显示面板组装装置及方法及处理作业装置及基板输送装置 【技术领域】
本发明涉及在液晶或等离子体等FPD(＝Flat Panel Display平板显示器)的显示面板(显示单元基板)的周边搭载驱动IC或COF(Chip on Film柔性软板)、FPC(Flexible Printed Circuits柔性印制电路)等所谓的TAB(＝Tape Automated Bonding带式自动焊接)连接，及安装周边基板(PCB＝printed circuit board印刷电路板)的显示面板模块组装装置。更具体来说，能够更有效地配置显示面板模块组装装置中的各处理工序或更稳定地转送输送显示面板的显示面板基板输送装置。
背景技术
显示面板模块组装装置是通过对等离子体等的FPD的显示面板基板(或简称为基板、其他基板例如PCB的情况下写明为PCB基板)依次进行多个处理工序，在所述基板的周边安装驱动IC、TAB及PCB基板等的装置。
例如，作为处理工序的一例，包括：(1)清除基板端部的TAB贴附部的端子清洁工序、(2)在清除后的基板端部贴附各向异性导电薄膜(ACF＝Anisotropic Conductive Film)的ACF工序、(3)在贴附了ACF的位置定位基板配线，搭载TAB或IC的搭载工序、(4)通过对搭载的TAB进行加热压接，利用ACF薄膜固定的压接工序、(5)检查搭载的TAB或IC的位置或连接状态的检查工序、(6)在TAB的基板侧的相反侧用ACF等贴附PCB基板而搭载的PCB工序(多个工序)等。进而，根据处理的基板的边的数量或处理的TAB或IC的数量等，需要各处理位置的数量或使基板旋转的处理单元等。
显示面板模块组装装置通过连续配置进行这些处理作业的处理作业 装置，利用基板输送机构将基板在其之间输送基板，进行基板周边处理。
作为在各处理作业装置之间输送基板的方法，如专利文献1及3中所述，公开了从作业前的基板放置的载置台到作业载物台及从作业载物台到载置台时，使用将基板从下方抬起，进行送入·送出的机构的输送方式。另外，在专利文献2中进而改进基板的输送方法，公开了在各处理作业装置配置包括梳齿型臂的基板保持·输送载物台，由此在各作业处理装置之间转送基板，依次输送的方式。
进而，在专利文献3中为了缩短装置全长，作为能够缩短各处理作业装置(作业载置台)之间的配置间隔的输送方法，公开了包括基于一对带式传送器的输送机构和在其之间配置的面板支承工作台的基板输送结构。
另外，就使用了上述专利文献1及专利文献4记载的输送机构的显示面板输送装置来说，公开了利用吸附力保持显示面板，切换吸附至目的位置的同时输送的装置。
作为各处理作业装置，在专利文献1中，公开了进行各处理作业的作业工作台和向所述作业工作台送入·送出显示面板基板的机构的结构。在该结构中，送入显示面板基板的作业工作台保持显示面板基板，能够在基板的宽度、长度及水平旋转方向上调节，在作业工作台进行显示面板基板的处理位置的定位，实施各处理作业。
另外，在专利文献2中，公开了在各处理作业装置配置能够将显示面板基板向三轴及水平旋转方向运转的梳齿型臂的结构。在该结构中，利用设置有各处理作业装置的所述梳齿型臂，进行转送显示面板基板的动作和显示面板基板的处理位置的定位动作。
进而，在专利文献3中，公开了在一对带式传送器之类的输送机构之间配置显示面板支承工作台，利用所述显示面板支承工作台，进行显示面板基板的处理位置的定位动作的方法。
【专利文献1】日本特开平8-26475号公报
【专利文献2】日本特开2007-99466号公报
【专利文献3】日本特开2003-76290号公报
【专利文献4】日本特开2008-134439号公报
首先，考虑在各处理作业装置之间输送基板的方法的问题。在使用了 上述专利文献1的以往输送机构的显示面板模块组装装置中，沿处理作业装置的配置生产线配置基板的输送机构，因此，处理作业装置单元的配置方向上直行的方向即装置宽度方向变宽，并且，需要各输送臂的待机位置等，因此，处理作业装置之间的间隔变宽，处理作业装置配置方向的装置长度即显示面板模块组装装置的全长变得非常长。
在专利文献2中也同样需要在处理作业装置之间转送基板的场所，因此，显示面板模块组装装置全长变长。进而，处理作业装置的基板输送机构在将基板向下游侧的处理作业装置转送后，需要去往上游侧的处理作业装置接受接下来的处理基板。各处理作业装置待机至接下来的处理基板送入，因此，存在各处理作业装置的作业效率降低的问题。
专利文献3是通过使用各处理作业装置的传送带状输送机构，同时进行向各处理作业装置的处理前基板的送入和处理后的基板的送出的结构，不需要在各处理作业装置之间设置基板或臂的待机位置，能够将各处理作业装置接近而配置，能够缩短显示面板模块组装装置全长。
然而，在专利文献3中公开的方式中也留下了若干问题。
各处理作业装置所需的最小宽度大致依赖于处理的基板的边的长度。处理基板的长边和短边的处理所需的处理作业装置的最小宽度不同，并且，在使基板旋转的处理作业部中，基板的对角长度需要最低。进而，在处理同一边的处理作业装置中，也在需要的处理作业装置的最小宽度上产生差异。例如，在需要高的压力或温度的正式压接工序中，需要确保处理单元框体的强度等，因此，处理作业装置的必要宽度处于比其他变大的倾向。此外，在各处理作业装置每一个中，必要的最小宽度也稍有不同。
但是，在专利文献3中建议的结构中，利用同一带式传送器的驱动来同时进行自各处理站的基板的送出和送入。但是，由于利用同一带式传送器进行送出和送入，因此，需要处理作业装置之间的基板输送速度或距离相同。因此，需要各处理作业装置之间的间距也相同。为了这样，各处理作业装置需要与连结的处理作业装置的最大宽度一致。因此，在专利文献3的基板输送方式中，也不能以最接近状态配置以最小必要宽度构成的各处理作业装置。
在该方式中，若在各处理作业装置的带的输送速度上具有差异，则原 理上还可能使输送的基板的移动量上具有差异，但在带之间的转送时，具有速度差的带与基板表面接触，因此，对基板表面赋予损伤等的可能性高，并且，导致难以保障输送精度的问题等，实际中不能采用。
另外，在专利文献3中公开的、在各处理作业装置设置的带状传送器之间转送基板的方式中，即使将各处理作业装置的带输送速度控制为相同，也不能完全消除转送部处的输送精度降低(转送精度)或基板表面的损伤等的危险性。因此，自然而然为了将其避免，在能够输送及转送的基板输送速度上存在极限，难以进行高速的基板输送。
进入，在专利文献3的方式中，用一对带状传送器输送基板，因此，输送的基板需要为载置于一对(两方)的传送器的尺寸的基板。因此，还具有难以应对小型基板的问题。
另外，使用了专利文献1及专利文献4记载的输送机构的显示面板基板输送装置是利用吸附力保持显示面板，切换吸附至目的位置的同时输送的装置。从而，若由于各处理作业时间的缩短化，使输送变得高速，则存在需要以高速进行转送显示面板的固定部和接受的部分的吸引的切换时，需要提高高速输送和转送的可靠性的问题。另外，在显示面板基板的吸附输送中，可能发生转送时的吸附错误。
其次，考虑各处理作业装置的结构的问题。在上述专利文献1～3中公开的以往的各处理作业装置的结构中，均保持输送过来的基板，并且，进行定位动作后，实施各处理作业。
如上所述，显示面板模块组装装置连结多种处理作业装置，对显示面板连续进行各种处理作业。在上述专利文献1～3中公开的处理作业装置的结构中，由于其处理作业内容，在处理作业时间上产生差异。因此，时间短的工序的处理作业装置需要等待花费时间的工序的处理作业装置的结束，基板的输送间隔被花费时间的工序的处理作业装置限制，并且，在时间短的工序的处理作业装置中发生作业停止的时间。
为了效率更良好地运转各处理作业装置，考虑将花费时间的工序的处理作业装置增加数量而连结于时间短的工序的处理作业装置，获得各处理工序的生产节拍平衡。但是，在该方式中，具有连结的处理作业装置的数量增加，显示面板模块组装装置整体的长度变得非常长的问题。
【发明内容】
本发明的第一目的在于提供通过改善基板的输送机构，能够构成为小型特别缩短装置全长的显示面板模块组装装置或组装方法或显示面板基板输送装置。
另外，本发明的第二目的在于提供能够利用同一输送机构或输送方法，将各种尺寸的基板在连续的各处理作业装置或各处理单元之间以高速及/或高精度转送输送的显示面板模块组装装置或组装方法或显示面板基板输送装置。
进而，本发明的第三目的在于提供对于各处理作业装置，能够以必要的最小间隔连续连结配置各处理作业装置的显示面板模块组装装置或显示面板基板输送装置。
另外，本发明的第四目的在于提高显示面板基板的输送中的高速输送和转送的可靠性。
进而，本发明的第五目的在于提供在显示面板基板的吸附输送中，避免在转送时的吸附错误的发生的显示面板基板输送装置或显示面板基板输送方法或显示面板模块组装装置。
另外，本发明的第六目的在于提供能够构成为缩短显示面板模块组装装置全长的显示面板组装装置。
进而，本发明的第七目的在于在包括显示多种的处理作业的显示面板模块组装装置或组装方法中，提高各处理作业的作业效率。
最后，本发明的第八目的在于提供能够实现上述第六及第七这两个目的显示面板基板组装用处理作业装置。
为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的第一特征在于，具有：基板保持机构，其将多个在一定方向上细长的基板保持构件并列配置于与所述显示面板基板的输送面平行的面上；基板输送机构，其将多个在所述一定方向上细长的基板输送构件并列配置于与所述显示面板基板的输送面平行的面上，所述基板输送构件的至少一个配置于所述基板保持构件之间，所述基板输送机构对配置于所述基板保持构件上的所述显示面板基板进行保持，并在基板输送方向上直线地移动，由此输送所述显示面板基板。
另外，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的第二特征在于，输送显示面板基板的显示面板基板输送装置具有：基板保持机构，其具有在所述处理作业装置的作业位置保持显示面板基板的基板保持构件；基板输送机构，其将显示面板基板输送至显示面板基板处理步骤的下游侧的其他所述基板保持构件，所述基板输送机构具备：运转机构，其能够在所述输送的区间直线地移动。
进而，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明除了第一或第二特征之外，第三特征在于，所述基板输送机构具有使所述基板输送构件相对于所述基板保持机构的所述基板保持构件相对地上升及下降的机构，并且，具有能够使所述基板输送构件在沿基板输送方向的规定的范围内往返移动的动作机构。
另外，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的显示面板模块组装装置除了第三特征之外，第四特征在于，配置有多个所述基板输送机构，且能够独立地设定各所述基板输送机构的往返移动距离，所述多个基板输送机构以相同的时序使所述基板保持机构上的所述显示面板基板在所述基板输送方向上移动。
另外，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的显示面板模块组装装置除了第四特征之外，第五特征在于，能够根据所述处理作业装置或处理基板条件等改变所述往返移动距离的输送距离可变机构。
进而，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的显示面板模块组装装置除了第一～第三中任一项所述的特征之外，第六特征在于，具有：基板姿势检测机构，其检测所述显示面板基板的姿势；基板姿势修正机构，其基于所述基板姿势检测机构的检测结果，修正所述显示面板基板的姿势。
另外，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的显示面板模块组装装置除了第六特征之外，第七特征在于，所述显示面板基板的姿势为在各所述处理作业装置的作业位置处的姿势，所述基板保持机构与各所述处理作业装置对应而配置多个，至少一个所述基板保持机构具有基于检测作业位置处的基板姿势的基板姿势检测机构和所述基板姿势检测机构的检测结果修正基板姿势的基板姿势修正机构。
另外，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的显示面板模块组装装置除了第一或第二特征之外，第八特征在于，所述各处理作业装置具备：在输送过来的所述显示面板基板的缘进行规定的处理的至少一个以上的处理单元；检测输送过来的所述显示面板基板的姿势的基板姿势检测机构，基于所述基板姿势检测机构的检测结果，修正相对于基板的所述处理单元的相对位置。
进而，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的显示面板模块组装装置除了第一～第二特征之外，第九特征在于，具有多个所述显示面板基板输送装置，在所述显示面板基板输送装置之间具有改变所述显示面板基板的姿势或输送方向的机构。
另外，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的显示面板模块组装装置或基板输送装置，第九特征在于，所述基板保持机构在所述处理作业装置的相反侧具有摩擦阻力小的低摩擦基板保持部。
进而，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的显示面板模块组装方法的第十一特征在于，输送显示面板基板的机构在所述处理作业装置的作业位置处的作业结束后，从与所述作业位置对应设置的基板保持机构接受所述显示面板基板，将所述显示面板基板直线地移动至所述作业位置的下游侧的作业位置，将所述显示面板基板交给与所述下游侧的作业位置对应设置的基板保持机构，并在所述下游侧的作业位置处的作业结束之前直线地移动返回至原来的作业位置。
