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光源装置的点灯控制方法以及光源装置
    【技术领域】

    本发明是关于放射紫外线等光的光源装置的点灯控制方法及光源装置，尤其是关于可对应于光源的光输出的随着时间经过而变化，对供给至光源的电力进行控制，此外，可利用被设置在光源的IC标签所存储的数据，来校正由用于检测光源照度的检测单元输出的数据的光源装置的点灯控制方法及光源装置。

    背景技术

    UV/O₃洗净法是作为将紫外线与属于活性氧种的臭氧(O₃)加以组合的洗净方法而广泛使用，其目的是：例如通过在LCD用基板或半导体基板表面照射紫外线，将附着在该等基板表面的有机化合物等分子键结切断，从而去除附着在基板表面的有机化合物等杂质。

    近年来，以如上所述的UV/O₃洗净法中所使用的光源，是使用由将例如氙气等作为发光物质而射出波长172nm的真空紫外线的洗净能力佳的准分子灯，来取代自以往以来所使用的射出波长185nm及254nm的紫外线的低压水银灯。如上所示的准分子灯是被公开于例如专利文献1等。

    在使用如上所示的准分子灯的光源装置中，为了进行可靠性高的紫外光照射处理，必须确认准分子灯的点灯状态。但是，由于主要所放射的光为真空紫外光，因此该准分子灯的点灯状态并无法以目测来确认。因此，用于确认准分子灯的点灯状态及在点灯时由准分子灯所射出的光输出的各种手法被提出。

    作为确认准分子灯的点灯状态的手法，已知一种手法例如专利文献1所示，其利用真空紫外光感测器来检测由准分子灯所放射的真空紫外光。

    例如图11所示，由该检测真空紫外光的手法来确认准分子灯的点灯状态的准分子灯装置具有：被装设在构成外壳80中的顶棚面的冷却块81的状态下的4个准分子灯90，在该冷却块81是在各准分子灯90的正上方区域形成有属于贯穿孔的光导入孔81A，在该光导入孔81A的一端侧设有真空紫外光感测器89。图中，83是用于将由准分子灯90所放射的光照射在被处理体的光取出窗部。

    但是，检测真空紫外光的光感测器由于对真空紫外光的灵敏度会随着时间经过而降低，因此可知随着使用时间加长，无法获得由作为检测对象的准分子灯射出的真空紫外光的正确照度数据。

    例如，若总计使用6000小时用于检测真空紫外光的光感测器时，该光感测器的检测量会降低约10％。因此，当根据由光感测器所被输出的真空紫外光的照度数据，来调整供给至准分子灯的电力时，会被判断出由准分子灯射出的真空紫外光照度会较低，由于对准分子灯供给过量的电力，因此会有准分子灯寿命变短的可能。

    另一方面，准分子灯是当在例如总计点灯3000小时的情形下，随着构成发光管的石英玻璃等的劣化，所射出的真空紫外光的照度会比初始点灯时降低约70％。因此，必须定期替换成新品。

    其中，由于检测真空紫外光的光感测器较为昂贵，因此并不能频繁地替换成新品，并无法实际上与准分子灯同时作替换。

    此外，灯一般难以由其外观来判断是否已届使用寿命末期，尤其准分子灯是随着构成发光管的石英玻璃等的劣化而使射出的真空紫外光的照度降低，因此难以由外观来判断是否已届使用寿命。

    因此，在各个灯设置IC标签，使灯的总计点灯时间信息存储在该IC标签，以管理总计点灯时间的装置已被提出(例如参照专利文献2)。

    图12是显示装载有设有IC标签的灯的紫外线照射装置的剖面图。该图是以与灯的管轴呈平行的平面所切的剖面图。其中，在该图中是显示使用准分子灯作为灯的情形。

    如该图所示，紫外线照射装置具有使惰性气体在内部循环的金属制框体101。在框体101内部配置有以管轴呈平行的方式并列配置的多支准分子灯100。沿着准分子灯100，与各准分子灯1相对应设有将由准分子灯所放射的紫外线朝向被处理物方向反射的导水筒状反射镜102。设有反射镜102的各准分子灯100是被固定在例如水冷管在内部循环的铝制冷却块103。

    准分子灯100是在使真空紫外光透过的由介电质材料所构成的发光管100a的两端，分别形成埋设有金属箔100e的密封部100f，在发光管100a的内部，线圈状的内部电极100b被配置在发光管100a的管轴上，内部电极100b的周围由绝缘体100d进行覆盖。此外，在发光管100a的外表面配置有网状的外部电极100c。

    在各金属箔100e连接有朝发光管100a外方突出的外部引线100g，在外部引线100g连接有高压供电缆线120c，且在其端部设有高压供电端子120。

    在框体101安装有树脂制的连接器110，在该连接器110内设有天线140。此外，在高压供电缆线120c的端部安装有高压供电端子120，在高压供电端子120的绝缘保持具内设有IC标签130。

    通过在上述连接器110插入高压供电端子120的插头，使内部电极100b与高频点灯电源呈导通。关于外部电极100c虽未图示，但是同样地与高频点灯电源导通。

    图13是显示用于使上述具备有IC标签的准分子灯点灯的控制系统的构成例的概念图。

    与准分子灯1的电极相连接的高压供电缆线的高压供电端子120是通过所述的连接器110而与高频点灯电源200相连接，由高频点灯电源200供给高压·高频电压，从而使准分子灯100点灯。

    如前所述在连接器110设有天线140，天线140是与用于对IC标签写入数据、或读出数据的读取/写入器230相连接。CPU210是对上述读取/写入器230进行控制，对IC标签写入数据、或由IC标签读取数据，并且对上述高频点灯电源200进行控制，以控制灯100的点灯。

    在图13中，点灯控制是如下所示来进行。

    在准分子灯100点灯开始前，通过天线140由读取/写入器230读出被存储在IC标签130的前次使用时为止的总计点灯时间信息，使该信息存储在与CPU210相连接的存储器220。

    在IC标签130也存储有在各个准分子灯100固有的使用寿命时间信息，CPU210是调查由IC标签130读出的总计点灯时间是否在使用寿命时间以下，若总计点灯时间在使用寿命时间以下时，由CPU210对高频点灯电源200发送点灯信号。由此，高频点灯电源200是对准分子灯100供给高压高频电压，而使准分子灯100点灯。

