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本发明公开了一种慢走丝加工细长铍青铜精密镶件的防变形工艺方法包括坯件预制、时效处理、多步精割。本发明采取的坯件预制、时效处理、多步精割的防变形加工技术方案,克服了现有技术慢走丝加工铍青铜等易变形金属材料,尤其是电蚀切割这类材料的细长工件存在的变形弯曲,形位公差偏离的问题与不足,所提供一种慢走丝加工细长铍青铜精密镶件的防变形工艺方法,使对于铍青铜等易变形金属材料的精密细长工件的慢走丝加工,达到了无变。