带有环境控制的上下料缓存机构.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010674730.5 (22)申请日 2020.07.14 (71)申请人 苏州太阳井新能源有限公司 地址 215000 江苏省苏州市吴中区甪直镇 凌港路128号富民一区C栋4层 (72)发明人 邓晓帆姚宇李中天 (74)专利代理机构 苏州高专知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32474 代理人 冷泠 (51)Int.Cl. H01L 21/677(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (54)发明名称 一种带有环境控制的上下料缓存机构 (57)摘。

2、要 本发明一种带有环境控制的上下料缓存机 构， 包括环境控制室、 入料升降机构、 出料升降机 构、 入料插片装置、 出料取片装置以及储片盒， 环 境控制室内设置有环境控制单元， 入料升降机构 包括入料运动滑轨、 入料运动模块、 以及入料夹 具， 出料升降机构包括出料运动滑轨、 出料运动 模块以及出料夹具， 通过入料夹具及出料夹具带 动储片盒上下移动， 入料插片装置及出料取片装 置能够水平移动， 将硅片插入储片盒或从储片盒 中取出。 本发明节约了额外设备成本及厂房空 间， 减少了硅片在不同设备间的传输， 提高生产 良率。 通过设置不同的环境控制单元来实现不同 步骤在对硅片进行前处理或后处理的不同。

3、工艺 要求。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 111799201 A 2020.10.20 CN 111799201 A 1.一种带有环境控制的上下料缓存机构， 其特征在于： 包括环境控制室、 入料升降机 构、 出料升降机构、 入料插片装置、 出料取片装置以及储片盒， 所述环境控制室内设置有环 境控制单元， 所述入料升降机构包括入料运动滑轨、 入料运动模块、 以及入料夹具， 所述出 料升降机构包括出料运动滑轨、 出料运动模块以及出料夹具， 通过入料夹具及出料夹具带 动储片盒上下移动， 所述入料插片装置及出料取片装置能够水平移动， 将硅片插入储片盒 或从储片盒中取出。 2.根据权利要。

4、求1所述的带有环境控制的上下料缓存机构， 其特征在于： 所述带有环境 控制的上下料缓存机构包括多个入料升降机构， 所述入料升降机构并列排放， 其中间部分 位于所述环境控制室内； 所述出料升降机构设置在所述环境控制室外。 3.根据权利要求1所述的带有环境控制的上下料缓存机构， 其特征在于： 所述包括一个 或两个入料升降机构， 所述出料升降机构上还设置旋转装置， 所述出料升降机构位于入料 升降机构的一侧或两侧， 所述旋转装置使出料升降机构带动储片盒向其所在一侧进行旋转 至背面。 4.根据权利要求1所述的带有环境控制的上下料缓存机构， 其特征在于： 所述环境控制 单元为具有特定光谱波段的发光器件、 。

5、加热装置、 空气扰动装置中的一种或几种。 5.根据权利要求1所述的带有环境控制的上下料缓存机构， 其特征在于： 所述环境控制 室内表面以及储片盒内外表面设置有反光装置或反光涂层。 6.根据权利要求1所述的带有环境控制的上下料缓存机构， 其特征在于： 所述环境控制 室内还包括通风口及回风口。 7.根据权利要求1所述的带有环境控制的上下料缓存机构， 其特征在于： 所述入料插片 装置和/或出料取片装置上还设置有顶升装置。 8.根据权利要求1所述的带有环境控制的上下料缓存机构， 其特征在于： 所述入料插片 装置和/或出料取片装置上还设置有真空吸附装置。 9.根据权利要求1所述的带有环境控制的上下料缓存。

6、机构， 其特征在于： 所述入料升降 机构和/或出料升降机构上还设置有硅片检测装置， 在所述储片盒上设置有检测孔。 10.根据权利要求1所述的带有环境控制的上下料缓存机构， 其特征在于： 所述储片盒 上还设置有抓取槽。 权利要求书 1/1 页 2 CN 111799201 A 2 一种带有环境控制的上下料缓存机构 技术领域 0001 本发明涉及太阳能电池制造领域， 具体为一种带有环境控制的上下料缓存机构。 背景技术 0002 在太阳能电池片制造过程中， 有多道工艺需要对硅片在一定环境下(如特定的温 度、 湿度、 光照度、 UV光照等)进行前处理或后处理。 而通过单独的设备进行这些处理， 不仅 增。

7、加了生产步骤， 设备间的自动化传输还会增加额外的碎片率， 降低正线生产良率。 发明内容 0003 本发明的目的是提供一种带有环境控制的上下料缓存机构。 0004 本发明通过如下技术方案实现上述目的： 一种带有环境控制的上下料缓存机构， 包括环境控制室、 入料升降机构、 出料升降机构、 入料插片装置、 出料取片装置以及储片盒， 所述环境控制室内设置有环境控制单元， 所述入料升降机构包括入料运动滑轨、 入料运动 模块、 以及入料夹具， 所述出料升降机构包括出料运动滑轨、 出料运动模块以及出料夹具， 通过入料夹具及出料夹具带动储片盒上下移动， 所述入料插片装置及出料取片装置能够水 平移动， 将硅片插。