    准分子灯100点灯中，是随时将最新的点灯时间信息合计在被存储在存储器220的总计点灯时间。

    接着，若总计点灯时间到达使用寿命时间，CPU210是对高频点灯电源200传送点灯停止信号，而将准分子灯100灭灯。

    此外，在总计点灯时间到达使用寿命时间的前，若使准分子灯灭灯，在准分子灯灭灯后，即在被存储在存储器220的总计点灯时间合计最新点灯时间，通过读取/写入器230，使最新总计点灯时间通过天线而存储在IC标签130。

    通过以上控制，针对各个准分子灯，可有效管理准分子灯累计点灯时间信息。

    (专利文献1)日本专利特许第2789557号说明书

    (专利文献2)日本特开2007-123069公报

    【发明内容】

    如前所述，准分子灯是在例如总计点灯3000小时时，所射出的真空紫外光的照度会比初始点灯时降低约70％。

    另一方面，作为确认准分子灯的点灯状态的手法，如前所述，已知一种利用光感测器来检测真空紫外光的手法，但是该类光感测器的灵敏度会随着时间经过而降低。因此，随着使用时间变长，无法获得由灯射出的光的正确照度数据，即使根据由光感测器所被输出的照度数据来调整供给至灯的电力，也无法将照度维持在一定状态。

    即，如使采用了用于检测真空紫外光的光感测器的准分子灯点灯的光源装置等，在具备检测灵敏度随着时间经过而劣化的光感测器，通过该光感测器来检测照度会伴随着时间而降低的灯的光，以控制照度的光源装置中，除了光感测器的检测灵敏度劣化以外，灯的照度会随着时间经过而降低，因此以历经长时间而精度佳地成为所希望的值的方式控制由灯所射出的光的照度是极为困难。

    此外，如上所述，在使用灵敏度会随着时间经过而降低的光感测器时，在将光感测器安装在光源装置的情况下直接可自动校正光感测器的检测灵敏度为宜，但是具备有如上所示的功能的光源装置尚未为人所知。

    本发明是鉴于上述情形而完成，本发明的目的在于在使用光照度会伴随着时间而降低的灯，且用于确认灯的点灯状态的光感测器的灵敏度会随着时间经过而劣化的光源装置中，可精度佳地控制由灯所射出的光的照度且将照度保持为一定，此外，可在将光感测器安装在光源装置的情况下直接自动校正灵敏度已劣化的光感测器的检测灵敏度。

    在本发明中，如下所示解决所述课题。

    A.由灯所射出的光的稳定化控制

    本发明是以由灯所射出的光的照度与目标值相一致的方式进行控制，而将照度维持为一定。

    准分子灯的所射出的光的照度因各种要因而随着时间经过而降低。如上所示，为了将照度随着时间经过而降低的灯的照度维持为一定，当照度相对于目标照度降低至规定比例以下时，必须以增加供给至灯的电力的方式进行控制。

    以如上所示的对供给至灯的电力进行控制的手段而言，在本发明中，是使用被安装在灯的IC标签，根据被记录在IC标签的该灯的总计点灯时间，对供给至灯的电力进行控制。

    即，在本发明中，通过检测单元，进行检测照度降低是否已超过一定比例，并且当照度降低已超过一定比例时，即对供给至灯的电力进行修正(增加)。

    该电力的补正是使用例如将灯的总计点灯时间与修正电力数据的关系加以规定的修正表等。接着，求出与总计点灯时间相对应的修正电力，对供给至灯的电力进行控制。

    即，通过使用IC标签，可记录灯的总计点灯时间，且可根据被记录在IC标签的总计点灯时间，来取得修正电力的数据。

    B.光感测器的修正

    在本发明中，因装配在光源装置的光感测器的劣化，为了与光的感测灵敏度的降低相对应，对由装配在装置的真空紫外光感测器所被输出的照度数据进行校正。

    该校正是使用由有别于被设在光源装置的光感测器的其他新品的光感测器所测定出的值来进行。

    例如使用被设在工厂等的新品的感测器，通过该新品的感测器，求出每个灯的光的正确照度数据，且写入至被设在各灯的IC标签。

    接着，例如在灯替换时，将该照度与由被装配在准分子灯装置的感测器所被输出的照度数据作对比，以后者的值与前者的值相一致的方式来对后者的值作上方修正。

    根据以上所述，在本发明中，如以下解决所述课题。

    (1)在被设在光源的IC标签至少记录固有照度数据及该光源的总计点灯时间，上述固有照度数据与当使光源以规定的基准电力点灯时由该光源射出的光的照度相关。

    光源装置具有：来自上述IC标签的信息的读取/写入单元；对由光源所射出的光的照度检测的检测单元；及控制光源的点灯的控制部的光源装置，光源装置的控制部是根据由所述光源的IC标签所读出的固有照度数据：及所被设定的目标照度数据，求出为了获得该目标照度数据所需的目标电力数据，使所述光源根据目标电力数据而进行点灯，利用所述检测单元来检测该时间点中由该光源所射出的光的照度，将所检测到的照度作为基准照度数据加以记录。

    接着，通过所述检测单元检测根据上述目标电力数据而使该光源继续点灯时的光源的照度，判定由该检测单元所被检测的所述光源的照度数据相对于所述所被记录的基准照度数据是否已降低至规定比例以下。当光源的照度数据相对于所述所被记录的基准照度数据已降低至规定比例以下时，根据由所述IC标签所读出的光源的总计点灯时间，求出该光源的总计点灯时间所对应的修正电力数据，根据该修正电力数据来对所述目标电力数据进行修正，将所修正的目标电力数据供给至光源。

    (2)在上述(1)中，目标电力数据被修正，且根据所修正的目标电力数据来使光源点灯时，将在所述检测单元所测定的由该光源所射出的光的照度作为新的基准照度数据加以记录，判定由所述检测单元检测的所述光源的照度数据相对于上述新的基准照度数据是否已降低至规定比例以下。

