激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202010912362.3 (22)申请日 2020.09.02 (71)申请人 苏州艾线光电科技有限公司 地址 210000 江苏省苏州市高新区浒墅关 镇浒杨路36号A幢2015-1室 (72)发明人 洪小苗 (51)Int.Cl. G03F 7/20(2006.01) (54)发明名称 一种激光直写镜头照明光斑的调整方法及 装置 (57)摘要 本发明公开了一种激光直写镜头照明光斑 的调整方法及装置， 包括固定件， 方槽的内腔侧 壁固定安装有照明系， 方槽内通过第二镜座固定 。

2、装配有第二调整反射镜， 第二镜座的底部与方槽 之间固定装配有连接组件， 第二镜座的侧壁装配 有贯穿固定件的调节机构。 在方槽内通过第一镜 座装配安装第一固定反射镜， 并通过第二镜座装 配第二调整反射镜， 照明光束通过第一固定反射 镜， 偏转某一角度后照射在第二调整反射镜上， 然后通过调整第二调整反射镜的角度， 从而使照 明光束均匀地照射至DMD器件的有效工作区域 上， 解决了在更换DMD器件后或需要微调DMD器件 上的照明光斑时操作不方便的问题。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 111948918 A 2020.11.17 CN 111948918 A 1.一种激光直写镜头照明光斑。

3、的调整方法， 其特征在于： S1， 设置第一固定反射镜和第二调整反射镜； S2， 照明光束经过第一固定反射镜偏转照射至第二调整反射镜上； S3， 通过调整第二调整反射镜的角度， 使照明光束均匀地照射至DMD器件的有效工作区 内。 2.根据权利要求1所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整方法， 其特征在于： 所述照 明光束的投影尺寸大于DMD器件的有效工作区， 使其完全覆盖DMD器件的有效区域。 3.一种激光直写镜头照明光斑的调整装置， 包括固定件 （1） ， 其特征在于： 所述固定件 （1） 的顶部通过固定组件 （2） 固定装配有DMD器件 （3） ， 所述固定件 （1） 的底部装配有成像镜 头。

4、 （4） ， 所述固定件 （1） 的内腔开设有方槽 （5） ， 所述方槽 （5） 的内腔通过第一镜座 （6） 固定装 配有第一固定反射镜 （7） ， 所述方槽 （5） 的内腔侧壁固定安装有照明系 （8） ， 所述方槽 （5） 内 通过第二镜座 （9） 固定装配有第二调整反射镜 （10） ， 所述第二镜座 （9） 的底部与方槽 （5） 的 后侧壁之间装配有调节机构 （11） 。 4.根据权利要求3所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置， 其特征在于： 所述固 定组件 （2） 包括装配于DMD器件 （3） 顶部的固定板 （21） ， 所述固定板 （21） 的顶部螺接有贯穿 至固定件 （1） 内的。

5、固定螺栓 （22） ， 所述固定板 （21） 与固定件 （1） 之间卡接有橡胶垫 （23） 。 5.根据权利要求3所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置， 其特征在于： 所述调 节机构 （11） 包括固定安装在第二镜座 （9） 侧壁的转动轴 （111） ， 所述转动轴 （111） 转动连接 于方槽 （5） 的后侧壁， 所述转动轴 （111） 的内腔开设有安装腔 （112） ， 所述安装腔 （112） 的侧 壁插接有拉动杆 （113） ， 所述安装腔 （112） 的上下侧壁对称开设有开口槽 （114） ， 所述拉动杆 （113） 的内侧端通过安装板 （115） 固定安装有定位销 （116） ，。

6、 所述定位销 （116） 插接至定位槽 （117） 内， 所述定位槽 （117） 开设在固定件 （1） 的侧壁， 所述安装板 （115） 与安装腔 （112） 之间 固定装配有弹簧 （118） 。 6.根据权利要求3所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整装置， 其特征在于： 所述第 一固定反射镜 （7） 为三角棱镜或平面反射镜， 所述第二调整反射镜 （10） 为平面反射镜。 权利要求书 1/1 页 2 CN 111948918 A 2 一种激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置 技术领域 0001 本发明涉及激光直写曝光机技术领域， 具体为一种激光直写镜头照明光斑的调整 方法及装置。 背景技术 0。

