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一种减少信号串扰的微透镜.pdf

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  • 文档编号:815118
  • 上传时间:2018-03-13
  • 格式:PDF
  • 页数:6
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  • 摘要
    申请专利号:

    CN201110259526.8

    申请日:

    2011.09.05

    公开号:

    CN102346267A

    公开日:

    2012.02.08

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情:

    授权|||实质审查的生效IPC(主分类):G02B 3/00申请日:20110905|||公开

    IPC分类号:

    G02B3/00; H01L27/148(2006.01)N

    主分类号:

    G02B3/00

    申请人:

    中国电子科技集团公司第四十四研究所

    发明人:

    白雪平; 汪朝敏; 熊平; 龙飞; 李金; 鲍峰; 廖乃镘; 向华兵

    地址:

    400065 重庆市南岸区南坪花园路14号

    优先权:

    专利代理机构:

    重庆辉腾律师事务所 50215

    代理人:

    侯懋琪;寸南华

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    内容摘要

    为克服现有技术小像元电荷耦合元件CCD系统中的凸透镜对于波长大于700nm的长波可见光会聚后又被发散并在邻近像元产生信号电子从而引起信号串扰的问题,本发明一种减少信号串扰的微透镜。本发明微透镜采用凹凸结合的光学结构,其中,在像元的中间部分采用小曲率凸透镜,在像元的边缘部分采用大曲率凹透镜。本发明微透镜可以将光线会聚在像元下面较深的位置减少长波可见光发生光学串扰的机率,在像元的边缘部分采用大曲率凹透镜能够更好的将光线发散到各独立像元,同时也可以降低斜入射的光线产生光学串扰的概率,降低元电荷耦合元件CCD产生串扰的机率,从而改善调制传递函数MTF。

    权利要求书

    1: 一种减少信号串扰的微透镜, 其特征在于 : 采用凹凸结合的光学结构, 其中, 在像元 的中间部分采用小曲率凸透镜, 在像元的边缘部分采用大曲率凹透镜 ; 所述小曲率凸透镜 是指使得焦距大于 4.5μm 的曲率半径 ; 所述大曲率凹透镜是指曲率半径小于沟阻宽度 1/2 的凹透镜。

