用于显示基板的激光修复装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010548533.9 (22)申请日 2020.06.16 (71)申请人 江苏亚威艾欧斯激光科技有限公司 地址 225600 江苏省苏州市中国 （江苏） 自 由贸易试验区苏州片区苏州工业园区 金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区12 幢401-73 (72)发明人 朱鹏程袁明峰凌步军赵有伟 冯高俊滕宇孙月飞吕金鹏 冷志斌 (74)专利代理机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 代理人 杨苏云 (51)Int.Cl. H01L 51/56(2006.01) H01。

2、L 27/32(2006.01) G09F 9/30(2006.01) (54)发明名称 一种用于显示基板的激光修复装置 (57)摘要 本发明提供一种显示基板的激光修复方法、 修复装置， 修复方法包括： 确定发光显示基板的 缺陷种类； 当缺陷种类为短路缺陷时， 利用第一 波长激光从引起所述短路缺陷的搭接部分的一 侧以线条形式移动至所述搭接部分的另一侧， 切 割所述搭接部分， 完成短路修复； 当缺陷种类为 异物缺陷时， 利用第二波长激光去除异物所在的 异物区域， 完成异物修复。 本发明的激光修复方 法只对包含缺陷的局部区域进行修复， 可以防止 包含缺陷的像素整体受到损伤， 改善显示基板的 质量。。

3、 权利要求书1页 说明书7页 附图6页 CN 111816797 A 2020.10.23 CN 111816797 A 1.一种显示基板的激光修复方法， 其特征在于， 包括： 确定所述发光显示基板的缺陷种类， 所述缺陷种类分为短路缺陷、 异物缺陷， 当缺陷种类为短路缺陷时， 利用第一波长激光从引起所述短路缺陷的搭接部分的一侧 以线条形式移动至所述搭接部分的另一侧， 切割所述搭接部分， 完成短路修复； 当缺陷种类为异物缺陷时， 利用第二波长激光去除异物所在的异物区域， 完成异物修 复， 其中， 所述异物区域是在一定面积内由玻璃基板以外的其他薄膜层构成的区域； 在相同能量下， 经过所述搭接部分的。

4、第一波长激光相对于置于所述搭接部分两侧的第 一波长激光具备更短的脉宽， 或是， 在相同脉宽下， 经过所述搭接部分的第一波长激光相对 于置于所述搭接部分两侧的第一波长激光具备更高的能量。 2.根据权利要求1所述的激光修复方法， 其特征在于： 在相同能量下， 经过所述搭接部 分的第一波长激光采用飞秒脉冲， 置于所述搭接部一侧或另一侧的第一波长激光采用皮秒 脉冲。 3.根据权利要求1所述的激光修复方法， 其特征在于： 在切割所述搭接部分过程中， 利 用所述第一波长激光去除所述搭接部分以及置于所述搭接部分上方的薄膜层。 4.根据权利要求1所述的激光修复方法， 其特征在于： 所述第一波长激光的光束形状为。

5、 长方形。 5.根据权利要求1所述的激光修复方法， 其特征在于： 所述第二波长激光为长方形。 6.一种用于显示基板的激光修复装置， 其特征在于， 包括： 工作平台， 用于放置显示基板， 在所述工作平台的一侧安装第一导轨， 所述第一导轨沿 第一方向延伸； 安装支架， 连接所述第一导轨， 在所述安装支架上还开设有第二导轨， 所述第二导轨沿 与第一方向交叉的第二方向延伸； 激光部， 置于所述显示基板上方， 并与所述安装支架的第二导轨相连接， 所述激光部包 括用于短路修复的第一激光元件， 第一激光元件内含有第一激光发生器和第二激光发生器， 所述第一激光元件选择所述 第一激光发生器或所述第二激光发生器的。

