可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010855343.1 (22)申请日 2020.08.24 (71)申请人 光驰科技 （上海） 有限公司 地址 200444 上海市宝山区宝山城市工业 园区城银路267号 (72)发明人 马淑莹余海春戴晓东陈韶华 (74)专利代理机构 上海申蒙商标专利代理有限 公司 31214 代理人 周宇凡 (51)Int.Cl. C23C 14/34(2006.01) C23C 14/50(2006.01) C23C 14/56(2006.01) (54)发明名称 一种可以兼容不同形。

2、状基板的溅射镀膜设 备 (57)摘要 本发明涉及薄膜制备技术领域， 尤其是一种 可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备， 其特征 在于： 所述搬入室中设置有若干所述基板的置放 位， 所述若干置放位呈环形布置， 若干所述置放 位在所述搬入室的位置均可动并满足于每个所 述置放位均可逐一对应于所述升降室且通过所 述升降室与所述真空镀膜室进行基板交互的要 求。 本发明的优点是： 可以很好地兼容板状和筒 状甚至于各种异形基板， 不仅大大提高了设备的 利用率， 更是提供了一种新的基板缓存方式； 结 构简单合理、 通用性强、 安拆方便， 适于推广。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 111778488。

3、 A 2020.10.16 CN 111778488 A 1.一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备， 包括真空镀膜室、 升降室和搬入室， 所 述搬入室通过所述升降室与所述真空镀膜室相连通， 其中所述升降室用于实现基板交互， 所述基板交互是指将所述搬入室中装载有待成膜产品的基板搬入至所述真空镀膜室内进 行成膜和将所述真空镀膜室内装载有已成膜产品的基板搬出至所述搬入室中， 其特征在 于： 所述搬入室中设置有若干所述基板的置放位， 所述若干置放位呈环形布置， 若干所述置 放位在所述搬入室的位置均可动并满足于每个所述置放位均可逐一对应于所述升降室且 通过所述升降室与所述真空镀膜室进行基板交互的要求。。

4、 2.根据权利要求1所述的一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备， 其特征在于： 若 干所述置放位设置在一环形轨道线上， 所述环形轨道线连接有驱动装置， 所述驱动装置连 接驱动所述环形轨道线运动， 以实现所述环形轨道线上的若干所述置放位相较于所述升降 室的切换。 3.根据权利要求1或2所述的一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备， 其特征在 于： 所述基板包括平面基板、 曲面基板或异形基板， 所述置放位满足于安装所述平面基板、 所述曲面基板或所述异形基板的要求。 4.根据权利要求1所述的一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备， 其特征在于： 所 述升降室内设置有夹爪及夹爪驱动机构， 所述夹爪驱。

5、动机构连接驱动所述夹爪进行运动实 现所述基板交互， 所述夹爪可夹持所述基板。 5.根据权利要求4所述的一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备， 其特征在于： 所 述基板的板体上、 下两侧分别设置有用于实现基板交互的连接部。 6.根据权利要求1所述的一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备， 其特征在于： 所 述真空镀膜室内设置有成膜转架， 所述基板安装在所述成膜转架上并可在所述成膜转架的 带动下在所述真空镀膜室内公转。 7.根据权利要求6所述的一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备， 其特征在于： 所 述成膜转架上可拆卸式的安装有三级齿轮机构， 所述三级齿轮机构连接驱动所述基板在所 述成膜转架上。

6、自转。 权利要求书 1/1 页 2 CN 111778488 A 2 一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备 技术领域 0001 本发明涉及薄膜制备技术领域， 尤其是一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设 备。 背景技术 0002 近年来， 智能手机、 平板电脑、 AR/VR眼镜等电子产品市场蓬勃发展； 相应地， 这些 智能终端的品质提升也对此类产品所需触摸屏等部件的镀膜技术提出了更高要求。 比如， 目前的市场对曲面、 弧面、 平面和筒状等多种不同形状的产品提出了镀膜要求， 从而使异形 镀膜基板越来越多， 仅适用于单一的平面载体基板镀膜的镀膜设备已无法满足多样化产品 的镀膜需求。 另外， 在镀膜。

7、基板形状多样化的同时， 如何提高镀膜设备的兼容性， 在同一台 设备中实现多种形状基板的镀膜也成为真空镀膜设备制造领域的重要技术课题之一。 发明内容 0003 本发明的目的是根据上述现有技术的不足， 提供了一种可以兼容不同形状基板的 溅射镀膜设备， 通过环形流水线式的基板缓存方式配合兼容性结构设计， 实现在一台溅射 镀膜设备上兼容不同形状基板的功能。 0004 本发明目的实现由以下技术方案完成： 一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备， 包括真空镀膜室、 升降室和搬入室， 所述 搬入室通过所述升降室与所述真空镀膜室相连通， 其中所述升降室用于实现基板交互， 所 述基板交互是指将所述搬入室中装载有。

