承载模块包括： 样品台(6)和位移台(7)； 样品台(6)用于放置测试的样品； 样 品台(6)位于电磁铁单元(3)中的垂直磁极和水平磁极之间。 7.根据权利要求1-6中任一项所述的磁场探针台测试系统， 其特征在于： 位移台(7)上方连接至样品台(6)， 下方固定在基座(1)上，。

8、 用于移动样品台(6)， 调整样 品测试位置， 样品固定在样品台(6)上， 感受磁场； 位移台(7)设置在磁铁桥架(2)下方， 通过 权利要求书 1/2 页 2 CN 111766551 A 2 手动调节或电动调节位移台(7)， 驱动样品台(6)在测试时产生XY两轴的位移和/或绕Z轴的 旋转。 8.根据权利要求1-7中任一项所述的磁场探针台测试系统， 其特征在于： 所述探针模块包括： 探针平台(5)， 多组匹配测试系统的探针座(8)和探针(9)； 探针平 台(5)设置在电磁铁单元(3)上方， 并在探针(9)中心留有开口， 探针平台(5)用于承载和固 定探针座(8)； 探针(9)固定在探针座(8。

9、)上， 探针座(8)和探针(9)沿探针平台(5)的中间开 口均匀环绕分布， 探针(9)用于接触样品台上(7)的样品进行测试； 和/或 所述探针平台(5)通过多根探针台支撑柱(4)固定在基座上， 探针台支撑柱(4)可手动 或自动调节高度。 9.根据权利要求1-8中任一项所述的磁场探针台测试系统， 其特征在于： 显微测量装置(10)为一种光学显微镜， 包括光源、 相机模块、 显微成像模块等， 或者， 其 可替换为基于磁光克尔效应进行磁场测试的显微镜系统， 所述基于磁光克尔效应进行磁场 测试的显微镜设备包括： 光源、 偏振器和光电信号转换器。 10.一种基于权利要求1-9中任一项所述的磁场探针台测试。

10、系统的测试方法， 其特征在 于， 包括以下步骤： 步骤1： 根据样品的几何尺寸， 在多个电磁铁单元(3)中选择磁场方向相应的电磁铁单 元， 调整电磁铁单元(3)磁极之间的间距并选择样品台(6)； 步骤2： 将样品固定在样品台(6)上； 步骤3： 使用励磁电源对电磁铁单元(3)进行励磁， 产生用于测试的磁场； 步骤4： 调整探针(9)空间位置， 与接触样品， 并对探针(9)进行通电， 进行测试； 步骤5： 调整显微测量装置(10)， 用于观测探针(9)针尖和样品并进行操作， 采集图像数 据； 步骤6： 操作探针平台(5)运动至上位， 带动探针离开样品表面； 步骤7： 操作位移台(7)， 更换测试。

11、点； 步骤8： 操作探针平台(5)运动至下位， 带动探针扎于样品表面； 重复进行步骤5至步骤8， 获得该样品表面所有测试点的测试数据。 权利要求书 2/2 页 3 CN 111766551 A 3 一种磁场探针台测试系统及测试方法 技术领域 0001 本发明属于物理及半导体测试技术领域， 更具体地， 涉及一种磁场探针台测试系 统及测试方法。 背景技术 0002 物理及半导体领域中， 探针台测试是一种应用广泛的非破坏性测试手段， 可用于 测试材料样品或器件的电学特性、 光电特性、 高频特性(射频、 微波、 毫米波、 太赫兹波)等。 普通商用探针台， 可以用来进行电学测试， 无法提供磁场， 磁场探。

12、针台测试系统可对材料样 品或器件提供磁场， 研究它们在磁场下的相关特性， 其典型应用包括磁学、 自旋电子学、 半 导体物理与器件、 量子器件等。 0003 随着对磁性器件和自旋电子器件研究的深入， 磁场探针台需要满足多维度磁场和 电学测试的需求， 目前有技术人员提出集成磁场的探针台系统， 能产生面内磁场或者垂直 磁场， 但不能同时生成面内及垂直磁场， 并且不能进行大尺寸晶圆级测试， 样品移动困难， 试验耗时耗力。 0004 现有技术中的晶圆级磁场测试平台无法同时生成的面内和垂直磁场， 且生成的面 内或垂直磁场强度较大， 无法满足大场强环境的测试需求； 目前现有可提供较大磁场的磁 场测试平台由于。