另外，为了实现上述第一或第二或第三目的，本发明的显示面板基板输送装置，第十二特征在于，从基板保持机构接受所述基板，将所述显示面板基板直线地移动至所述基板保持机构的下游侧的其他基板保持机构，输送所述基板，向所述其他基板保持机构转送所述显示面板基板，转送所述基板后，直线地移动返回至原来的所述基板保持机构。
另外，为了实现上述第四或第五目的，进而，本发明的第十三特征在于，在显示面板基板输送装置中，具有吸附系统，其产生如下所述的状态的至少三个阶段以上的吸引状态，第一吸引状态，将在显示面板基板输送时的加减速下不发生显示面板基板的脱落或位置偏移的第一吸引力作用于显示面板基板；第二吸引状态，将对显示面板基板没有保持力的第二吸 引力作用于显示面板基板；第三吸引状态，将大小在所述第一吸引力和所述第二吸引力之间的第三吸引力作用于显示面板基板。
另外，为了实现上述第四或第五目的，进而，本发明的第十四特征在于，具有多个所述吸附系统，将其中至少两个吸附系统压力损耗连结。
为了实现上述第六或第七或第八的上述目的，使处理作业装置的处理作业时间接近地构成显示面板模块组装装置或组装方法或显示面板基板组装用处理作业装置。
或者，缩短显示面板模块组装装置的生产线长度地构成显示面板模块组装装置或组装方法或显示面板基板组装用处理作业装置。
具体来说，为了实现上述第六或第七或第八的上述目的，第十五特征在于，在显示面板模块组装装置或组装方法中，在至少一个以上的所述处理作业装置中，具有对一个显示面板基板的一边同时进行处理作业的至少两个以上的处理单元。
另外，为了实现上述第六或第七或第八的上述目的，第十六特征在于，在显示面板模块组装装置或组装方法中，具有：分割所述各种处理中处理时间长的处理边作业，并同时进行处理作业的至少两个以上的处理单元。
进而，为了实现上述第六或第七或第八的上述目的，在上述第十五及第十六的特征基础上，第十七特征在于，所述同时是指在将所述显示面板基板向接下来的作业位置输送之前的期间处理作业结束的意思。
另外，为了实现上述第六或第七或第八的上述目的，除了上述第十五～第十七的任一个特征之外，第十八特征在于，所述处理单元检测进行处理作业的显示面板基板的姿势，基于所述结果，修正显示面板基板的处理边和所述处理单元的相对位置。
另外，为了实现上述第六或第七或第八的目的，除了上述第十五～第十七的任一个特征之外，第十九特征在于，所述处理单元能够在与所述处理边方向平行的方向上移动。
进而，为了实现上述第六或第七或第八的目的，除了上述第十五～第十七的任一个特征之外，第二十特征在于，同时进行所述多个处理单元中的处理作业，控制所述处理作业的多个处理单元中的处理动作和向接下来的作业位置转移移动的转移移动动作的作业时序。
最后，为了实现上述第八目的，第二十一特征在于，在显示面板基板组装用处理作业装置中，具有对一个显示面板基板的一边进行作业的至少一个以上的处理单元，所述处理单元具有能够在与所述处理边方向平行的方向上移动的机构。
发明效果
根据上述本发明可知，在各处理作业装置中的作业位置上，将在基板输送方向上细长的基板保持构件并列配置于在基板输送方向上直行的方向上，并且，形成为在所述基板保持机构的细长的多个所述基板保持构件之间同样并列配置了在基板输送方向上细长的基板输送构件的基板输送机构，能够对小型到大型基板进行保持及输送。
在基板输送动作中，将基板输送构件相对于所述基板保持构件相对地上升，由此将基板从基板保持部以微小量抬起分离，高速滑动输送至规定的位置后，将所述基板输送构件相对于所述基板保持构件相对地下降，再次将基板向基板保持部转送的本方式能够通过最小限度的移动来进行基板移动，能够进行高速且高精度的处理作业装置之间的转送输送。
在一系列的连续基板输送装置内，配置多个上述基板输送机构，使各基板输送机构的往返移动距离独立，由此在本方式中，能够自由地设定各处理作业位置之间的距离。
进而，所述多个基板输送机构以相同时序使所述基板保持机构上的基板同时在基板输送方向上移动，因此，能够将各基板以处理作业装置之间的距离相邻的原来状态下在各处理作业装置之间移动。由此，能够提供能够将各处理作业装置以必要最小限度的间隔连续连结配置的显示面板基板输送装置。
另外，设置有多个的基板输送机构的基板输送方向的往返移动距离能够按每一个基板保持机构独立地设定，由此还能够根据各处理作业装置或处理基板条件等，实现最佳处理作业位置之间的距离。
进而，在所述基板保持机构的若干个中设置检测作业位置处的基板姿势的基板姿势检测机构、和基于所述基板姿势检测机构的检测结果修正基板姿势的基板姿势修正机构，由此还能够修正在多个处理作业装置之间连续输送的情况下发生的基板的姿势的变化，在连结多个处理作业装置构成 的显示面板模块组装装置全长中，能够高速且高精度输送基板。而且，在各处理作业装置中设置对输送过来的基板的缘进行规定的处理的至少一个以上的处理单元和检测输送过来的基板的姿势的基板姿势检测机构，能够基于所述基板姿势检测机构的检测结果，修正相对于基板的所述处理单元的相对位置，因此，能够更高精度地实施在各基板的周边进行的电子构件的安装等处理作业。
另外，根据上述本发明可知，实现能够利用相同的同一输送机构，将小型到大型基板的各种尺寸的基板在连续的各处理单元之间高速且高精度地转送输送，并且，能够将各处理作业装置以各处理作业装置所需的最小间隔连续连结配置的显示面板模块组装装置及方法，能够输送显示面板等的基板。
进而，根据上述本发明可知，在显示面板的转送时，应力不施加于面板，且能够防止面板脱落，在高速输送时，也能够进行稳定的转送动作。
另外，根据上述本发明可知，在至少一个部位产生吸附错误，发生压力降低的情况下，在其他吸附系统也不会发生急剧的压力降低，因此，面板不会急剧地脱落。另外，吸引力残留在近邻的垫，因此，还能够期待吸引错误部位的垫也再吸附的效果。其结果，能够稳定地进行显示面板的转送，因此，能够提供可靠性高的显示面板模块组装装置。
进而，根据上述本发明可知，在显示面板模块组装装置或组装方法中，单元化处理作业装置的进行各处理作业的机构部，并且，至少两个以上的处理单元在一个显示面板基板的一边同时进行处理作业，由此能够提高慢的处理作业装置的作业效率。
另外，根据上述本发明可知，多个处理单元能够基于显示面板基板姿势的检测结果，修正显示面板基板的处理边和处理单元的相对位置，因此，能够对显示面板基板的一处理边独立地进行定位处理，能够同时进行基于上述多个处理单元的同时处理。
进而，根据上述本发明可知，所述多个处理单元设置有能够在与显示面板基板的处理边方向平行的方向上移动的运转机构，由此各处理单元能够向任意的位置移动，能够提高处理单元的作业效率。
另外，根据上述本发明可知，通过控制多个处理单元中的处理动作和 在基板边的处理位置之间转移移动的转移移动动作，能够防止进行处理作业的多个处理单元的碰撞等干涉，对同一显示面板基板的一处理边同时进行基于多个处理单元的处理作业。
经以上的结果可知，通过调节在各处理作业装置配置的处理单元数量，能够使各处理作业装置的处理作业时间接近，在包括多种处理作业的显示面板模块组装装置或组装方法中，能够提高处理作业的运转率。
另外，能够提供在包括多种处理作业的显示面板模块组装装置中，能够缩短构成显示面板模块组装装置全长的显示面板模块组装装置。
进而，能够提供能够实现上述两个效果的显示面板基板组装用处理作业装置。
关于本发明的上述目的、特征、效果及上述以外的目的、特征、效果，在以下的记载中进一步说明。
【附图说明】
图1是用于说明本发明的显示面板基板输送装置及使用了其的显示面板模块组装装置的基本结构的图。
图2是用于以示意性说明各处理作业时和基板输送时的动作状态的图，是表示自基板的输送方向的剖面的图。
图3是用于以示意性说明各处理单元时和基板输送时的动作状态的图，是表示自装置侧面的剖面的图。
图4(a)是说明显示面板基板输送装置及使用了其的显示面板模块组装装置整体中的基板的处理及输送顺序中步骤1～步骤4的图。
图4(b)是连续于图4(a)，说明基板的处理及输送顺序中步骤5和步骤6的图。
图5是用于说明基于基板保持机构的基板位置修正方式的图。
图6是说明在基板转送时施加于基板的力或基板的变形等的示意图。
图7是用于说明本发明的基板保持机构及基于基板保持机构的尺寸不同的基板的保持的图。
图8是用于说明设想了超大型的基板输送的情况下的显示面板基板输送机构的图。
图9是用于说明进一步简化本发明的显示面板基板输送装置的机构的方式的图。
图10是用于说明多个处理单元对一张基板同时进行作业的方式的图。
图11是表示在基板设置的基准标记的一例的图。
图12是表示对基板进行定位处理的处理单元结构的一实施例的图。
图13是说明基于本发明的显示面板基板输送装置和处理单元机构的新的显示面板模块组装装置的一实施例的图。
图14是用于说明本发明的显示面板基板输送装置中的控制部结构的一实施例的图。
图15是说明本发明的显示面板基板输送装置中的基本的控制方式的一实施例的图。
图16是说明本发明的显示面板基板输送装置中的其他实施例结构的图。
图17是说明本发明的显示面板基板输送装置中的又一其他实施例结构的图。
图18是表示图16所示的本发明的实施例的侧方剖面的图。
图19是表示图17所示的本发明的实施例的侧方剖面的图。
图20是本发明实施例的模块组装装置的结构。
图20-1是本发明实施例的显示面板基板目的位置为止的输送流程图。
图20-2是本发明实施例的大型基板及小型基板的转送输送的俯视图。
图21是本发明实施例的用于转送输送的面板固定部和面板可动部的俯视图。
图22是本发明实施例的用于转送输送的面板固定部和面板可动部的剖面图。
图23是本发明实施例的转送时的面板可动部的上下动作图。
图24是表示本发明实施例的理想的面板转送的吸附力切换和动作时序的图。
图25是表示对于本发明实施例的转送动作，转送面板的一侧的吸引 力解除延迟的情况的图。
图26是表示对于本发明实施例的转送动作，转送面板的一侧的吸引力解除提前的情况的图。
图27是表示对于减弱本发明实施例的吸引的时序，转送面板的动作提前的情况的图。
图28是表示对于减弱本发明实施例的吸引的时序，转送面板的动作延迟的情况的图。
图29是表示转送本发明实施例的面板的一侧的吸引力解除延迟的情况的图。
图30是表示转送本发明实施例的面板的一侧的吸引力弱的情况的图。
图31是表示转送本发明实施例的面板的一侧的吸引力弱，且有界限的情况的图。
图32是表示转送本发明实施例的面板的一侧的动作提前的情况的图。
图33是表示转送本发明实施例的面板的一侧的动作延迟的情况的图。
图34是表示由于本发明实施例的释放阀，转送的一侧的吸引力成为弱水平的情况的图。
图35是表示利用本发明比较例的吸引泵的阀的开闭，切换吸引的方式的图。
图36是表示利用本发明实施例的释放阀，产生弱阶段的吸引力的吸引系统的图。
图37是表示使本发明实施例的吸附垫中一个泄漏时的吸引力降低的图。
图38是分割本发明实施例的吸附系统，产生压力损耗而连结的方式的图。
图中：1-基板长边侧(源侧)的处理作业装置组；2-基板的旋转机构；3-基板短边侧(栅(gate)侧)的处理作业装置组；4-端子清洁处理作业装置(源侧)；5-ACF贴附处理作业装置(源侧)；6-TAB/IC搭载处理作业装置(源侧)；7-正式压接处理作业装置(源侧)；8-端子清洁处理作业装置(栅侧)；9-ACF贴附处理作业装置(栅侧)；10-基板(显示面板基板)；11-基板输送机构；11A-基板输送构件；11S-辅助 性基板输送构件；12-基板保持机构；12A-基板保持构件；12S-辅助性基板保持构件；13-处理作业装置；14-基板输送构件升降机构；15-滑动载物台的导轨；16-基板保持构件的运转范围；17-基板保持构件和基板输送构件的间隙；18-基板输送构件表面的吸引孔；19-基板保持构件表面的吸引孔；20-小型基板的配置区域；21-大型基板的配置区域；22-吸附孔下的吸引腔室；23、63-开闭阀；24-由吸引泵等供给的负压系统；25-超大型基板的配置区域；26-摩擦阻力小的基板保持部；27-接近基板的处理边的一侧(基板保持·输送区域)；28-从基板的处理边远的一侧(基板低摩擦保持区域)；29-滑动载物台的滑块；30-进行处理作业的处理单元；31-表示显示面板端部的端部标记31；32-表示TAB或IC等的搭载位置的搭载位置标记；33-使处理单元整体移动的XYZθ运转机构；34-检测基板上的基准标记的CCD摄像机；35-处理位置修正机构；36-进行处理作业的处理单元机构B(与30不同种类的处理单元)；37-系统动作时序控制机构(MC)；38-各处理作业开始信号；39-各处理作业结束信号(还包括错误信号或作用处理中信号等)；40-各处理作业装置控制机构(AC-1～AC-6)；41-各处理作业装置控制机构和各处理作业装置之间的控制通信信号；42-检测基板输送构件B-1～B-4的坐标位置等的传感器；43-各基板输送构件的驱动装置(M-1～M-4)；44-各基板输送构件的坐标位置等的检测信号；45-各基板输送构件的驱动装置的动作信号；46-基板输送动作控制机构(BC-1)；47-输送动作开始信号；48-基板输送结束信号；49-处理作业装置内的处理单元机构控制机构(UC-1～UC-3)；50-系统动作时序控制机构的基板输送控制信号；51-系统动作时序控制机构的处理装置动作控制信号；52-基板输送动作控制机构的基板输送动作信号；53-各处理作业装置控制机构的处理装置动作信号(1)(2)(3)……；101-显示面板基板；102-基板输送构件；103-基板保持构件；104-处理作业装置；105-基板输送构件升降装置；106-滑块载物台的导轨；107-基板输送构件表面的吸引孔；108-基板输送构件表面的吸引孔；109-小型基板的配置区域；110-大型基板的配置区域；111-吸附孔下的吸引腔室；112、143-开闭阀；113-由吸引泵等供给的负压系统；115-滑动载物台的滑块；116-处理 单元；140-吸附垫；141-释放阀；142-吸引泵；142a-向基板输送构件的空气配管；142b-向基板固定构件的空气配管；142c-伸缩式配管。
