焦平面组件调节装置及方法.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010706939.5 (22)申请日 2020.07.21 (71)申请人 上海航天控制技术研究所 地址 201109 上海市闵行区中春路1555号 (72)发明人 张惠杜伟峰高文杰谢廷安 叶宋杭翟正一武斌 (74)专利代理机构 上海元好知识产权代理有限 公司 31323 代理人 包姝晴张静洁 (51)Int.Cl. G02B 7/00(2006.01) (54)发明名称 一种焦平面组件调节装置及方法 (57)摘要 本发明涉及一种焦平面组件调节装置及方 法。 焦平面组件由。

2、探测器和探测器安装板组成， 调节装置包含固定螺钉、 调节紧定用的螺丝和锁 紧螺钉。 探测器安装板的四个安装角设计成挠性 结构， 通过挠性设计保证探测器安装有六维自由 度且具备必要强度， 通过不同位置的调节紧定螺 丝， 可实现探测器安新板不同维度的调节， 从而 保证光学系统达到一定的精度要求， 调节完成后 通过锁紧螺钉进行锁死。 本发明结构简单、 调节 方便， 可实现焦平面的高精度装调， 实现焦平面 组件的六维调整。 权利要求书2页 说明书6页 附图10页 CN 111766671 A 2020.10.13 CN 111766671 A 1.一种焦平面组件调节装置， 其特征在于， 包含： 焦平面。

3、组件， 设有探测器安装板， 和固定在探测器安装板本体的探测器； 固定螺钉， 用于将探测器安装板初步固定至外部的基座； 探测器安装板的四个角落分 别设有安装块， 并在安装块开设有固定螺钉孔， 用于设置对应的固定螺钉； 固定螺钉孔的安 装块各自通过挠性支撑， 连接至探测器安装板本体； 调节紧定用的螺丝， 在探测器安装板初步固定后， 用于对焦平面组件实现六维调节； 锁紧螺钉， 在焦平面组件调节完成后， 用于对探测器安装板固定和锁死； 其中， 所述调节紧定用的螺丝进一步包含： 平行于z轴的多个螺丝， 其各自穿过探测器安装板本体拧入基座， 用于使焦平面组件沿 z轴平移， 或者绕x轴或y轴旋转； 在xoy。

4、平面布置的多个螺丝， 用于使焦平面组件绕z轴旋转， 或者绕x轴或y轴平移； 所述 在xoy平面布置的多个螺丝， 各自与探测器安装板本体上设置的挠性凸舌接触。 2.如权利要求1所述的焦平面组件调节装置， 其特征在于， 在xoy平面布置的螺丝， 进一步包含： 分别平行于y轴的第一组螺丝， 在四个象限内分布， 相应地顶着探测器安装板本体处平 行于x轴的凸舌； 分别平行于x轴的多个第二组螺丝， 在四个象限内分布， 相应地顶着探测器安装板本体 上平行于y轴的凸舌。 3.如权利要求1所述的焦平面组件调节装置， 其特征在于， 挠性支撑各自在xoy平面包含连续弯折若干次的方波型结构； 或者， 挠性支撑各自在z。

5、轴方向包含连续弯折若干次的方波型结构。 4.如权利要求13中任意一项所述的焦平面组件调节装置， 其特征在于， 挠性支撑在xoy平面沿探测器安装板的对角线方向布置； 探测器安装板形成有四个缺口， 四处固定螺钉孔的安装块通过相应的挠性支撑沿对角 线方向延伸到相应的缺口内， 并布置在探测器安装板的四个角落的位置； 每个固定螺钉孔有两个对应的凸舌； 探测器安装板本体四个边缘的端部， 分别朝着探 测器安装板的角落方向延伸一定距离形成凸舌， 所述凸舌在缺口内， 且与固定螺钉孔的安 装块之间留有间隔。 5.如权利要求1所述的焦平面组件调节装置， 其特征在于， 平行于z轴有三个螺丝， 与其对应的第一安装孔， 。