6、激光光束作为第一波长激光， 在相同能量下， 所 述第一激光发生器所发生的第一激光光束相对于所述第二激光发生器所发生的第二激光 光束具备更短脉宽。 权利要求书 1/1 页 2 CN 111816797 A 2 一种用于显示基板的激光修复装置 技术领域 0001 本发明涉及一种用于显示基板的激光修复装置。 背景技术 0002 以画面形式显示多种信息的图像显示装置作为信息通信时代的核心技术， 正在向 更薄、 更轻、 可携带、 并具有高性能的方向发展。 近年来， 追求空间性、 便利性的可弯曲的柔 性显示器， 而在显示器中， 控制有机发光层发光量的显示基板备受瞩目。 0003 显示基板在制造过程中一旦出。

7、现缺陷， 则废弃， 导致制造单价上升。 为了解决这样 的问题， 一直在试图修复制造过程中产生的缺陷， 提高收率， 减少制造单价。 而， 目前所使用 的修复方法仅采用单一特性的激光光束照射基板， 对缺陷进行修复， 使得基板上正常薄膜 层也被照射到激光光束， 导致像素整体损伤。 发明内容 0004 鉴于以上所述现有技术的缺点， 本发明的目的在于提供一种显示基板的激光修复 方法、 修复装置， 用于解决上述现有技术中的问题。 0005 为实现上述目的及其他相关目的， 本发明提供一种显示基板的激光修复方法， 包 括： 0006 确定所述发光显示基板的缺陷种类， 所述缺陷种类分为短路缺陷、 异物缺陷， 0。

8、007 当缺陷种类为短路缺陷时， 利用第一波长激光从引起所述短路缺陷的搭接部分的 一侧以线条形式移动至所述搭接部分的另一侧， 切割所述搭接部分， 完成短路修复； 0008 当缺陷种类为异物缺陷时， 利用第二波长激光去除异物所在的异物区域， 完成异 物修复， 其中， 所述异物区域是在一定面积内由玻璃基板以外的其他薄膜层构成的区域； 0009 在相同能量下， 经过所述搭接部分的第一波长激光相对于置于所述搭接部分两侧 的第一波长激光具备更短的脉宽， 或是， 在相同脉宽下， 经过所述搭接部分的第一波长激光 相对于置于所述搭接部分两侧的第一波长激光具备更高的能量。 0010 于本发明的一实施例中， 在相。

9、同能量下， 经过所述搭接部分的第一波长激光采用 飞秒脉冲， 置于所述搭接部一侧或另一侧的第一波长激光采用皮秒脉冲。 0011 于本发明的一实施例中， 在切割所述搭接部分过程中， 利用所述第一波长激光去 除所述搭接部分以及置于所述搭接部分上方的薄膜层。 0012 于本发明的一实施例中， 所述第一波长激光的光束形状为长方形。 0013 于本发明的一实施例中， 所述第二波长激光为长方形。 0014 本发明还提供了一种用于显示基板的激光修复装置， 包括： 0015 工作平台， 用于放置显示基板， 在所述工作平台的一侧安装第一导轨， 所述第一导 轨沿第一方向延伸； 0016 安装支架， 连接所述第一导轨。

10、， 在所述安装支架上还开设有第二导轨， 所述第二导 轨沿与第一方向交叉的第二方向延伸； 说明书 1/7 页 3 CN 111816797 A 3 0017 激光部， 置于所述显示基板上方， 并与所述安装支架的第二导轨相连接， 所述激光 部包括用于短路修复的第一激光元件， 0018 第一激光元件内含有第一激光发生器和第二激光发生器， 所述第一激光元件选择 所述第一激光发生器或所述第二激光发生器的激光光束作为第一波长激光， 0019 在相同能量下， 所述第一激光发生器所发生的第一激光光束相对于所述第二激光 发生器所发生的第二激光光束具备更短脉宽。 0020 如上所述， 本发明的显示基板的激光修复方。