8、待成膜产品的基板搬入至所述真空镀膜室内进行 成膜和将所述真空镀膜室内装载有已成膜产品的基板搬出至所述搬入室中， 其特征在于： 所述搬入室中设置有若干所述基板的置放位， 所述若干置放位呈环形布置， 若干所述置放 位在所述搬入室的位置均可动并满足于每个所述置放位均可逐一对应于所述升降室且通 过所述升降室与所述真空镀膜室进行基板交互的要求。 0005 若干所述置放位设置在一环形轨道线上， 所述环形轨道线连接有驱动装置， 所述 驱动装置连接驱动所述环形轨道线运动， 以实现所述环形轨道线上的若干所述置放位相较 于所述升降室的切换。 0006 所述基板包括平面基板、 曲面基板或异形基板， 所述置放位满足于。

9、安装所述平面 基板、 所述曲面基板或所述异形基板的要求。 0007 所述升降室内设置有夹爪及夹爪驱动机构， 所述夹爪驱动机构连接驱动所述夹爪 进行运动实现所述基板交互， 所述夹爪可夹持所述基板。 0008 所述基板的板体上、 下两侧分别设置有用于实现基板交互的连接部。 0009 所述真空镀膜室内设置有成膜转架， 所述基板安装在所述成膜转架上并可在所述 成膜转架的带动下在所述真空镀膜室内公转。 0010 所述成膜转架上可拆卸式的安装有三级齿轮机构， 所述三级齿轮机构连接驱动所 述基板在所述成膜转架上自转。 说明书 1/4 页 3 CN 111778488 A 3 0011 本发明的优点是： 可以。

10、很好地兼容板状和筒状甚至于各种异形基板， 不仅大大提 高了设备的利用率， 更是为市场提供了一种新的基板缓存方式； 结构简单合理、 通用性强、 安拆方便， 适于推广。 附图说明 0012 图1为本发明的结构示意图； 图2为本发明中搬入室的结构示意图 （应用于曲面或异形产品时） ； 图3为图2的正视图； 图4为本发明中搬入室的结构示意图 （应用于平面产品时） ； 图5为图4的正视图； 图6为本发明中搬送夹爪的结构示意图； 图7为本发明中转架的结构示意图。 具体实施方式 0013 以下结合附图通过实施例对本发明特征及其它相关特征作进一步详细说明， 以便 于同行业技术人员的理解： 如图1-7所示， 图。

11、中1-13标记分别表示为： 真空镀膜室1、 升降室2、 搬入室3、 成膜转架4、 夹爪5、 提升机构6、 推送机构7、 环形轨道线8、 曲面或异形基板9、 平面基板10、 连接部11、 连 接部12、 三级齿轮机构13。 0014 实施例： 如图1所示， 本实施例中可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备包括真空 镀膜室1、 升降室2以及搬入室3， 其中真空镀膜室1和升降室2位于搬入室3的上方位置， 且升 降室2分别与真空镀膜室1和搬入室3构成内部连通， 以使升降室2可完成真空镀膜室1与搬 入室3之间的基板交互。 具体而言， 当使用溅射镀膜设备进行成膜工艺时， 装载有待成膜产 品的基板由外界置放到搬。

12、入室3之中， 升降室2则将该基板从搬入室3中搬入到真空镀膜室1 中； 之后， 装载有待成膜产品的基板在真空镀膜室1内进行成膜工艺， 即在待成膜产品上进 行成膜； 完成成膜后， 升降室2将装载有已成膜产品的从真空镀膜室1中搬出到搬入室3之 中， 而后由搬入室3内搬送至外界， 从而完成整个成膜工艺流程。 0015 如图1所示， 在升降室2的内部设置有环形轨道线8， 环形轨道线8的一侧连接有驱 动装置， 该驱动装置用于连接驱动该环形轨道线8运动。 在一些实施例中， 该驱动装置可设 置在升降室2的外部， 以确保升降室2内的环境满足成膜工艺的要求。 在环形轨道线8上设置 有若干基板置放位， 每个基板置放。

13、位均对应可置放一个装载有产品的基板； 若干基板置放 位之间的间距满足于使每个基板置放位上所置放的基板之间的位置相互独立且不会产生 相互影响的要求。 0016 如图2所示， 环形轨道线8上的一处位置与升降室2的位置相对应， 以通过该位置实 现升降室2与搬入室3之间的基板交互。 在具体使用时， 随着驱动装置的驱动环形轨道线8开 始运动， 而布设在环形轨道线8上的每一个基板均逐一经过与升降室2的位置所构成对应的 位置处， 此时升降室2便可从该位置处实现其与搬入室3之间的基板交互。 0017 在本实施例中， 环形轨道线8上可兼容置放不同形状的基板， 以使本实施例中的溅 射镀膜设备具有极强的兼容性。 说。