13、结构原因无法满足晶圆级样品测试； 且在普通的晶圆级测试中， 要对大尺 寸样品中每一点进行测试， 操作过程费耗时耗力。 发明内容 0005 本发明的目的在于， 提供一种磁场探针台测试系统及测试方法， 使用可拆卸、 可调 节的电磁铁单元， 可以灵活地生成一维或二维磁场， 并能够对不同尺寸的样品进行兼容， 达 到大尺寸晶圆级样品测试探针台要求， 并提升测试自动化程度， 提升效率。 0006 本发明采用如下的技术方案。 一种磁场探针台测试系统， 其包括： 用于减震、 承载 和固定其余部件的基座， 用于放置样品的样品承载模块， 用于在不同测试磁场环境下测试 样品不同特性的探针模块， 电磁铁模块， 以及用。

14、于观测探针模块和样品并进行操作， 采集图 像数据的显微测量装置， 所述电磁铁模块包括： 磁铁桥架、 励磁电源和多个可拆卸的电磁铁 单元， 磁铁桥架安装在基座上， 用于固定电磁铁单元； 多个可拆卸的电磁铁单元中的任意一 个电磁铁单元可拆卸地安装在磁铁桥架上， 用于在励磁电源的激励下产生磁场； 所述样品 承载模块包括： 用于放置样品的样品台和用于移动样品台的位移台， 其中样品台的样品盘 面积最大可简兼容24英寸样品进行测试。 0007 优选地， 多个可拆卸的电磁铁单元包括第一电磁铁单元， 第一电磁铁单元包括： 垂 直磁极、 第一水平磁极和第二水平磁极， 第一水平磁极与第二水平磁极相对， 构成水平磁。

15、极 对， 每个磁极上均绕制有线圈； 0008 绕制在垂直磁极和水平磁极上的线圈通设定方向电流后， 可产生沿垂直方向的磁 场， 用于样品在垂直磁场中的测试； 绕制在水平磁极对上的线圈通设定方向电流后可产生 说明书 1/5 页 4 CN 111766551 A 4 沿水平磁极对方向的磁场用于样品在面内磁场中的测试； 垂直磁极与水平磁极对单独使用 或同时使用； 和/或 0009 多个可拆卸的电磁铁单元包括第二电磁铁单元， 第二电磁铁单元包括： 第三水平 磁极和第四水平磁极， 第三水平磁极与第四水平磁极相对， 构成水平磁极对， 每个磁极上均 绕制有线圈， 绕制在水平磁极对上的线圈通电后可产生沿水平磁极。

16、对方向的磁场。 0010 优选地， 多个可拆卸的电磁铁单元包括第三电磁铁单元， 第三电磁铁单元包括： 垂 直磁极， 垂直磁极上绕制有线圈， 绕制在垂直磁极上的线圈通电后， 可产生沿垂直方向的磁 场； 和/或 0011 第三电磁铁单元还包括增强磁极， 增强磁极上绕制有线圈， 增强磁极轭铁为单极 或两个相对。 0012 优选地， 在其中一个或者多个磁极的尖端附近设置磁传感器， 用单个磁传感器的 信号或者多个磁传感器信号的组合， 反馈到计算机或者单片机装置， 读取磁场； 进一步地可 以根据读取的磁场， 调节各励磁线圈的电流， 从而对磁场进行反馈调节。 0013 优选地， 所述电磁铁模块还包括： 磁铁。

17、固定桌， 磁铁固定桌上方连接电磁铁单元的 磁极， 下端固定于基座之上， 用于克服在进行晶圆级样品测试时产生形变。 0014 优选地， 所述样品承载模块包括： 样品台和位移台； 样品台用于放置测试的样品； 样品台位于电磁铁单元中的垂直磁极和水平磁极之间。 0015 优选地， 位移台上方连接至样品台， 下方固定在基座上， 用于移动样品台， 调整样 品测试位置， 样品固定在样品台上， 感受磁场； 位移台设置在磁铁桥架下方， 通过手动调节 或电动调节位移台， 驱动样品台在测试时产生XY两轴的位移和/或绕Z轴的旋转。 0016 优选地， 所述探针模块包括： 探针平台， 多组匹配测试系统的探针座和探针； 。