11、法， 可以只对包含缺陷的局部区域进 行修复， 可以防止包含缺陷的像素整体受到损伤， 改善显示基板的质量。 附图说明 0021 图1显示为本发明的显示基板的结构示意图。 0022 图2显示为图1中发生短路缺陷的区域放大图。 0023 图3显示为图1中短路修复的示意图。 0024 图4显示为通过短路修复后的显示基板的截面示意图。 0025 图5显示为短路修复中第一波长激光倾斜切割的示意图。 0026 图6显示为图1中发生异物缺陷的区域放大图。 0027 图7显示为图6中异物修复的示意图。 0028 图8显示为异物修复中第二波长激光的照射示意图。 0029 图9显示为本发明用于显示基板修复的激光修复。

12、装置的立体示意图。 0030 图10显示为激光修复装置于一实施例中的结构示意图。 0031 图11显示为激光修复装置于另一实施例中的结构示意图。 具体实施方式 0032 以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式， 熟悉此技术的人士可由本说明 书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。 0033 须知， 本说明书所附图式所绘示的结构、 比例、 大小等， 均仅用以配合说明书所揭 示的内容， 以供熟悉此技术的人士了解与阅读， 并非用以限定本发明可实施的限定条件， 故 不具技术上的实质意义， 任何结构的修饰、 比例关系的改变或大小的调整， 在不影响本发明 所能产生的功效及所能达成的目的下， 均。

13、应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范 围内。 同时， 本说明书中所引用的如 “上” 、“下” 、“左” 、“右” 、“中间” 及 “一” 等的用语， 亦仅为 便于叙述的明了， 而非用以限定本发明可实施的范围， 其相对关系的改变或调整， 在无实质 变更技术内容下， 当亦视为本发明可实施的范畴。 0034 参考图3至图8， 本实施例中的显示基板的激光修复方法， 根据显示基板100所包含 的缺陷的种类， 通过调节激光光束的脉宽进行缺陷修复， 在本实施例中， 修复方法包括短路 修复阶段和异物修复阶段。 0035 需要说明的是， 在进行缺陷修复之前， 需先对缺陷种类进行识别。 在本实施例中， 薄膜。

14、晶体管基板的缺陷包含短路缺陷和异物缺陷。 0036 其中， 图3所示的缺陷种类为短路缺陷， 短路缺陷是在不同应该断开的信号线之间 出现搭接部分41形成的短路状态， 例如， 在不同的栅极扫描线1或不同的数据线20(可以是 说明书 2/7 页 4 CN 111816797 A 4 源极22和漏极21)出现搭接。 0037 图6所示的缺陷种类为异物缺陷， 异物缺陷是在薄膜层之间不同栅极扫描线1或不 同数据线2间引起短路的异物， 异物可具有使特定的栅极扫描线1或数据线2不连接的形状， 因此， 异物42可在第一金属层62、 第一绝缘层63、 第二金属层64或第二绝缘层65任一薄膜层 都可能出现。 003。

15、8 在本实施例中， 缺陷的种类的识别是利用与激光修复装置相连接的获取设备执 行， 其获取设备是以获取的图像或照明检查装置的结果为基础， 同时结合缺陷的形状及以 及周边信号线间的连接关系等， 确定有缺陷种类为短路缺陷或是异物缺陷。 其中， 获取设备 可以是利用透镜、 照相机、 照明等组合构成， 获取设备根据取得的缺陷及缺陷周边区域的图 像得出缺陷种类以及缺陷位置等相关信息， 并将相关信息通过有线或无线传输给与之连接 的本发明的激光修复装置。 0039 如图1和图4所示， 显示基板100具有薄膜晶体管基板， 薄膜晶体管基板包括玻璃基 板61、 沉积在玻璃基板上的第一金属层62， 第一金属层62形成。

16、有多条沿第一方向延伸的栅 极扫描线1， 同时， 第一金属层62的上方还依次设置第一绝缘层63、 第二金属层64以及使第 二金属层64绝缘的第二绝缘层65， 同时， 在第二金属层64上层积并形成有多条沿第二方向 延伸的数据线2， 其中， 栅极扫描线1和数据线2交叉形成像素区域， 像素区域内设置薄膜晶 体管和像素电极3， 其中， 薄膜晶体管的栅极11、 源极22和漏极21分别电性连接栅极扫描线 1、 像素电极3和数据线2上。 0040 短路缺陷发生于位于不同的栅极扫描线1、 不同的数据线2之间， 或是， 在薄膜晶体 管的源极22和漏极21之间， 短路缺陷主要发生在第一金属层62或第二金属层64上，。