【具体实施方式】
以下，使用图1～图5说明本发明的一实施方式。
图1是表示用于说明本发明的显示面板基板输送装置及使用了其的显示面板模块组装装置的基本结构的一实施例的图。
图1的装置是将基板10从图中左方向右依次输送的同时，在基板的周边部进行各种处理作业，进行IC或TAB等的安装组装作业的装置。在图1的装置中，首先，利用基板长边侧(源侧)的处理作业装置组1，进行基板长边侧(源侧)的处理后，利用旋转台2使基板旋转，其次，利用基板短边侧(栅侧)的处理作业装置组3，进行基板短边侧(栅侧)的处理作业。在图1的装置中，作为基板长边侧(源侧)的处理，从左开始依次进行(1)清除基板端部的TAB贴附部的端子清洁工序、(2)在清除后的基板端部贴附各向异性导电薄膜(ACF)的ACF工序、(3)在贴附了ACF的位置，与基板配线定位而搭载TAB或IC的搭载工序、(4)通过加热压接搭载的TAB或IC，利用ACF薄膜来固定的压接工序，图7中4～7分别表示端子清洁处理作业装置4、ACF贴附处理作业装置5、TAB/IC搭载处理作业装置6、正式压接处理作业装置7。
在图1的装置中，作为基板短边侧(栅侧)的处理作业，仅示出端子清洁处理作业装置8和ACF贴附处理作业装置9，省略之后的处理作业装置组。除了图1所示的处理作业装置以外，作为显示面板模块组装装置整体，除了未图示的基板短边侧(栅侧)的处理作业之外，对剩余的基板两边(长边、短边)的处理工序或在TAB的基板侧的相反侧用ACF等贴附搭载PCB基板的PCB处理工序(包括多个处理工序)、以及处理作业后的基板的检查工序等大量的处理作业装置连结而构成。当然，需要连结怎样的处理作业装置依赖于进行组装作业的显示面板模块结构。
本实施例提供在这些以大数量连接的各种处理位置之间高效输送基板10的显示面板基板输送装置。
本实施例的显示面板基板输送装置首先包括：在各处理作业装置位置 保持基板10的基板保持机构12；用于将在所述基板保持机构12保持的基板10输送至相邻的处理作业装置的位置的基板输送机构11。在图1中，在各处理作业装置前，图示有源侧4组和栅侧2组独立的基板保持机构12a～e(添加字母表示处理作业装置)和基板输送机构11a～e(添加字母表示处理作业装置)。
如后述的图2所示，基板保持机构12具有在基板输送方向上细长的基板保持构件12A沿在基板输送方向直行的方向上排列配置多个的构造。如图2所示，基板输送机构11形成为在细长的多个所述基板保持构件12A之间且排列配置有多个在基板输送方向细长的基板输送构件11A的构造。在图1中，基板10为了图示配置于其下方的基板保持机构12或基板输送机构11，截断一部分而示出，并且，用虚线示出外形。在相同处理作业装置13前并列配置的基板输送构件一体地构成，使保持于基板保持机构12的基板10移动至接下来的处理作业装置位置。
图2及图3是用于示意性说明各处理作业时和基板输送时的动作状态的图。图2表示自基板10的输送方向的剖面，图3是自装置侧面的剖面。基板输送机构11在基板保持机构12的间隙配置有多根基板输送构件11A～C(在图2中为3根，以下无论根数、形态，均总称而表示为11A)，这些成一体，具有相对于所述基板保持机构12的所述基板保持构件12A～D(在图2中为4根，以下无论根数、形态，均总称而表示为12A)，使所述基板输送构件11A相对地上升及下降的基板输送构件升降机构14。
在各处理作业装置中的向基板10的处理动作结束(图3-(1))后，基板输送机构11通过使所述基板输送构件11aA、11bA上升，将在基板保持构件12aA、12bA等上配置的基板10以微小量抬起(图3-(2))，然后，使其沿基板保持构件12aA、12bA等的间隙方向滑动(图3-(3))，由此能够将基板10输送至接下来的作业处理装置。作为使基板输送机构11滑动的机构，能够适用基于线性马达或滚珠丝杠等的通常的滑块载物台机构29、15。图2中的基板10的输送方向是与纸面垂直的方向。将基板10输送至接下来的输送处理位置的基板输送机构11通过使基板输送构件11aA、11bA等下降，对于基板10，将基板10向接下来的作业处理装置的基板保持机构11转送(图3-(4))。将基板10向基板保持机构12上转 送的基板输送机构11在下降的状态下，进行返回动作至原料的处理作业装置位置(图3-(5))。该返回动作可以在各处理作业装置的处理作业中进行，因此，能够在没有时间损失的情况下对运转率提高起到贡献。另外，即使各处理作业装置之间的长度不同，也可以在处理作业中进行该返回动作，因此，能够在时间上带有余量地在处理作业装置之间以相同的时序进行，能够将基板10依次向下游的处理作业装置位置连续输送。
在上述实施例的基板输送方式中，能够极少地抑制基于基板输送机构11的基板10的上升·下降量，并且，能够在各处理作业装置之间以最短的直线进行基板10的输送。由此，能够与下述各基板10的基于相同时序的输送相辅相成，使多个基板10在各处理作业装置之间以高速大致同时移动。
对于实际的基板输送时的基于输送机构的基板上升量，需要考虑基板10的输送时的挠曲或翘起、基板保持机构的保持面的平面度、相邻的处理作业装置之间的基板保持机构的高度对位精度、基板输送机构的上升输送时的上升输送时的高度位置精度等，以基板10不与基板保持构件12A表面接触的范围来确定。关于基板输送机构11的返回动作时的下降量，基板输送构件11A当然也以不与基板下表面接触的范围来确定。本实施例的输送时的自基板保持机构的基板10的上升量为约1～2mm左右。
但是，贴附了TAB的基板10需要在输送时，TAB前端不与基板保持构件12A接触的程度的上升量，若TAB长度为20mm左右，则需要使基板输送构件11A相对于基板保持构件12A上升20mm左右。
本实施例的基板输送机构11为在水平方向上滑动输送规定量的前后，通过基板输送机构的沿垂直方向的必要最小限度的上升·下降量动作，进行基板保持机构12和基板10的分离或再保持的方式，因此，能够减小抑制输送动作引起的基板姿势的变动或配置精度的降低。
本实施例中的基板保持构件12A及基板输送构件11A需要具有在保持及输送的最大尺寸的基板输送时也支承基板输送方向的基板全长的长度以上，并且为在保持及输送的最小尺寸的基板输送中直行的方向上能够配置至少一对基板保持构件12A和基板输送构件11A的宽度以下。作为其结果，本实施例的基板保持构件12A及基板输送构件11A为细长形状。
另外，在上述实施例中，将基板保持构件12A及基板输送构件11A表示为细长形状，但与基板10的接触面以一定间隔形成为凸状的形式也作为细长的形状。
进而，在图1～图3中未示出，但在本实施例中，在基板保持构件12A及基板输送构件11A的表面以一定的间距配置有吸引孔，利用负压能够将基板吸附在基板保持机构或基板输送机构。由此，基板10牢固地固定于基板保持机构12或基板输送机构11，因此，不会发生基板处理作业中或基板输送中的基板10的自基板保持机构12或基板输送机构11的偏移，能够与分离了上述微小上升·下降动作和水平输送动作的输送方式相辅相成，实现高精度的基板输送。
但是，在上述真空吸附方式中，为了稳定且可靠地的固定基板10，需要使基板10与吸附口密接。但是，基板10具有翘起的情况居多，为了使具有翘起的基板10可靠地吸附于真空吸附孔，需要将基板10压紧于吸附孔。在本实施例的输送机构中，在向基板保持机构和基板输送机构的任一个的转送时，也将转送起源的吸引力以规定值保持地构成·控制，由此对于转送目的地的吸附孔，将基板10压紧于吸附孔，同时进行转送，从而实现可靠·稳定、高精度的基板转送动作。关于利用了真空吸附的转送方式的详细情况在后叙述。
图4是说明显示面板基板输送装置及使用了其的显示面板模块组装装置整体中的显示面板基板10的处理及输送顺序的图。在图4中，为了说明，将处理动作分为从步骤1到步骤6来进行记载。
首先，在步骤1中，在各处理作业装置的位置配置有基板10，基于源侧(长边侧)的各处理作业装置的处理结束的状态下，栅侧(短边侧)的各处理作业装置为继续处理作业中。此时，在旋转台2中按箭头的方向进行对位。
在步骤2中，通过源侧(长边侧)的各基板10下的基板输送机构11上升，以微小量抬起基板10，将基板10输送至下游的基板处理作业装置位置，在所述位置使基板输送机构11下降，将其向基板保持机构12转送。栅侧(短边侧)的各处理作业装置为继续处理作业中。旋转台2从源侧接受基板。
此时，保持各基板10的基板输送机构11以相同的时序移动，由此能够在不使位于各处理作业装置位置的基板之间接触的情况下，向接下来的处理作业装置位置移动。另外，在本实施例的显示面板基板输送装置中，利用独立的驱动机构驱动各基板输送机构。在图3的实施例的装置中，在同一线性滑块上配置独立的运转件，对其独立控制。通过所述结构，在各处理作业装置之间的距离不同的情况下，也能够进行以顺畅的相同时序下的输送。在图4的实施例中，正式压接处理作业装置的宽度比其他处理作业装置大，但输送距离变长。通过采用这样的结构，适用本实施例的显示面板基板输送装置，由此能够进行各处理作业装置的以必要最小宽度的连结，因此，能够提供总长短的显示面板模块制造装置。
其次，在步骤3中，下降到源侧(基板长边侧)的基板保持机构12的下方的基板输送机构11返回原来的处理作业装置位置。在本实施例中，此时，基板10被基板保持机构12保持，被实施各处理作业，完全没有基板输送机构11的返回动作引起的处理时间损失。向处理作业装置4中投入新的基板，源侧(长边侧)的各处理作业装置开始处理作业。栅侧(短边侧)的各处理作业装置为继续处理作业中。
在步骤4中，为了用旋转台2使基板10旋转90度，并且，使作为接下来的基板处理边的基板短边侧(栅侧)的位置与下游的处理作业装置的处理生产线对齐，如箭头所示地在与基板输送方向垂直的方向上滑动。源侧(长边侧)的各处理作业装置为处理作业中。栅侧(短边侧)的各处理作业装置也为继续处理作业中。
步骤5及步骤S6对应于源侧(长边侧)的各处理作业装置的步骤2及步骤3，在步骤5中，栅侧(短边侧)的各处理作业装置的基板输送机构11返回上游侧，在步骤6中，利用基板保持机构12将基板10向栅侧(短边侧)的各处理作业装置滑动输送。此时，位于旋转台2的上游侧的源侧(长边侧)的各处理作业装置为继续处理中。即，源侧(长边侧)的各处理作业装置在步骤3中开始处理，在步骤4到步骤6中继续处理，在步骤1中结束处理。另一方面，对位于旋转台的下游侧的基板短边侧(栅侧)的各处理作业装置而言，对于各处理作业，在步骤1中开始处理，在步骤5中结束处理。这样，位于旋转台的下游侧的栅侧(短边侧)的各处 理作业和位于旋转台的上游侧的源侧(长边侧)的各处理作业的处理的相位不同，但能够进行基本上相同的工序，能够以相同的时间间隔进行基板10的输送和处理，作为显示面板模块组装装置整体，能够进行连续的基板10的处理动作。
显示面板模块组装装置是如上所述地连接非常多的处理作业装置而构成的装置。因此，基板10的转送次数多，使用本实施例的显示面板基板输送装置，也难以在装置全长上完全保障输送的基板10的姿势或配置精度。因此，为了保持在显示面板模块组装装置内移动的基板10的姿势或配置精度，有效的是在基板保持机构12的一部分设置修正输送过来的基板10的姿势或位置的机构的方法。
尤其，由于需要对基板端部施加高温·高压，因此，在正式压接装置位置中，基板位置容易偏离。另外，在使基板10旋转运行的旋转台中，也由于施加于基板10的离心力等，基板位置的位置偏离的可能性高。因此，在图1所示的本发明的显示面板模块组装装置结构中，有效的是在端子清洁装置4、8及正式压接装置7位置的基板保持机构设置用于修正基板位置的机构。
图5是用于说明基于基板保持机构12的基板位置修正方式的图。在基板输送方向上细长的基板保持构件12A和基板输送构件11A之间形成有若干间隙17。基板保持构件12A构成为能够在该间隙的范围内运转。优选对于运转方向，除了在基板面内沿基板输送方向直行的方向、基板输送方向、与基板面垂直的方向的三轴(图中为X、Y、Z方向)之外，还可以在基板面内中的旋转方向(图中θ方向)上修正。
基板10的位置修正动作如下所述地进行，即：运到基板保持机构12的基板10在用摄像机机构(未图示)等检测基板端部的基准标记等后，利用基板位置修正量运算控制机构(未图示)，运算基板10的修正动作量，基于该运算结果，运转基板保持构件12A。在各处理作业装置中，预先确定有作为基准的基板10的配置位置基准。使基板位置向处理作业装置的基准配置位置修正移动地进行基板位置修正动作。