7、002 在激光直写曝光机领域， 尤其在印刷线路板制版和丝网印刷制版等应用中， 为了 增加设备的产能能力， 一般将数字微镜器件DMD的长边作为扫描宽度方向， 为进一步提升产 能， 设备需配置多路激光直写镜头， 将它们排成一列或两列， 设备内部需留有人员进出安装 调试的空间。 现有技术中， 照明光束从照明系统出射后直接入射到一个光斑调整反射镜， 通 过调整光斑调整反射镜的角度， 使照明光斑完全覆盖DMD器件的有效区域， 在多路镜头密排 成一列或两列后， 镜头间距非常狭小， 与调试维护人员相对的镜头后方还需要安装镜头固 定板、 拖链等物件， 使得后方的调整空间也很狭小， 这样在更换DMD器件后或需要。

8、微调DMD器 件上的照明光斑时， 因空间狭小， 操作就会非常不方便， 有时还需要从机台上拆下镜头， 然 后进行调整， 费时费力。 发明内容 0003 本发明的目的在于提供一种激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置， 以解决上 述背景技术中提出的问题。 0004 为实现上述目的， 本发明提供如下技术方案： 一种激光直写镜头照明光斑的调整 方法及装置， S1， 设置第一固定反射镜和第二调整反射镜； S2， 照明光束经过第一固定反射镜偏转照射至第二调整反射镜上； S3， 通过调整第二调整反射镜的角度， 使照明光束均匀地照射至DMD器件的有效工作区 内。 0005 优选的， 所述照明光束的投影尺寸大于D。

9、MD器件的有效工作区， 使其完全覆盖DMD 器件的有效区域。 0006 优选的， 所述固定件的顶部通过固定组件固定装配有DMD器件， 所述固定件的底部 装配有成像镜头， 所述固定件的内腔开设有方槽， 所述方槽的内腔通过第一镜座固定装配 有第一固定反射镜， 所述方槽的内腔侧壁固定安装有照明系， 所述方槽内通过第二镜座固 定装配有第二调整反射镜， 所述第二镜座的底部与方槽的后侧壁之间装配有调节机构。 0007 优选的， 所述固定组件包括装配于DMD器件顶部的固定板， 所述固定板的顶部螺接 有贯穿至固定件内的固定螺栓， 所述固定板与固定件之间卡接有橡胶垫。 0008 优选的， 所述调节机构包括固定安。

10、装在第二镜座侧壁的转动轴， 所述转动轴转动 连接于方槽的后侧壁， 所述转动轴的内腔开设有安装腔， 所述安装腔的侧壁插接有拉动杆， 所述安装腔的上下侧壁对称开设有开口槽， 所述拉动杆的内侧端通过安装板固定安装有定 位销， 所述定位销插接至定位槽内， 所述定位槽开设在固定件的侧壁， 所述安装板与安装腔 说明书 1/3 页 3 CN 111948918 A 3 之间固定装配有弹簧。 0009 优选的， 所述第一固定反射镜为三角棱镜或平面反射镜， 所述第二调整反射镜为 平面反射镜。 0010 与现有技术相比， 本发明的有益效果是： 一种激光直写镜头照明光斑的调整方法 及装置， 在固定件内开设方槽， 在。

11、方槽内通过第一镜座装配安装第一固定反射镜， 并通过第 二镜座装配第二调整反射镜， 照明光束通过第一固定反射镜， 偏转某一角度后照射在第二 调整反射镜上， 然后通过调整第二调整反射镜的角度， 从而使照明光束均匀地照射至DMD器 件的有效工作区域上， 解决了在更换DMD器件后或需要微调DMD器件上的照明光斑时操作不 方便的问题。 附图说明 0011 图1为本发明的结构示意图。 0012 图2为本发明的主视截面图。 0013 图3为本发明的部分侧视图。 0014 图中： 1、 固定件， 2、 固定组件， 21、 固定板， 22、 固定螺栓， 23、 橡胶垫， 3、 DMD器件， 4、 成像镜头， 5。

12、、 方槽， 6、 第一镜座， 7、 第一固定反射镜， 8、 照明系， 9、 第二镜座， 10、 第二调整反 射镜， 11、 调节机构， 111、 转动轴， 112、 安装腔， 113、 拉动杆， 114、 开口槽， 115、 安装板， 116、 定位销， 117、 定位槽， 118、 弹簧。 具体实施方式 0015 下面将结合本发明实施例中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行清楚、 完 整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于 本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例， 都属于本发明保护的范围。。

13、 0016 实施例一 本发明提供一种技术方案： 一种激光直写镜头照明光斑的调整方法， S1， 设置第一固定反射镜和第二调整反射镜， 第一固定反射镜和第二调整反射镜均装 配在方槽内， 第二调整反射镜的角度可以进行调节； S2， 照明光束经过第一固定反射镜偏转照射至第二调整反射镜上； S3， 通过调整第二调整反射镜的角度， 使照明光束均匀地照射至DMD器件的有效工作区 内， 照明光束以一个空间立体角从DMD器件上IN角方向入射。 其在DMD器件上投影的形状为 一不规则的四边形。 0017 照明光束的投影尺寸大于DMD器件的有效工作区， 使其完全覆盖DMD器件的有效区 域。 0018 实施例二 请参。