17、 在本实 施例中， 第二金属层64上的源极22和漏极21之间的短路缺陷为例。 0041 在一实施例中， 若薄膜晶体管基板的缺陷是短路缺陷， 利用第一波长激光从搭接 部分41的A侧向搭接部分41的B侧移动， 除去源极22和漏极21之间的搭接部分， 其中， 置于A 侧、 B侧时的第一波长激光的脉宽短于经过搭接部分41时的第一波长激光的脉宽， 第一波长 激光置于A侧和B侧时所采用的的脉冲可以相同， 也可不同。 其中， 第一波长激光5置于A侧或 B侧时采用皮秒脉冲， 而经过搭接部分时第一波长激光5采用飞秒脉冲。 0042 在本实施例中， 在短路修复阶段， 利用第一波长激光5除去搭接部分41和搭接部分 。

18、41的上部层。 如上所述， 搭接部分41主要位于第一金属层62或第二金属层64， 如图2和图3所 示， 搭接部分41使源极22和漏极21短路， 处于第一金属层62相同的深度处。 0043 在短路修复阶段时， 第一波长激光5仅渗透至搭接部分41所处的深度， 只除去搭接 部分41和搭接部分41的上部层。 因此， 搭接部分41下部的玻璃基板61不会受到短路修复的 影响。 0044 另外， 如图3所示， 在短路修复阶段中向搭接部分41照射第一波长激光5， 以线型形 式切割搭接部分41。 第一波长激光5从搭接部分41的A侧出发， 经过搭接部分41， 在搭接部分 41的B侧停止， 完成短路修复。 0045。

19、 第一波长激光5的起点附近， 即搭接部分41的A侧， 与第一波长激光5的终点附近， 即搭接部分41的B侧附近， 通常是不存在金属材料的搭接部分41， 而是存在绝缘层。 通常在 相同的能量下， 激光束的脉宽越短， 材料的加工效率越好， 相对于材料的渗透深度越深。 因 此， 利用照射脉宽相对较短的激光光束加工搭接部分41的A侧或搭接部分41的B侧， 则可能 说明书 3/7 页 5 CN 111816797 A 5 对搭接部分41的下部层产生损伤。 因此， 使经过搭接部分41时的第一波长激光5的脉宽较 短， 提供充分的可以除去金属材料的搭接部分41程度的能量， 使搭接部分41的A侧或B侧处 的第一波。

20、长激光的脉宽相对较长， 提供可以只除去搭接部分41的上部分材的能量。 0046 需要说明的是， 在短路修复阶段中， 利用第一波长激光5从搭接部分41的A侧向搭 接部分41的B侧移动， 除去源极22和漏极21之间的搭接部分41时， 可保持第一波长激光5的 脉宽不变， 而， 使得置于A侧、 B侧时的第一波长激光5的激光能量高于经过搭接部分41时的 第一波长激光5的激光能量。 0047 在经过搭接部分41时， 第一波长激光5的激光能量相对较高， 提供了可充分除去金 属材料的搭接部分41的能量， 而搭接部分41的A侧或B侧处的第一波长激光5的能量相对较 低， 提供可以只除去搭接部分41的上部分材料的能。

21、量。 0048 进一步地， 在图3中， 第一波长激光5的光束形状可以为长方形。 利用扫描振镜(未 图示)等使第一波长激光5以线型形式移动的同时， 切割搭接部分41。 0049 根据搭接部分41的形状或位置， 可以调节第一波长激光5的横边长度、 纵边长度以 及旋转角度。 调节第一波长激光5的横边长度或纵边长度， 以此调节第一波长激光5照射到 基板上的斑点尺寸以及照射角度。 0050 如若， 源极22和漏极21的端部出现倾斜， 如图5所示， 若仍按照图3所示的方向进行 加工， 则会对源极22和漏极21的端部造成损伤。 因此， 需要旋转第一波长激光5以斜线形式 切割搭接部分41， 从而保护源极22和。

