碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202011090770.1 (22)申请日 2020.10.13 (71)申请人 哈尔滨科友半导体产业装备与技术 研究院有限公司 地址 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区哈 西大街与学府四道街交汇处第40栋- 1-2层12号 (72)发明人 不公告发明人 (74)专利代理机构 哈尔滨市伟晨专利代理事务 所(普通合伙) 23209 代理人 赵君 (51)Int.Cl. C01B 32/956(2017.01) (54)发明名称 一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳 化硅粉的回收。

2、方法 (57)摘要 一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳 化硅粉的回收方法， 它属于碳化硅晶体加工技术 领域。 本发明将碳化硅晶体金刚线多线切割废液 搅拌后， 用过滤器进行2次分离， 得到一级颗粒、 二级颗粒混合后， 加入纯水后搅拌， 然后将混合 溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一滤渣 加入盐酸后搅拌， 用压滤机进行固液分离， 得到 的第二滤渣用纯水进行水洗， 得到第一物料， 送 入干燥炉， 干燥后得到的干燥的混合颗粒置于坩 埚中， 放入电阻炉中， 并在通入O2的气氛下加热 至12001500， 加热一定时间后， 取出搅拌后 再 重 复 加 热 ， 直 到 碳 化 硅 颗 粒 纯 度 。

3、达 到 99.9999， 用球磨机研磨， 研磨后的碳化硅颗粒 为100200m， 得到回收的碳化硅粉。 权利要求书1页 说明书6页 CN 112142052 A 2020.12.29 CN 112142052 A 1.一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 其特征在于： 包括如 下步骤： 步骤1、 一级过滤： 将碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到 一级过滤液、 一级颗粒， 待用； 步骤2、 二级过滤： 将步骤1得到的一级过滤液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到二级过 滤液、 二级颗粒， 待用； 步骤3、 纯水清洗： 将步骤1得到的一级颗粒、 步骤2得。

4、到的二级颗粒混合后， 加入纯水后 搅拌， 然后将混合溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一滤渣， 待用； 步骤4、 酸洗处理： 将步骤3得到的第一滤渣中加入盐酸后搅拌， 然后将混合溶液打入压 滤机， 进行固液分离， 得到的第二滤渣用纯水进行水洗， 直到溶液的pH为7， 然后将混合溶液 打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一物料， 待用； 步骤5、 干燥： 将步骤4得到的第一物料， 送入干燥炉， 经加热、 干燥、 冷却得到干燥的混 合颗粒， 待用； 步骤6、 杂质去除： 将得到的干燥的混合颗粒置于坩埚中， 放入电阻炉中， 并在通入O2的 气氛下加热至12001500， 加热一定时间后， 取出。

5、搅拌后再重复加热， 直到碳化硅颗粒纯 度达到99.9999； 步骤7、 将步骤6得到的碳化硅颗粒用球磨机研磨， 研磨后的碳化硅颗粒为100200 m， 得到回收的碳化硅粉。 2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方 法， 其特征在于： 步骤1中的碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌转速为20200r/min， 搅 拌时间为48h， 过滤器分离后一级颗粒的粒径为100200 m。 3.根据权利要求2所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方 法， 其特征在于： 步骤2中的一级过滤液搅拌转速为20200r/min， 搅拌时间为48h， 过滤 器分离后一级。

6、颗粒的粒径为5100 m。 4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方 法， 其特征在于： 步骤3中的混合物和纯净水的质量比为1:24， 搅拌转速为20200r/min， 搅拌时间为3050min， 压滤机型号为150型。 5.根据权利要求4所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方 法， 其特征在于： 步骤4中的第一滤渣和盐酸的质量比为1:24， 盐酸浓度为15wt， 搅拌 转速为20200r/min， 搅拌时间为6090min。 6.根据权利要求5所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方 法， 其特征在于： 步骤5中干燥炉的加热。