18、探针 平台设置在电磁铁单元上方， 并在探针中心留有开口， 探针平台用于承载和固定探针座； 探 针固定在探针座上， 探针座和探针沿探针平台的中间开口均匀环绕分布， 探针用于接触样 品台上的样品进行测试； 和/或 0017 所述探针平台通过多根探针台支撑柱固定在基座上， 探针台支撑柱可手动或自动 调节高度。 0018 优选地， 显微测量装置为一种光学显微镜， 包括光源、 相机模块、 显微成像模块等， 或者， 其可替换为基于磁光克尔效应进行磁场测试的显微镜系统， 所述基于磁光克尔效应 进行磁场测试的显微镜设备包括： 光源、 偏振器和光电信号转换器。 0019 本发明还提供了一种基于所述的磁场探针台测。

19、试系统的测试方法， 其特征在于， 包括以下步骤： 0020 步骤1： 根据样品的几何尺寸， 在多个电磁铁单元中选择磁场方向相应的电磁铁单 元， 调整电磁铁单元磁极之间的间距并选择样品台； 0021 步骤2： 将样品固定在样品台上； 0022 步骤3： 使用励磁电源对电磁铁单元进行励磁， 产生用于测试的磁场； 0023 步骤4： 调整探针空间位置， 与接触样品， 并对探针进行通电， 进行测试； 0024 步骤5： 调整显微测量装置， 用于观测探针针尖和样品并进行操作， 采集图像数据； 0025 步骤6： 操作探针平台运动至上位， 带动探针离开样品表面； 0026 步骤7： 操作位移台， 更换测试。

20、点； 说明书 2/5 页 5 CN 111766551 A 5 0027 步骤8： 操作探针平台运动至下位， 带动探针扎于样品表面； 0028 重复进行步骤5至步骤8， 获得该样品表面所有测试点的测试数据。 0029 本发明的有益效果在于， 与现有技术相比， 本发明可同时生成强度较大的面内及 垂直磁场， 本发明的其中一个核心之处就是把样品放在了面内磁极和垂直磁极之间， 大大 增加了样品的移动范围， 因此可适应晶圆测试的需求， 可进行晶圆级大尺寸样品的测试， 包 括但不限于8寸、 10寸、 12寸、 24寸等， 探针台可升降， 分为上位和下位， 上位时移动样品， 下 位时探针扎于样品表面进行测试。

21、。 可进行批量测试， 减少了每次测量过程中重复扎针所需 时间， 提高效率， 可进行自动化测试， 智能测试系统， 电动控制位移台、 探针台升降， 及探针 通电顺序， 遍历单个样品上所有测试点。 附图说明 0030 图1是依照本发明优选实施例构造的磁场探针台测试系统； 0031 图2是本发明优选实施例使用的第一种电磁铁单元； 0032 图3是本发明优选实施例使用的第二种电磁铁单元； 0033 图4是本发明优选实施例使用的第三种电磁铁单元； 0034 图5是本发明优选实施例使用的第四种电磁铁单元； 0035 图6是本发明优选实施例使用的第四种电磁铁单元； 0036 图7是本发明优选实施例使用第一种电。

22、磁铁单元产生磁场的示意图。 0037 图中： 0038 1-基座； 2-磁铁桥架； 3-二维电磁铁； 4-探针台支撑柱； 5-探针平台； 6-样品台； 7- 位移台； 8-探针座； 9-探针； 10-显微测量装置； A-第一水平磁极； B-第二水平磁极； s-样品。 具体实施方式 0039 下面结合附图对本申请作进一步描述。 以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明 的技术方案， 而不能以此来限制本申请的保护范围。 0040 如图1所示， 本发明的优选实施例提供了一种磁场探针台测试系统， 其包括： 用于 减震、 承载和固定其余部件的基座1， 用于放置样品的样品承载模块， 用于在不同测试磁场 环境下。