22、漏极21两者端部。 0051 在一实施例中， 如图6所示， 若薄膜晶体管基板的缺陷是异物缺陷， 则， 利用第二波 长激光7去除包含异物42在内的部分区域(即区域D)， 该部分区域是由选取一定面积内除玻 璃基板61外的其他薄膜层构成， 此时， 对第二波长激光7直接照射区域D， 第二波长7可采用 飞秒脉冲， 进行异物缺陷修复。 0052 如图7和图8所示， 在异物修复阶段， 向异物42照射第二波长激光7， 除去包含异物 42的区域D， 此时， 除去了异物42、 异物42的上部层和异物42的下部层。 0053 由于异物缺陷的发生， 不能判断异物42的具体深度信息， 因此， 可置于去除包含有 异物42。

23、的部分区域。 0054 如图8所示， 从异物42的上侧开始照射第二波长激光7， 除去除玻璃基板61之外的 包含异物42的区域D的所有层。 因此， 在异物修复阶段， 第二波长激光7的渗透深度要深， 从 而， 第二波长激光7的脉宽相对于第一波长激光5更短。 0055 在本发明中， 激光光束采用飞秒脉冲时， 其脉宽比热扩散时间短， 没有电子和网格 之间的能量传递， 所以可以用高的能量强度瞬间除去暴露在激光光束下的目标物。 因此， 在 被激光光束照射的部分不会观察到熔融区域或热影响区域。 0056 激光光束采用皮秒脉冲时， 在被激光光束照射的部分出现熔融区域， 熔融的薄膜 层黏附到其他薄膜层上可能产生。

24、预料之外的短路现象， 在薄膜层的最上侧产生毛刺， 可能 对其上层积的其他薄膜层产生坏的影响。 0057 因此， 在异物修复阶段第二波长激光7采用飞秒脉冲， 将不会出现熔融区域或热影 响区域， 从而可形成干净的贯通孔， 薄膜层的最上侧也不会产生毛刺， 可以防止内部薄膜层 之间的短路现象。 0058 需要说明的是， 异物修复阶段的第二波长激光7的光束形状也可采用长方形， 根据 说明书 4/7 页 6 CN 111816797 A 6 缺陷的形状或位置调节第二波长激光7的横边长度、 纵边长度和旋转角度。 调节第二波长激 光7的横边长度或纵边长度， 以此调节第二波长激光7照射到基板上的斑点尺寸以及照射。

25、角 度。 0059 如上所述的本实施例的激光修复方法， 根据缺陷的种类调节激光光束使其具有修 复缺陷的最佳的脉宽后对缺陷进行修复， 可以防止包含缺陷的像素整体受到损伤， 改善显 示基板100的质量。 0060 同时， 在修复短路缺陷的过程中调节第一波长激光5置于搭接部分两侧41的脉宽 或能量使得低于去除搭接部分41处时所用的脉宽或能量， 可以防止与搭接部分41附近位置 处搭接部分41下侧的薄膜层受损， 避免像素整体受到损伤。 0061 在修复异物缺陷的过程中， 直接将第二波长激光7采用飞秒脉冲， 直接在薄膜晶体 管基板上形成干净的贯穿孔， 可以防止薄膜层最上侧产生毛刺， 防止基板其他部分的内部。

26、 薄膜层之间出现短路现象。 0062 与此同时， 在短路修复阶段和异物修复阶段， 可根据搭接部分或异物的形状、 尺寸 适应性地调整激光光束的形状和激光光束照射在基板上的斑点尺寸， 可以互换性地应对缺 陷的多种形状和与缺陷周边元件的多种连接关系。 0063 当然， 在本发明中， 还可通过改变激光光束的技术参数， 使得专用于某一修复阶 段， 例如用于短路修复阶段的固定技术参数， 以此使激光修复装置专用于短路修复。 0064 因而， 在专用于搭接部分41的激光修复方法中， 激光修复装置利用脉宽或能量可 变的激光光束照射搭接部分41， 并以线条形式切割搭接部分41， 完成短路修复。 0065 在专用于。