    (3)在上述(1)(2)中，在上述IC标签记录由校正完毕的检测单元来测定并记录当以所述规定的基准电力点灯时的由该光源所射出的光的照度，作为由设有该IC标签的光源射出的光的照度相关的固有照度数据。

    接着，上述光源装置的控制部是当在光源装置被安装有新的光源时，使该光源以上述基准电力点灯，通过被设置在该光源装置的检测单元，测定由该光源所射出的光的照度。

    接着，根据由被设置在光源装置的检测单元所测定的照度数据、及由所述IC标签所读出的固有照度数据，求出用于校正被设在上述光源装置的检测单元的测定值的校正参数，根据该校正参数，对检测单元的输出进行修正。

    (4)在被设在光源的IC标签至少记录固有照度数据及该光源的总计点灯时间，上述固有照度数据与当使光源以规定的基准电力点灯时由该光源射出的光的照度相关。

    光源装置具有：来自IC标签的信息的读取/写入单元：对由光源所射出的光的照度进行检测的检测单元；及控制光源的点灯的控制部，该控制部具有：目标电力数据计算单元，根据由所述光源的IC标签所读出的固有照度数据、及所被设定的目标照度数据，求出为了获得该目标照度数据所需的目标电力数据；基准照度数据取得单元，使所述光源根据上述目标电力数据而进行点灯，使在该时间点中利用所述检测单元所检测的由该光源所射出的光的照度数据作为基准照度数据而记录在存储部；修正单元，判定根据上述目标电力数据而使该光源继续点灯时由所述检测单元检测的光源的照度，相对于所述基准照度数据是否已降低至规定比例以下，当判定出光源的照度数据相对于所述所被记录的基准照度数据已降低至规定比例以下时，求出根据由所述IC标签读出的光源的总计点灯时间所求出的该光源的总计点灯时间所对应的修正电力数据，且根据该修正电力数据来对所述目标电力数据进行修正；及点灯控制单元，以上述目标电力供给至光源的方式进行控制。

    (5)在上述(4)中，在上述IC标签记录有由校正完毕的检测单元来测定出当以所述规定的基准电力点灯时的由该光源所射出的光的照度的值，作为由设有该IC标签的光源所射出的光的照度相关的固有照度数据。

    上述光源装置的控制部具有灵敏度随着时间经过而劣化的上述检测单元的校正单元，该校正单元在上述光源装置被安装有新的光源时，使该光源以上述基准电力进行点灯，根据由被设置在该光源装置的检测单元所被检测的由该光源所射出的光的照度、及由所述IC标签所读出的固有照度数据，求出用于校正被设置在上述该光源装置的检测单元的测定值的校正参数，根据该校正参数，对检测单元的输出进行修正。

    (6)在安装有IC标签的光源中，在该IC标签记录有该光源的总计点灯时间、及光的照度，该光的照度为当使该光源以规定的基准电力点灯时由校正完毕的检测单元所测定的由该光源所射出的，并作为由设有该IC标签的光源所射出的光的照度相关的固有照度数据。

    在本发明中，可得以下效果。

    (1)在本发明中，为了获得目标照度数据通过所需的目标电力数据对光源进行点灯，将此时的照度由检测单元进行检测且作为基准照度数据进行记录，当由该检测单元检测的所述光源的照度相对于上述记录的基准照度数据降低至规定比例以下时，根据由IC标签所读出的光源的总计点灯时间，求出修正电力数据，通过该修正电力数据，对所述目标电力数据进行修正且供给至光源，因此即使在灯的真空紫外光的照度随着时间经过而降低的情形下，也可将光源的照度维持为一定。

    而且，根据本发明的光源装置，在每次由所述检测单元检测到的光的照度超过规定范围而降低时，记录考虑到灯的随着时间经过而照度降低及检测单元的灵敏度降低的最新基准照度数据，据此求出修正电力数据，来控制光源，由此能够以高精度将照度维持为大致一定。

    (2)在IC标签先将由校正完毕的检测单元来测定以规定基准电力点灯时由光源射出的光的照度作为固有照度数据进行记录，当在光源装置被安装有新的光源时，使该光源以上述基准电力点灯，通过被设在该光源装置的检测单元，测定由该光源射出的光的照度，根据该照度数据、及由IC标签读出的固有照度数据，对上述光源装置的检测单元进行校正，因此在每次将已结束使用寿命的准分子灯替换成新品时，可对由感测器输出的照度数据进行校正，即使装配在光源装置的光感测器因长时间的使用而劣化，也可获得正确的照度。

    因此，可精度佳地控制由灯射出的光的照度，并且可解决自以往以来所成为问题的因向准分子灯供给过量电力，而产生被照射在被处理体的光的照度大幅超过目标照度的所谓的过冲(overshoot)，或灯的寿命变短等不良情形。

    【附图说明】

    图1是显示本发明的一实施方式的光源装置的系统结构图；

    图2是本发明的一个实施方式的光源装置的功能框图；

    图3是说明光感测器的灵敏度降低的图；

    图4是记录有总计点灯时间与电力修正系数(电力增加量)的关系的修正表；

    图5是显示在IC标签记录与固有照度数据X₁相对应的百分率Y的处理的流程图；

    图6是显示根据被记录在IC标签的数据来校正光感测器15的处理的流程图；

    图7是显示本实施方式的光源装置的全体处理流程的流程图；

    图8是显示将由灯射出的光的照度维持在一定的控制处理的流程图；

    图9是显示对点灯时间的照度变化与供给至灯的电力变化的说明图；

    图10是显示灭灯时的处理的流程图；

    图11是显示确认点灯状态的准分子灯装置的构成例的图；

    图12是在与装载设有IC标签的灯的紫外线照射装置的灯的管轴呈平行的平面所切的剖面图；

    图13是显示图12所示的紫外线照射装置的构成例的概念图。

    附图标号说明

    1：灯(准分子灯)

    1a：IC标签

    2：点灯电源

    3：变压器

    4：控制部

    4a：总计点灯时间更新单元

    4b：目标电力计算单元

    4c：修正电力计算单元

    4d：基准照度数据取得单元

    4e：点灯控制单元

    4f：校正单元

    4g：累计计时器

    5：输入部

    10：光源装置

    11：CPU

    12：IC标签R/W部

    13：存储部

    13a：存储器(RAM)