6、位于探测器安装板本体上； 其中一个 螺丝位于y轴的正半轴上； 另外两个螺丝分别位于第三象限和第四象限。 6.如权利要求1所述的焦平面组件调节装置， 其特征在于， 分别平行于z轴的锁紧螺钉， 各自穿过探测器安装板本体拧入基座； 在探测器安装板被 初步固定后， 锁紧螺钉处于松弛状态； 在焦平面组件调节完成后， 通过锁紧螺钉进行固定和 锁死。 7.如权利要求1或6所述的焦平面组件调节装置， 其特征在于， 与三个锁紧螺钉对应的第二安装孔， 位于探测器安装板本体上； 其中两个锁紧螺钉分 别位于第一象限和第二象限； 另一个锁紧螺钉位于y轴的负半轴上。 8.一种焦平面组件的调节方法， 使用权利要求17中任意。

7、一项所述的焦平面组件调节 权利要求书 1/2 页 2 CN 111766671 A 2 装置， 其特征在于， 所述调节方法包含以下过程： 将探测器安装到探测器安装板上组成焦平面组件， 将焦平面组件安装在基座上； 通过 固定螺钉将探测器安装板初步固定在基座； 设置调节紧定用的螺丝： 将在xoy平面布置的多个螺丝， 拧入基座上相应位置的安装 块， 并使在xoy平面布置的多个螺丝分别与探测器安装板上挠性的凸舌接触； 平行于z轴的 螺丝穿过探测器安装板拧入基座； 将锁紧螺钉穿过探测器安装板拧入基座， 且处于松弛状 态； 通过外部设备检测到焦平面组件位置偏差时， 对调节紧定用螺丝进行调节， 来进行焦 平。

8、面组件的调节； 焦平面组件调节完成后， 通过锁紧螺钉进行锁紧固定。 9.如权利要求8所述焦平面组件的调节方法， 其特征在于， 实现焦平面组件的六维调节， 包含： 各个平行于z轴的螺丝有相同的调节量时， 焦平面组件沿z轴平移； 在xoy平面布置的螺丝， 包含分别平行于y轴、 在四个象限分布的多个第一组螺丝， 和分 别平行于x轴、 在四个象限分布的多个第二组螺丝； 同时调节同一组中至少一个对角线上的 螺丝时， 焦平面组件绕z轴旋转； 对第一组螺丝， 与探测器安装板同一侧边缘的凸舌接触的第一组螺丝有相同的调节量 时， 焦平面组件沿y轴平移； 对第二组螺丝， 与探测器安装板同一侧边缘的凸舌的第二组螺丝。

9、有相同的调节量时， 焦平面组件沿x轴平移； 对平行于z轴的螺丝， 在调节位于第一象限、 或x轴正半轴、 或第四象限的螺丝时， 焦平 面组件沿y轴顺时针旋转； 或者， 在调节位于第二象限、 或x轴负半轴、 或第三象限的螺丝时， 焦平面组件沿y轴逆时针旋转； 对平行于z轴的螺丝， 在调节位于第一象限、 或y轴正半轴、 或第二象限的螺丝时， 使焦 平面组件绕x轴顺时针旋转； 或者， 在调节位于第三象限、 或y轴负半轴、 或第四象限的螺丝 时， 焦平面组件沿x轴逆时针旋转。 权利要求书 2/2 页 3 CN 111766671 A 3 一种焦平面组件调节装置及方法 技术领域 0001 本发明涉及一种焦。

10、平面组件调节装置及方法， 在光电仪器领域中用于焦平面的调 节。 背景技术 0002 在光电成像和光电传感领域都会使用到探测器， 因此都面临着探测器的安装问 题。 从单反或数码相机， 天文望远镜， 显微镜、 光刻机、 到航空航天用的侦查相机， 再到光电 跟瞄和制导等， 无论是民用、 科学使用、 或是军事国防领域， 都会涉及到探测器的装调。 一个 性能优良的焦平面组件， 是整套系统性能是否达标的基础保证。 0003 在已有的技术中， 在焦平面组件中探测器固定在安装板上， 安装板通过螺钉与基 座相连接。 焦平面组件的位置通过机械加工保障， 如果需要调节， 那么也只是简单的通过螺 孔的间隙来进行移动。。