7、温度为200300， 加热时间为812h。 7.根据权利要求6所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方 法， 其特征在于： 步骤6中每次加热时间为45h。 8.根据权利要求7所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方 法， 其特征在于： 步骤7中球磨机研磨转速8001200r/min， 研磨时间35h。 权利要求书 1/1 页 2 CN 112142052 A 2 一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法 技术领域 0001 本发明属于碳化硅晶体加工技术领域； 具体涉及一种碳化硅晶体金刚线多线切割 废液中碳化硅粉的回收方法。 背景技术 0002 SiC。

8、衬底材料的加工一般采用对SiC单晶金刚线多线切割的方式进行。 用多根烧结 有金刚石颗粒的钢丝对单晶体进行切割， 使用去离子水对晶体进行冷却， 金刚石线径一般 在0.18mm上下， 随着切割的进行势必会有SiC晶体切割的损耗， 切割下来的SiC粉体与金刚 石颗粒会一同沉淀在水中。 对这些废液一般采用废弃处理的办法。 如能回收废液中的SiC颗 粒， 经处理后再作为SiC单晶生长的原料， 势必会达到减少环境污染， 节约成本的目的。 发明内容 0003 本发明目的是提供了一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方 法。 0004 本发明通过以下技术方案实现： 0005 一种碳化硅晶体金刚线多线。

9、切割废液中碳化硅粉的回收方法， 包括如下步骤： 0006 步骤1、 一级过滤： 将碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到一级过滤液、 一级颗粒， 待用； 0007 步骤2、 二级过滤： 将步骤1得到的一级过滤液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到二 级过滤液、 二级颗粒， 待用； 0008 步骤3、 纯水清洗： 将步骤1得到的一级颗粒、 步骤2得到的二级颗粒混合后， 加入纯 水后搅拌， 然后将混合溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一滤渣， 待用； 0009 步骤4、 酸洗处理： 将步骤3得到的第一滤渣中加入盐酸后搅拌， 然后将混合溶液打 入压滤机， 进行固液分离， 。

10、得到的第二滤渣用纯水进行水洗， 直到溶液的pH为7， 然后将混合 溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一物料， 待用； 0010 步骤5、 干燥： 将步骤4得到的第一物料， 送入干燥炉， 经加热、 干燥、 冷却得到干燥 的混合颗粒， 待用； 0011 步骤6、 杂质去除： 将得到的干燥的混合颗粒置于坩埚中， 放入电阻炉中， 并在通入 O2的气氛下加热至12001500， 加热一定时间后， 取出搅拌后再重复加热， 直到碳化硅颗 粒纯度达到99.9999； 0012 步骤7、 将步骤6得到的碳化硅颗粒用球磨机研磨， 研磨后的碳化硅颗粒为100 200 m， 得到回收的碳化硅粉。 0013 本发。

11、明所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤 1中的碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌转速为20200r/min， 搅拌时间为48h， 过滤 器分离后一级颗粒的粒径为100200 m。 0014 本发明所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤 说明书 1/6 页 3 CN 112142052 A 3 2中的一级过滤液搅拌转速为20200r/min， 搅拌时间为48h， 过滤器分离后一级颗粒的 粒径为5100 m。 0015 本发明所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤 3中的混合物和纯净水的质量比为1:24， 搅拌转速。

12、为20200r/min， 搅拌时间为30 50min， 压滤机型号为150型。 0016 本发明所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤 4中的第一滤渣和盐酸的质量比为1:24， 盐酸浓度为15wt， 搅拌转速为20200r/ min， 搅拌时间为6090min。 0017 本发明所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤 5中干燥炉的加热温度为200300， 加热时间为812h。 0018 本发明所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤 6中每次加热时间为45h。 0019 本发明所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废。