    13b：存储器(ROM)

    13c：存储器(EEPROM)

    14：天线

    15：光感测器

    16a、16b：A/D转换器

    17：D/A转换器

    80：外壳

    81：冷却块

    81A：光导入孔

    83：光取出窗部

    89：真空紫外光感测器

    90：准分子灯

    100：准分子灯

    100a：发光管

    100b：内部电极

    100c：外部电极

    100d：绝缘体

    100e：金属箔

    100f：密封部

    100g：外部引线

    102：反射镜

    103：冷却块

    101：框体

    101a：光照射窗

    110：连接器

    120：高压供电端子

    120c：高压供电缆线

    130：IC标签

    140：天线

    200：点灯电源

    210：CPU

    220：存储器

    230：读取/写入器

    【具体实施方式】

    图1是显示本发明的一个实施方式的光源装置的系统结构图。

    如该图所示，本发明的光源装置具有：具有可以非接触输入记录信息的IC标签1a的光源(以下称为灯)1；用于将高频高电压供给至灯1的点灯电源2；被设置在点灯电源2的输出侧的变压器3；控制灯1的点灯的控制部4；及输入部5。

    控制部4具有：检测由灯1射出的真空紫外光等光而输出照度信号的作为检测单元的光感测器15；根据该光感测器15的照度数据等，对灯1的点灯进行控制，并且执行用于进行光感测器15的校正的运算处理的运算处理部(CPU)11；存储部13；用于在与IC标签1a之间进行数据的传送接收的天线14；用于控制与IC标签1a之间的数据的传送接收的IC标签R/W部12；A/D转换器16a、16b；及D/A转换器17。A/D转换器16a、16b是将来自光感测器15的信号及来自点灯光源2的信号转换成数字信号而送出至CPU11，D/A转换器17是将来自CPU11的数字信号转换成模拟信号而送出至点灯电源2。

    上述存储部13具有：可读写的易失性存储器(RAM13a)；读取专用的非易失性存储器(ROM13b)；及可重写的非易失性存储器(EEPROM13c)，用于存储程序或数据。

    在存储部13的ROM13b记录有：用于按照总计点灯时间来修正供给至灯1的电力的修正表Tab、准分子灯的标准照度数据X₀、基准电力数据Z₀等信息，在EEPROM13c记录有作为稳定维持由准分子灯射出的真空紫外光的照度所需信息。

    上述光源1封入有例如氙气等放电气体，且射出波长172nm的真空紫外光的准分子灯。其中，以下是针对灯1为准分子灯的情形加以说明。

    IC标签1a是按各灯而设置，记录有与有关各准分子灯固有照度的固有照度数据X₁相对应的百分率Y[＝(固有照度数据X₁/标准照度数据X₀)×100]、总计点灯时间Ts。

    若灯为准分子灯，光感测器15为真空紫外光感测器，例如ALGN(氮化铝镓)等半导体光感测器，由将紫外光转换成可见光的荧光体等构成。

    如所述的图11所示，光感测器15被配置在形成于冷却块的光导入孔的一端侧，来自灯1的真空紫外线通过该光导入孔而入射至光感测器15的光入射面。

    真空紫外光感测器中的灵敏度是如前所述，随着使用时间加长而降低。

    例如图3(C)所示，对真空紫外光的灵敏度是在从使用开始经过3000小时的后降低30％左右。

    也即，由光感测器15所输出的照度数据成为低于实际上由灯1所射出的真空紫外光的照度的值。因此，以由灯1所射出的真空紫外光的照度被维持为一定的方式，若要根据来自光感测器15的照度数据来对供给至灯1的电力进行控制时，对灯1进行过量的电力供给。

    因此，如图3(A)所示，准分子灯的照度变得高于图3(B)的目标照度，而会引起过冲(overshoot)。为了避免如上所述的过冲，需要将伴随着光感测器15的劣化所发生的真空紫外光的灵敏度降低进行修正。

    控制部4的CPU11如后所述，根据由输入部5所提供的目标照度数据或由光感测器15所检测到的照度数据，以使由灯1射出的真空紫外光的照度与作为目标的照度相一致的方式，对点灯电源2发送指令而控制供给至灯1的电力。此外，基于由光感测器15检测到的照度数据、及由灯1所具备的IC标签1a所读出的固有照度数据，以由光感测器15输出的照度数据与固有照度数据相一致的方式来校正光感测器15的输出。

    输入部5具有例如液晶显示画面等的触控面板式，被使用在光源装置的使用者将按每一被处理体所需的真空紫外光的照度相关的目标照度数据输入至CPU11。

    在此，汇整显示本实施方式中所使用的各种数据。该等数据是例如以下所示，被存储在IC标签、读取专用的非易失性存储器(ROM13b)、可重写的非易失性存储器(EEPROM13c)等，在执行时，根据需要被转送至可读取写入的存储器(RAM13a)并被存储。

    其中，该等数据的存储部位可适当变更，例如可未设置ROM，而将所有数据存储在EEPROM，也可先存储在所谓的存储器介质(例如非易失性存储器或磁碟等)，在执行时在RAM13a展开，在结束时存储至非易失性存储器或存储介质。

    此外，在以下说明中，为了易于理解，在数据被转送至RAM的情形下，也会根据需要，在装置起动时存储的场所来确定数据的存储场所的情形。

    ·标准照度X₀：由标准的准分子灯所照射的真空紫外光的照度(存储在ROM)

    ·固有照度X₁：记录在IC标签的该灯的固有照度(存储在IC标签、EEPROM)

    ·实测照度X₂：由装置装配的光感测器所得的照度数据

    ·目标照度X₃：由输入部所被设定的目标照度(存储在EEPROM)

    ·基准照度X₄：初始或电力修正后，由目标电力数据Z₁或修正电力数据Z₂使该灯点灯时，由装置装配的光感测器所得的照度数据(存储在EEPROM)

    ·基准电力Z₀：标准的准分子灯输出标准照度X₀所需电力(存储在ROM)

