磁控溅射真空镀膜机.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202011004498.0 (22)申请日 2020.09.22 (71)申请人 黎方建 地址 405400 重庆市开州区巫山乡盘龙村 91号 (72)发明人 黎方建 (51)Int.Cl. C23C 14/35(2006.01) C23C 14/56(2006.01) (54)发明名称 一种磁控溅射真空镀膜机 (57)摘要 本发明涉及镀膜设备技术领域， 且公开了一 种磁控溅射真空镀膜机， 包括箱体， 所述箱体的 上表面固定安装有箱盖， 所述箱盖的顶部固定套 装有抽真空管。 该。

2、磁控溅射真空镀膜机， 通过抽 气管与凸管的配合， 在阀门的控制作用下， 能够 对相对应的凸管进行抽气控制， 有效的防止抽气 功耗的浪费， 在进行更换工件时， 对哪一个料架 进行抽出时， 只需要打开相对应的阀门， 就可以 将吸力对应到凸管内， 不需要将整个设备罩住进 行抽气， 保证抽气动能功耗保证在最小， 降低建 造成本， 在更换完工件后， 将工件推进的过程中， 即可将携带的空气抽走， 防止空气中携带的灰尘 进入到箱体内， 对工件镀膜造成影响， 工件镀膜 后达不到合格标准， 保证工件的合格率。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 112126904 A 2020.12.25 CN 112。

3、126904 A 1.一种磁控溅射真空镀膜机， 包括箱体(1)， 其特征在于： 所述箱体(1)的上表面固定安 装有箱盖(2)， 所述箱盖(2)的顶部固定套装有抽真空管(3)， 所述箱体(1)内腔的顶部固定 安装有靶材(4)， 所述箱体(1)内腔上部的一侧固定安装有电子喷头(5)， 所述箱体(1)的外 表面一体成型有凸管(6)， 所述凸管(6)的内孔活动套装有滑柱(7)， 所述滑柱(7)的外端活 动安装有推杆(8)， 所述滑柱(7)内腔表面固定安装有定子(9)， 所述滑柱(7)的内腔且与定 子(9)配合活动套装有转子(10)， 所述转子(10)的中部固定安装有伸出的转杆(11)， 所述转 杆(1。

4、1)的中部固定套装有导电套(12)， 所述滑柱(7)的内表面且与导电套(12)配合固定安 装有导线(13)， 所述凸管(6)的内表面固定安装有导电片(14)， 所述转杆(11)的一端固定安 装有料架(15)， 所述料架(15)的一端固定安装有密封板(16)， 所述料架(15)的上表面固定 安装有弹簧(17)， 所述弹簧(17)的一端固定安装有夹板(18)， 所述箱体(1)的外表面固定安 装有抽气管(19)， 所述抽气管(19)的侧面固定安装有阀门(20)， 所述阀门(20)的侧面且与 凸管(6)连通有连接管(21)， 所述滑柱(7)的外表面开设有活动槽(22)， 所述滑柱(7)的内部 且位于活。

5、动槽(22)的外侧固定安装有隔板(23)， 所述料架(15)的底面固定安装有压环 (24)， 所述活动槽(22)的表面开设有定位槽(25)， 所述活动槽(22)的内表面固定安装有气 囊(26)。 2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机， 其特征在于： 所述抽气管(19)位于 两排凸管(6)的中间， 所述阀门(20)位于抽气管(19)的两侧。 3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机， 其特征在于： 所述凸管(6)的数量 与箱体(1)的尺寸配合， 料架(15)深入不相互接触。 4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机， 其特征在于： 所述料架(15)安装工 件的上表面与转杆(。

6、11)的轴线平行， 即料架(15)位于转杆(11)的半边。 5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机， 其特征在于： 所述滑柱(7)的长度 与料架(15)的长度配合。 6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射真空镀膜机， 其特征在于： 所述活动槽(22)与压 环(24)为配合的环状结构， 所述定位槽(25)控制压环(24)在两侧都有一个限位作用。 权利要求书 1/1 页 2 CN 112126904 A 2 一种磁控溅射真空镀膜机 技术领域 0001 本发明涉及镀膜设备技术领域， 具体为一种磁控溅射真空镀膜机。 背景技术 0002 真空镀膜机主要指一类在较高真空下进行镀膜， 需要镀膜的被称为。

7、基片， 镀的材 料称为靶材， 两者都在真空腔内， 磁控溅射镀膜是利用电子或高能激光轰击靶材， 并使表面 组分以原子团或离子形式被溅射出来， 并且最终沉积在基片表面， 经历成膜过程， 最终形成 薄膜。 0003 现有的真空镀膜机在使用过程中， 在申请号201810009708.1的专利中， 解决了不 同镀膜时间的工件不能够混合镀膜， 但其真空腔内工件镀膜完成后， 更换下一个工件时， 会 在取出工件的通道处， 向真空腔内进入空气， 进入的空气会携带沙子等赃物， 从而造成真空 腔内的其余工件镀膜后合格率差， 且夹板夹持工件滑动到真空腔内， 滑动是沿着滑架滑动 的， 滑架在真空腔内， 同样会被镀膜， 。