    说明书


    一种减少信号串扰的微透镜

         技术领域
         本发明涉及一种用于电荷耦合元件 CCD 成像系统的微透镜, 特别涉及一种能够减 少信号串扰的微透镜。背景技术
         在电荷耦合元件 CCD(以下简称为 CCD) 成像系统中, 通常包括透镜和 CCD 两大部 分。透镜将外界光影像透射到 CCD 上, 使得 CCD 上的光敏物质发生变化, 从而将光学信号转 换为电信号, 将图像像素转换成数字信号。通常, 将 CCD 上能够感知光学信号并将其转换为 电信号的部分称之为光敏像元或像素, 光敏像元之间的竖向间隔部份被称之为沟阻。 在 CCD 上有许许多多排列整齐的像元, 能感应光线, 并将光影像转变成数字信号。通常, 单位面积 CCD 上包含的像元数量越多, 其提供的画面分辨率也就越高。为获取较高的画面分辨率, 单 位面积 CCD 上包含的像元数量越来越多, 即像元面积越来越小。通常, 将面积较小的像元称 之为小像元。
         对于小像元 CCD 来说, 由光学串扰引起的调制传递函数 MTF(以下简称为 MTF) 损 失一直是影响器件性能的重要因素。对于面阵 CCD, 由于波长为 700 - 1100nm 的长波可见 光穿透深度较深 (一般 4.5 - 582μm) , 像元边缘区域的长波光线容易穿透到邻近的像元, 在邻近像元产生信号电子, 从而引起信号串扰, 影响器件的 MTF。 另外, 现有技术微透镜一般 采用凸透镜, 凸透镜可以将短波光线会聚在光敏区下一定深度内, 对于波长大于 700nm 的 长波可见光, 由于穿透深度较深, 光线会聚后又被发散, 发散的光线在邻近像元产生信号电 子, 也会产生信号串扰, 影响器件的 MTF。 发明内容
         为克服现有技术小像元电荷耦合元件 CCD 系统中的凸透镜对于波长大于 700nm 的 长波可见光会聚后又被发散并在邻近像元产生信号电子从而引起信号串扰的问题, 本发明 一种减少信号串扰的微透镜。本发明减少信号串扰的微透镜采用凹凸结合的光学结构, 其 中, 在像元的中间部分采用小曲率凸透镜, 在像元的边缘部分采用大曲率凹透镜 ; 所述小曲 率凸透镜是指使得焦距大于 4.5μm 的曲率半径 ; 所述大曲率凹透镜是指曲率半径小于沟 阻宽度 1/2 的凹透镜。
         本发明减少信号串扰的微透镜的有益技术效果是在像元的中间部分采用小曲率 凸透镜可以将光线会聚在像元下面较深的位置减少长波可见光发生光学串扰的机率, 在像 元的边缘部分采用大曲率凹透镜能够更好的将光线发散到各独立像元, 同时也可以降低斜 入射的光线产生光学串扰的概率, 降低元电荷耦合元件 CCD 产生串扰的机率, 从而改善调 制传递函数 MTF。附图说明 附图 1 为电荷耦合元件 CCD 的结构示意图 ; 附图 2 为长波可见光穿透像元边缘的示意图 ; 附图 3 为凸透镜光线会聚后又被发散的示意图 ; 附图 4 为本发明减少信号串扰的微透镜的结构示意图。
         下面结合附图及具体实施例对本发明减少信号串扰的微透镜做进一步说明。
         具体实施方式
         附图 1 为电荷耦合元件 CCD 的结构示意图, 图中, 1 为像元, 2 为沟阻。由图可知, 在电荷耦合元件 CCD 成像系统中, 通常包括透镜和 CCD 两大部分。透镜将外界光影像透射 到 CCD 上, 使得 CCD 上的光敏物质发生变化, 从而将光学信号转换为电信号, 将图像像素转 换成数字信号。通常, 将 CCD 上能够感知光学信号并将其转换为电信号的部分称之为光敏 像元或像素, 光敏像元之间的横向间隔部份被称之为沟阻。在面阵 CCD 上有许许多多排列 整齐的像元, 能感应光线, 并将光影像转变成数字信号。通常, 单位面积 CCD 上包含的像元 数量越多, 其提供的画面分辨率也就越高。为获取较高的画面分辨率, 单位面积 CCD 上包含 的像元数量越来越多, 即像元面积越来越小。通常, 将面积较小的像元称之为小像元。 附图 2 为长波可见光穿透像元边缘的示意图, 图中, 1 为像元, 2 为沟阻。 由图可知, 对于小像元 CCD 来说, 由光学串扰引起的调制传递函数 MTF 损失一直是影响器件性能的重 要因素。对于像元结构为像元和沟阻组成的阵列 CCD, 由于波长为 700 - 1100nm 的长波可 见光穿透深度较深 (一般 4.5 - 582μm) , 像元边缘区域的长波光线容易穿透沟阻到邻近的 像元, 在邻近像元产生信号电子, 从而引起信号串扰, 影响器件的 MTF。
         附图 3 为凸透镜光线会聚后又被发散的示意图, 图中, 1 为像元, 2 为沟阻, 3 为凸透 镜。 由图可知, 现有技术微透镜一般采用凸透镜, 凸透镜可以将短波光线会聚在光敏区下一 定深度内, 对于波长大于 700nm 的长波可见光, 由于穿透深度较深, 光线会聚后又被发散, 发散的光线在邻近像元产生信号电子, 也会产生信号串扰, 影响器件的 MTF。
         附图 4 为本发明减少信号串扰的微透镜的结构示意图, 图中, 1 为像元, 2 为沟阻, 4 为小曲率凸透镜, 5 为大曲率凹透镜。由图可知, 为克服现有技术小像元电荷耦合元件 CCD 系统中的凸透镜对于波长大于 700nm 的长波可见光会聚后又被发散并在邻近像元产生信 号电子从而引起信号串扰的问题, 本发明一种减少信号串扰的微透镜。本发明减少信号串 扰的微透镜采用凹凸结合的光学结构, 其中, 在像元的中间部分采用小曲率凸透镜, 在像元 的边缘部分采用大曲率凹透镜 ; 所述小曲率凸透镜是指使得焦距大于 4.5μm 的曲率半径 ; 所述大曲率凹透镜是指曲率半径小于沟阻宽度 1/2 的凹透镜。在像元的中间部分的小曲率 凸透镜可以将长波光线会聚在硅体内较深的位置, 由于曲率较小, 焦距较长, 会聚后的光线 不容易发散到邻近像元。 在像元的边缘部分的大曲率凹透镜, 焦距较短, 可以将像元边缘区 域的长波光线分别发散到各独立像元。 本发明减少信号串扰的微透镜通过小曲率凸透镜和 大曲率凹透镜结合, 降低小像元 CCD 器件发生长波光学串扰的概率, 减少像元之间的串扰, 改善器件 MTF。
         本发明减少信号串扰的微透镜的有益技术效果是在像元的中间部分采用小曲率 凸透镜可以将光线会聚在像元下面较深的位置减少长波可见光发生光学串扰的机率, 在像
         元的边缘部分采用大曲率凹透镜能够更好的将光线发散到各独立像元, 同时也可以降低斜 入射的光线产生光学串扰的概率, 降低元电荷耦合元件 CCD 产生串扰的机率, 从而改善调 制传递函数 MTF。

    关 键  词:
    一种 减少 信号 透镜
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