14、阅图1、 图2和图3， 本发明提供一种技术方案： 一种激光直写镜头照明光斑的调整 装置， 包括固定件1， 固定件1的顶部通过固定组件2固定装配有DMD器件3， 固定组件2包括装 配于DMD器件3顶部的固定板21， 固定板21的顶部螺接有贯穿至固定件1内的固定螺栓22， 固 定板21与固定件1之间卡接有橡胶垫23， 通过固定螺栓22与固定板21的配合对DMD器件3进 说明书 2/3 页 4 CN 111948918 A 4 行装配， DMD器件3为数字微镜器件， 通过设置橡胶垫23保证固定板21与固定螺栓22固定的 稳定性。 0019 固定件1的底部装配有成像镜头4， 固定件1的内腔开设有方槽5。

15、， 方槽5的内腔通过 第一镜座6固定装配有第一固定反射镜7， 第一镜座6位于方槽5的后侧壁， 通过第一镜座6将 第一固定反射镜7的位置进行固定， 方槽5的内腔侧壁固定安装有照明系8， 照明系8连接有 外部激光光源， 当激光光源开启后， 光线经过照明系8进行匀光整形， 向第一固定反射镜7发 射照明光束， 第一固定反射镜7再将照明光束反射至第二调整反射镜10， 方槽5内通过第二 镜座9固定装配有第二调整反射镜10， 通过调节机构11调节第二镜座9的角度， 从而对第二 调整反射镜10所反射的光束进行调整， 从而使照明光束均匀地照射至DMD器件3上， 第一固 定反射镜7为三角棱镜或平面反射镜， 第二调。

16、整反射镜10为平面反射镜。 0020 调节机构11包括固定安装在第二镜座9侧壁的转动轴111， 转动轴111转动连接于 方槽5的后侧壁， 转动轴111的内腔开设有安装腔112， 安装腔112的侧壁插接有拉动杆113， 安装腔112的上下侧壁对称开设有开口槽114， 拉动杆113的内侧端通过安装板115固定安装 有定位销116， 定位销116插接至定位槽117内， 定位槽117开设在固定件1的侧壁， 安装板115 与安装腔112之间固定装配有弹簧118， 弹簧118对安装板115产生弹力， 使定位销116插接至 定位槽117内， 从而对第二镜座9的转动角度进行限定， 定位槽117呈圆周均匀分布在。

17、固定件 1的后侧壁， 通过定位销116插接至不同位置的定位槽117内， 对第二镜座9的位置进行调节， 调节机构11与照明系8均位于固定件1的后侧壁， 从而使对第二镜座9的调节更加方便。 0021 工作原理： 在使用的过程中将本装置进行装配， 当对DMD器件3进行更换或是调节 后， 需要重新调整光束照射位置时， 当激光光源开启后， 光线经过照明系8进行匀光整形， 向 第一固定反射镜7发射照明光束， 第一固定反射镜7再将照明光束反射至第二调整反射镜 10， 向外拉动拉动杆113， 使定位销116移出定位槽117， 然后通过转动轴111转动第二镜座9， 第二镜座9进行角度的调节， 从而使照明光束均匀。

18、地照射至DMD器件上， 当调节完成后， 松开 拉动杆113， 使定位销116插接至定位槽117内， 对第二镜座9的位置进行固定， 操作简单方 便。 0022 对于本领域技术人员而言， 显然本发明不限于上述示范性实施例的细节， 而且在 不背离本发明的精神或基本特征的情况下， 能够以其他的具体形式实现本发明。 因此， 无论 从哪一点来看， 均应将实施例看作是示范性的， 而且是非限制性的， 本发明的范围由所附权 利要求而不是上述说明限定， 因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有 变化囊括在本发明内。 不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。 0023 此外， 应当理解， 虽然本说明书按照实施方式加以描述， 但并非每个实施方式仅包 含一个独立的技术方案， 说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见， 本领域技术人员应当 将说明书作为一个整体， 各实施例中的技术方案也可以经适当组合， 形成本领域技术人员 可以理解的其他实施方式。 说明书 3/3 页 5 CN 111948918 A 5 图1 说明书附图 1/3 页 6 CN 111948918 A 6 图2 说明书附图 2/3 页 7 CN 111948918 A 7 图3 说明书附图 3/3 页 8 CN 111948918 A 8 。