27、异物缺陷的激光修复方法中， 激光修复装置利用激光光束直接照射异物 42除去包含异物42的部分区域， 完成异物修复。 0066 本发明还提供了一种可适用于上述显示基板100的修复方法的激光修复装置， 如 图9， 该激光修复装置包括有工作平台110和激光部130， 其中， 在工作平台110上放置显示基 板100， 激光部130置于显示基板100的上方， 用于向有机发光显示照射第一波长激光5或第 二波长激光7。 工作平台110的底部安装有多个支腿140， 用于支撑整个工作平台110。 0067 在一实施实施方式中， 如图9所示， 可在工作平台110的一侧安装第一导轨111， 第 一导轨111在工作平。

28、台110上沿第一方向延伸， 该第一导轨111可采用直线式导轨， 如滚珠丝 杠， 其中第一导轨111的滑台通过安装支架120连接激光部130， 使得激光部130悬于基板的 上方。 0068 与此同时， 该第一导轨111的一侧轴端利用联轴器与第一电机相连， 第一电机可直 接固定在工作平台110上， 亦或是利用放置设备来支撑第一电机。 0069 在本发明中， 第一电机可通过第一导轨111经安装支架120带动激光部130， 沿第一 导轨111轴向移动。 0070 进一步地， 如图9所示， 还可在工作平台110的另一侧安装同样的第一导轨111， 此 时， 安装支架120横跨在两条第一导轨111的滑台之间。

29、并与其连接， 安装支架120可呈大致倒 U形， 激光部130置于第一导轨111之间。 选择其中一第一导轨111用于安装电机， 安装支架 120在被驱动过程中， 另一第一导轨111对安装支架120的移动起辅助作用， 提高安装支架 120的平稳性， 减少激光部130的抖动。 0071 在本发明中， 还可在安装支架120上固定第二导轨(图中未显示)， 第二导轨沿与第 说明书 5/7 页 7 CN 111816797 A 7 一方向交叉的第二方向延伸， 第二导轨也可采用直线式导轨， 激光部130直接与第二导轨的 滑台连接， 第二导轨的一侧轴向与第二电机连接。 0072 在移动过程中， 通过第一电机和第。

30、二电机的驱动使得激光部130可沿第一方向和 第二方向所构成的与基板相平行的平面任意移动。 0073 在本发明中， 如图10所示， 激光部130包括第一激光元件131和第二激光元件132， 第一激光元件131用于出射第一波长激光5， 第二激光元件132用于出射第二波长激光7。 0074 第一激光元件131包括第一激光发生器1311、 第二激光发生器1312、 第一反射镜 1313、 第二反射镜1314和第一物镜1315， 其中， 第一激光发生器1311， 用于产生具备第一脉 宽的第一激光光束； 第二激光发生器1312， 用于产生具备第二脉宽的第二激光光束。 0075 如图10所示， 在第一激光发。

31、生器1311的第一激光光束的移动路径上配置有第一反 射镜1313， 在第二激光发生器1312的第二激光光束的移动路径上配置有第二反射镜1314， 第一发射镜将第一激光光束引导至第二发射镜， 再由第二发射镜将第一激光光束引导至第 一物镜1315。 另外， 第二发射镜还将从第二激光发生器1312发出的第二激光光束， 引导至第 一物镜1315。 其中， 经过第一物镜1315的第一激光光束或第二激光光束作为第一激光元件 131的第一波长激光5， 汇聚至需要去除短路缺陷的显示基板100。 0076 进一步地， 如图10所示， 第一激光发生器1311和第二激光发生器1312所产生的激 光光束的脉宽不同， 。