11、 这种调节方式无法进行角度调节， 而且调节过程无法实际连续调节。 0004 针对上述问题， CN204852808U中给出了一种焦平面两维方向平移的装置， 装置中 用到了齿轮和齿条。 CN10129108A中展示了一种可实现四维调节的光学调整架， 但其仅能实 现一个方向转动和三个方向平移。 CN103913808A中提供了一种四维光学调整装置， 由相互 嵌套的三个环组成， 其功能也只实现了四维调节。 CN101915974A中提供了一种二维独立调 节装置， 仅通过调节紧定螺丝来进行相应的调节， 也只是限制在二维方法。 0005 因此， 已有的焦平面调节装置， 都在以增加调节的维度和简化调节装置。

12、为目标， 但 是都无法实现六维可调， 还存在装置体积大且笨重等问题。 发明内容 0006 为了克服已有技术的缺点， 本发明的目的是提供一种焦平面组件调节装置， 结构 小巧、 调节方便， 对焦平面组件实现六维可调。 本发明还提供了基于这种装置的焦平面调节 方法。 0007 为了达到上述目的， 本发明的一个技术方案是提供一种焦平面组件调节装置， 包 含： 0008 焦平面组件， 设有探测器安装板， 和固定在探测器安装板本体的探测器； 0009 固定螺钉， 用于将探测器安装板初步固定至外部的基座； 探测器安装板的四个角 落分别设有安装块， 并在安装块开设有固定螺钉孔， 用于设置对应的固定螺钉； 固定。

13、螺钉孔 的安装块各自通过挠性支撑， 连接至探测器安装板本体； 0010 调节紧定用的螺丝， 在探测器安装板初步固定后， 用于对焦平面组件实现六维调 节； 0011 锁紧螺钉， 在焦平面组件调节完成后， 用于对探测器安装板固定和锁死； 0012 其中， 所述调节紧定用的螺丝进一步包含： 0013 平行于z轴的多个螺丝， 其各自穿过探测器安装板本体拧入基座， 用于使焦平面组 件沿z轴平移， 或者绕x轴或y轴旋转； 说明书 1/6 页 4 CN 111766671 A 4 0014 在xoy平面布置的多个螺丝， 用于使焦平面组件绕z轴旋转， 或者绕x轴或y轴平移； 所述在xoy平面布置的多个螺丝， 。

14、各自与探测器安装板本体上设置的挠性凸舌接触。 0015 可选地， 在xoy平面布置的螺丝， 进一步包含： 0016 分别平行于y轴的第一组螺丝， 在四个象限内分布， 相应地顶着探测器安装板本体 处平行于x轴的凸舌； 0017 分别平行于x轴的多个第二组螺丝， 在四个象限内分布， 相应地顶着探测器安装板 本体上平行于y轴的凸舌。 0018 可选地， 挠性支撑各自在xoy平面包含连续弯折若干次的方波型结构； 0019 或者， 挠性支撑各自在z轴方向包含连续弯折若干次的方波型结构。 0020 可选地， 挠性支撑在xoy平面沿探测器安装板的对角线方向布置； 0021 探测器安装板形成有四个缺口， 四处。

15、固定螺钉孔的安装块通过相应的挠性支撑沿 对角线方向延伸到相应的缺口内， 并布置在探测器安装板的四个角落的位置； 0022 每个固定螺钉孔有两个对应的凸舌； 探测器安装板本体四个边缘的端部， 分别朝 着探测器安装板的角落方向延伸一定距离形成凸舌， 所述凸舌在缺口内， 且与固定螺钉孔 的安装块之间留有间隔。 0023 可选地， 平行于z轴有三个螺丝， 与其对应的第一安装孔， 位于探测器安装板本体 上； 其中一个螺丝位于y轴的正半轴上； 另外两个螺丝分别位于第三象限和第四象限。 0024 可选地， 分别平行于z轴的锁紧螺钉， 各自穿过探测器安装板本体拧入基座； 在探 测器安装板被初步固定后， 锁紧螺。