13、液中碳化硅粉的回收方法， 步骤 7中球磨机研磨转速8001200r/min， 研磨时间35h。 0020 本发明所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤 6中在通入O2的气氛下加热能够使干燥的混合颗粒中的金刚石颗粒全部气化为CO2排出， 也 将其中的其他杂质气化掉。 0021 本发明所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 碳化 硅的回收率在90以上， 纯度可达99.9999(6N)以上， 回收后的碳化硅粉能够用于晶体生 长。 0022 本发明所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 将晶 体切割损耗的SiC颗粒进行回收， 既保。

14、护了环境， 又能加回收得到的粉体重复用于单晶生 长， 同时也降低了成本， 提高了经济效益。 具体实施方式 0023 具体实施方式一： 0024 一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 包括如下步骤： 0025 步骤1、 一级过滤： 将碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到一级过滤液、 一级颗粒， 待用； 0026 步骤2、 二级过滤： 将步骤1得到的一级过滤液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到二 级过滤液、 二级颗粒， 待用； 0027 步骤3、 纯水清洗： 将步骤1得到的一级颗粒、 步骤2得到的二级颗粒混合后， 加入纯 水后搅拌， 然后将混合溶液打入压。

15、滤机， 进行固液分离， 得到第一滤渣， 待用； 0028 步骤4、 酸洗处理： 将步骤3得到的第一滤渣中加入盐酸后搅拌， 然后将混合溶液打 入压滤机， 进行固液分离， 得到的第二滤渣用纯水进行水洗， 直到溶液的pH为7， 然后将混合 溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一物料， 待用； 0029 步骤5、 干燥： 将步骤4得到的第一物料， 送入干燥炉， 经加热、 干燥、 冷却得到干燥 的混合颗粒， 待用； 0030 步骤6、 杂质去除： 将得到的干燥的混合颗粒置于坩埚中， 放入电阻炉中， 并在通入 说明书 2/6 页 4 CN 112142052 A 4 O2的气氛下加热至1200， 加热。

16、一定时间后， 取出搅拌后再重复加热， 直到碳化硅颗粒纯度 达到99.9999； 0031 步骤7、 将步骤6得到的碳化硅颗粒用球磨机研磨， 研磨后的碳化硅颗粒为200 m， 得到回收的碳化硅粉。 0032 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤1中的碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌转速为20r/min， 搅拌时间为8h， 过滤器分 离后一级颗粒的粒径为100 m。 0033 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤2中的一级过滤液搅拌转速为20r/min， 搅拌时间为8h， 过滤器分离后一级颗粒的粒径 为80 m。 00。

17、34 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤3中的混合物和纯净水的质量比为1:2， 搅拌转速为20r/min， 搅拌时间为30min， 压滤机 型号为150型。 0035 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤4中的第一滤渣和盐酸的质量比为1:2， 盐酸浓度为1wt， 搅拌转速为200r/min， 搅拌 时间为90min。 0036 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤5中干燥炉的加热温度为200， 加热时间为12h。 0037 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中。

18、碳化硅粉的回收方法， 步骤6中每次加热时间为5h， 加热次数为2次。 0038 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤7中球磨机研磨转速1200r/min， 研磨时间3h。 0039 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 碳化硅的回收率为90， 纯度为99.9999。 0040 具体实施方式二： 0041 一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 包括如下步骤： 0042 步骤1、 一级过滤： 将碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到一级过滤液、 一级颗粒， 待用； 0043 步骤2、。

19、 二级过滤： 将步骤1得到的一级过滤液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到二 级过滤液、 二级颗粒， 待用； 0044 步骤3、 纯水清洗： 将步骤1得到的一级颗粒、 步骤2得到的二级颗粒混合后， 加入纯 水后搅拌， 然后将混合溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一滤渣， 待用； 0045 步骤4、 酸洗处理： 将步骤3得到的第一滤渣中加入盐酸后搅拌， 然后将混合溶液打 入压滤机， 进行固液分离， 得到的第二滤渣用纯水进行水洗， 直到溶液的pH为7， 然后将混合 溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一物料， 待用； 0046 步骤5、 干燥： 将步骤4得到的第一物料， 送入干燥炉， 经加。