23、测试样品不同特性的探针模块， 电磁铁模块， 以及用于观测探针模块和样品并进行 操作， 采集图像数据的显微测量装置10。 0041 所述电磁铁模块包括： 磁铁桥架2、 励磁电源和多个可拆卸的电磁铁单元3， 磁铁桥 架2安装在基座1上， 用于固定电磁铁单元3； 多个可拆卸的电磁铁单元3中的任意一个电磁 铁单元3可拆卸地安装在磁铁桥架2上， 用于在励磁电源的激励下产生磁场。 0042 如图2所示， 多个可拆卸的电磁铁单元3包括第一电磁铁单元， 第一电磁铁单元包 括： 垂直磁极、 第一水平磁极A和第二水平磁极B， 第一水平磁极与第二水平磁极相对， 构成 水平磁极对， 每个磁极上均绕制有线圈。 0043。

24、 绕制在垂直磁极上的线圈通电后， 可产生沿垂直方向的磁场； 绕制在水平磁极对 上的线圈通电后可产生沿水平磁极对方向的磁场； 垂直磁极与水平磁极对单独使用或同时 使用。 如图7所示， 第一水平磁极A和第二水平磁极B线圈通电， 通电方向相同， 垂直磁极不通 电， 此时可生成一维面内磁场； 第一水平磁极A和第二水平磁极B通电， 通电方向相反， 使其 说明书 3/5 页 6 CN 111766551 A 6 生成方向沿X轴向背或相对， 同时垂直磁极通电， 使其生成磁场方向向上或向下， 此时可生 成较大的垂直磁场。 0044 如图3所示， 多个可拆卸的电磁铁单元3包括第二电磁铁单元， 第二电磁铁单元包 。

25、括： 第三水平磁极和第四水平磁极， 第三水平磁极与第四水平磁极相对， 构成水平磁极对， 每个磁极上均绕制有线圈， 绕制在水平磁极对上的线圈通电后可产生沿水平磁极对方向的 磁场。 0045 如图4所示， 多个可拆卸的电磁铁单元3包括第三电磁铁单元， 第三电磁铁单元包 括： 垂直磁极， 垂直磁极上绕制有线圈， 绕制在垂直磁极上的线圈通电后， 可产生沿垂直方 向的磁场。 0046 在其中一个或者多个磁极的尖端附近设置磁传感器， 用单个磁传感器的信号或者 多个磁传感器信号的组合， 反馈到计算机或者单片机装置， 读取磁场； 进一步地可以根据读 取的磁场， 调节各励磁线圈的电流， 从而对磁场进行反馈调节。。

26、 0047 所述电磁铁模块还包括： 磁铁固定桌， 磁铁固定桌上方连接电磁铁单元3的磁极， 下端固定于基座1之上， 用于克服在进行晶圆级样品s测试时时因为磁铁间距变大而产生形 变。 0048 第三电磁铁单元还包括增强磁极， 增强磁极上可以绕制有线圈， 增强磁极轭铁为 单极， 如图6所示， 或两个相对， 如图5所示。 0049 继续如图1所示， 所述样品承载模块包括： 样品台6和位移台7； 样品台6用于放置测 试的样品s； 作为本发明的一个重要创新点， 与现有技术不同之处， 样品台6位于电磁铁单元 3中的垂直磁极和水平磁极之间， 大大增加了样品的移动范围， 因此可适应晶圆测试的需 求； 位移台7上。

27、方连接至样品台6， 下方固定在基座1上， 用于移动样品台6， 调整样品测试位 置， 样品固定在样品台6上， 感受磁场； 位移台7设置在磁铁桥架2下方， 通过手动调节或电动 调节位移台7， 驱动样品台6在测试时产生XY轴的位移和/或绕Z轴的旋转。 电磁铁单元3和样 品台6依照不同尺寸的样品进行调节， 用于测试不超过24英寸的晶圆级样品。 即二维磁场电 磁铁3的和样品台6的可对不同尺寸的样品进行兼容， 达到晶圆级样品测试探针台要求， 最 高可达24英寸。 0050 所述探针模块包括： 探针平台5， 多组匹配测试系统的探针座8和探针9； 探针平台5 设置在电磁铁单元3上方， 并在探针9中心留有开口，。