16、钉处于松弛状态； 在焦平面组件调节完成后， 通过锁紧螺 钉进行固定和锁死。 0025 可选地， 与三个锁紧螺钉对应的第二安装孔， 位于探测器安装板本体上； 其中两个 锁紧螺钉分别位于第一象限和第二象限； 另一个锁紧螺钉位于y轴的负半轴上。 0026 本发明的另一个技术方案是提供一种焦平面组件的调节方法， 使用上述任意一种 焦平面组件调节装置； 所述调节方法包含以下过程： 0027 将探测器安装到探测器安装板上组成焦平面组件， 将焦平面组件安装在基座上； 通过固定螺钉将探测器安装板初步固定在基座； 0028 设置调节紧定用的螺丝： 将在xoy平面布置的多个螺丝， 拧入基座上相应位置的安 装块， 。

17、并使在xoy平面布置的多个螺丝分别与探测器安装板上的挠性的凸舌接触； 平行于z 轴的螺丝穿过探测器安装板拧入基座； 将锁紧螺钉穿过探测器安装板拧入基座， 且处于松 弛状态； 0029 通过外部设备检测到焦平面组件位置偏差时， 对调节紧定用螺丝进行调节， 来进 行焦平面组件的调节； 焦平面组件调节完成后， 通过锁紧螺钉进行锁紧固定。 0030 可选地， 实现焦平面组件的六维调节， 包含： 0031 各个平行于z轴的螺丝有相同的调节量时， 焦平面组件沿z轴平移； 0032 在xoy平面布置的螺丝， 包含分别平行于y轴、 在四个象限分布的多个第一组螺丝， 和分别平行于x轴、 在四个象限分布的多个第二。

18、组螺丝； 同时调节同一组中至少一个对角线 上的螺丝时， 焦平面组件绕z轴旋转； 0033 对第一组螺丝， 与探测器安装板同一侧边缘的凸舌接触的第一组螺丝有相同的调 节量时， 焦平面组件沿y轴平移； 说明书 2/6 页 5 CN 111766671 A 5 0034 对第二组螺丝， 与探测器安装板同一侧边缘的凸舌的第二组螺丝有相同的调节量 时， 焦平面组件沿x轴平移； 0035 对平行于z轴的螺丝， 在调节位于第一象限、 或x轴正半轴、 或第四象限的螺丝时， 焦平面组件沿y轴顺时针旋转； 或者， 在调节位于第二象限、 或x轴负半轴、 或第三象限的螺 丝时， 焦平面组件沿y轴逆时针旋转； 0036。

19、 对平行于z轴的螺丝， 在调节位于第一象限、 或y轴正半轴、 或第二象限的螺丝时， 使焦平面组件绕x轴顺时针旋转； 或者， 在调节位于第三象限、 或y轴负半轴、 或第四象限的 螺丝时， 焦平面组件沿x轴逆时针旋转。 0037 本发明的一种焦平面组件调节装置及方法， 具有以下的积极效果： 0038 1、 可实现焦平面组件的六维调节， 从而可以保证光学系统和焦平面组件之间的达 到优良配合， 保证了整体系统的性能。 0039 2、 焦平面组件中探测器安装板进行挠性设计， 保证自身的六维自由度， 而不需要 外部的装置提供自由度， 从而保证此装置小巧紧凑。 0040 3、 焦平面组件调节完成后， 可以通。