也可以不使基板保持机构12，而使基板输送机构11具备基板10的位置修正机构。基板输送机构11在各处理作业装置之间移动，因此，附加 了基板10的位置修正机构的情况下，所述机构结构变得复杂。但是，在基板保持机构侧12不需要特别的运转机构等，还具有结构变得简单的优点。需要考虑最终的配线或配管的处理等装置整体结构，确定使基板保持机构12具备基板10的位置修正机构，还是使基板输送机构11具备基板10的位置修正机构。图6是说明在基板转送时发生的施加于基板10的力或基板10的变形等的示意图。图6的a)中示出从基板保持机构12向基板输送机构11的转送动作时即基板输送构件上升动作时，图6的b)中示出从基板输送机构11向基板保持机构12的转送动作时即基板输送构件下降动作时。
如上所述，在基板保持构件12A及基板输送构件11A的表面以一定的间距配置有吸引孔18、19。由此，基板10能够吸附于基板保持机构12或基板输送机构11，能够防止输送动作时的基板10的偏移等。进而，通过吸附基板10的同时，进行基板保持机构12和基板输送机构11之间的基板10的转送动作，从而产生基板10压紧于吸附孔的力。由此，在具有翘起的基板10中，也能够可靠地实施转送吸附动作。
但是，在以基板保持机构12和基板输送机构11均吸附的状态进行的基板10的转送动作中，在转送时，发生如图6所示的基板10的挠曲变形。若该转送时的基板10的变形变大，则成为转送动作引起的基板10位置偏移的要因。
作为减小该转送时的基板变形的方法，考虑减弱抑制转送时的基板10的吸引压力的方法。但是，为了防止基板处理作业时或基板输送时的基板10偏移这一点和可靠地吸附转送具有翘起的基板10，吸引压力需要确保某种程度的吸附力。作为减小转送时的基板变形的其他方法，有效的是减小基板10的基板保持机构和基板输送机构的间隙的方法。
经实验的结果，基板保持构件12A和基板输送构件11A的间隙17为30～10mm左右的情况下，基板10的转送偏移量为几100μm左右，在间隙为10mm以下的情况下，能够确保大致100μm以下的转送偏移量。在本实施例中，将基板转送时偏移量的目标设为几10μm以下，将基板保持机构12和基板输送构件11A的间隙设为6mm。此时，基板保持机构的运转范围为±5mm。正式压接部或旋转后的基板10的姿势及配置精度偏差 最大也为1mm以下，因此，能够充分地确保作为基板姿势修正机构的基板保持机构的运转范围。
图7是用于说明基于本实施例的基板保持机构12及基板输送机构11的尺寸不同的基板10的保持的图。本实施例的基板保持机构12及基板输送机构11中配置有多个在基板输送方向上细长的基板保持构件12A及基板输送构件11A，在从小型基板的配置区域20到大型基板的配置区域21之间能够保持宽度宽的尺寸的基板10。
在基板保持构件12A及基板输送构件11A的表面设置有用于在处理作业时或基板输送时吸附基板10的吸附孔18、19。在小型基板的情况下，基板10只与在基板保持构件12A及基板输送构件11A设置的吸附孔的一部分接触。
在这种情况下，存在空气从基板10不吸附的吸附孔大量流入，导致基板10吸附的吸附孔的吸附力降低的问题。因此，在本实施例中，如图所示，将在基板保持构件12A形成的吸附孔18下的吸引腔室22分割为多个。从吸引泵(未图示)等供给的负压系统24通过开闭阀23a～c，与分割的吸引腔室22a～c连接。还有，根据输送的基板尺寸，控制开闭阀23a～c，选择产生负压的吸引腔室22a～c，使其仅吸引基板10存在的区域的吸附孔18。由此，能够进行仅在对应于基板尺寸的区域中的基板吸附，因此，稳定地得到基板10的保持力。
在图7中，开闭阀23设置于吸附孔正下方的吸引腔室，但优选开闭阀23尽量设置于接近吸附孔18的吸引腔室22等。在经由配管等，将开闭阀设置于从吸附孔或吸引腔室远离的位置的情况下，在阀切换后的吸附动作中发生时间延迟，并且，由于配管中的压力损耗，导致发生吸引压力容易变得不稳定等故障。当然，基板输送构件11A侧也需要形成为同样的分割吸引腔室结构。
图8是用于说明设想进而大型的基板输送的情况下的基板输送机构的图。在输送超过50英寸的基板等超大型的基板10的情况下，仅利用配置多个本实施例的基板保持构件12A和基板输送构件11A的方法的情况下，基板保持构件12A和基板输送构件11A的数量变多，发生结构变得复杂的问题。
因此，如图8所示，在接近基板10的处理边的一侧27的基板下表面配置包括多根基板保持构件12A和基板输送构件11A的基板保持·输送机构，并且，在从基板10的处理边远离的一侧28的基板下表面配置摩擦阻力少的低摩擦基板保持部26。作为摩擦阻力少的基板保持方式，除了利用使用了氟系或硅系材料的摩擦阻力少的支承引导构件等支承基板10的一部分的方法或用多个旋转球支承基板10的方法之外，还可以利用通过从多个微小孔喷出空气，使基板10浮起的空气-浮上方式等。在这些方式中，从防止向基板下表面的损失的观点来说，最有效的方式是不与基板下表面接触的空气-浮上方式。但是，作为基板输送时的不可预测的基板接触等的对策，更优选与空气-浮上方式一同合用机械性低摩擦基板保持机构。
即，在大型基板输送时，对于基板10，用与图7相同的基板输送机构11输送接近其处理边的一侧27，使从其处理边远离的一侧28在摩擦基板保持部26上例如空气-浮上的同时移动。另外，在大型基板保持时，对于基板10，用与图7相同的基板保持机构12保持其处理边，用低摩擦基板保持部26保持从处理边远离的一侧28。
另一方面，在小型基板输送时，成为与图7相同的基板保持·输送机构，因此，在图8所示的本实施例的基板保持·输送结构中，能够应对能够适用于从小型基板的配置区域20到大型基板的配置区域25的宽度宽的基板尺寸。
作为本方式的问题，仅保持超大型基板的基板端部侧，对基板10高度加速的情况下，在基板10产生大的旋转转矩，因此，可能发生基板10的输送偏移。为了防止其，有效的是在大型基板的重心部即基板中央附近设置辅助性基板输送构件和辅助性基板保持构件的方法。由此，能够防止基板加速时的旋转转矩的产生，因此，在大的基板也能够实现稳定的高速输送。若在输送的最大基板的中心设置辅助性基板输送构件和辅助性基板保持构件，则当然具有在比起小的基板输送时也抑制旋转转矩的产生的效果。
图8的左半部分示出了在大型基板的重心部附近设置了辅助性基板输送构件11S和辅助性基板保持构件12S的情况下的结构例。
图9是用于说明进一步简略化本实施例的显示面板基板输送装置的机构的方式的图。显示面板模块组装装置是连接多个处理作业装置而构成的装置，需要在各处理作业装置位置使基板10停止。另外，在专利文献1或2中记载的以往的基板输送机构的情况下，需要与各处理作业装置大致相同数量的基板输送机构。
但是，在本发明中，如图9所示，仅通过加长基板输送构件11aA的长度，就能够一并输送在多个处理作业装置4、5a、5b配置的多个基板10。由此，能够大幅度削减基板10的输送机构的数量，能够使输送装置结构简单。
在上述实施例的方式中，利用同一长条基板输送构件，将多个基板10同时输送一个处理作业装置量，因此，各基板10的移动距离相同。基于该长条基板输送构件的输送仅能够适用于各处理作业装置之间的基板配置位置的间隔一定的区域。
另外，在图9的实施例中，在4根基板保持构件12A之间配置了2根基板输送构件11A。在图1～图8的实施例中，在基板保持构件12A之间全部中配置了基板输送构件11A，如图9所示，还可以间隔基板保持构件12A或基板输送构件11A的根数。需要与处理·输送的基板尺寸或重量一同，考虑吸附固定基板10的力和在处理·输送时施加于基板10的力的关系等，确定基板输送构件11A或保持构件的根数或配置等。在本实施例中，通过配置2根～4根左右的宽度约2cm的基板输送构件11A或保持构件，能够得到充分地保持处理·输送时的基板10的条件。
其次，说明应用了本实施例的显示面板基板输送装置及显示面板模块组装装置的处理作业的高效率化或处理节拍的进一步的高速化。
显示面板模块组装装置连接进行多个处理作业的装置，连续对基板10进行各种处理作业。当然，在各处理作业工序的处理时间中具有差异。时间短的工序的处理作业装置等待花费时间的工序的处理作业装置的结束，因此，基板10的输送间隔因花费时间的工序的处理作业装置受限，并且，在时间短的工序的处理作业装置中，产生作业停止的时间。
为了效率更良好地运转各处理作业装置，考虑将花费时间的工序的处理作业装置相对于时间短的工序的处理作业装置数量多地连结，获得各处 理工序的节拍平衡。在先前的图9中，示出了连结了2台临时压接处理作业装置的例子。但是，在该方式中，连结的处理作业装置的数量增加，显示面板模块组装装置整体的全长变得非常长。
图10是用于说明解决所述问题的方法的图。在图10的装置中，在一个处理作业装置内配置有多台进行实际进行处理作业的处理单元30。通过设为这样的方式，对于一个处理作业装置13即一张基板10，多个处理单元30能够同时进行作业，得到与各处理作业装置的作业效率提高的情况相同的效果。
通常，在基板10的处理边及处理部位设置有基准标记。图11是表示在基板10设置的基准标记的一例的图。作为基准标记，与表示显示面板端部的端部标记31一同，形成有表示TAB或IC等的搭载位置的搭载位置标记32等。
在图10所示的实施例的处理作业装置中，多个处理单元30对一个基板10中的处理边的不同的部位同时进行作业，因此，即使移动基板侧，调节处理位置的情况下，同时对齐两个处理单元30的处理位置是几乎不可能的。因此，为了解决其，处理作业装置内的各处理单元30设置有通过搭载位置标记32识别各处理单元30每一个的应处理的搭载位置，独立定位的功能。
在15S图12中示出用于实现这样的功能的处理单元30的一实施例。处理单元30具备：检测基板上的基准标记的CCD摄像机34；使处理单元整体向XYZ及θ方向移动的XYZθ运转机构33。处理单元30通过由CCD摄像机34检测的基准标记31、32信息，利用处理位置修正机构35，算出处理单元的修正量，利用XYZθ运转机构33修正处理位置，由此在基板上的规定的位置进行ACF的贴附或TAB的搭载等处理动作。在处理作业装置内设置的各处理单元独立地进行上述基板处理位置的检测及定位动作，由此能够对于一个基板10，同时处理多个处理位置。
在图12的实施例中，X轴运转机构配置于最下方。这是因为：由于是X轴为与基板10的处理边并行的方向的运转机构，因此，运转距离最长。通过形成为这样的结构，X轴导轨还可以在处理作业装置具备的多个处理单元30中通用化。
在该实施例中，出于使处理单元在基板的处理位置之间移动的目的和进行各处理位置处的定位的目的两者而使用X轴运转机构。为了同时实现高速的处理位置之间的移动和高精度的向处理位置的定位，除了使处理单元在基板的处理位置之间移动的运转距离大的X轴之外，为了高精度的向处理位置的定位，还考虑将X轴的微调用运转机构与其他轴的运转机构一同设置。现实中需要多个X轴，因此，需要考虑成本和必要精度而选择结构。
在图12的实施例中，公开了在各处理单元30搭载CCD摄像机34的结构，但还有CCD摄像机34搭载于处理作业装置13，由端部标记31或预先确定的搭载位置标记32等检测处理的基板整体的姿势，变换为各处理单元30中的处理位置修正信息，进行各处理单元30的处理位置修正动作的方法。在该方法的情况下，具有减少检测基准标记的摄像机的数量的优点。但是，各处理单元30处理的各位置信息通过由一部分的标记的运算来算出，因此，需要注意向需要几μm以下等非常高精度的定位精度的IC的搭载等中的适用。
进而，在多个处理单元30对一个基板10同时进行作业的方式中，需要使处理单元30以近距离运行。尤其，在处理小的基板或处理边的长度短的基板10时，需要将处理单元30以相邻状态进行处理动作。因此，在处理动作中，处理单元30之间的干扰或碰撞等不妥善情况发生的可能性高。因此，为了避免处理单元30之间的碰撞，控制对同一基板的处理边进行处理作业的各处理单元30的动作时序而驱动地设置有处理单元动作时序控制机构。
基于处理单元动作时序控制机构的向各处理单元的基本控制步骤的一实施例如下。(1)利用处理单元动作时序控制机构向各处理单元30发送处理位置信息和移动指令。(2)各处理单元30在移动结束后，将移动结束向处理单元动作时序控制机构报告。(3)处理单元动作时序控制机构向各处理单元30发送处理作业开始的指令。(4)各处理单元30在规定的处理作业结束后，将作业结束向处理单元动作时序控制机构报告。(5)处理单元动作时序控制机构向各处理单元30发送向接下来的处理位置的移动的指令。在各处理作业或移动动作中，引起了异常的情况下，将其意思 向处理单元动作时序控制机构报告，由此处理单元动作时序控制机构停止接下来的作业或移动处理，从而能够防止各处理单元的碰撞等。
如上所述，在各处理单元上，与基板标记检测及处理位置修正机构一同具备各处理单元的处理单元动作时序控制机构，由此在处理作业装置内配置多个处理单元，从而能够提高一个显示面板基板的处理效率。
另外，如上所述，在本实施例中，配置了多台在一个处理作业装置13内实际进行处理作业的处理单元机构30。如上述说明，通过形成为这样的结构，在一个处理作业装置13即多个处理单元机构13能够对一张显示面板基板10同时进行作业，得到与各处理作业装置13的作业效率提高的情况相同的效果。
另外，本实施例的处理作业装置内的各处理单元30设置有由基板的基准位置标记识别各处理单元30每一个的应处理搭载位置，独立定位的功能。因此，仅固定保持作业处理装置的显示面板基板侧也可。即，不需要如专利文献1～3中公开的进行与处理单元的相对位置修正的机构。
因此，能够小型·简化显示面板基板的输送装置，能够适用所述公开的包括直线输送·保持机构的显示面板基板输送方式。
在适用了本实施例的情况下，在一个处理基板能够同时作业的处理单元30的数量也有极限。尤其，在小型基板的情况下，为了用多个处理单元30处理，需要将处理单元构成为极其薄。但是，在各处理单元30的宽度上，存在机构上的极限，需要某种程度的宽度(约150～200mm左右以上)，因此，用多个处理单元30能够对一个处理边进行处理的基板尺寸等也有极限。