20、热、 干燥、 冷却得到干燥 的混合颗粒， 待用； 0047 步骤6、 杂质去除： 将得到的干燥的混合颗粒置于坩埚中， 放入电阻炉中， 并在通入 O2的气氛下加热至1500， 加热一定时间后， 取出搅拌后再重复加热， 直到碳化硅颗粒纯度 说明书 3/6 页 5 CN 112142052 A 5 达到99.9999； 0048 步骤7、 将步骤6得到的碳化硅颗粒用球磨机研磨， 研磨后的碳化硅颗粒为100 m， 得到回收的碳化硅粉。 0049 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤1中的碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌转速为200r/min， 搅拌时间为5h， 。

21、过滤器分 离后一级颗粒的粒径为100 m。 0050 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤2中的一级过滤液搅拌转速为200r/min， 搅拌时间为5h， 过滤器分离后一级颗粒的粒径 为100 m。 0051 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤3中的混合物和纯净水的质量比为1:3， 搅拌转速为200r/min， 搅拌时间为50min， 压滤 机型号为150型。 0052 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤4中的第一滤渣和盐酸的质量比为1:3， 盐酸浓度为5wt， 搅拌转速为。

22、200r/min， 搅拌 时间为90min。 0053 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤5中干燥炉的加热温度为300， 加热时间为8h。 0054 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤6中每次加热时间为5h。 0055 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤7中球磨机研磨转速1200r/min， 研磨时间5h。 0056 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 碳化硅的回收率为95， 纯度为99.9999。 0057 具体实施方式三： 005。

23、8 一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 包括如下步骤： 0059 步骤1、 一级过滤： 将碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到一级过滤液、 一级颗粒， 待用； 0060 步骤2、 二级过滤： 将步骤1得到的一级过滤液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到二 级过滤液、 二级颗粒， 待用； 0061 步骤3、 纯水清洗： 将步骤1得到的一级颗粒、 步骤2得到的二级颗粒混合后， 加入纯 水后搅拌， 然后将混合溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一滤渣， 待用； 0062 步骤4、 酸洗处理： 将步骤3得到的第一滤渣中加入盐酸后搅拌， 然后将混合溶液打 。

24、入压滤机， 进行固液分离， 得到的第二滤渣用纯水进行水洗， 直到溶液的pH为7， 然后将混合 溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一物料， 待用； 0063 步骤5、 干燥： 将步骤4得到的第一物料， 送入干燥炉， 经加热、 干燥、 冷却得到干燥 的混合颗粒， 待用； 0064 步骤6、 杂质去除： 将得到的干燥的混合颗粒置于坩埚中， 放入电阻炉中， 并在通入 O2的气氛下加热至1400， 加热一定时间后， 取出搅拌后再重复加热， 直到碳化硅颗粒纯度 达到99.9999； 说明书 4/6 页 6 CN 112142052 A 6 0065 步骤7、 将步骤6得到的碳化硅颗粒用球磨机研磨， 。

25、研磨后的碳化硅颗粒为150 m， 得到回收的碳化硅粉。 0066 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤1中的碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌转速为100r/min， 搅拌时间为6h， 过滤器分 离后一级颗粒的粒径为200 m。 0067 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤2中的一级过滤液搅拌转速为200r/min， 搅拌时间为8h， 过滤器分离后一级颗粒的粒径 为100 m。 0068 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤3中的混合物和纯净水的质量比为1:4， 搅拌转速为1。

26、00r/min， 搅拌时间为50min， 压滤 机型号为150型。 0069 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤4中的第一滤渣和盐酸的质量比为1:4， 盐酸浓度为2wt， 搅拌转速为200r/min， 搅拌 时间为90min。 0070 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤5中干燥炉的加热温度为240， 加热时间为12h。 0071 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 步骤6中每次加热时间为5h。 0072 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法，。