20、过锁死螺钉进行锁紧固定， 从而约束调节完成 后焦平面组件的自由度， 保证整体的稳定性。 0041 4、 本装置小巧紧凑、 可实现六维调节、 带有锁死功能、 性能稳定可靠， 可广泛应用 于高精度的光电机系统中。 附图说明 0042 图1是本发明的焦平面组件调节装置的示意图； 0043 图2a是探测器安装板及其挠性结构； 0044 图2b是图2a中P方向的视图， 其中一处挠性支撑为剖视； 0045 图3a、 图3b显示出焦平面组件的安装位置， 图3a是俯视图， 图3b是立体图； 0046 图4a图4f通过有限元分析验证探测器安装板具备六维自由度： 0047 图4a体现沿z轴平移的自由度； 0048。

21、 图4b体现绕z轴旋转的自由度； 0049 图4c体现沿y轴平移的自由度； 0050 图4d体现绕y轴旋转的自由度； 0051 图4e体现沿x轴平移的自由度； 0052 图4f体现绕x轴旋转的自由度。 具体实施方式 0053 如图1所示， 本发明的一种焦平面组件调节装置， 包括探测器10、 探测器安装板20、 固定螺钉7174、 锁紧螺钉6163， 以及调节紧定用的第一组螺丝3134、 第二组螺丝41 44、 第三组螺丝5153。 0054 配合参见图1、 图2a、 图2b、 图3a、 图3b所示， 探测器10固定在探测器安装板20上； 固 定螺钉7174用来将探测器安装板20初步固定在基座1。

22、00上； 螺丝3134、 4144、 5153 分三组用来进行六维调节； 锁紧螺钉6163用来对探测器安装板20固定和锁死。 0055 探测器安装板20有四处固定螺钉孔， 用于设置对应的固定螺钉7174。 这四个固 说明书 3/6 页 6 CN 111766671 A 6 定螺钉孔的安装块， 位于探测器安装板20的四个角落， 通过各自对应的挠性支撑8184与 探测器安装板20的主体连接； 挠性支撑8184在xoy平面分别沿探测器安装板20的对角线 方向布置， 各自在xoy平面包含连续弯折若干次的方波型结构(图2a)， 或者， 各自在z轴方向 包含连续弯折若干次的方波型结构(图2b)。 0056。

23、 即， 探测器安装板20形成有四个缺口， 四处固定螺钉孔的安装块通过相应的挠性 支撑8184， 得以沿对角线方向延伸到相应的缺口内， 并布置在探测器安装板20的四个角 落的位置。 每个固定螺钉孔安装块与探测器安装板20之间的挠性连接(挠性支撑8184)， 使探测器安装板20具备六维自由度。 0057 与每个固定螺钉孔配合， 设置有两个挠性的凸舌90； 从探测器安装板20本体对应 每个角落的两侧边缘， 分别延伸一定距离到缺口内， 在固定螺钉孔安装块两侧形成与其留 有一定间隔的凸舌90。 调节紧定用的第一组螺丝3134和第二组螺丝4144， 会分别顶在 相应一侧的凸舌90上。 0058 以探测器安。

24、装板20的中心为原点。 第一组螺丝3134在xoy平面的四个象限， 分别 平行于y轴， 相应地顶在平行于x轴的四个凸舌90上； 这些凸舌90是本体上平行于x轴的两个 边缘的端部延伸段。 0059 第二组螺丝4144在xoy平面的四个象限， 分别平行于x轴， 相应地顶在平行于y轴 的四个凸舌90上； 这些凸舌90是本体上平行于y轴的两个边缘的端部延伸段。 0060 通过凸舌90的设置， 在调节xoy平面内的这些螺丝， 使焦平面组件绕x轴， y轴平移 和绕z轴旋转时， 可以保证结构有柔性， 其他的调节紧定螺丝无需退出， 调节过程不会出现 卡死现象。 0061 调节紧定用的第三组螺丝5153， 平行。