8、在长时间镀膜后， 滑架表面膜变厚， 夹板滑动变困难， 同时固定在真空腔内的滑架会导致工人对真空腔清洗困难。 发明内容 0004 本发明提供了一种磁控溅射真空镀膜机， 具备工件镀膜效果好， 滑动方便， 设备清 洗简单的优点， 解决了提高工件镀膜合格率、 清洗滑架困难的问题。 0005 本发明提供如下技术方案： 一种磁控溅射真空镀膜机， 包括箱体， 所述箱体的上表 面固定安装有箱盖， 所述箱盖的顶部固定套装有抽真空管， 所述箱体内腔的顶部固定安装 有靶材， 所述箱体内腔上部的一侧固定安装有电子喷头， 所述箱体的外表面一体成型有凸 管， 所述凸管的内孔活动套装有滑柱， 所述滑柱的外端活动安装有推杆，。

9、 所述滑柱内腔表面 固定安装有定子， 所述滑柱的内腔且与定子配合活动套装有转子， 所述转子的中部固定安 装有伸出的转杆， 所述转杆的中部固定套装有导电套， 所述滑柱的内表面且与导电套配合 固定安装有导线， 所述凸管的内表面固定安装有导电片， 所述转杆的一端固定安装有料架， 所述料架的一端固定安装有密封板， 所述料架的上表面固定安装有弹簧， 所述弹簧的一端 固定安装有夹板， 所述箱体的外表面固定安装有抽气管， 所述抽气管的侧面固定安装有阀 门， 所述阀门的侧面且与凸管连通有连接管， 所述滑柱的外表面开设有活动槽， 所述滑柱的 内部且位于活动槽的外侧固定安装有隔板， 所述料架的底面固定安装有压环，。

10、 所述活动槽 的表面开设有定位槽， 所述活动槽的内表面固定安装有气囊。 0006 作为优选， 所述抽气管位于两排凸管的中间， 所述阀门位于抽气管的两侧。 0007 作为优选， 所述凸管的数量与箱体的尺寸配合， 料架深入不相互接触。 0008 作为优选， 所述料架安装工件的上表面与转杆的轴线平行， 即料架位于转杆的半 边。 0009 作为优选， 所述滑柱的长度与料架的长度配合。 0010 作为优选， 所述活动槽与压环为配合的环状结构， 所述定位槽控制压环在两侧都 说明书 1/3 页 3 CN 112126904 A 3 有一个限位作用。 0011 本发明具备以下有益效果： 0012 该磁控溅射真。

11、空镀膜机， 通过抽气管与凸管的配合， 在阀门的控制作用下， 能够对 相对应的凸管进行抽气控制， 有效的防止抽气功耗的浪费， 在进行更换工件时， 对哪一个料 架进行抽出时， 只需要打开相对应的阀门， 就可以将吸力对应到凸管内， 不需要将整个设备 罩住进行抽气， 保证抽气动能功耗保证在最小， 降低建造成本， 在更换完工件后， 将工件推 进的过程中， 即可将携带的空气抽走， 防止空气中携带的灰尘进入到箱体内， 对工件镀膜造 成影响， 工件镀膜后达不到合格标准， 保证工件的合格率。 附图说明 0013 图1为本发明剖视结构示意图； 0014 图2为本发明正视结构示意图； 0015 图3为本发明俯视结构。

12、示意图； 0016 图4为本发明局部剖视放大结构示意图； 0017 图5为本发明图4中A处放大结构示意图。 0018 图中： 1、 箱体； 2、 箱盖； 3、 抽真空管； 4、 靶材； 5、 电子喷头； 6、 凸管； 7、 滑柱； 8、 推杆； 9、 定子； 10、 转子； 11、 转杆； 12、 导电套； 13、 导线； 14、 导电片； 15、 料架； 16、 密封板； 17、 弹簧； 18、 夹板； 19、 抽气管； 20、 阀门； 21、 连接管； 22、 活动槽； 23、 隔板； 24、 压环； 25、 定位槽； 26、 气 囊。 具体实施方式 0019 下面将结合本发明实施例中的附。