    ·目标电力Z₁：.获得目标照度所需电力(存储在EEPROM)

    ·修正电力Z₂：由修正电力系数修正的目标电力(存储在EEPROM)

    ·修正系数K＝固有照度X₁/实测照度X₂

    ·百分率Y＝(固有照度X₁/标准照度X₁)×100             (存储在IC标签、EEPROM)

    ·总计点灯时间Ts：灯点灯时间的累计值(存储在IC标签、EEPROM)

    ·修正表Tab：记录有对总计点灯时间的电力增加量(修正电力系数)的表(存储在ROM)

    图2是本发明的一个实施方式的光源装置的功能框图，将由利用控制部4的CPU11执行的处理所实现的功能显示为框图。

    在被设在灯1的IC标签1a是如前所述记录有百分率Y＝(固有照度X₁/标准照度X₀)×100、及该灯1的总计点灯时间Ts。

    上述固有照度X₁是由例如新品的光感测器等般输出正确照度数据的校正完毕的光感测器，来测定出在以上述基准电力使灯1点灯时，由灯1所被射出的光的照度的数据。

    IC标签R/W部12如前所述通过天线14，读入记录在上述IC标签1a的上述数据，且作为IC标签数据而存储在存储部13。

    控制部4的校正单元4f在光源装置被安装新品的灯1(总计点灯时间Ts为0的灯)时，由点灯控制单元4e，使该灯1以上述基准电力Z₀点灯，根据由光感测器15所检测的该灯1射出的光的照度、及由所述IC标签1a读出的固有照度X₁，求出用于校正被设置在上述该光源装置的检测单元的测定值的校正参数。接着，根据校正参数，将光感测器15的输出进行修正。

    由此，在灯1每次被替换成新的灯时，能够以光感测器15输出正确测定值的方式进行校正。

    控制部4的累计计时器4g将灯1呈点灯的时间作累计计数，总计点灯时间更新单元4a在每次达到规定的累计时间时，更新被存储在存储部13的总计点灯时间。该被更新的总计点灯时间Ts在使光源装置的动作停止时，写入至被设置在灯1的IC标签1a。

    如前所述由输入部5将目标照度X₃输入至CPU11，该数据被存储在存储部13。

    控制部4的目标电力计算单元4b根据基于由IC标签1a读出的百分率Y所计算出的固有照度X₁与基准电力Z₀、上述目标照度X₃，计算出为了获得该目标照度X₃所需的目标电力Z₁。计算出的目标电力Z₁被存储在存储部13。

    基准照度数据取得单元4d在装置起动时或后述的电力修正时，由点灯控制单元4e使灯1根据上述目标电力Z₁或修正电力Z₂点灯，获得在该时间点由光感测器15检测的光的照度数据。该值是作为基准照度数据X₄而被存储在存储部13。

    点灯控制单元4e以被供给至灯1的电力与利用上述目标电力计算单元4b计算出的目标电力2(修正后为修正电力Z₂)相一致的方式来控制点灯电源2。

    即，检测施加至灯1的电压与灯电流，从点灯电源2传送至控制部4的点灯控制单元4e。其中，由点灯电源2所检测到的电压、电流为模拟信号，该模拟信号是如前所述由A/D转换器被转换成数字信号，且被传送至控制部4的CPU。

    点灯控制单元4e根据上述电压、电流计算出供给至灯的电力，且将所计算出的电力与所述目标电力Z₁(修正后为修正电力Z₂)进行比较。接着，将上述计算出的电力与目标电力Z₁(修正后为修正电力Z₂)相一致的灯电压与频率进行运算。该灯电压与频率作为电压指令、频率指令而被送出至点灯电源2。

    点灯电源2按照该电压指令、频率指令来控制灯1的驱动电压、频率。由此，以被供给至灯1的电力与上述目标电力Z₁(修正后为修正电力Z₂)相一致的方式被控制，灯1以与目标电力Z₁(修正后为修正电力Z₂)相对应的照度而点灯。

    在此，准分子灯是如前所述射出的光的照度会随着时间经过而降低。因此，在点灯初期，是对灯1供给与目标电力数据相对应的电力，由此灯1以与目标照度相一致的照度而点灯，但是随着点灯时间的经过，灯1的照度会降低。

    修正电力计算单元4c以上述灯1的照度降低被修正的方式，求出已将目标电力Z₁修正后的修正电力Z₂。

    即，修正电力计算单元4c根据上述目标电力Z₁(修正后为修正电力Z₂)，取得使灯1继续点灯时由所述光感测器15检测的照度(实测照度X₂)，进行判定该实测照度X₂相对于所述基准照度X₄是否已降低至规定比例以下。

    接着，修正电力计算单元4c当灯1的实测照度X₂相对于所述基准照度X₄降低至规定比例以下时，读出被存储在所述存储部13的灯1的总计点灯时间Ts，参照被存储在存储部13的修正表Tab，求出与总计点灯时间Ts相对应的修正电力数据Z₂，且使其存储在存储部13。

    准分子灯射出的真空紫外光的照度是因各种原因而随着时间经过而降低。为了修正该照度降低，必须使供给至准分子灯的电力增加，如图4所示，在修正表Tab被规定有准分子灯的总计点灯时间与电力修正系数的关系。

    即，事前按每个准分子灯求出总计点灯时间与真空紫外光的照度降低率的关系，根据该关系，求出为了将真空紫外光的照度维持为一定所需的电力增加率，在修正表登录总计点灯时间与电力修正系数的关系。因此，读出该修正表的电力修正系数，通过乘上目标电力Z₁，可求出修正电力数据Z₂。

    点灯控制单元4e在计算出修正电力数据Z₂时，将如前所述供给至灯的电力成为修正后的修正电力数据Z₂的灯电压与频率进行运算而送出至点灯电源2。点灯电源2通过该灯电压与频率而使灯1点灯。

    此外，当计算出修正电力数据Z₂，且根据该修正电力数据Z₂而使灯1点灯时，所述基准照度数据取得单元4d将由光感测器15测定的由灯1射出的光的照度作为新的基准照度X₄而被存储在存储部13。