32、其中， 第一激光发生器1311产生的第一激光光束相对于第二激光发生 器1312产生的第二激光光束具备更短的脉宽， 例如， 第一激光发生器1311可以是飞秒脉冲 器， 第二激光发生器1312可以是皮秒脉冲器。 此时， 第一激光元件131可出射两种不同脉宽 的激光光速， 根据上述的短路修复修复过程， 可先使用第二激光发生器1312的第二激光光 束进行搭接部分41一侧的切割， 在经过搭接部分41时， 第二激光发生器1312关闭， 第一激光 发生器1311开启， 此时利用第一激光发生器1311的第一激光光束进行搭接部分41的切割， 随后， 搭接部分41去除后， 第一激光发生器1311关闭， 第二激光发。

33、生器1312开启进行搭接部 分41的另一侧的切割。 0077 如图10所示， 在激光修复装置还可包括一控制器， 该控制器通过控制信号线分别 连接第一激光发生器1311和第二激光发生器1312， 控制器的输入接口可与获取设备的输出 接口通过有线或无线连接， 控制器可根据引起短路的搭接部分41的位置、 形状等相关信息 来切换第一激光发生器1311和第二激光发生器1312的启动或关闭。 0078 在第二激光元件132包括有第三激光发生器、 第二物镜， 第三激光发生器可通过控 制信号线连接控制器， 由控制器控制其第三激光发生器的启闭。 第三激光发生器发出的激 光光束作为第二波长激光7， 第二波长激光7。

34、通过第二物镜汇聚至显示基板100， 根据上述的 异物42修复过程， 对显示基板100上的异物42进行去除。 0079 在本发明中， 激光修复装置内的激光部130可出射两种不同脉宽的激光光束， 其 中， 第一波长激光5的脉宽长于第二波长激光7的脉宽。 另外， 在激光部130的第一激光元件 131内存在两种不同脉宽的激光发生器， 可通控制器切换两种激光发生器的开关， 以此来满 足搭接部分41切割时所需的不同脉宽切割要求。 0080 进一步地， 第一波长激光5和/或第二波长激光7的激光光束为长方形。 0081 在本发明中， 如图11所示， 还可在第一激光元件131的第二反射镜1314和第一物镜 13。

35、15之间的激光光束的移动路径上配置第一光束调整装置1316， 该第一光束调整装置1316 说明书 6/7 页 8 CN 111816797 A 8 用于调整第一波长激光5的大小及形状。 还可在第二激光元件132的第三激光发生器和第二 物镜之间的激光光束的移动路径上配置第二光束调整装置， 该第二光束调整装置用于调整 第二波长激光7的大小及形状。 其中， 第一光束调整装置1316或第二光束调整装置可以是由 采用不透光材质所构成的板件， 并在该板件上开设有供激光光束穿过的缝隙， 该缝隙的形 状与第一波长激光5或第二波长激光7所需的激光光束形状成比例设置， 以此来保证依据第 一物镜1315或第二物镜的。

36、倍率， 所得到的第一波长激光5或第二波长激光7的光束形状满足 所需要求。 需要说明的是， 第一光束调整装置1316、 第二光束调整装置可根据所需要的激光 光束形状进行更换。 0082 本发明的权利范围不限于上述实施例及变形例， 而是可以在所附的专利请求范围 内以多种形式的实施例实现。 在不脱离权利要求请求的本发明的主旨下， 本发明所属技术 领域的具有普通知识的技术人员都可以在本发明的权利要求记载的范围内进行多种变形。 0083 综上所述， 本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。 0084 上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效， 而非用于限制本发明。 任何熟 悉此技术的。

37、人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下， 对上述实施例进行修饰或改变。 因 此， 举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完 成的一切等效修饰或改变， 仍应由本发明的权利要求所涵盖。 说明书 7/7 页 9 CN 111816797 A 9 图1 图2 说明书附图 1/6 页 10 CN 111816797 A 10 图3 图4 说明书附图 2/6 页 11 CN 111816797 A 11 图5 图6 说明书附图 3/6 页 12 CN 111816797 A 12 图7 图8 说明书附图 4/6 页 13 CN 111816797 A 13 图9 图10 说明书附图 5/6 页 14 CN 111816797 A 14 图11 说明书附图 6/6 页 15 CN 111816797 A 15 。