14、明书 2/4 页 4 CN 111778488 A 4 0018 具体地， 结合图2和图3所示， 在环形轨道线8上设置有若干曲面或异形基板9， 每个 曲面或异形基板9的底部均支撑在环形轨道线8上。 同样地， 结合图4和图5所示， 在环形轨道 线8上亦可置放平面基板10。 结合图3、 图5和图6所示， 在一些实施例中， 为了实现环形轨道 线8可以兼容不同形状的基板， 不同形状的基板的下方连接部12均可采用相同的结构设计， 与此同时在环形轨道线8各基板置放位上设置与连接部12所相适配的支撑定位机构， 从而 完成基板与环形轨道线8之间的安装及定位。 0019 如图1所示， 在升降室2内设置有夹爪5，。

15、 该夹爪5作为基板交互的执行件， 其用于对 基板进行夹持。 夹爪5分别连接有作为夹爪驱动机构的提升机构6、 推送机构7， 其中提升机 构6用于连接驱动夹爪5在高度方向的升降以对应实现升降室2与搬入室3之间的基板交互， 而推送机构7则用于连接驱动夹爪5在水平方向上的平移以对应实现升降室2与真空镀膜室 1之间的基板交互。 0020 如图6所示， 在本实施例中， 为使本实施例中的溅射镀膜设备具有极强的兼容性， 夹爪5的结构采用的兼容性设计； 即本实施例中的夹爪5既可夹持如图6 （a） 所示的平面基板 10， 又可夹持如图6 （b） 所示的曲面或异形基板9， 配合提升机构6和推送机构7同时能兼容不 同。

16、形状基板的搬送。 0021 在一些实施例中， 为了便于夹爪5的兼容性设计， 平面基板10和曲面或异形基板9 均在上、 下两侧设置有供夹爪5夹持的连接部11和连接部12， 不同形状的基板的这两连接部 11、 12的结构均可采用相同设计， 以便夹爪5的夹持。 如图6所示， 本实施例中的连接部11和 连接部12为轴体连接部， 其可设置在平面基板10的一侧及曲面或异形基板9的回转中心位 置。 0022 如图1所示， 在真空镀膜室1的内部设置有成膜转架4， 基板可悬挂安装在成膜转架 4上。 成膜转架4可在真空镀膜室1内旋转， 而安装在成膜转架4的基板便随着成膜转架4在真 空镀膜室1内公转， 从而提高基板。

17、上所装载的产品的成膜均匀性。 0023 如图7 （a） 所示， 当产品为平面产品时， 其可以贴附在平面基板10上， 因此平面基板 10直接悬挂安装在成膜转架4上并随着成膜转架4在真空镀膜室1内公转成膜即可。 但当产 品为曲面或异形产品时， 在相同环境下很难达到成膜均匀性的要求， 因此如图7 （b） 所示， 在 成膜转架4的底部安装有可拆卸的三级齿轮机构13， 该三级齿轮机构13的作用在于将成膜 转架4公转时的驱动力可通过齿轮啮合传动的方式传递至各个曲面或异形基板9上， 以使各 曲面或异形基板9可以以其连接部11和连接部12为旋转轴进行高速自转， 从而有效保证曲 面或异形产品的成膜均匀性。 此时。

18、， 本实施例中的成膜转架4配合可拆卸的三级齿轮机构13 便可实现针对平面基板10的公转以及针对曲面或异形基板9的公自转的兼容。 与此同时， 在 一些实施例中， 由于可在不同形状的基板上均设置结构相同的连接部11和连接部12， 因此， 成膜转架4上亦设置有与连接部11和连接部12相匹配的安装定位机构以满足兼容性设计要 求。 0024 本实施例在具体实施时： 为了便于从搬入室3处存放或取出基板， 将搬入室3内的 环形轨道线8可设置在一底板上， 且该底板与搬入室3的底部之间设置滑动结构， 使得环形 轨道线8可从搬入室3内抽出一定距离， 从而实现环形轨道线8上各基板的置放或取下。 0025 虽然以上实施例已经参照附图对本发明目的的构思和实施例做了详细说明， 但本 领域普通技术人员可以认识到， 在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下， 仍然可以对 说明书 3/4 页 5 CN 111778488 A 5 本发明作出各种改进和变换， 故在此不一一赘述。 说明书 4/4 页 6 CN 111778488 A 6 图1 图2 说明书附图 1/3 页 7 CN 111778488 A 7 图3 图4 图5 说明书附图 2/3 页 8 CN 111778488 A 8 图6 图7 说明书附图 3/3 页 9 CN 111778488 A 9 。