不能用多个处理单元30处理的基板条件由处理边的像素部的长度L和处理的TAB的数量n及处理单元之间的能够最大幅度接近距离W等来确定。在只能由一个处理单元30处理的基板条件的情况下，即使在处理作业装置搭载多个处理单元，也不能提高处理效率。
因此，在不能用多个处理单元同时处理的程度的小型基板的情况下，为了获得各处理工序的节拍平衡，需要进行同一处理的多个基板处理位置，成为显示面板模块组装装置全长变长的要因。尤其，在每一个处理作业装置13进行一张显示面板基板的处理的以往的装置结构中，各处理作 业装置需要处理的最大显示面板基板的宽度以上的装置宽度。因此，在小型的基板处理时，导致成为必要以上长度的装置。
通过组合了基于本实施例的薄型处理单元30的处理方式和在本实施例中说明的显示面板基板的直线输送方式的方式中，还能够解决这些问题，进而能够实现对宽度宽且小型到大型基板能够进行高效的组装的显示面板模块组装装置。
其次，通过本发明的显示面板基板输送方式和处理单元组合的其他的方式，能够实现对宽度宽且小型到大型基板能够进行高效的组装的显示面板模块组装装置。图13是用于说明对本发明的小型到大型基板能够进行高效的组装的显示面板模块组装装置的一实施例的图。
本实施例的显示面板基板输送装置是包括利用在基板输送方向上细长的多个基板保持构件12A构成的基板保持机构和利用还是在基板输送方向细长的多个基板输送构件11A构成的基板输送机构的基板保持·输送机构。
在本输送方式中，具有通过改变输送机构的往返移动距离，能够自如地改变基板10的输送量的特长。
如图13所示，通过将基板保持构件12A跨过多个基板停止位置而长长地构成，能够改变基板输送机构11的往返移动距离，由此能够以各种间距输送·保持基板10。进而，配置多台进行处理作业的处理单元30，并且，能够跨过多个基板停止位置，在基板输送方向上移动。
换言之，在第9图中，将基板输送机构11横跨三个处理作业装置13，加长基板输送构件11aA的长度，由此一并输送在三个处理作业装置配置的多个基板10。进而，在图13中，基板保持构件12A也形成为横跨所述三个处理作业装置的长度，由此基板输送机构11能够停止于任意的位置，在所述停止位置向基板保持机构12转送各基板10，从而形成为能够在任意的位置进行处理作业的状态。如图13所示，通过横跨全长形成为上述结构，能够横跨全长，在任意位置进行处理作业。
即，本实施例的装置不是像以往一样在预先确定的固定位置固定基板10而处理的处理作业装置，改变基板10的停止位置，并且，处理单元机构向所述位置移动，进行各处理作业。
在本实施例的装置中，如图13所示，在大型基板处理时(图13a)以对应于大型基板的输送方向宽度的输送宽度输送基板，在小型基板输送时(图13b)，以对应于小型基板的输送方向宽度的输送宽度输送基板。在进行大型基板的处理作业的情况下，通过对一个基板进行基于多个处理单元机构的同时处理，能够实现高的处理效率。在小型基板的情况下，通过减小基板的输送间距，增加基板的停止位置，从而能够效率良好地配置多个处理单元。
若改变想法，则通过将多个处理单元30分别视为处理作业装置13，分担一张基板的作业，由此能够在没有必要以上加长显示面板模块组装装置全长的情况下，实现显示面板模块组装装置。
这样，通过利用本实施例的薄型处理单元及其控制方式，能够实现能够对小型到大型基板进行高效的组装的显示面板模块组装装置。
在本实施例的方式中，没有固定基板10的处理位置或分割的处理作业装置的概念，能够在规定的区间内实现对应于基板尺寸的基板10的输送间距和处理作业装置，因此，能够对小型基板到大型基板进行短的装置全长下的高效组装作业。另外，多个处理单元组合不同的处理作业也可。在图13的实施例中，组合了ACF贴附处理作业和TAB搭载处理作业。
能够对一个基板10进行处理的处理单元数由基板处理边的像素部的长度L和处理的TAB的数量n及处理单元之间的能够最大幅度接近距离W等来确定。为了实现对应于各种基板条件的最佳处理动作，在本实施例的显示面板模块组装装置中，还需要具备用于将上述参数作为输入值，确定·切换输送宽度或处理单元配置条件等装置侧的处理作业设定条件的处理条件算出控制系统。
本方式中的基板输送机构中的基板输送构件11A通过采用图9所示的同时输送多个基板10的长的基板输送构件11aA，对各种输送间距的应对变得容易，并且，能够进行输送机构的简化。但是，在这种情况下，如上所述，区间内的基板保持位置之间的间距恒定。在需要改变处理区间内的基板保持位置之间的间距的情况下，需要使用组合了多个基板输送机构的输送方式。
在基板处理位置可变区间内，难以进行输送时的基板姿势或配置位置 的修正，在输送时的基板姿势或配置位置上可能蓄积某种程度的误差。通过使用图12中说明的处理单元修正的方式来解决区间内中的向基板10的处理位置自身。但是，显示面板模块组装装置自身是组合了多个处理作业的长的装置。为了维持装置整体中的基板输送姿势或配置精度，优选在基板处理位置可变区间前后，进行图5中说明的基于基板位置修正方式的基板位置修正。
图14及图15是用于说明作为本发明的一实施例的显示面板模块组装装置及使用了其的显示面板模块组装装置的控制方式的一实施例的图。
在图14中，A-1～A-6表示各处理作业装置13，B-1～B-4表示输送在各处理作业装置前保持的基板10的基板输送机构11。用虚线示出的B-1～B-4表示基板输送后的基板输送机构11的位置。如上所述，基板输送机构11在处理作业装置13前直线地移动，但为了便于图示，用虚线所示的输送后的基板输送机构11位置图示在输送前的基板输送机构11位置的下侧。实际上，绘制在输送前后的基板输送机构11的中心线一致。
另外，基板输送机构B-1及B-3横跨多个处理作业装置13而配置，但这如图9中的说明，表示同时输送多个基板10的结构的基板输送机构。
利用独立的驱动装置43(M-1～M-4)驱动各基板输送机构。作为驱动装置，可以利用线性马达或滚珠丝杠方式等通常的直线驱动机构。图14中的S-1～S-4是检测基板输送机构B-1～B-4的坐标位置等的传感器42。
本实施例的控制装置在最上位配置有用于控制装置系统整体的基本动作时序的系统动作时序控制机构37(MC)。在其下位配置有基板输送动作控制机构46(BC-1)及各处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)。作为其他结构，作为需要多个基板输送动作的情况，由本发明的基板输送机构远离的多个部位构成的情况等，基板输送动作控制机构46(BC-1)还具有多个情况的结构。
其次，说明本控制系统中的基板输送动作控制信号。作为基本动作，首先，系统动作时序控制机构37(MC)向基板输送动作控制机构46(BC-1)发送输送动作开始信号47。基板输送动作控制机构46(BC-1)接受其，驱动各基板输送构件11A的驱动机构，实施基板输送动作。在基板 10的向接下来的处理作业装置的输送结束后，基板输送动作控制机构46(BC-1)向系统动作时序控制机构37(MC)发送基板输送结束信号48。
接受基板输送结束信号48，系统动作时序控制机构37(MC)向各处理作业装置控制机构同时发送各处理开始信号38。接受了各处理开始信号38的各处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)实施各规定的处理，在各处理结束后，各处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)向系统动作时序控制机构37(MC)发送各处理结束信号39。
接受各处理结束信号39，系统动作时序控制机构37(MC)将接下来的输送动作开始信号47向基板输送动作控制机构46(BC-1)发送，通过对其反复进行，连续控制基板输送处理动作。
除了上述以外，基板输送动作控制机构46(BC-1)或各处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)还需要将异常发生时的错误信息等向系统动作时序控制机构37(MC)发送。由此，系统动作时序控制机构37(MC)能够一并管理系统整体的错误，并且，能够进行基于其的系统控制。
进而，除了上述错误信号以外，还需要在系统动作时序控制机构37(MC)和基板输送动作控制机构46(BC-1)或各处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)之间进行若干信号的发送接受。例如，基板输送机构B-1～B-4需要在基板输送后移动至输送基点位置，并且，在各处理作业装置A-1～A-6中，也可以具有根据作业，在基板输送时间中进行的处理。为了对应这些处理，系统动作时序控制机构37(MC)需要接受基板输送动作控制机构46(BC-1)或各处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)的动作开始准备结束等信号后，发送输送动作开始信号47或各处理开始信号38。
这些通信信号的详细情况依赖于各处理作业装置的功能或动作模式，因此省略，但仔细考虑功能或动作模式后确定当然是至关重要的。
在图14中，在处理作业装置13的A-3中，记载了UC-1～UC-3的组件。图14的处理作业装置13的A-3示出了在图10所示的处理作业装置内具有多个处理单元30的结构。UC-1～UC-3的组件是这些处理单元30的控制机构49。在本实施例中，设想处理作业装置A-3在内部配置有3台处理单元30。
这样，在处理作业装置内具有多个处理单元30的结构中，在各处理作业装置控制机构40(AC-3)的下位配置各处理单元机构控制机构49(UC-1～UC-3)，利用各处理作业装置控制机构40(AC-3)，实施动作时序等的控制。
图15是以示意性说明所述图14的实施例中的系统动作时序控制机构37(MC)、基板输送动作控制机构46(BC-1)、各处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)之间的基本信号的图。
接受系统动作时序控制机构37(MC)的基板输送控制信号50的上升，基板输送动作控制机构46(BC-1)的基板输送动作信号52成为输送中。在基板输送结束后，接受基板输送动作控制机构46(BC-1)的基板输送动作信号52的下降，降低系统动作时序控制机构37(MC)的基板输送控制信号50，并且，提高处理装置动作控制信号51。各处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)接受处理装置动作控制信号51的上升，开始各处理作业动作，提高处理装置动作信号53。在各处理作业动作结束后，各处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)降低处理装置动作信号53。接受其，系统动作时序控制机构37降低处理装置动作控制信号51，并且，为了接下来的基板输送，提高基板输送控制信号50。通过重复其，进行连续的处理动作控制。
在基板输送机构11或各处理作业装置13发生了动作不良的情况下，向系统动作时序控制机构37(MC)发送错误发生信号39。另外，还考虑系统动作时序控制机构37在基板输送机构或各处理作业没有于规定时间内结束的情况下判断为错误等的方法。
除了图14、图15中说明的本发明的实施例以外，还考虑各处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)独立地进行基板输送机构11的各自的驱动控制的方法。在这种情况下，难以为了使多个处理作业装置控制机构40(AC-1～AC-6)控制度多个基板输送机构11，使各基板输送机构11之间的移动时序正确地一致，在相邻的基板输送机构11之间可能发生碰撞。
作为防止其的方法，通过使用在将基板输送机构11向下游侧移动的情况下，从下游侧的基板输送机构11开始依次移动，在将基板输送机构 11向上游侧移动的情况下，从上游侧的基板输送机构11开始依次移动的方法，能够防止相邻的基板输送机构11之间的碰撞。即，该方法是在使基板输送机构11向下游侧移动的情况下，首先，控制最下游的基板输送机构11的驱动的处理作业装置控制机构40移动控制最下游的基板输送机构11，将所述移动结束的信息向控制与上游侧相邻的基板输送机构11的处理作业装置控制机构40发送，依次向上游侧进行基板输送机构11的移动的方式。在使基板输送机构11向上游侧移动的情况下也同样，在这种情况下，通过最上游的基板输送机构11的驱动控制，依次使上游侧的基板输送机构11移动地向处理作业装置控制机构40转送时序信息。
在该方式中，基板输送动作控制机构46(BC-1)为无用，但在基板输送机构11的往返移动时间上产生等待时间。因此，基板输送机构11需要在上游侧或下游侧必须停止一定时间。在系统整体的动作上，需要严格地规定基板输送机构11停止于上游侧或下游侧的时间的情况等，不适合本方式。
最后，使用图16至图19说明实现本发明的显示面板基板输送装置的其他实施例结构。
在图16中，基板保持机构12和基板输送机构11包括相互对置的梳齿型输送构件。基板保持机构12在处理作业装置13侧即基板处理边成一体(在图中用A包围的部分)。由此，基板处理边侧能够平滑地保持基板10。基板输送机构11与此对置，在处理作业装置13的相反侧即基板处理边的相反侧形成为一体的梳齿型结构。