28、 探针平台5用于承载和固定探针座8； 探 针9固定在探针座8上， 探针座8和探针9沿探针平台5的中间开口均匀环绕分布， 探针9用于 接触样品台上7的样品进行测试。 0051 所述探针平台5通过多根探针台支撑柱4固定在基座上， 探针台支撑柱4可手动或 自动调节高度， 优选但非限制性地， 探针台支撑柱4为机械、 气动、 液压或电动结构， 使用计 算机软件控制机械、 气动、 液压或电动结构的探针台支撑柱4， 用于驱动探针平台5沿Z轴方 向升降， 实现快速测试。 0052 所述探针座8固定于探针平台5上， 优选但非限制性地， 探针座8通过真空吸附、 螺 栓或夹装固定于探针平台5上， 所述探针9通过线缆。

29、连接至至少一台直流及高频仪器， 用于 在不同测试磁场环境下测试样品的不同特性； 所述探针座8在XYZ三轴方向对探针9进行微 调， 用于使探针9在测试时可以接触样品。 0053 所述显微测量装置10通过固定装置固定于底部基座， 用于观测探针9针尖和样品 说明书 4/5 页 7 CN 111766551 A 7 并进行操作， 采集图像数据， 显微测量装置的光学显微镜可进行XYZ三轴移动， 同时搭载摄 像机进行成像显示。 微测量装置10为一种光学显微镜， 包括光源、 相机模块、 显微成像模块 等， 或者， 其可替换为基于磁光克尔效应进行磁场测试的显微镜系统， 所述基于磁光克尔效 应进行磁场测试的显微。

30、镜设备其包括： 光源、 偏振器、 光电信号转换器。 0054 计算机通过数据控制线连接励磁电源、 直流及高频仪器和显微测量装置， 通过编 写的软件控制电流大小、 磁场大小和方向、 仪器自动控制、 数据和图像的采集和处理， 用于 将磁场探针台测试系统集成化为智能磁场探针台测试系统。 0055 实施例2： 0056 本发明的又一优选实施例还提供了一种基于上述磁场探针台测试系统的测试方 法， 包括以下步骤： 0057 步骤1： 根据样品的几何尺寸， 在多个电磁铁单元3中选择磁场方向相应的电磁铁 单元， 调整电磁铁单元3的磁极之间的间距并选择样品台6； 0058 步骤2： 将样品固定在样品台6上； 0。

31、059 步骤3： 使用励磁电源对电磁铁单元3进行励磁， 产生用于测试的磁场； 0060 步骤4： 调整探针9空间位置， 与接触样品， 并对探针9进行通电， 进行测试； 0061 步骤5： 调整显微测量装置10， 用于观测探针9针尖和样品并进行操作， 采集图像数 据； 0062 步骤6： 操作探针平台5运动至上位， 带动探针离开样品表面； 0063 步骤7： 操作位移台7， 更换测试点； 0064 步骤8： 操作探针平台5运动至下位， 带动探针扎于样品表面； 0065 重复进行步骤5至步骤8， 获得该样品表面所有测试点的测试数据。 0066 本发明的有益效果在于， 与现有技术相比， 本发明可同时。

32、生成强度较大的面内及 垂直磁场， 本发明的其中一个核心之处就是把样品放在了面内磁极和垂直磁极之间， 大大 增加了样品的移动范围， 因此可适应晶圆测试的需求， 可进行晶圆级大尺寸样品的测试， 包 括但不限于8寸、 10寸、 12寸、 24寸等， 探针台可升降， 分为上位和下位， 上位时移动样品， 下 位时探针扎于样品表面进行测试。 可进行批量测试， 减少了每次测量过程中重复扎针所需 时间， 提高效率， 可进行自动化测试， 智能测试系统， 电动控制位移台、 探针台升降， 及探针 通电顺序， 遍历单个样品上所有测试点。 0067 本发明申请人结合说明书附图对本发明的实施示例做了详细的说明与描述， 但是 本领域技术人员应该理解， 以上实施示例仅为本发明的优选实施方案， 详尽的说明只是为 了帮助读者更好地理解本发明精神， 而并非对本发明保护范围的限制， 相反， 任何基于本发 明的发明精神所作的任何改进或修饰都应当落在本发明的保护范围之内。 说明书 5/5 页 8 CN 111766551 A 8 图1 图2 说明书附图 1/3 页 9 CN 111766551 A 9 图3 图4 图5 说明书附图 2/3 页 10 CN 111766551 A 10 图6 图7 说明书附图 3/3 页 11 CN 111766551 A 11 。