25、于z轴， 其对应的第一安装孔， 位于探测器 安装板20本体上； 第一安装孔的虚拟连线， 以三角的形式分布设置； 其中一个螺丝51位于y 轴正半轴上； 另外两个螺丝52、 53分别位于第三象限、 第四象限。 调节第三组螺丝5153， 可 以使焦平面组件沿z轴平移， 绕x轴， y轴旋转。 0062 与锁紧螺钉6163对应的第二安装孔， 位于探测器安装板20本体上； 第二安装孔 的虚拟连线， 以倒三角的形式分布设置(与第一安装孔构成的三角方向相反)： 其中两个锁 紧螺钉62、 61分别位于第一象限、 第二象限； 另一个锁紧螺钉63位于y轴的负半轴上。 通过三 组不同方位的调节紧定螺丝， 可以完成焦平。

26、面组件的六维调节， 调节完成后通过锁紧螺钉 6163对探测器安装板20进行锁死。 0063 以下介绍本发明的一种焦平面调节方法： 0064 将探测器10安装到探测器安装板20上， 将探测器10和探测器安装板20组成的焦平 面组件安装在基座100上； 固定螺钉7174穿过四个角落的固定螺钉孔， 将探测器安装板20 初步固定在基座100； 将调节紧定用的第一组螺丝3134、 第二组螺丝4144， 拧入基座100 上相应位置的安装块， 并保证第一组螺丝3134、 第二组螺丝4144分别与探测器安装板 20上的凸舌90接触； 第三组螺丝5153穿过探测器安装板20上的相应第一安装孔拧入基 座； 将锁紧。

27、螺钉6163穿过探测器安装板20上相应的第二安装孔拧入基座， 且此时要求锁 紧螺钉6163处于松弛状态； 通过外部设备可检测到焦平面组件的位置偏差； 根据需要， 从 不同方位调节相应的螺丝， 来完成焦平面组件的调节； 调节完成后， 通过锁紧螺钉6163进 行锁紧固定， 完成焦平面组件的调节。 说明书 4/6 页 7 CN 111766671 A 7 0065 其中， 通过对螺丝3134、 4144、 5153的调节， 可以实现焦平面组件的六维调 节： 0066 通过给各个第三组螺丝51、 52、 53相同的调节量， 可实现焦平面组件沿z轴平移。 参 见图4a的有限元分析验证， 探测器安装板本体。

28、的颜色， 与探测器安装板角落的固定螺钉安 装孔的安装块颜色不同， 结合挠性支撑处的变形， 表示探测器安装板本体与固定螺钉安装 孔的安装块在z轴上有相对移动； 而四处挠性支撑被拉伸变形的情况类似， 本体各处的颜色 也基本一致， 说明结构沿z轴是平移的。 0067 对第一组和第二组螺丝， 通过同时调节同一组中至少一个对角线上的螺丝， 如螺 丝31、 34、 或螺丝32、 33， 或螺丝41、 44， 或螺丝42、 43， 可实现焦平面组件绕z轴旋转。 参见图 4b的有限元分析验证(示意了逆时针旋转)， 固定螺钉安装孔的安装块在探测器安装板的角 落位置不变， 各个安装孔顺时针一侧的凸舌被螺丝往里推，。

29、 更靠近于安装块， 挠性支撑有变 形且都偏向这一侧的凸舌； 而逆时针一侧的凸舌则向外， 相对远离安装块， 结合探测器安装 板本体上环形的颜色分布， 表示结构绕z轴产生旋转。 0068 对第一组螺丝， 通过给位于探测器安装板同一侧的螺丝31、 32， 或螺丝33、 34相同 调节量， 可实现焦平面组件沿y轴平移。 参见图4c的有限元分析验证(示意了向y轴正向的移 动)， 固定螺钉安装孔的安装块在探测器安装板的角落位置不变， 相应的螺丝被调节使得探 测器安装板在平行于x轴的(对应y轴正向一侧边缘和y轴负向一侧边缘的)凸舌均有变形， 说明有外力作用； 探测器安装板上平行于y轴的凸舌之中， 第一、 第。