    以下，与所述相同地，判定相对于上述基准照度X₄，由所述光感测器15检测的照度是否已降低至规定比例以下，若已降低至规定比例以下，与上述相同，求出与总计点灯时间相对应的修正电力数据Z₂。

    如上所示，使灯1基本上以一定的电力点灯，在每次灯1的照度相对于最新的修正后基准照度降低至规定比例以下时，按照灯的总计点灯时间，增加供给至灯1的电力，将灯1的照度进行上方修正，因此即使灯1的照度随着时间经过而降低，也可将灯1的照度保持为大致一定。此外，由光感测器15所得的检测值是使用在判定灯1的照度相对于基准照度是否已降低至规定比例以下，因此即使光感测器15的检测灵敏度随着时间经过而降低，也不会大幅受到其影响。

    接着，针对本实施方式的光源装置的动作，通过流程图详加说明。

    1.对于IC标签的数据记录与光感测器的校正

    (1)对于IC标签的数据记录

    首先，通过图5，针对在所述IC标签记录与固有照度数据X₁相对应的百分率Y的处理加以说明。

    有别于图1所示的光源装置所具备的有灵敏度劣化的可能性的光感测器15，而在使用配置在例如工厂等的新品的光感测器或校正完毕的光感测器的光源装置设置灯1，在该灯1的IC标签1a记录上述数据。该光源装置是除了例如光感测器为新品或校正完毕者以外，具有与图1所示相同结构即可，以下针对使用图1所示的光源装置而在IC标签1a写入数据的情况加以说明，但是也可使用IC标签写入用的专用装置。即，也可使用专用的装置，由新品的光感测器或校正完毕的光感测器来测定灯的照度，计算与固有照度数据X₁相对应的百分率Y，使用IC标签写入用的装置而写入数据至IC标签1a。

    其中，在以下流程图中，是针对与固有照度数据X₁相对应的百分率Y的记录加以说明，但是在IC标签，除了该数据以外，另外如前所述记录有总计点灯时间，且为新品的灯时，即记录0作为总计点灯时间。

    (步骤S101)

    首先，读出被记录在读取专用存储器(ROM)13b的基准电力Z₀，以基准电力Z₀使灯1点灯。

    (步骤S102)

    确认由灯1所射出的真空紫外光的照度是否稳定。该确认进行判断例如在5分钟内是否照度变化为1％以下。照度稳定时，即进至步骤S104。

    (步骤S103)

    照度不稳定时，进行确认是否超时(time-out)。照度在30分钟以内为稳定时，返回步骤S101。即使经过30分钟，照度也如上所述为不稳定时，即判断灯1为劣品，而结束程序。

    (步骤S104)

    取得照度稳定时的固有照度数据X₁。来自光感测器15的模拟信号由A/D转换器16b转换成数字信号，并且该数字信号作为固有照度数据X₁而被输入至CPU11。

    (步骤S105)

    与被输入至CPU的固有照度数据X₁相对应的值被记录在IC标签1a。在此，固有照度数据X₁是如以下(1)式所示，作为被存储在读取专用存储器(ROM)13b的固有照度数据X₁对标准照度数据X₀的百分率Y而被记录在IC标签12。

    Y＝(X₁/X₀)×100...(1)

    (2)光感测器的校正

    接着，针对光感测器的校正动作，通过流程图加以说明。其中，该动作与利用图2的校正单元4f所实现的动作相对应。

    图6是根据被记录在IC标签的数据来校正光感测器15的流程。上述校正在每次将已结束使用寿命的灯替换成新品时，即在执行对于被处理体的光照射处理的前进行。至灯的使用寿命结束为止，并不进行光感测器15的修正。

    (步骤S201)

    首先，由CPU11访问(access)IC标签R/W部12，对于IC标签1a经由天线14而以135kHz的传输频率传送指令，通过双向通信，由IC标签1a读出信息，经由IC标签R/W部12而在CPU11接收该信息。

    CPU11是由被记录在IC标签1a的总计点灯时间，来确认灯1是否为新品。若总计点灯时间Ts＝0，即判断灯1为新品而进至步骤S202。另一方面，若非为总计点灯时间Ts＝0，则并未进行光感测器15的校正，且结束处理。

    (步骤S202)

    取得由CPU11记录在IC标签1a的固有照度数据X₁的百分率Y。即，由IC标签R/W部12对IC标签1a以135kHz的传输频率传送指令，经由天线14而由IC标签1a取得百分率Y。

    (步骤S203)

    接着，以被记录在存储部13的读取专用存储器(ROM13b)的基准电力Z₀使灯1点灯。

    (步骤S204)

    确认由灯1射出的光的照度是否已稳定。该确认判断例如在5分钟内是否照度变化为1％以下。若照度稳定，即进至步骤S206。

    (步骤S205)

    照度不稳定时，进行确认是否超时(time-out)。照度在30分钟以内为稳定时，返回步骤S201，且执行步骤S201至S204的程序。即使经过30分钟，照度也如上所述为不稳定时，即判断灯1为劣品，而结束程序。

    (步骤S206)

    接着，利用光感测器15来检测由灯1所射出的光的照度。来自光感测器15的模拟信号由A/D转换器16b转换成数字信号，该数字信号作为实测照度数据X₂而被输入至CPU11。

    (步骤S207)

    最后，根据在步骤S202中所取得的固有照度数据X₁及在步骤S206中所取得的实测照度数据X₂，来对由光感测器15所被输出的照度数据进行修正。步骤S207的修正如以下所述来进行。

    (i)根据由存储部13的读取专用存储器(ROM13b)所读出的标准照度数据X₀、及由IC标签1a所读出的百分率Y，对固有照度数据X₁的值进行运算。

    如以下的(2)所示，求出作为固有照度数据X₁对实测照度数据X2的比率的修正系数K。

    修正系数K＝(固有照度数据X₁)/(实测照度数据X₂)...(2)

    (ii)在实测照度数据X₂乘以(2)式中所求得的修正系数K。

    如以上所述，事前在工厂等中使用新品的光感测器或校正完毕的光感测器而在IC标签记录表示固有照度数据X，的百分率Y，根据由其所求出的固有照度数据X₁、及由装配在光源装置的光感测器所得的实测照度数据X₂求出的修正系数K，可对由真空紫外光感测器输出的实测照度数据进行修正。