8、入储片盒或从储片盒中取出。 0005 进一步的， 所述带有环境控制的上下料缓存机构包括多个入料升降机构， 所述入 料升降机构并列排放， 其中间部分位于所述环境控制室内； 所述出料升降机构设置在所述 环境控制室外。 0006 进一步的， 所述包括一个或两个入料升降机构， 所述出料升降机构上还设置旋转 装置， 所述出料升降机构位于入料升降机构的一侧或两侧， 所述旋转装置使出料升降机构 带动储片盒向其所在一侧进行旋转至背面。 0007 进一步的， 所述环境控制单元为具有特定光谱波段的发光器件、 加热装置、 空气扰 动装置中的一种或几种。 0008 进一步的， 所述环境控制室内表面以及储片盒内外表面设。

9、置有反光装置或反光涂 层。 0009 进一步的， 所述环境控制室内还包括通风口及回风口。 0010 进一步的， 所述入料插片装置和/或出料取片装置上还设置有顶升装置。 0011 进一步的， 所述入料插片装置和/或出料取片装置上还设置有真空吸附装置。 0012 进一步的， 所述入料升降机构和/或出料升降机构上还设置有硅片检测装置， 在所 述储片盒上设置有检测孔。 0013 进一步的， 所述储片盒上还设置有抓取槽。 0014 与现有技术相比， 本发明带有环境控制的上下料缓存机构的有益效果是： 把对电 池片进行前处理或后处理的步骤集成在对应工艺的上料或下料的缓存区域， 不仅可以节约 了额外设备所需的。

10、成本及厂房空间， 还可以减少硅片在不同设备间的传输， 提高生产良率。 更进一步的， 可以通过设置不同的环境控制单元来实现不同步骤在对硅片进行前处理或后 说明书 1/4 页 3 CN 111799201 A 3 处理的不同工艺要求。 附图说明 0015 图1是一种带有环境控制的上下料缓存机构的侧视剖面图。 0016 图2是一种带有环境控制的上下料缓存机构的正视剖面图。 0017 图中标号如下： 0018 10、 硅片； 0019 20、 储片盒， 21、 抓取槽， 22、 检测孔； 0020 31、 入料插片装置， 32、 入料顶升装置， 33、 入料移动轨道； 0021 41、 出料取片装置，。

11、 42、 出料顶升装置， 43、 出料移动轨道； 0022 50、 入料升降机构， 51、 入料运动滑轨， 52、 入料运动模块， 53、 入料夹具， 54、 硅片检 测装置； 0023 60、 出料升降机构， 61、 出料运动滑轨， 62、 出料运动模块， 63、 出料夹具， 64、 旋转装 置64； 63a、 第一位置， 63b、 第二位置； 0024 70、 环境控制室， 71、 环境控制单元； 72、 通风口， 73、 回风口。 具体实施方式 0025 如图1和图2所示， 一种带有环境控制的上下料缓存机构， 包括环境控制室70、 入料 升降机构50、 出料升降机构60、 入料插片装置3。

12、1、 出料取片装置41以及储片盒20。 其中， 每个 入料升降机构50包括入料运动滑轨51、 入料运动模块、 以及入料夹具53。 每个出料升降机构 60包括出料运动滑轨61、 出料运动模块62以及出料夹具63。 0026 每个储片盒20背面设有抓取槽21， 使得入料升降机构50的入料夹具53能够抓取住 储片盒20， 并在入料运动模块52的带动下通过电机、 顶缸等驱动部件沿入料运动滑轨51进 行上下升降移动。 同样， 使得出料升降机构60的出料夹具63能够抓取住储片盒20， 并在出料 运动模块62的带动下通过电机、 顶缸等驱动部件沿出料运动滑轨61进行上下升降移动。 0027 储片盒20内部设置。

13、有多个存放硅片的槽口(图未标)且槽口中间部分镂空， 用来使 入料插片装置31及出料取片装置41能够伸入储片盒20内插入或取出硅片。 在一些实施例 中， 入料升降机构和/或出料升降机构上还设置有硅片检测装置54， 硅片检测装置54能够检 测储片盒20内的硅片数量及排布， 在这种情况下， 在储片盒20相应的位置还设置有检测孔 22， 配合硅片检测装置54使用。 入料升降机构50的中间部分位于环境控制室70内， 出料升降 机构60位于环境控制室70外。 0028 硅片10入料时， 通过入料升降机构50的入料运动模块52及入料夹具53将储片盒20 运送至入料区域。 在此实施例中， 入料区域为环境控制室。