13、图， 对本发明实施例中的技术方案进行清楚、 完 整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于 本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例， 都属于本发明保护的范围。 0020 请参阅图1-5， 一种磁控溅射真空镀膜机， 包括箱体1， 箱体1的上表面固定安装有 箱盖2， 箱盖2的顶部固定套装有抽真空管3， 箱体1内腔的顶部固定安装有靶材4， 箱体1内腔 上部的一侧固定安装有电子喷头5， 箱体1的外表面一体成型有凸管6， 凸管6的内孔活动套 装有滑柱7， 滑柱7的外端活动安装有推杆8， 滑柱7内腔表面固定安装。

14、有定子9， 滑柱7的内腔 且与定子9配合活动套装有转子10， 转子10的中部固定安装有伸出的转杆11， 转杆11的中部 固定套装有导电套12， 滑柱7的内表面且与导电套12配合固定安装有导线13， 凸管6的内表 面固定安装有导电片14， 转杆11的一端固定安装有料架15， 料架15的一端固定安装有密封 板16， 料架15的上表面固定安装有弹簧17， 弹簧17的一端固定安装有夹板18， 箱体1的外表 面固定安装有抽气管19， 抽气管19的侧面固定安装有阀门20， 阀门20的侧面且与凸管6连通 有连接管21， 滑柱7的外表面开设有活动槽22， 滑柱7的内部且位于活动槽22的外侧固定安 装有隔板23。

15、， 料架15的底面固定安装有压环24， 活动槽22的表面开设有定位槽25， 活动槽22 的内表面固定安装有气囊26。 0021 其中， 抽气管19位于两排凸管6的中间， 阀门20位于抽气管19的两侧， 通过抽气管 19与阀门20的配合安装， 使得抽气管19的安装数量减少， 保证每一个凸管6的抽气效果正 说明书 2/3 页 4 CN 112126904 A 4 常， 且一个一个的更换不需要更大抽风功耗， 减少建造成本。 0022 其中， 凸管6的数量与箱体1的尺寸配合， 料架15深入不相互接触， 通过对凸管6的 数量限制， 使得密封板16深入到箱体1的内腔不相互影响， 且能够自转， 保证夹持的工。

16、件镀 膜效率提高。 0023 其中， 料架15安装工件的上表面与转杆11的轴线平行， 即料架15位于转杆11的半 边， 通过料架15的安装位置， 使得料架15被转杆11带动旋转时， 料架15夹持的工件受离心力 的影响， 工件更加紧贴料架15的上表面， 进一步对工件在旋转过程的固定。 0024 其中， 滑柱7的长度与料架15的长度配合， 通过滑柱7与料架15的长度配合， 使得料 架15在深入到箱体1的内腔后， 滑柱7能够保证料架15的放置平稳， 保证工件的镀膜平整度。 0025 其中， 活动槽22与压环24为配合的环状结构， 定位槽25控制压环24在两侧都有一 个限位作用， 通过压环24与定位槽。

17、25的配合， 使得压环24在挤压气囊26后， 能够被定位槽25 限位， 保证气囊26的形成堵塞凸管6与滑柱7的缝隙， 保证箱体1内的真空效果， 从而保证工 件的镀膜效果。 0026 本发明真空镀膜机的工作原理如下： 0027 在更换较短镀膜时间的工件时， 首先旋转推杆8并向后拉动， 气囊26收缩不与凸管 6接触， 继续拉动推杆8， 使得滑柱7向后移动， 直至料架15上的工件拉出到箱体1的外部， 此 时密封板16与凸管6配合密封， 更换工件， 打开阀门20进行抽气， 缓慢推动推杆8， 带动滑柱7 向内移动， 工件处的空气被连接管21吸收， 料架15继续向箱体1内移动， 达到腔内后， 旋转推 杆8。

18、并推动， 使得压环24挤压气囊26， 气囊26与凸管6接触密封， 导电片14对导线13通电， 带 动料架15旋转， 旋转后的工件对靶材离子具有搅动的作用， 使得工件镀膜更快速且均匀。 0028 需要说明的是， 在本文中， 诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实 体或者操作与另一个实体或操作区分开来， 而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存 在任何这种实际的关系或者顺序。 而且， 术语 “包括” 、“包含” 或者其任何其他变体意在涵盖 非排他性的包含， 从而使得包括一系列要素的过程、 方法、 物品或者设备不仅包括那些要 素， 而且还包括没有明确列出的其他要素， 或者是还包括为这种过程、。

19、 方法、 物品或者设备 所固有的要素。 0029 尽管已经示出和描述了本发明的实施例， 对于本领域的普通技术人员而言， 可以 理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、 修改、 替换 和变型， 本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。 说明书 3/3 页 5 CN 112126904 A 5 图1 说明书附图 1/5 页 6 CN 112126904 A 6 图2 说明书附图 2/5 页 7 CN 112126904 A 7 图3 说明书附图 3/5 页 8 CN 112126904 A 8 图4 说明书附图 4/5 页 9 CN 112126904 A 9 图5 说明书附图 5/5 页 10 CN 112126904 A 10 。