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1、(10)申请公布号 CN 102618173 A (43)申请公布日 2012.08.01 CN 102618173 A *CN102618173A* (21)申请号 201210046475.5 (22)申请日 2012.02.28 C09G 1/02(2006.01) (71)申请人 南通海迅天恒纳米科技有限公司 地址 226600 江苏省南通市海安县经济开发 区精细化工园 11 号 (72)发明人 关飞飞 马超 唐会明 (74)专利代理机构 南京正联知识产权代理有限 公司 32243 代理人 卢霞 (54) 发明名称 蓝宝石抛光组合物 (57) 摘要 本发明提供了一种蓝宝石抛光组合物， 。
2、包括 以下组分 ： 硅溶胶、 pH 调节剂、 活性剂和缓冲剂， 所述的硅溶胶、 pH 调节剂、 活性剂与缓冲剂的重 量百分比为 84 10 1 3。本发明的蓝宝石 抛光组合物， 具有如下技术效果 ： 1) 抛光去除速 率高， 抛光后蓝宝石表面粗糙度低、 平整度高， 抛 光液不污染环境， 不腐蚀设备。2） 稀释比例高、 循 环时间长、 稳定性好， 有效降低了成本。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 2 页 1/1 页 2 1. 蓝宝石抛光组合物， 其特征在于， 所述的组合物包括以下组。
3、分 ： 硅溶胶、 pH 调节剂、 活性剂和缓冲剂， 所述的硅溶胶、 pH 调节剂、 活性剂与缓冲剂的重量百分比为 84 ： 10 ： 1 ： 3。 2.根据权利要求1所述的蓝宝石抛光组合物， 其特征在于， 所述的硅溶胶为比重1.3的 130nm 的硅溶胶。 3. 根据权利要求 1 所述的蓝宝石抛光组合物， 其特征在于， 所述的 pH 调节剂为浓度为 10% 的氢氧化钾溶液。 4. 根据权利要求 1 所述的蓝宝石抛光组合物， 其特征在于， 所述的活性剂为烷基酚聚 氧乙烯醚。 5. 根据权利要求 1 所述的蓝宝石抛光组合物， 其特征在于， 所述的缓冲剂为乙醇胺、 二 乙醇胺和三乙醇胺， 所述的乙醇。
4、胺、 二乙醇胺和三乙醇胺的重量百分比为 1:2:7。 权 利 要 求 书 CN 102618173 A 2 1/2 页 3 蓝宝石抛光组合物 技术领域 0001 本发明涉及一种抛光组合物， 具体地说， 涉及一种蓝宝石抛光组合物。 背景技术 0002 人造蓝宝石 (Al2O3) 又称白宝石， 透明， 是一种物理特性、 机械特性和化学特性三 者独特组合的优良材料， 与天然宝石具有相同的光学特性和力学性能， 且有很好的热特性， 极好的电气特性和介电特性， 化学性质非常稳定， 大多数酸溶液无法溶解它 ； 光透性能好， 它对红外线透过率高 ； 耐磨， 硬度仅次于金刚石 , 达莫氏 9 级 ； 在高温下仍。
5、具有较好的稳定 性， 熔点为 2030， 因此被广泛地应用于工业、 国防、 航空航天等领域 , 如用作固体激光、 红外窗口、 半导体芯片的衬底片、 精密耐磨轴承材料等。蓝宝石作为衬底材料， 具有高温下 (1000 ) 化学性质稳定、 容易获得大尺寸以及价格便宜等优点。尽管它与 GaN 之间存在较 大的晶格失配， 但随着生长技术的不断改进， 目前已能在蓝宝石上外延出高质量的 GaN 材 料， 并已研制出 GaN 基蓝色发光二极管及激光二极管、 微波大功率器件等。作为微电子衬底 材料对其晶体表面提出了超光滑、 无损伤的要求， 因此对蓝宝石衬底必须进行精细抛光。 0003 抛光技术种类繁多， 理论和。
6、实践说明， 目前只有化学机械抛光 (CMP) 技术可以真 正使蓝宝石衬底片实现全局平整化。化学机械抛光技术是机械磨削和化学腐蚀的组合技 术， 它借助超微粒子的研磨作用以及浆料的化学腐蚀作用在被研磨的介质表面上形成光洁 平坦平面， 是半导体衬底片加工的一门主导技术。对抛光液抛光效果影响较大的抛光液成 分有磨料、 pH 值调节剂、 络合剂、 活性剂、 螯合剂等。 发明内容 0004 本发明的目的是克服现有技术的不足之处， 提供一种蓝宝石抛光组合物。 0005 本发明的蓝宝石抛光组合物， 包括以下组分 ： 硅溶胶、 pH 调节剂、 活性剂和缓冲 剂， 所述的硅溶胶、 pH 调节剂、 活性剂与缓冲剂的。
7、重量百分比为 84 ： 10 ： 1 ： 3。 0006 所述的硅溶胶为比重 1.3 的 130nm 的硅溶胶。 0007 所述的 pH 调节剂为浓度为 10% 的氢氧化钾溶液。 0008 所述的活性剂为烷基酚聚氧乙烯醚。 0009 所述的缓冲剂为乙醇胺、 二乙醇胺和三乙醇胺， 所述的乙醇胺、 二乙醇胺和三乙醇 胺的重量百分比为 1:2:7。 0010 本发明的蓝宝石抛光组合物， 具有如下技术效果 ： 1) 抛光去除速率高， 抛光后蓝 宝石表面粗糙度低、 平整度高， 抛光液不污染环境， 不腐蚀设备。2） 稀释比例高、 循环时间 长、 稳定性好， 有效降低了成本。 具体实施方式 0011 实施例。
8、 1 本实施例的蓝宝石抛光组合物， 包括以下组分 ： 硅溶胶、 pH 调节剂、 活性剂和缓冲剂， 说 明 书 CN 102618173 A 3 2/2 页 4 所述的硅溶胶、 pH 调节剂、 活性剂、 缓冲剂的重量百分比为 84 ： 10 ： 1 ： 3。硅溶胶为比重 1.3 的 130nm 的硅溶胶。pH 调节剂为浓度为 10% 的氢氧化钾溶液。活性剂为烷基酚聚氧乙烯 醚。缓冲剂为乙醇胺、 二乙醇胺和三乙醇胺， 所述的乙醇胺、 二乙醇胺和三乙醇胺的重量百 分比为 1:2:7。 0012 本实施例的蓝宝石抛光组合物的制备方法如下 ： 首先取硅溶胶， 然后向其加入 pH 调节剂。搅拌 2min 后， 向其加入活性剂搅拌 3min 后， 向其加入的缓冲剂， 搅拌 20min 后， 制 成蓝宝石抛光组合物。此蓝宝石新型抛光液可稀释 20 倍使用， 可有效降低了成本， 提高抛 光速率达 15% 左右。 说 明 书 CN 102618173 A 4 。