30、二象限的凸舌都相对靠 近于各自象限的安装块， 而第三、 第四象限的凸舌则相对远离其各自象限的安装块； 第一、 第二象限的两个挠性支撑被压缩， 第三、 第四象限的两个挠性支撑被拉伸， 变形情况相反； 再比较探测器安装板本体与角落处安装块在平行于x轴的边缘位置， 可见探测器安装板本 体向y轴正向产生了移动。 0069 对第三组螺丝， 通过调节螺丝52或螺丝53， 可实现焦平面组件沿y轴旋转。 参见图 4d的有限元分析验证， 探测器安装板本体的颜色大致呈条状分布且从x轴负向、 本体中部到 x轴正向有颜色变化； 第二、 第三象限的两个挠性支撑的变形情况类似， 第一、 第四象限的两 个挠性支撑的变形情况。

31、类似但与其他两个象限的变形情况相反， 由此表示结构绕y轴产生 旋转。 0070 对第二组螺丝， 通过给位于探测器安装板同一侧的螺丝41、 42， 或螺丝43、 44相同 调节量， 可实现焦平面组件沿x轴平移。 参见图4e的有限元分析验证(示意了向x轴负向的移 动)， 固定螺钉安装孔的安装块在探测器安装板的角落位置不变， 相应的螺丝被调节使得探 测器安装板在平行于y轴的(对应x轴正向一侧边缘和x轴负向一侧边缘的)凸舌均有变形， 说明有外力作用； 探测器安装板上平行于x轴的凸舌中， 第二、 第三象限的凸舌都相对靠近 其各自象限的安装块， 第一、 第四象限的凸舌则相对远离其各自象限的安装块； 第二、。

32、 第三 象限的两个挠性支撑被压缩， 第一、 第四象限的两个挠性支撑被拉伸， 变形情况相反； 再比 较探测器安装板本体与角落处安装块在平行于y轴的边缘位置， 可见探测器安装板本体向x 轴负向产生了移动。 0071 对第三组螺丝， 通过调节y轴正半轴的螺丝51， 或调节第三、 第四象限的螺丝52、 53， 可实现焦平面组件绕x轴旋转。 参见图4f的有限元分析验证， 探测器安装板本体的颜色 大致呈条状分布且从y轴负向、 本体中部到y轴正向有颜色变化； 第一、 第二象限的两个挠性 说明书 5/6 页 8 CN 111766671 A 8 支撑的变形情况类似， 第三、 第四象限的两个挠性支撑的变形情况类。

33、似但与其他两个象限 的变形情况相反， 由此表示结构绕x轴产生旋转。 0072 综上所述， 焦平面组件由探测器和探测器安装板组成， 探测器安装板的四个安装 角设计成挠性结构， 通过挠性设计保证探测器安装有六维自由度且具备必要强度， 通过不 同位置的调节紧定螺丝， 可实现探测器安新板不同维度的调节， 从而保证光学系统达到一 定的精度要求， 调节完成后通过螺钉进行锁死。 本发明结构简单、 调节方便， 可实现焦平面 的高精度装调。 0073 尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍， 但应当认识到上述的 描述不应被认为是对本发明的限制。 在本领域技术人员阅读了上述内容后， 对于本发明的 多种。

34、修改和替代都将是显而易见的。 因此， 本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。 说明书 6/6 页 9 CN 111766671 A 9 图1 说明书附图 1/10 页 10 CN 111766671 A 10 图2a 说明书附图 2/10 页 11 CN 111766671 A 11 图2b 说明书附图 3/10 页 12 CN 111766671 A 12 图3a 图3b 说明书附图 4/10 页 13 CN 111766671 A 13 图4a 说明书附图 5/10 页 14 CN 111766671 A 14 图4b 说明书附图 6/10 页 15 CN 111766671 A 15 图4c 说明书附图 7/10 页 16 CN 111766671 A 16 图4d 说明书附图 8/10 页 17 CN 111766671 A 17 图4e 说明书附图 9/10 页 18 CN 111766671 A 18 图4f 说明书附图 10/10 页 19 CN 111766671 A 19 。