    因此，每次在将已结束使用寿命的准分子灯替换成新品时，即先求出上述修正系数K并进行存储，由该修正系数K来对由感测器所输出的照度数据进行修正，从而，即使装配在准分子灯的真空紫外光感测器因长时间使用而劣化，也可获得正确的真空紫外光的照度。

    因此，根据本发明，可解决自以往以来成为问题的因对准分子灯供给过量电力，而产生被照射在被处理体的真空紫外光的照度大幅超过目标照度的所谓的过冲(overshoot)、或准分子灯寿命变短等不良情形。

    2.光稳定化控制

    (1)全体处理流程

    首先，针对本实施方式的光源装置的全体处理流程加以说明。

    图7是显示本实施方式的光源装置的全体处理流程的流程图。

    如图7所示，光源装置如下进行动作。

    (步骤S1)

    装置被起动。

    (步骤S2、S3)

    由被设在灯的IC标签取得数据。根据由IC标签所取得的总计点灯时间数据，判定该灯是否为新品的灯(总计点灯时间为0)。

    (步骤S4)

    若该灯为新品的灯，则使灯1以基准电力Z₀点灯，且由光感测器15来测定照度。接着，如前所述，根据所测定出的实测照度、及根据由IC标签读出的百分率Y所求出的固有照度X₁，求出用于校正光感测器15的输出的校正参数，根据该校正参数，对光感测器15的输出进行修正。

    (步骤S5)

    若该灯非为新品的灯，如前所述，根据由IC标签读出的固有照度X₁及被设定的目标照度X₃来求出目标电力Z₁，且以灯电力与目标电力Z₁相一致的方式进行控制。

    在此，利用光感测器15检测如前所述根据目标电力Z₁而使灯1点灯时的照度，当该照度相对于基准照度X₄降低至规定比例以下时，求出根据总计点灯时间Ts所求得的修正电力Z₂，来对目标电力Z₁进行修正。

    (步骤S6、S7)

    持续以上动作至灯灭灯为止，在灯灭灯时，进行灯的灭灯处理，并且将所需数据进行对于存储部13的可重写的非易失性存储器(EEPROM)的存储、及IC标签的总计点灯时间的重写。

    (2)光稳定化控制

    由灯所射出的光的照度随着时间的经过而降低。为了将照度维持为一定，当灯的照度相对于目标照度降低至规定比例以下时，必须以增加供给至灯的电力的方式进行控制。

    在本实施形态的光源装置中，如以下图8的流程的说明所示，为了控制供给至灯的电力，使用被记录在IC标签的灯的总计点灯时间，据此求出电力的修正量(修正电力)。

    图8是显示用于将由灯射出的光的照度维持为一定的控制处理的流程图。

    (步骤S301)

    由CPU11访问IC标签R/W部12，对于IC标签1a，通过天线14以135kHz的传输频率发送指令，通过双向通信，由IC标签1a读出信息，通过IC标签R/W部12而由CPU11接收该信息。由此，可取得与被记录在IC标签的固有照度数据X₁相对应的百分率Y及总计点灯时间Ts。

    (步骤S302)

    根据在步骤S301中所得的总计点灯时间Ts，确认灯1是否为新品。若总计点灯时间Ts＝0，则判断灯1为新品且进至步骤S304。另一方面，若非为总计点灯时间Ts＝0，则进至步骤S303。

    (步骤S303)

    若非总计点灯时间Ts＝0，在存储部13(EEPROM13c)存储有当使该灯先点灯时的目标电力数据Z₁，且取得该存储完毕的目标电力数据Z₁。

    (步骤S304)

    取得由输入部5输入且存储在存储部13的目标照度数据X₃。

    (步骤S305)

    根据在步骤S304中所得的目标照度数据X₃、由IC标签1a读出的百分率Y、以及由存储部13(ROM13b)所读出的标准照度数据X₀及基准电力数据Z₀，取得为了获得目标照度所需的目标电力数据Z₁。

    目标电力数据Z₁如下所示所求得。

    固有照度X₁：目标照度X₃＝基准电力Z₀：目标电力Z₁

    目标电力Z₁＝基准电力Z₀×目标照度X₃/固有照度X₁

    将如上所述所求出的该目标电力数据Z₁记录在存储部13(EEPROM13c)。

    (步骤S306)

    使累计计时器(图2的4g)为ON，开始计量被合计在总计点灯时间的点灯时间。

    (步骤S307)

    根据在步骤S303或步骤S305中所求出的目标电力数据Z₁，使灯1点灯。

    图9是为了易于理解以下步骤S308至S313的程序，概念性显示对点灯时间的照度变化与供给至灯的电力变化的说明图。该图的纵轴是表示灯的光照度(利用灵敏度劣化的光感测器所测定的照度的值与目标照度)，该图的横轴是表示灯的点灯时间。

    其中，该图的实线是表示目标照度，加粗实线是表示由已劣化的感测器所测定出的照度的值。此外，该图的一点链线是表示由灯射出的真空紫外光的照度因各种原因而随着时间经过而降低的情况，该图的虚线系表示随着光感测器的灵敏度降低，由感测器所被输出的照度数据会随着时间经过而降低的情况。

    使用图9，说明由以下步骤S308至S313所执行的程序的概要。

    在灯替换时间点，执行所述图6的流程图所示的光感测器15的修正，在灯的点灯中，并不进行该图的流程所示的光感测器15的修正。

    图9的T₀时间点的照度P1是在步骤S307中根据目标电力数据Z₁而对准分子灯进行点灯时的初期的基准照度X₄。

    如图9所示，使灯以定电力(目标电力)点灯，在灯的照度相对于初期基准照度P₁降低至规定比例以下的P₂的T₁的时间点，将供给至灯的电力进行修正，且将灯的照度由P₂至P₃进行上方修正。

    该修正是如后所述，如以下来进行。

    参照图4所示的修正表Tab，读出被存储在存储部13的该时间点的总计点灯时间Ts所对应的修正电力系数，将该修正电力系数乘以存储在存储部13的该时间点的目标电力，求出修正电力Z₂，且将该电力供给至灯1。接着，利用光感测器15检测此时的灯1的照度，且形成为修正后的基准照度P₃(＝X₄)。