27、 步骤7中球磨机研磨转速1000r/min， 研磨时间4h。 0073 本实施方式所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 碳化硅的回收率为92， 纯度为99.9999。 0074 具体实施方式四： 0075 一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 包括如下步骤： 0076 步骤1、 一级过滤： 将碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到一级过滤液、 一级颗粒， 待用； 0077 步骤2、 二级过滤： 将步骤1得到的一级过滤液搅拌后， 用过滤器进行分离， 得到二 级过滤液、 二级颗粒， 待用； 0078 步骤3、 纯水清洗： 将步骤1得。

28、到的一级颗粒、 步骤2得到的二级颗粒混合后， 加入纯 水后搅拌， 然后将混合溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一滤渣， 待用； 0079 步骤4、 酸洗处理： 将步骤3得到的第一滤渣中加入盐酸后搅拌， 然后将混合溶液打 入压滤机， 进行固液分离， 得到的第二滤渣用纯水进行水洗， 直到溶液的pH为7， 然后将混合 溶液打入压滤机， 进行固液分离， 得到第一物料， 待用； 0080 步骤5、 干燥： 将步骤4得到的第一物料， 送入干燥炉， 经加热、 干燥、 冷却得到干燥 的混合颗粒， 待用； 0081 步骤6、 杂质去除： 将得到的干燥的混合颗粒置于坩埚中， 放入电阻炉中， 并在通入 O2的。

29、气氛下加热至12001500， 加热一定时间后， 取出搅拌后再重复加热， 直到碳化硅颗 粒纯度达到99.9999； 0082 步骤7、 将步骤6得到的碳化硅颗粒用球磨机研磨， 研磨后的碳化硅颗粒为100 说明书 5/6 页 7 CN 112142052 A 7 200 m， 得到回收的碳化硅粉。 0083 本具体实施所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 碳化硅的回收率在90以上， 纯度可达99.9999(6N)以上， 回收后的碳化硅粉能够用于晶 体生长。 0084 本具体实施所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的回收方法， 将晶体切割损耗的SiC颗粒进行回收。

30、， 既保护了环境， 又能加回收得到的粉体重复用于单晶 生长， 同时也降低了成本， 提高了经济效益。 0085 具体实施方式五： 0086 根据具体实施方式四所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的 回收方法， 步骤1中的碳化硅晶体金刚线多线切割废液搅拌转速为20200r/min， 搅拌时间 为48h， 过滤器分离后一级颗粒的粒径为100200 m。 0087 具体实施方式六： 0088 根据具体实施方式四所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的 回收方法， 步骤2中的一级过滤液搅拌转速为20200r/min， 搅拌时间为48h， 过滤器分离 后一级颗粒的粒径为5100 m。。

31、 0089 具体实施方式七： 0090 根据具体实施方式四所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的 回收方法， 步骤3中的混合物和纯净水的质量比为1:24， 搅拌转速为20200r/min， 搅拌 时间为3050min， 压滤机型号为150型。 0091 具体实施方式八： 0092 根据具体实施方式四所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的 回收方法， 步骤4中的第一滤渣和盐酸的质量比为1:24， 盐酸浓度为15wt， 搅拌转速 为20200r/min， 搅拌时间为6090min。 0093 具体实施方式九： 0094 根据具体实施方式四所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的 回收方法， 步骤5中干燥炉的加热温度为200300， 加热时间为812h。 0095 具体实施方式十： 0096 根据具体实施方式四所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的 回收方法， 步骤6中每次加热时间为45h。 0097 具体实施方式十一： 0098 根据具体实施方式四所述的一种碳化硅晶体金刚线多线切割废液中碳化硅粉的 回收方法， 步骤7中球磨机研磨转速8001200r/min， 研磨时间35h。 说明书 6/6 页 8 CN 112142052 A 8 。