图18是表示图16的显示面板基板输送装置结构的侧视图(剖面B-B)的图。如图18所示，基板保持构件12A是被基板处理边侧的一体部(图16的A部)悬臂支承的构造体。另外，与此对置的基板输送构件11A为被基板处理边的相反侧的一体部悬臂支承的构造体。
其次，说明图16及图18所示的作为本发明的实施例的显示面板模块组装装置的基本输送动作。
在图16中，基板输送构件11A位于基板保持构件12A的下方，此时处理的基板10被基板保持构件12A保持。但是，在图16中，未示出基板10。
在基板输送时，首先，基板输送构件11A利用基板输送构件升降机构14向上下运转。由此，将配置于基板保持构件12A上的基板10向基板输送构件11A上转送。基板输送机构11上升至作为梳齿部的所述基板输送构件11A在沿输送方向(X方向)移动时不与基板保持构件12A碰撞的高度。图18的虚线表示基板输送构件11A的上升位置。然后，基板输送机构11利用X方向的滑块29的移动，将基板10输送至接下来的处理作业装置位置。基板输送机构11A在移动至接下来的处理作业装置位置后下降，由此将保持的基板10向接下来的作业位置的基板保持构件12A转送。基板输送机构11在将作为梳齿部的所述基板输送构件11A降低至不与基板保持构件12A碰撞的高度后，在滑块载物台的导轨15上移动，将位置返回移动至原来的基板10接受位置。在图18中，实线表示基板输送构件11A的下降位置。
在这样的结构中，也能够将作为本发明的处理作业装置之间的基板10从输送起点的基板保持构件12A依次直线地移动至输送终点的基板保持构件12A，并且，能够使多个基板10同步，同时输送。
然而，在本实施例的结构中，如上所述，需要作为梳齿部的基板输送构件11A上升或下降至避开作为梳齿部的基板保持构件12A的位置。另一方面，在作为先前的实施例的图1中，与基板保持构件12A的高度无关地基板输送构件11A使基板10从基板保持构件12A远离的程度的上下足以。从而，在图16及图18所示的本发明的实施例构造中，与先前的实施例结构相比，在基板输送前后，至少需要基板保持构件12A的高度以上的大的沿上下方向(Z方向)移动基板输送构件11A。由此，存在基板10的移动时间比图1的实施例结构容易变长的缺点。但是，在除此之外的点上，是满足本发明的基本功能的一个结构。
相反，图16及图18所示的本发明的其他实施例结构与图1的实施例中所示的结构相比，具有能够将基板保持机构12和基板输送机构11的机构部配置于远离的位置等容易使结构简单的优点。
另外，在图16及图18所示的本发明的实施例结构中，输送的基板尺寸大的情况下，作为基板保持构件12A及基板输送构件11A的单臂的梳齿部变长。因此，为了保持梳齿部的强度，需要增大梳齿部的Z方向的厚 度。因此，在适用于几十英寸以上的大型电视机用基板10等情况下，不易说成优选的结构。
但是，例如，20英寸以下等比较小型的基板10的情况下，不需要将梳齿部增大为那么大，因此，上下移动的距离变小，结构上变得简单，因此是本发明的有效的实施方案。
图17及图19是说明实现本发明的显示面板基板输送装置的又一其他的实施例结构的图。图19是表示图17的显示面板基板输送装置结构的侧视图(剖面B-B)的图。
在图17及图19的实施例结构中，基板输送机构11的支承作为梳齿部的基板输送构件11A的部分配置于基板保持机构12之间。另外，基板保持机构12形成为分割为两个配置于处理作业装置13侧相反侧的结构。
图17及图19所示的本发明的显示面板基板输送装置的实施例结构中的基板输送动作与在所述图16及图18中说明的动作基本上相同，因此省略。
通过采用图17及图19所示的本发明的显示面板基板输送装置的实施例结构，能够缩短基板输送构件11A和基板保持构件12A的梳齿部的悬臂部长度。即，能够适用厚度比较薄的梳子结构，能够极短抑制基板输送时的上下动作的移动距离。即，该实施例结构与图16及图18所示的实施例相比为容易应对大的基板的构造。但是，当然，结构比图16及图18的实施例结构复杂。
通过使用如上所述的本发明的显示面板基板输送装置，能够对于小型到大型基板的宽度宽的尺寸的基板，以高精度且高速输送基板。
进而，能够进行对应于基板尺寸的挠性基板保持·输送动作，在本发明的显示面板模块组装装置中，能够对应于基板尺寸，实现需要各处理机构的最小宽度下的基板的连续处理。
通过本发明，能够提供能够输送及组装处理小型到大型基板的宽度宽的尺寸的基板，进而，还能够缩短装置全长的显示面板基板输送装置及使用了其的显示面板模块组装装置。
其次，使用图20～图38说明在显示面板模块组装装置中稳定地转送输送基板的本发明的实施方式。
图20是特别表示尤其与输送面板的机构关联的部分，关于有关电路系统、控制系统硬件/软件、及在显示面板基板101的外周附近组装的产品电路基板的供给部或组装部等的详细部分没有图示。
作为与输送较大关联的机构，包括输送系统和吸气系统。在吸引系统中有吸引泵142，从吸引泵142分别向基板输送构件102的空气配管142a、及向基板保持构件103的空气配管142b连接。进而，在所述配管分别设置有进行空气的开闭的开闭阀143。还有，利用吸引切换控制器144，控制开闭阀143的开闭，在控制器到阀之间连接有信号线。
另一方面，作为保持/输送面板的部分即输送系统设备包括：保持显示面板基板101而输送的基板输送构件102；固定保持利用基板输送构件102移动的显示面板基板101的基板保持构件103，在各自的构件设置有用于吸附显示面板基板的基板输送构件表面的吸附孔107、基板保持构件表面的吸附孔8。另外，对于所述输送系统设备，利用基板输送部控制器145来控制输送动作。还有，在向基板输送构件102的配管142a中，为了不发生对基板输送构件的移动距离的配管长度的不足、结果配管的偏移或向配管的应力，图中作为一例设置有伸缩式配管142c，形成为即使基板输送构件移动，对配管也完全不会产生影响的机构。
另外，控制基板输送构件的输送动作的基板输送部控制器145利用信号线与控制吸引阀的开闭的控制器即吸引切换控制器144连接，使输送动作和吸引力的切换时序对应。
图20-1是表示将显示面板基板101从作为当前位置的显示面板输送前20-1a向下游输送输送动作一次量程度时的动作状态的流程图。
首先，显示面板基板101位于作为当前位置的[20-1a]。其次，基板输送构件成为从下方开始上升的[20-1b]，在基板输送构件到达显示面板基板的位置时解除基板保持构件的吸附，同时成为开始基板输送构件的吸引的[20-1c]。还有，基板输送部在吸附了显示面板基板的状态下，从基板保持部进一步上升([20-1d])，基板输送构件向目的方向水平输送([20-1e])，将显示面板基板水平输送，送至目标输送位置([20-1f])。在目的位置，基板输送构件102在吸附了显示面板的状态下开始下降([20-1g])，在显示面板基板到达了基板保持构件的位置时，解除基板输送构件 的吸引，同时开始基板保持构件103的吸引([20-1h])。进而，基板输送构件比基板保持构件下降([20-1i])，显示面板基板在目的输送位置被基板保持构件吸附固定，结束一次输送循环([20-1j])。以后，通过依次重复所述循环，进行显示面板基板的反复输送至达到目的距离。
进而，用图20-2详细说明作为实施例的显示面板基板输送。
图20-2的显示面板模块组装装置是将显示面板基板101从图20-2中左方向右方依次输送的同时，对基板的周边部进行各种处理作业，进行IC或TAB等安装组装作业的装置。图20-2上级a表示大型基板输送及处理作业时的状态。从显示面板基板101a的位置依次向显示面板基板101b的位置、显示面板基板101c的位置移动。在显示面板基板101a的位置中，利用处理单元116a和处理单元116b接受处理作业。在显示面板基板101b的位置中，利用处理单元116c和处理单元116d接受处理作业。另外，处理单元116a、处理单元116b、处理单元116c、处理单元116d等处理单元116具有能够在滑块载物台的导轨106上移动的移动装置。图20-2下级b)表示小型基板输送及处理作业时的状态。从显示面板基板101d的位置依次向显示面板基板101e的位置、显示面板基板101f的位置、显示面板基板101g的位置、显示面板基板101h的位置、显示面板基板101i的位置移动。在显示面板基板101d的位置中，利用处理单元116a接受处理作业。在显示面板基板101e的位置中，利用处理单元116b接受处理作业。在显示面板基板101f的位置中，利用处理单元116c接受处理作业。在显示面板基板101g的位置中，利用处理单元116d接受处理作业。另外，处理单元116a、处理单元116b、处理单元116c、处理单元116d等处理单元116具有能够在滑块载物台的导轨106上移动的移动装置。能够使处理单元116在滑块载物台的导轨106上移动的移动装置配备于滑块载物台也可。
在图20-2中，首先，示出了利用基板长边侧(源侧)的处理作业装置组即处理单元116a到处理单元116d，进行基板长边侧(源侧)的处理的样子。然后，虽未图示，但利用旋转装置使基板旋转，其次，进行基板短边侧(栅侧)的处理作业。
另外，将基板101向进行这些安装的单元输送的输送机构如图20-2中所示，以基板输送构件102和基板保持构件103示出。在基板输送方向 上细长的基板保持构件103具有在基板输送方向上直行且并列配置多个的构造。还有，形成为将多个基板输送构件102并列配置于所述基板保持构件之间的构造。
另外，并列配置的基板输送构件一体地构成，形成为使在基板保持构件103保持的显示面板基板101上升至接下来的处理作业装置位置后，水平移动而输送的机构。
图21是表示所述基板输送部分的详细的结构的俯视图和其A-A剖面图。图22中所述部分的剖面示出输送时的输送部分的上升下降的样子。进而，如图21所示，在保持构件及输送构件的表面以一定的间距配置吸引孔，利用负压能够将显示面板吸附于基板保持构件或基板输送构件。
另外，在图21中，为了图示配置于其下方的基板输送构件102或基板保持构件103，小型基板的配置区域9、大型基板的配置区域110截断一部分，并且，用虚线示出外形。在基板输送构件102或基板保持构件103的基板侧设置有基板输送构件表面的吸附孔107、基板保持构件表面的吸引孔108。在用各处理作业装置对基板的处理动作结束后，使基板输送构件102上升，由此将在基板保持构件103上配置的显示面板基板以微小量抬起，然后，沿基板保持构件103的间隙方向滑动，从而成为将显示面板基板输送至接下来的作业处理装置的机构。作为使基板输送构件滑动的滑动装置，虽未图示，但可以适用基于线性马达或滚珠丝杠等的通常的滑块载物台机构。另外，如图21下级的A-A剖面图所示，设置有吸附孔下的吸引腔室111、开闭阀112、从吸引泵等供给的负压系统113。
基板输送构件102在基板保持构件103的间隙配置有多根基板输送构件，这些成一体，所述基板输送构件102相对于所述基板保持构件103相对地上升及下降。
图22中的基板的输送方向为与纸面垂直的方向。将基板输送至接下来的输送处理位置的基板输送构件102利用能够升降基板输送构件102的基板输送构件升降装置105来下降。基板输送构件升降装置105在滑块载物台的导轨106上构成于滑块载物台的滑块115上，由此能够对于显示面板基板101向接下来的处理作业装置4的基板保持构件103上转送基板地移动。图3左侧表示各处理作业时的位置关系，图22右侧表示基板输送 时的位置关系。将显示面板基板101向基板保持构件103上转送的基板输送构件102在下降的状态下，进行返回动作至原来的处理作业装置位置。通过在相邻的处理作业装置104之间同步进行该动作，显示面板基板101能够依次向下游的处理作业装置104的位置进行连续输送。
还有，在基板输送构件102中，在水平方向上滑动输送规定量的前后，在基板输送构件102的沿垂直方向的上升·下降动作时，需要进行基板保持构件103和显示面板基板101的分离或再保持。以后说明在输送中所述吸附的切换时序和输送动作的时序。
图23的a)表示从基板输送构件102向基板保持构件103的显示面板基板101的转送，图23的b)表示从基板保持构件向基板输送构件102的显示面板基板101的转送。若在显示面板基板101的转送时，在基板输送构件表面的吸引孔7或基板保持构件表面的吸引孔108中残留转送侧的吸引力，则如图23所示，应力施加于显示面板基板101，因此，其结果，发生显示面板基板101的破裂或吸附痕迹残留等问题。
图24是表示在使用了图20～图23的吸附输送机构的显示面板基板输送中，进行显示面板基板的转送时，最理想的固定部和输送部的吸附力变化及转送动作的时序。还有，在图24中，示出显示面板基板的位置首先位于固定部，其次，可动部上升而接受，然后，可动部沿输送方向水平输送适当的距离后，可动部下降，下降到输送目的地的新的固定部，结束一次转送时为止的动作。
其次，进而具体说明固定部及可动部的吸引力的强、弱、0的切换和可动部动作的上升位置、面板转送位置、下降位置的时序。如先前的说明，在图中显示面板最初吸附保持于固定部。其次，为了将显示面板向可动部转送，减弱用固定部保持显示面板的吸附力。同时为了从固定部接受，提高可动部的吸引力。对应于固定部和可动部的吸引力这两者变弱时的时序118，将可动部成为与固定部相同的高度地从下降位置上升，上升至面板转送位置，即，在符号118的时序中，用固定部和可动部这两者吸附保持显示面板。进而，通过可动部继续上升，使显示面板从固定部疏远，在此阶段中，可动部的吸引力上升至强水平，因此，即使进行水平输送，显示面板也不引起位置偏移。另一方面，固定部的吸引力降低即可以在不需要 吸附的部位不使用无用的吸引空气。