    将该经上方修正的照度P₃设为修正后的基准照度。修正后的基准照度P₃与灯的光照度随着时间经过而降低、并且光感测器中的光的灵敏度随着时间经过而降低的情形相对应，因此被设定为该图的一点链线上的值。

    之后，使灯继续以定电力点灯，在灯的照度相对于修正后基准照度P₃降低至规定比例以下的P₄的T₂时间点，与上述相同地，对供给至灯的电力进行修正，将灯的照度由P₄进行上方修正为P₅。将该经上方修正的照度P₅设为修正后的基准照度X₄。

    修正后的基准照度P₅(＝X₄)与上述P₃相同地，与灯的光照度随着时间经过而降低、并且光感测器中的真空紫外光的灵敏度随着时间经过而降低的情形相对应，因此被设定为该图的一点链线上的值。

    如上所示，基本上使灯以定电力点灯，每次灯的照度相对于最新的修正后基准照度降低至规定比例以下时，即增加供给至灯的电力，由此对灯的照度作上方修正。因此，在每次执行电力的修正时，以时间序列为较旧的修正后基准照度数据X₄依序被更新为较新的修正后基准照度数据X₄，仅有最新的修正后基准照度数据被记录在存储部13(EEPROM13c)。

    返回图8的流程，针对步骤S308以后的程序加以说明。

    (步骤S308)

    由光感测器，对由灯所射出的光的照度进行检测。来自光感测器15的模拟信号通过图1所示的A/D转换器16b转换成数字信号，作为初期的基准照度数据X₄(与图9的照度P₁相对应)而被输入至CPU。该初期的基准照度数据X₄被记录在存储部13(EEPROM13c)。

    (步骤S309)

    确认由光感测器所被检测的光的照度数据相对于在步骤S308中所得的基准照度数据X₄是否已降低至规定比例以下。规定比例依执行光照射处理的被处理体的种类而异，例如是10％。

    若例如使用图9加以说明，T₁时间点的照度数据P₂相对于照度数据P₁降低10％以上时，进至步骤S310。照度数据P₂相对于照度数据P₁的降低未超过10％时，进至步骤S313。

    (步骤S310)

    读出被记录在存储部13(ROM13b)的修正表Tab(参照图4)，在该修正表Tab应用被存储在存储部13的总计点灯时间Ts，取得与总计点灯时间Ts相对应的修正电力系数。

    修正电力系数是如前所述，将用于被供给至灯的电力形成为将图9中的照度数据P₂进行上方修正到P₃所需的等级而进行设定。

    其中，图9的P₃是参照图4的修正表Tab，与光感测器的灵敏度的随着时间经过而降低相对应而设定。例如准分子灯的总计点灯时间为2000小时时，修正电力系数被求出为1.1。根据该修正电力系数所被决定的修正电力数据Z₂被记录在存储部13。

    (步骤S311、步骤S312)

    CPU11是根据在步骤S310中所得的修正电力数据Z₂，对点灯电源2传送指令，通过点灯电源2而使供给至灯1的电力增加。

    使灯1根据修正电力数据Z₂而点灯时，由光感测器15来感测由灯1所射出的光的照度。来自光感测器15的模拟信号由A/D转换器16b(参照图1)而被转换成数字信号，作为修正后的基准照度数据X₄输入至CPU11，并且被记录在存储部13。修正后的基准照度数据X₄是与图9的照度P₃相对应。

    (步骤S313)

    CPU11确认是否已被输入灯灭灯信号。若已被输入灯灭灯信号，即停止对灯1供给电力而使灯灭灯。

    若在步骤S313中未被输入有准分子灯灭灯信号时，即返回步骤S309，反复执行步骤S309至S312的程序。

    由步骤S313返回至步骤S309时的处理与上述相同，在步骤S309中，确认由光感测器15所检测的照度数据是否相对于在步骤S312中所得的修正后的基准照度数据X₄为降低例如10％以上，若降低10％以上，即进至步骤S310。若照度降低未超过10％，则进至步骤S313。

    接着，如前所述参照修正表Tab，取得与总计点灯时间Ts相对应的修正电力系数，根据该修正电力系数所被决定的修正电力数据Z₂被记录在存储部13。

    CPU11是如前所述根据上述修正电力数据Z₂而对点灯电源2传送指令，使供给至灯1的电力增加。

    此外，通过光感测器来检测根据修正电力数据Z₂而使灯1点灯时的照度，且作为修正后的基准照度数据X₄进行存储。

    如上所示，灯灭灯信号被输入至CPU11为止的期间，是一面将以时间序列为较旧的基准照度数据及修正电力数据依序更新为最新的基准照度数据及修正电力数据，一面记录在EEPROM13c仅有最新的基准照度数据及修正电力数据被存储在存储部13(EEPROM13c)。

    图10是显示灭灯时的处理的流程图。

    在该图中，灭灯时是进行以下的处理。

    (步骤S11)

    进行灯的灭灯处理。在灯为准分子灯的情形下，例如在灭灯时，以低电压施加高频率的电压，抑制放电容器的分极而灭灯。

    (步骤S12)

    将点灯电源2关断(off)，且将累计计时器形成为关断。

    (步骤S13)

    在灯的IC标签写入存储部13的数据，此外，根据需要使属于读取写入存储器的RAM的内容存储至EEPROM等非易失性存储器等。

    (步骤S14)

    将控制部的电源形成为关断(off)。

    如以上所示，本实施方式的光源系统当灯的光的照度超过规定范围而降低时，根据修正表、及被记录在IC标签的总计点灯时间，求出修正电力数据，且根据该修正电力数据来对供给至准分子灯的电力进行控制。

    因此，即使在灯的真空紫外光的照度随着时间经过而降低的情况下，也可将灯的照度维持在一定。

    而且，在每次灯的光照度超过规定范围而降低时，记录有与灯的随着时间经过而照度降低及光感测器的灵敏度降低相对应的最新基准照度数据，因此即使光感测器的灵敏度降低，也可以将灯的照度以高精度维持为一定。