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1、(10)申请公布号 CN 102212333 A (43)申请公布日 2011.10.12 CN 102212333 A *CN102212333A* (21)申请号 201110097508.4 (22)申请日 2011.04.19 C09K 3/14(2006.01) (71)申请人 浙江露笑光电有限公司 地址 311814 浙江省绍兴市诸暨店口镇露笑 路 38 号 (72)发明人 李鹏 (74)专利代理机构 杭州华鼎知识产权代理事务 所 ( 普通合伙 ) 33217 代理人 韩洪 (54) 发明名称 蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法 (57) 摘要 本发明公开了一种蓝宝石衬底片精磨研磨。
2、 液， 由金刚石粉、 水和悬浮液组成， 金刚石粉、 水和 悬浮液的重量比 1 10 1， 所述悬浮液由分 散剂、 悬浮剂和防锈剂组成， 分散剂、 悬浮剂和防 锈剂的重量比 2 5 1， 所述分散剂为高分子 有机醇， 所述悬浮剂为高分子化合物， 所述防锈剂 为碱。 本发明由于采用了上述技术方案， 所得研磨 液均匀度好， 利于研磨， 可使加工结束后的晶片表 面粗糙度大为改善， 且减少了塌边的产生， 大大提 高加工效率， 使得晶片平整度大为提高。 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 2 页 CN 102212340 A1/1。
3、 页 2 1. 蓝宝石衬底片精磨研磨液， 其特征在于 ： 由金刚石粉、 水和悬浮液组成， 金刚石粉、 水和悬浮液的重量比1101， 所述悬浮液由分散剂、 悬浮剂和防锈剂组成， 分散剂、 悬 浮剂和防锈剂的重量比 2 5 1， 所述分散剂为高分子有机醇， 所述悬浮剂为高分子化 合物， 所述防锈剂为碱。 2. 根据权利要求 1 所述蓝宝石衬底片精磨研磨液， 其特征在于 ： 所述高分子有机醇为 乙二醇。 3. 根据权利要求 1 所述蓝宝石衬底片精磨研磨液， 其特征在于 ： 所述高分子化合物为 硬脂酸。 4. 根据权利要求 1 所述蓝宝石衬底片精磨研磨液， 其特征在于 ： 所述碱为氢氧化钠。 5. 根。
4、据权利要求 1 所述蓝宝石衬底片精磨研磨液的配制方法， 其特征在于 ： 包括以下 步骤 ： a、 按照权利要求 1 所述配比称取原料混合 ； b、 将步骤 a 所得液体用超声波振荡仪振 荡 10 分钟 ； c、 将步骤 b 所得液体过滤 ； d、 将步骤 c 所得液体用超声波振荡仪振荡 15 分钟。 6. 根据权利要求 5 所述蓝宝石衬底片精磨研磨液的配制方法， 其特征在于 ： 所述超声 波振荡仪的频率为 28khz， 功率为 200w。 权 利 要 求 书 CN 102212333 A CN 102212340 A1/2 页 3 蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法 技术领域 0001 本发明。
5、涉及一种蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法。 背景技术 0002 通常金刚石研磨液是采用金刚石粉和水进行配置， 使用时需要用手摇晃， 这样对 于金刚石研磨液来说， 均匀度不好， 有沉淀现象， 不利于研磨。 发明内容 0003 本发明所要解决的技术问题是提供一种蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法， 所得研磨液均匀度好， 利于研磨。 0004 为解决上述技术问题， 本发明采用如下技术方案 ： 蓝宝石衬底片精磨研磨液， 由金 刚石粉、 水和悬浮液组成， 金刚石粉、 水和悬浮液的重量比1101， 所述悬浮液由分散 剂、 悬浮剂和防锈剂组成， 分散剂、 悬浮剂和防锈剂的重量比 2 5 1， 所述分散剂为。
6、高 分子有机醇， 所述悬浮剂为高分子化合物， 所述防锈剂为碱。 0005 作为优选， 所述高分子有机醇为乙二醇。 0006 作为优选， 所述高分子化合物为硬脂酸。 0007 作为优选， 所述碱为氢氧化钠。 0008 蓝宝石衬底片精磨研磨液的配制方法， 包括以下步骤 ： a、 按照权利要求 1 所述配 比称取原料混合 ； b、 将步骤 a 所得液体用超声波振荡仪振荡 10 分钟 ； c、 将步骤 b 所得液体 过滤 ； d、 将步骤 c 所得液体用超声波振荡仪振荡 15 分钟。 0009 作为优选， 所述超声波振荡仪的频率为 28khz， 功率为 200w。 0010 本发明由于采用了上述技术方。
7、案， 所得研磨液均匀度好， 利于研磨， 可使加工结束 后的晶片表面粗糙度大为改善， 且减少了塌边的产生， 大大提高加工效率， 使得晶片平整度 大为提高。 具体实施方式 0011 蓝宝石衬底片精磨研磨液， 由金刚石粉、 水和悬浮液组成， 金刚石粉、 水和悬浮液 的重量比 1 10 1， 加入悬浮液， 使研磨液粒径分布更加均匀。所述悬浮液由乙二醇、 硬脂酸和氢氧化钠组成， 乙二醇、 硬脂酸和氢氧化钠的重量比 2 5 1。 0012 蓝宝石衬底片精磨研磨液的配制方法， 包括以下步骤 ： a、 按照权利要求 1 所述配 比称取原料混合 ； b、 将步骤 a 所得液体用超声波振荡仪振荡 10 分钟 ； 。
8、c、 将步骤 b 所得液 体过滤 ； d、 将步骤 c 所得液体用超声波振荡仪振荡 15 分钟。所述超声波振荡仪的频率为 28khz， 功率为 200w。 0013 研磨液磨削效率较大， 研磨过程中由于蓝宝石晶片与研磨液中固体颗粒在运动中 进行不断的摩擦， 因而会产生大量的热， 若不及时将其分散带走， 产生的热量堆积后会使其 表面产生微小的形变， 进而影响研磨质量 ； 通过优化研磨液的循环运动方式， 将研磨过程中 说 明 书 CN 102212333 A CN 102212340 A2/2 页 4 所产生的热量带走， 从而有效解决研磨过程中的散热问题。散热问题解决后使用本发明的 研磨液大大缩短了加工所需时间， 使加工结束后的晶片表面粗糙度大为改善， 且减少了塌 边的产生， 大大提高加工效率， 使得晶片平整度大为提高， 晶片表面现象更加光滑， 使加工 结束后的晶片平整度 2um( 国家标准 15um)。 说 明 书 CN 102212333 A 。