还有，利用可动部水平输送至目的位置后，为了将显示面板吸附固定于目的位置的固定部，使可动部下降，但此次与先前的说明相反地，减弱保持面板的可动部的吸附力，同时为了从可动部接受显示面板，提高固定部的吸引力。还有，对应于可动部和固定部的吸引力这两者变弱时的时序119，使可动部下降至成为与固定部相同的高度的面板转送位置。即，在符号119的时序中，对于显示面板，用可动部和固定部这两方来吸附保持显示面板。进而，可动部继续下降，由此显示面板留在固定部，使显示面板从可动部疏远。还有，在那个阶段中，固定部的吸引力上升至强水平，牢固地吸附固定显示面板。还有，降低结束了输送的可动部的吸引力，从而可以在不需要吸附的部位不使用无用的吸引空气。这样，进行一次显示面板输送。通过连续进行该动作，从上游向下游进行显示面板的连续输送。
在本实施例中，在固定部和可动部的吸引压力正好成为弱的时序下，从固定部向可动部或从可动部向固定部转送面板，因此，能够期待如下效果，即：由于残留有吸附力的效果，不引起面板的位置偏移，且由于吸引弱效果，在转送时，将面板从吸附垫剥离时，面板破裂等问题也不发生。在后说明的图34的方式为最佳方式，但若能够使时序对应，则为第二最佳方式。
其次，说明减弱转送面板侧的吸引压力的时序延迟时的例子。
图25表示在使用了图20～图23的吸附输送机构的显示面板基板输送中，将在进行显示面板基板的转送时，保持显示面板的部分的吸附力减弱的时间延迟时的转送动作的时序。还有，在图25中，示出了显示面板基板的位置首先在固定部，其次，可动部上升而接受，然后，可动部沿输送方向水平输送适当的距离后，可动部下降，降低至输送目的地的新的固定部，结束一次转送时为止的动作。
进而具体说明固定部及可动部的吸引力的强、弱、0的切换和可动部动作的上升位置、面板转送位置、下降位置的时序。如先前说明，在图中，显示面板最初吸附保持于固定部。为了将显示面板从固定部接受，提高可动部的吸引力，另外，使其从下降位置上升。但是，此时保持显示面板的固定部的吸引力仍然为强的状态，那时的固定部和可动部的吸引力的关系 为120。还有，对应于其时序，将可动部成为与固定部相同高度地从下降位置上升，使其上升至面板转送位置，在120的时序中，用固定部和可动部这两方吸附保持显示面板。进而，然后，接受了显示面板的可动部的吸引力上升至强水平，如上所述地水平输送。
还有，利用可动部水平输送至目的位置后，为了将显示面板吸附固定于目的位置的固定部而使可动部下降。此次与先前的说明相反地可动部以保持面板的可动部的吸附力强的状态直接下降，下降至成为与固定部相同的高度的面板转送位置。即，在121的时序中，可动部和固定部这两方吸附保持显示面板。
在本实施例中，固定部的吸引压力仍然强的时序中，从固定部向可动部转送面板，另外，在可动部的吸引压力仍然强的时序中，从可动部向固定部转送面板。在双方的情况下，均由于吸附力很强地残留在转送侧的效果，能够进一步期待即使发生振动等摆动，也与图24的实施例相比，不引起面板的位置偏移的效果。若能够组合利用吸附的残留压力，使面板的破裂或弯曲不发生的另种用途机构，则为最佳方式。
其次，说明减弱转送面板的一侧的吸引压力的时序提前时的例子。
图26表示在使用了图20～图23的吸附输送机构的显示面板基板输送中，将在进行显示面板基板的转送时，保持显示面板的部分的吸附力减弱的时间提前时的转送动作的时序。还有，在图26中，示出了显示面板基板的位置首先在固定部，其次，可动部上升而接受，然后，可动部沿输送方向水平输送适当的距离后，可动部下降，降低至输送目的地的新的固定部，结束一次转送时为止的动作。
进而具体说明固定部及可动部的吸引力的强、弱、0的切换和可动部动作的上升位置、面板转送位置、下降位置的时序。如先前说明，在图中，显示面板最初吸附保持于固定部。为了将显示面板从固定部接受，提高可动部的吸引力，另外，使其从下降位置上升。但是，此时保持显示面板的固定部的吸引力已经弱，该时刻的固定部和可动部的吸引力的关系为122。还有，对应于其时序，将可动部成为与固定部相同高度地从下降位置上升，使其上升至面板转送位置，在122的时序中，用固定部和可动部这两方吸附保持显示面板。进而，然后，接受了显示面板的固定部的吸引力上升至 强水平，如上所述地水平输送。
还有，利用可动部水平输送至目的位置后，为了将显示面板吸附固定于目的位置的固定部而使可动部下降。此次与先前的说明相反地可动部以保持面板的可动部的吸附力已经弱的状态直接下降，下降至成为与固定部相同的高度的面板转送位置。即，在123的时序中，可动部和固定部这两方吸附保持显示面板。
在本实施例中，固定部的吸引压力已经弱的时序中，从固定部向可动部转送面板，另外，在可动部的吸引压力已经弱的时序中，从可动部向固定部转送面板。在双方的情况下，均由于在转送侧没有吸附力的效果，与图24的实施例相比，能够进一步期待在面板不引发破裂或弯曲的效果。若能够组合在转送时不发生面板的位置偏移的另种用途机构，则为最佳方式。
其次，说明减弱转送面板一侧的吸引压力的时序延迟，且减弱被转送的一侧的吸引压力的时序提前的例子。
图27表示在使用了图20～图23的吸附输送机构的显示面板基板输送中，将在进行显示面板基板的转送时，保持显示面板的部分的吸附力减弱的时间延迟时的转送动作的时序。还有，在图27中，示出了显示面板基板的位置首先在固定部，其次，可动部上升而接受，然后，可动部沿输送方向水平输送适当的距离后，可动部下降，降低至输送目的地的新的固定部，结束一次转送时为止的动作。
进而具体说明固定部及可动部的吸引力的强、弱、0的切换和可动部动作的上升位置、面板转送位置、下降位置的时序。如先前说明，在图中，显示面板最初吸附保持于固定部。为了将显示面板从固定部接受，使可动部从下降位置上升。但是，此时保持显示面板的固定部的吸引力仍然强，另外，可动部的吸引力为仍然强的原来状态。该情况的固定部和可动部的吸引力的关系为124。还有，对应于其时序，将可动部成为与固定部相同高度地从下降位置上升，使其上升至面板转送位置，在124的时序中，仅用固定部吸附保持显示面板。进而，然后，使接受了显示面板的可动部的吸引力上升，如上所述地水平输送。
还有，利用可动部水平输送至目的位置后，为了将显示面板吸附固定 于目的位置的固定部而使可动部下降。此次与先前的说明相反地可动部以保持面板的可动部的吸附力强的状态直接下降，下降至成为与固定部相同的高度的面板转送位置。即，在125的时序中，可动部吸附保持显示面板。
在本实施例中，固定部的吸引压力仍然强的时序中，从固定部向可动部转送面板，另外，在可动部的吸引压力仍然强的时序中，从可动部向固定部转送面板。在双方的情况下，均由于吸附力很强地残留在转送侧的效果，能够进一步期待即使发生振动等，也与图24的实施例相比，不引起面板的位置偏移的效果。若能够组合利用吸附的残留压力，使面板的破裂或弯曲不发生的另种用途机构、在转送的一侧防止面板的位置偏移的机构，则为最佳方式。
其次，说明减弱转送面板的一侧的吸引压力的时序提前，且减弱被转送的一侧的吸引压力的时序延迟的例子。
图28表示在使用了图20～图23的吸附输送机构的显示面板基板输送中，将在进行显示面板基板的转送时，保持显示面板的部分的吸附力减弱的时间延迟时的转送动作的时序。还有，在图28中，示出了显示面板基板的位置首先在固定部，其次，可动部上升而接受，然后，可动部沿输送方向水平输送适当的距离后，可动部下降，降低至输送目的地的新的固定部，结束一次转送时为止的动作。
进而具体说明固定部及可动部的吸引力的强、弱、0的切换和可动部动作的上升位置、面板转送位置、下降位置的时序。如先前说明，在图中，显示面板最初吸附保持于固定部。为了将显示面板从固定部接受，使可动部从下降位置上升。但是，此时保持显示面板的固定部的吸引力已经弱，另外，可动部的吸引力已经强。这时的固定部和可动部的吸引力的关系为126。还有，对应于其时序，将可动部成为与固定部相同高度地从下降位置上升，使其上升至面板转送位置，在126的时序中，仅用可动部吸附保持显示面板。但是，由于固定部的吸引为已经弱的状态，因此，显示面板从固定部引起位置偏移的同时疏远。其结果，向可动部转送的显示面板发生位置偏移的可能性变高。进而，然后，接受了显示面板的可动部的吸引力已经强，因此，保持其原来状态，如上所述地水平输送。
还有，利用可动部水平输送至目的位置后，为了将显示面板吸附固定 于目的位置的固定部而使可动部下降。此次与先前的说明相反地可动部以保持面板的可动部的吸附力已经弱的状态直接下降，下降至成为与固定部相同的高度的面板转送位置。
在本实施例中，在固定部的吸引压力已经弱的时序中，从固定部向可动部转送面板，另外，在可动部的吸引压力已经弱的时序127中，从可动部向固定部转送面板。在双方的情况下，均由于在转送侧没有吸附力的效果，与图24的实施例相比，能够进一步期待在面板不引发破裂或弯曲的效果。若能够组合在转送时不发生面板的位置偏移的另种用途机构，则为最佳方式。
其次，说明对于图24的实施例，将转送的一侧的吸引压力不设为零而进行转送的例子。
图29示出了在使用了图20～图23的吸附输送机构的显示面板基板输送中，进行显示面板基板的转送128、129时，对于所述图24所示的最理想的固定部和输送部的吸附力变化及转送动作的时序，不将吸引水平设为零作为特征的状态。
在本实施例中，在固定部和可动部的吸引压力正好成为弱的时序中，从固定部向可动部或从可动部向固定部转送面板，因此，能够期待如下效果，即：由于残留有吸附力的效果，不引起面板的位置偏移，且由于吸引弱效果，在转送时，将面板从吸附垫剥离时，面板破裂等问题也不发生。在后说明的图34的方式为最佳方式，但能够使时序对应，不将吸引空气时常设为零，因此在产生吸引压力的泵的容量大或使用的吸引空气的量少的情况下为第二最佳方式。
其次，说明减弱转送面板侧的吸引压力的时序提前时的例子。
图30表示在使用了图20～图23的吸附输送机构的显示面板基板输送中，将在进行显示面板基板的转送时，保持显示面板的部分的吸附力减弱的时间提前时的转送动作的时序。还有，在图30中，示出了显示面板基板的位置首先在固定部，其次，可动部上升而接受，然后，可动部沿输送方向水平输送适当的距离后，可动部下降，降低至输送目的地的新的固定部，结束一次转送时为止的动作。
进而具体说明固定部及可动部的吸引力的强、弱、0的切换和可动部 动作的上升位置、面板转送位置、下降位置的时序。如先前说明，在图中，显示面板最初吸附保持于固定部。为了从固定部接受显示面板，使可动部从下降位置上升。但是，此时保持显示面板的固定部的吸引力已经弱，另外，可动部的吸引力已经弱。此时的固定部和可动部的吸引力的关系为130。还有，对应于其时序，将可动部成为与固定部相同高度地从下降位置上升，使其上升至面板转送位置，在130的时序中，用固定部和可动部吸附保持显示面板。
还有，利用可动部水平输送至目的位置后，为了将显示面板吸附固定于目的位置的固定部而使可动部下降。保持面板的可动部、及接受面板的固定部均为吸附力已经弱的状态，使可动部下降至成为与固定部相同的高度的面板转送位置。即，在131的时序中，可动部和固定部这两方吸附保持显示面板。可动部在下降时已经失去保持力，因此，在向固定部转送时，顺畅地进行转送。
在本实施例中，在固定部的吸引压力弱的时序中，从固定部向可动部转送面板、或从可动部向固定部转送面板，因此，能够期待由于吸附力残留的效果，不引起面板的位置偏移，且由于吸引弱的效果，在转送时从吸附垫剥离面板时，面板破裂等问题也不发生的非常良好的效果。在后说明的图34的方式为最佳方式，但不将吸引空气时常设为零，因此在产生吸引压力的泵的容量大或使用的吸引空气的量少的情况下为第二最佳方式。
其次，说明减弱转送面板的一侧的吸引压力的时序延迟，且吸引压力为弱的模式的例子。
图31表示在使用了图20～图23的吸附输送机构的显示面板基板输送中，将在进行显示面板基板的转送时，保持显示面板的部分的吸附力减弱的时间延迟时的转送动作的时序。还有，在图31中，示出了显示面板基板的位置首先在固定部，其次，可动部上升而接受，然后，可动部沿输送方向水平输送适当的距离后，可动部下降，降低至输送目的地的新的固定部，结束一次转送时为止的动作。
进而具体说明固定部及可动部的吸引力的强、弱、0的切换和可动部动作的上升位置、面板转送位置、下降位置的时序。如先前说明，在图中，显示面板最初吸附保持于固定部。为了将显示面板从固定部接受，提高可 动部的吸引力，另外，使其从下降位置上升。但是，此时保持显示面板的固定部的吸引力为仍然强的状态，此时的固定部和可动部的吸引力的关系为123。还有，对应于其时序，将可动部成为与固定部相同高度地从下降位置上升，使其上升至面板转送位置，在132的时序中，用固定部和可动部这两方吸附保持显示面板。但是，若可动部以原来状态继续上升，则固定部的吸引为仍然强的状态，因此，显示面板从固定部被不合理地疏远。其结果，在显示面板可能发生破裂或弯曲。进而，然后，使接受了显示面板的固定部的吸引力上升为强水平，如上所述地水平输送。
还有，利用可动部水平输送至目的位置后，为了将显示面板吸附固定于目的位置的固定部而使可动部下降。此次与先前的说明相反地，可动部以保持面板的可动部的吸附力强的状态直接下降，下降至成为与固定部相同的高度的面板转送位置。即，在133的时序中，可动部和固定部这两方吸附保持显示面板。
在本实施例中，固定部的吸引压力仍然强的时序中，从固定部向可动部转送面板，另外，在可动部的吸引压力仍然强的时序中，从可动部向固定部转送面板。在双方的情况下，均由于吸附力很强地残留在转送侧的效果，能够进一步期待即使发生振动等，也与图5的实施例相比，不引起面板的位置偏移的效果。组合利用吸附的残留压力，使面板的破裂或弯曲不发生的另种用途机构，另外，不将吸引空气时常设置有零，因此，产生吸引压力的泵的容量大或使用的吸引空气的量少的情况下为最佳方式。
