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1、(10)授权公告号 CN 201770627 U (45)授权公告日 2011.03.23 CN 201770627 U *CN201770627U* (21)申请号 201020281587.5 (22)申请日 2010.08.02 C07C 15/06(2006.01) C07C 7/00(2006.01) (73)专利权人 江阴市润玛电子材料有限公司 地址 214423 江苏省江阴市周庄镇欧洲工业 园常青北路 1 号 (72)发明人 戈士勇 (74)专利代理机构 江阴市同盛专利事务所 32210 代理人 唐纫兰 曾丹 (54) 实用新型名称 超净高纯级甲苯提取装置 (57) 摘要 本实用。
2、新型涉及一种超净高纯级甲苯提取 装置， 其特征在于 ： 它包括原料罐 (1)、 浓硫酸罐 (2)、 碱液罐 (3)、 反应罐 (4)、 废酸罐 (5)、 废碱罐 (6)、 干燥器 (7)、 精馏塔 (8)、 冷凝器 (9)、 过滤器 (10)和成品罐(11) ； 原料罐(1)、 浓硫酸罐(2)和 碱液罐 (3) 出口分别与反应罐 (4) 进口相连接， 反应罐 (4) 出口分别与废酸罐 (5)、 废碱罐 (6) 和 干燥器 (7) 进口相连接， 干燥器 (7) 出口与精馏 塔(8)进口相连接， 精馏塔(8)顶端出口与冷凝器 (9) 进口相连接， 冷凝器 (9) 出口与过滤器 (10) 进口相连接。
3、， 过滤器(10)出口与成品罐(11)相连 接。本实用新型有效去除苯、 二甲苯、 甲基噻吩等 杂质， 制备的超净高纯级甲苯可满足微电子领域 使用要求。 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 1 页 CN 201770629 U1/1 页 2 1. 一种超净高纯级甲苯提取装置， 其特征在于 ： 它包括原料罐 (1)、 浓硫酸罐 (2)、 碱 液罐 (3)、 反应罐 (4)、 废酸罐 (5)、 废碱罐 (6)、 干燥器 (7)、 精馏塔 (8)、 冷凝器 (9)、 过滤器 (10) 和成品罐 (11) ； 所述。
4、原料罐 (1)、 浓硫酸罐 (2) 和碱液罐 (3) 出口分别与所述反应罐 (4) 进口相连接， 所述反应罐 (4) 出口分别与废酸罐 (5)、 废碱罐 (6) 和干燥器 (7) 进口相连接， 所述干燥器 (7) 出口与精馏塔 (8) 进口相连接， 所述精馏塔 (8) 顶端出口与冷凝器 (9) 进口相连接， 所 述冷凝器(9)出口与过滤器(10)进口相连接， 所述过滤器(10)出口与成品罐(11)相连接。 权 利 要 求 书 CN 201770627 U CN 201770629 U1/2 页 3 超净高纯级甲苯提取装置 ( 一 ) 技术领域 0001 本实用新型涉及一种超净高纯级甲苯提取装置。
5、， 属于微电子化学品生产设备技术 领域。 ( 二 ) 背景技术 0002 甲苯在微电子领域， 作为清洗去油剂使用。 甲苯为无色透明可燃液体， 工业甲苯由 煤焦油分流或石油的芳烃化制得， 其中含有苯、 二甲苯、 甲基噻吩等杂质， 用于微电子领域 时， 必须将工业级甲苯中的上述杂质去除。 ( 三 ) 发明内容 0003 本实用新型的目的在于克服上述不足， 提供一种能去除甲苯中杂质， 满足微电子 领域使用要求的超净高纯级甲苯提取装置。 0004 本实用新型的目的是这样实现的 ： 一种超净高纯级甲苯提取装置， 其特征在于 ： 它包括原料罐、 浓硫酸罐、 碱液罐、 反应罐、 废酸罐、 废碱罐、 干燥器、。
6、 精馏塔、 冷凝器、 过滤器 和成品罐 ； 0005 所述原料罐、 浓硫酸罐和碱液罐出口分别与所述反应罐进口相连接， 所述反应罐 出口分别与废酸罐、 废碱罐和干燥器进口相连接， 所述干燥器出口与精馏塔进口相连接， 所 述精馏塔顶端出口与冷凝器进口相连接， 所述冷凝器出口与过滤器进口相连接， 所述过滤 器出口与成品罐相连接。 0006 本实用新型的有益效果是 ： 0007 本实用新型超净高纯级甲苯提取装置， 在反应罐中经过浓硫酸洗、 碱洗后再干燥、 蒸馏， 有效去除苯、 二甲苯、 甲基噻吩等杂质， 制备的超净高纯级甲苯可满足微电子领域使 用要求。 ( 四 ) 附图说明 0008 图 1 为本实用。
7、新型超净高纯级甲苯提取装置的结构示意图。 0009 其中 ： 0010 原料罐 1、 浓硫酸罐 2、 碱液罐 3、 反应罐 4、 废酸罐 5、 废碱罐 6、 干燥器 7、 精馏塔 8、 冷凝器 9、 过滤器 10、 成品罐 11。 ( 五 ) 具体实施方式 0011 参见图 1， 本实用新型涉及的一种超净高纯级甲苯提取装置， 主要由原料罐 1、 浓 硫酸罐 2、 碱液罐 3、 反应罐 4、 废酸罐 5、 废碱罐 6、 干燥器 7、 精馏塔 8、 冷凝器 9、 过滤器 10 和成品罐 11 组成 ； 0012 所述原料罐 1、 浓硫酸罐 2 和碱液罐 3 出口分别与所述反应罐 4 进口相连接， 。
8、所述 反应罐 4 出口分别与废酸罐 5、 废碱罐 6 和干燥器 7 进口相连接， 所述干燥器 7 出口与精馏 说 明 书 CN 201770627 U CN 201770629 U2/2 页 4 塔 8 进口相连接， 所述精馏塔 8 顶端出口与冷凝器 9 进口相连接， 所述冷凝器 9 出口与过滤 器 10 进口相连接， 所述过滤器 10 出口与成品罐 11 相连接。 0013 所述冷凝器 9 出口与精馏塔 8 直接设置有回流管路。 0014 工作时， 先将浓硫酸与原料甲苯混合搅拌， 使其在反应罐中充分反应， 然后将反应 后的算放入废酸罐， 重复反应多次， 然后在反应罐中加入碱液洗涤， 分离出废碱， 再经过干 燥、 蒸馏、 过滤后得到超净高纯级甲苯， 纯度可达 99.5以上。 说 明 书 CN 201770627 U CN 201770629 U1/1 页 5 图 1 说 明 书 附 图 CN 201770627 U 。