14、70下方。 由载有硅片的入料插片装 置31通过入料移动轨道33伸入位于入料区域的储片盒20中并将硅片插入储片盒20中的空 槽口。 在一些实施例中， 由运动模块52、 62的带动储片盒20向上升起， 将硅片从入料插片装 置31上抬走后， 入料插片装置31移出储片盒20。 在另一些实施例中， 入料插片装置31平台下 方设有32、 入料顶升装置32， 在入料插片装置31将硅片插入储片盒20的空槽口后向下移动， 将硅片置于储片盒20中后通过入料移动轨道33移出。 0029 当储片盒20中插入足够的硅片或缓存硅片数量不足时， 入料升降机构50将储片盒 说明书 2/4 页 4 CN 111799201 A。

15、 4 20升入环境控制室70中。 环境控制室70中设置有环境控制单元71。 根据所需的前处理或后 处理的工艺不同， 可以设置不同的环境控制单元71， 如在需要曝光或光照固化的工艺中， 环 境控制单元71可以是疝灯、 UV灯或其它具有特定光谱波段的光源； 在需要加热的工艺中， 环 境控制单元71可以是红外灯管、 加热丝或电磁加热板等； 在需要控温控湿的工艺中， 环境控 制单元71可以是空气循环系统， 空气扰动装置等。 在一些实施例中， 环境控制单元71可以是 上述例子中的一种或几种。 在一些环境控制单元71为某种光源的实施例中， 硅片在储片盒 20中间距适当放大或呈垂直排列， 储片盒20、 环境。

16、控制室70内及入料升降机构50的表面为 反光材料或涂层。 在一些实施例中， 环境控制室70内还设有通风口72及回风口73， 可以通过 通风的方式控制某种或某些溶剂或其它化学成分在环境控制室70内空气种的浓度， 也可以 连接空调用来控制湿度、 温度或者通过输送热风等方式使环境控制室70内温度更为均匀。 0030 当储片盒20在环境控制室70内至特定时间后， 由入料升降机构50将储片盒20升出 环境控制室70进行等待至有空闲出料升降机构60通过出料夹具63接过储片盒20。 出料升降 机构60处于环境控制室70外， 其上设置有旋转装置64， 在抓接过储片盒20后可以旋转至背 面， 并通过出料运动模块。

17、62移动至出料区域， 即将储片盒20从图中第一位置63a移动至第二 位置63b。 在一些实施例中， 出料区域高度与入料区域相同， 可以使在太阳能电池制造过程 中， 工作高度保持一致。 在一些实施例中， 有多个入料升降机构并列排放， 其中间部分位于 在所述环境控制室70内， 有一个或两个出料升降机构设置在所述环境控制室70外且位于入 料升降机构的一侧或两侧， 并可通过旋转装置64使出料夹具63带动储片盒20向其所在一侧 进行旋转至背面， 然后通过出料运动模块62带动储片盒20移动至出料区域。 在一些实施例 中， 入料夹具53和/或出料夹具63为可伸缩夹具， 在空闲时可伸缩夹具缩回， 并可通过入料。

18、 运动模块和/或出料运动模块上下移动而不会影响其余升降机构及它们抓取的储片盒20。 0031 硅片出料时， 由空载的出料取片装置41通过出料移动轨道43伸入位于出料区域的 储片盒20底部。 在一些实施例中， 由出料运动模块62的带动储片盒20向下运动至最下端硅 片落入出料取片装置41平台上并稍微向上抬起， 然后出料取片装置41载起硅片移出储片盒 20。 在另一些实施例中， 出料取片装置41平台下方设有出料顶升装置42， 在出料取片装置41 伸入储片盒20底端后， 由出料顶升装置42将出料取片装置41平台升起至稍微抬起储片盒20 最下端硅片， 然后载起硅片通过出料移动轨道43移出储片盒20。 在。

19、一些实施例中入料插片 装置31和/或出料取片装置41上还设置有真空吸附装置。 0032 本发明一种带有环境控制的上下料缓存机构， 把对电池片进行前处理或后处理的 步骤集成在对应工艺的上料或下料的缓存区域， 不仅可以节约了额外设备所需的成本及厂 房空间， 还可以减少硅片在不同设备间的传输， 提高生产良率。 更进一步的， 可以通过设置 不同的环境控制单元来实现不同步骤在对硅片进行前处理或后处理的不同工艺要求。 0033 以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技 术人员而言， 显然本发明不限于上述示范性实施例的细节， 而且在不背离本发明的精神或 基本特征的情况下， 能够。

20、以其他的具体形式实现本发明。 因此， 无论从哪一点来看， 均应将 实施例看作是示范性的， 而且是非限制性的， 本发明的范围由所附权利要求而不是上述说 明限定， 因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明 内。 不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。 0034 此外， 应当理解， 虽然本说明书按照实施方式加以描述， 但并非每个实施方式仅包 说明书 3/4 页 5 CN 111799201 A 5 含一个独立的技术方案， 说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见， 本领域技术人员应当 将说明书作为一个整体， 各实施例中的技术方案也可以经适当组合， 形成本领域技术人员 可以理解的其他实施方式。 说明书 4/4 页 6 CN 111799201 A 6 图1 说明书附图 1/2 页 7 CN 111799201 A 7 图2 说明书附图 2/2 页 8 CN 111799201 A 8 。