其次，说明减弱转送面板的一侧的吸引压力的时序延迟，且吸引压力为弱的模式的例子。
图32表示在使用了图20～图23的吸附输送机构的显示面板基板输送中，将在进行显示面板基板的转送时，保持显示面板的部分的吸附力减弱的时间延迟时的转送动作的时序。还有，在图32中，示出了显示面板基板的位置首先在固定部，其次，可动部上升而接受，然后，可动部沿输送方向水平输送适当的距离后，可动部下降，降低至输送目的地的新的固定部，结束一次转送时为止的动作。
进而具体说明固定部及可动部的吸引力的强、弱、0的切换和可动部动作的上升位置、面板转送位置、下降位置的时序。如先前说明，在图中， 显示面板最初吸附保持于固定部。为了将显示面板从固定部接受，使其以可动部的吸引力弱状态从下降位置上升。但是，此时保持显示面板的固定部的吸引力为仍然强的状态，此时的固定部和可动部的吸引力的关系为134。还有，对应于其时序，将可动部成为与固定部相同高度地从下降位置上升，使其上升至面板转送位置，在134的时序中，用固定部和可动部这两方吸附保持显示面板。但是，若可动部以原来状态继续上升，则固定部的吸引为仍然强的状态，因此，显示面板从固定部被不合理地疏远。其结果，在显示面板可能发生破裂或弯曲。进而，然后，使接受了显示面板的可动部的吸引力上升至强水平，如上所述地水平输送。
还有，利用可动部水平输送至目的位置后，为了将显示面板吸附固定于目的位置的固定部而使可动部下降。此次与先前的说明相反地可动部以保持面板的可动部的吸附力也强的状态直接下降，下降至成为与固定部相同的高度的面板转送位置。即，在135的时序中，可动部和固定部这两方吸附保持显示面板。
在本实施例中，与上述相同地，在固定部的吸引压力仍然强的时序中，从固定部向可动部转送面板，另外，在可动部的吸引压力仍然强的时序中，从可动部向固定部转送面板。在双方的情况下，均由于吸附力很强地残留在转送侧的效果，能够进一步期待即使发生振动等，也与图24的实施例相比，不引起面板的位置偏移的效果。组合利用吸附的残留压力，使面板的破裂或弯曲不发生的另种用途机构，另外，不将吸引空气时常设置为零，因此，产生吸引压力的泵的容量大或使用的吸引空气的量少的情况下为最佳方式。
其次，说明减弱转送面板的一侧的吸引压力的时序提前，且吸引压力为弱的模式的例子。
图33表示在使用了图20～图23的吸附输送机构的显示面板基板输送中，将在进行显示面板基板的转送时，保持显示面板的部分的吸附力减弱的时间延迟时的转送动作的时序。还有，在图33中，示出了显示面板基板的位置首先在固定部，其次，可动部上升而接受，然后，可动部沿输送方向水平输送适当的距离后，可动部下降，降低至输送目的地的新的固定部，结束一次转送时为止的动作。
进而具体说明固定部及可动部的吸引力的强、弱、0的切换和可动部动作的上升位置、面板转送位置、下降位置的时序。如先前说明，在图中，显示面板最初吸附保持于固定部。为了将显示面板从固定部接受，提高可动部的吸引力，另外，使其从下降位置上升。但是，此时保持显示面板的固定部的吸引力为仍然弱，此时的固定部和可动部的吸引力的关系为136。还有，对应于其时序，将可动部成为与固定部相同高度地从下降位置上升，使其上升至面板转送位置，在136的时序中，用固定部和可动部这两方吸附保持显示面板。还有，若可动部以原来状态继续上升，则显示面板从固定部疏远。进而，然后，使接受了显示面板的可动部如上所述地水平输送。
还有，利用可动部水平输送至目的位置后，为了将显示面板吸附固定于目的位置的固定部而使可动部下降。此次与先前的说明相反地保持面板的可动部的吸附力也已经弱，可动部下降，下降至成为与固定部相同的高度的面板转送位置。即，在137的时序中，可动部和固定部这两方吸附保持显示面板。
在本实施例中，在固定部的吸引压力弱的时序中，从固定部向可动部转送面板，或从可动部向固定部转送面板，因此，能够期待由于吸附力残留的效果，不引起面板的位置偏移，且由于吸引弱的效果，在转送时从吸附垫剥离面板时，面板破裂等问题也不发生的非常良好的效果。在后说明的图34的方式为最佳方式，但不将吸引空气时常设为零，因此在产生吸引压力的泵的容量大或使用的吸引空气的量少的情况下为第二最佳方式。
其次，对至此说明的实施例中最优选的方式进行说明。
图34表示用于解决至此说明的图24～图33的问题的吸附输送机构的时序。还有，在图34中，示出了显示面板基板的位置首先在固定部，其次，可动部上升而接受，然后，可动部沿输送方向水平输送适当的距离后，可动部下降，降低至输送目的地的新的固定部，结束一次转送时为止的动作。
进而具体说明固定部及可动部的吸引力的强、弱、0的切换和可动部动作的上升位置、面板转送位置、下降位置的时序。如先前说明，在图中，显示面板最初吸附保持于固定部。为了将显示面板从固定部接受，提高可动部的吸引力，另外，使其从下降位置上升。同时，此时保持显示面板的 固定部的吸引力弱，此时的固定部和可动部的吸引力的关系为138。为了扩大图24所示的方式的转送时序，在本方式中，在保持显示面板的部分的弱水平上设置了时间宽度。还有，对应于其时序，将可动部成为与固定部相同高度地从下降位置上升，使其上升至面板转送位置，在138的时序中，用固定部和可动部这两方吸附保持显示面板。还有，若可动部以原来状态继续上升，则显示面板从固定部疏远，但在显示面板不发生破裂或弯曲。进而，然后，使接受了显示面板的可动部的吸引力上升至强水平，如上所述地水平输送。
还有，利用可动部水平输送至目的位置后，为了将显示面板吸附固定于目的位置的固定部而使可动部下降。此次与先前的说明相反地可动部以保持面板的可动部的吸附力弱的状态的下降，下降至成为与固定部相同的高度的面板转送位置。即，在139的时序中，可动部和固定部这两方吸附保持显示面板。进而，可动部继续下降，将显示面板顺畅地转送。这样，在图34的时序中，在转送时，引起破裂或弯曲的问题的可能性低，如图29所示，在未吸引时，也不需要产生弱水平的吸引空气，因此，具有能够进一步减小吸引空气的消耗量的效果。
图35为吸气系统的比较例，吸附垫140从泵P配管，利用阀的开闭来进行吸附垫140的吸附力的产生和解除。在该方式中，当然是配管越长，阀的开闭和吸附垫的吸引力响应性变差，实际上装入装置时，难以从泵经由阀到达吸附部分为止，以短距离配置。
如至此的装置一样从固定部向可动部转送显示面板，或从可动部向固定部转送显示面板的动作延迟的装置的情况下，转送时的时间也变长，因此，在图35的方式中，在加强或减弱吸引力的方式中，追随延迟也没有问题。但是，在高速化输送生产线的情况下，若是该比较方式的原来状态，则如所述图24～图28所述，非常难以使转送的时序和吸引力的强弱时序最佳地对应的问题发生。
因此，在图36中示出用于解决该问题的方式。其是将在先说明的图34的弱吸引的时序138、139能够在不受作为所述问题的距离泵的配管长度的影响的情况下，实现与转送动作的时序的最佳对应的具体的结构。在图36中，吸附垫140从泵P配管，利用阀的开闭来进行吸附垫140的吸 附力的产生和解除。进而，为了减弱吸引，开放在腔室设置的释放阀141。这样，能够在短时间内减弱吸附垫140的吸附力。在该方式的情况下，在阀的开闭中，不改变吸附垫的吸附力，因此，实际装入装置时，即使从泵经由阀到达吸附部分为止的距离变长，也没有问题。还有，其次，说明验证了利用开闭阀141的开闭，能够减弱吸引压力的情况的结果。
图37表示进行了通过开闭阀141的开放来将吸引压力一次性减弱的实验的结果的图表。使显示面板的面与70个吸附垫全部密接，即完全关闭吸附垫的状态下，均维持由泵产生的吸引压力，各吸附垫产生目的吸引力。其次可知，若将一个吸附垫向大气有意开放，则由泵产生的吸引压力一次性减弱至一半左右。进而可知，继续将多个(图中为7个)有意向大气开放，所述变弱的吸引压力也变化。利用该特性，在吸附垫的附近具有释放阀，仅通过相当于一个吸附垫的释放阀的开放动作，就能够在显示面板转送动作中简单地制作最佳弱吸引的状态。
另一方面，在用吸附垫吸附固定显示面板时，若在面板具有大的翘起或局部性凹凸等，另外附着有碎屑等异物，则应与所述部分接触的吸附垫与显示面板不正常地密接，这样，所述不完全地触到的吸引垫部分不能保持吸引压力，其结果，导致吸引压力降低至大气压附近的问题。
因此，图38中示出为了解决所述问题而设计的吸引机构。图表示机构部的示意性剖面图和俯视图。还有，图38的结构为一例，图中的腔室的个数等不限定于此。
图38表示某一部位的集合吸附部，保持吸引压力的腔室分别地分为A系、B系、C系这三个。并且，分别的腔室之间利用细的软管或细的配管来连结。在连结的目的地连接吸引泵，利用所述吸引泵，在各吸附垫产生吸引压力。另外，在各腔室设置有将腔室内部的压力瞬时改变的目的释放阀141，能够通过释放阀141的开闭来进行各吸附垫的吸引压力的强弱切换。
该图38所示的机构具有两个效果。第一，在用吸附垫吸附显示面板时，在一部分吸附垫部产生局部性凹凸或高低差，或咬住碎屑等，发生吸附错误，导致所述部分的吸引压力降低至接近大气压，其结果，固定有所述吸附垫的腔室整体的吸引压力降低，设置有腔室的吸附垫全部的吸附力 降低，也由于连结腔室之间的配管细，从而在腔室之间产生大的压力损耗，因此，即使在一个腔室引起压力变动，也防止同时影响降低其他腔室。第二，在A系B系C系设置的吸附垫相邻配置，因此，即使在任一个的腔室中，发生吸引压力降低，在相邻垫中也不发生急剧的压力降低，通过相邻部分吸引面板，因此，得到提高再吸附的可能性的效果。
如上所述，通过使用本发明的显示面板基板输送装置，防止在基板的输送时，施加必要以上的吸引压力，在显示面板基板残留破裂或吸附痕迹的事故发生，或吸引力不足引起的显示面板基板的脱落或位置偏移发生等问题，另外，为了高速输送基板，高速化转送时序，也将适合转送的吸引压力的时间设置一定时间获得界限，因此，能够稳定地进行转送。
进而，能够提供利用吸附系统的分割和那些的压力损耗连结的效果，能够抑制吸附错误引起的显示面板基板的脱落的发生的显示面板基板输送装置及使用了其的显示面板模块组装装置。
还有，本发明的一个特征在于吸引部分的压力变化。另外，虽未图示，但在利用梳刃转送显示面板基板的机构中，也能够通过在转送的时序中将吸引压力最佳地降低，期待相同的效果，因此，能够适用。
如上所述，本发明的目的在于解决如下问题，即：例如在显示面板模块组装装置中，残留转送的一侧的吸附力的状态下，进行面板的转送的情况下，应力施加于面板，发生破裂或残留吸附痕迹等问题，另外，相反弱的情况下转送时，发生位置偏移，或吸附脱落，由于面板自身的翘起，发生自吸附部分的浮起。因此，例如，将在基板输送中转送显示面板时的吸附力降低为弱模式，由此应力还施加于面板，另外，吸引也不会脱落。还有，具体来说，通过利用释放阀来开放吸引系统，能够容易制作稳定的弱吸引模式。进而，作为弱阶段吸引压力，能够用释放阀的开放时间来进行控制，因此，即使高速化，控制也容易。
进而，分割吸引系统，进而分别产生压力损耗而连结，将那些其他系统的吸附垫或吸引孔接近而配置，由此即使在某个系统引起吸附错误，也能够通过压力损耗，延迟其他系统的压力降低，其结果，能够期待避免面板脱落的效果。
还有，显示面板模块组装装置是通过对等离子体等FPD的显示面板基 板依次进行多个处理作业工序，在所述显示面板基板的周边安装驱动IC、TAB及PCB基板等的装置。
例如，作为处理工序的一例，包括：(1)清除基板端部的TAB贴附部的端子清洁工序、(2)在清除后的基板端部贴附各向异性导电薄膜(ACF＝Anisotropic Conductive Film)的ACF工序、(3)在贴附了ACF的位置，与基板配线定位，搭载TAB或IC的搭载工序、(4)通过加热压接搭载了TAB，利用ACF薄膜进行固定的压接工序、(5)检查搭载的TAB或IC的位置或连接状态的检查工序、(6)在TAB的显示面板基板侧的相反侧利用ACF等贴附搭载的PCB工序(多个工序)等。进而，根据处理的基板的边的数量或处理的TAB或IC的数量等，需要各处理装置的数量或旋转基板的处理单元等。
显示面板模块组装装置通过连续配置进行这些处理作业工序的处理作业装置，利用基板输送机构在其间输送基板，进行基板周边处理。
作为各处理作业装置的结构，如日本特开平8-26475号公报中所述，形成为包括进行各处理作业的作业工作台和向所述作业工作台送入·送出显示面板基板的机构的结构也可。在该结构中，送入显示面板基板的作业工作台保持显示面板基板，能够在基板的宽度、长度及水平旋转方向上调节，用作业工作台进行显示面板基板的处理位置的定位，实施各处理作业也可。
另外，如日本特开2007-99466号公报中所述，形成为在各处理作业装置中配置能够在三轴及水平旋转方向上使显示面板基板动作的梳齿型臂的结构也可。如该结构一样，利用在各处理作业装置设置的所述梳齿型臂，实施转送显示面板基板的动作和显示面板基板的处理位置的定位动作也可。
进而，如日本特开2003-76290号公报所述，可以为在一对带式传送器一样的输送机构之间配置显示面板支承工作台，利用所述显示面板支承工作台，进行显示面板基板的处理位置的定位动作的方法。
关于附图补充如下，图29表示将吸附水平设为弱来转送的情况，图30表示将吸附水平设为弱来转送的情况的时间长的情况，图31表示转送的一侧的吸附强的原来状态下进行转送动作的情况，图33表示接受的一 侧的吸附力变强后，进行转送动作的情况，图34表示能够解决至此的所有的问题的本发明最佳情况的一例。