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激光衰减器
    技术领域：

    本发明涉及一种激光衰减器，特别是一种应用于各种激光科学实验和激光加工的激光功率衰减器。

    背景技术：

    在各种科学实验和激光加工的应用中，提出对激光功率的衰减可调的要求。在以往的应用中，有采用吸收型中性玻璃作为衰减片来实现对激光功率的衰减，然而在较高功率下却会漂白，而且不能连续可调；也有采用普通的介质膜来实现对激光功率的衰减，虽然功率衰减可以连续调节，而且也可以经受一定功率的辐照，但不适合较高功率的应用。

    发明内容：

    如上所述，如何解决高破坏阈值的膜片设计选择，以及多余激光功率的吸收和散热，乃是本发明所要解决的技术问题，为此，本发明的目的在于提供一种应用于各种激光科学实验和激光加工的激光功率衰减器。

    本发明的技术解决方案如下：

    根据本发明的激光衰减器，包括一个或一对镀有对入射角敏感的介质膜光学平板，介质膜设计为5°入射角时对入射激光反射最大，而在40°入射角时对入射激光透射最大，从而大大提高介质膜破坏阈值；在吸收反射光的部分采用石墨或陶瓷作为吸收材料，石墨或陶瓷的片状材料贴附在衰减器内壁；并视情况在衰减器外部装上金属散热片；所述介质膜光学平板对入射激光的入射角在5°～40°连续可调，并由一调节齿轮盘连续调节。

    本发明设计简单，适用于对激光的功率衰减和调节。

    附图说明：

    图1为激光衰减器实施列的结构示意图。

    具体实施方式：

    根据图1给出本发明激光衰减器地一个较好实施例，如图所示，激光1进入衰减器2中，经一对介质膜片3、4后被反射损耗的激光5、6射到衰减内壁的吸收片7、8上，其转化成的热量主要通过散热片9、10排出。通过调节齿轮盘11、12调节介质膜片3、4的角度，从而调节对激光的衰减量，最后获得经衰减后的激光13。介质膜片3、4针对需要的波段进行镀膜，设计的反射率在5°入射角时为最大，这样在镀膜工艺上可确保介质膜的激光破坏阈值达到最大，对1064nm波长10ns的激光而言，破坏阀值可以达到20J/cm2以上。吸收片7、8采用石墨材料经济实用，配合散热片可以获得很好的效果。

    作为上述实施例的替换，衰减器2中只设一介质膜片3，受其反射损耗的激光5射到衰减器内壁的吸收片7，其转化成的热量主要通过散热片9排出。通过调节齿轮盘11来调节介质膜片3的角度，介质膜片3按所需激光波段进行镀膜，并设计在5°入射角时反射率最大，在40°入射角时透射最大。本实施例中，吸收片由陶瓷制成。