通过带为76009300NM的红外测温滤光片.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 103713345 A (43)申请公布日 2014.04.09 CN 103713345 A (21)申请号 201310631464.8 (22)申请日 2013.11.29 G02B 5/20(2006.01) G01J 5/08(2006.01) (71)申请人杭州麦乐克电子科技有限公司地址 311188 浙江省杭州市钱江经济开发区兴国路 503-2-101 (72)发明人吕晶王继平胡伟琴 (74)专利代理机构杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 代理人周豪靖 (54) 发明名称通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片 (57。

2、) 摘要本发明所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片，包括以 Ge 为原材料的基板，以 Ge、 ZnS 为第一镀膜层和以 Ge、 ZnS 为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，该通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度。该滤光片50%Cut on7.60.05um， 50%Cut off 9.30.05um ； 15007100nm、 980014000nm T 3% ； 8000 9000nm T 88%、 7700 9200。

3、nm Tavg 90%。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页说明书 2 页附图 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请权利要求书1页说明书2页附图1页 (10)申请公布号 CN 103713345 A CN 103713345 A 1/1 页 2 1. 一种通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片，包括以 Ge 为原材料的基板，以 Ge、 ZnS 为第一镀膜层和以 Ge、 ZnS 为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是：所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有： 192nm 厚度的 Ge 层、 272。

4、nm 厚度的 ZnS 层、 144nm 厚度的 Ge 层、 270nm 厚度的 ZnS 层、 137nm 厚度的 Ge 层、 202nm 厚度的 ZnS 层、 101nm厚度的Ge层、 241nm厚度的ZnS层、 137nm厚度的Ge层、 294nm厚度的ZnS层、 173nm 厚度的 Ge 层、 450nm 厚度的 ZnS 层、 173nm 厚度的 Ge 层、 323nm 厚度的 ZnS 层、 165nm 厚度的 Ge 层、 318nm 厚度的 ZnS 层、 180nm 厚度的 Ge 层、 420nm 厚度的 ZnS 层、 229nm 厚度的 Ge 层、 452nm 厚度的 ZnS 层、。

5、336nm 厚度的 Ge 层、 309nm 厚度的 ZnS 层、 249nm 厚度的 Ge 层、 365nm 厚度的 ZnS 层、 322nm 厚度的 Ge 层、 353nm 厚度的 ZnS 层、 357nm 厚度的 Ge 层、 354nm 厚度的 ZnS 层、 162nm 厚度的 Ge 层、 690nm 厚度的 ZnS 层、 239nm 厚度的 Ge 层、 627nm 厚度的 ZnS 层、 346nm 厚度的 Ge 层、 679nm 厚度的 ZnS 层、 356nm 厚度的 Ge 层、 631nm 厚度的 ZnS 层、 359nm 厚度的 Ge 层、 549nm 厚度的 ZnS 层、 415。

6、nm 厚度的 Ge 层、 877nm 厚度的 ZnS 层、 165nm 厚度的 Ge 层、 740nm 厚度的 ZnS 层、 461nm 厚度的 Ge 层和 1132nm 厚度的 ZnS 层；所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有： 699nm 厚度的 Ge 层、 440nm 厚度的 ZnS 层、 125nm 厚度的 Ge 层、 1079nm 厚度的 ZnS 层、 495nm 厚度的 Ge 层、 777nm 厚度的 ZnS 层、 235nm 厚度的 Ge 层、 573nm 厚度的ZnS层、 370nm厚度的Ge 层、 842nm厚度的ZnS层、 499nm厚度的Ge层、 1798nm厚度。

7、的 ZnS 层、 675nm 厚度的 Ge 层、 1104nm 厚度的 ZnS 层、 605nm 厚度的 Ge 层、 1653nm 厚度的 ZnS 层、 624nm 厚度的 Ge 层、 1140nm 厚度的 ZnS 层、 653nm 厚度的 Ge 层、 1663nm 厚度的 ZnS 层、 582nm 厚度的 Ge 层、 1079nm 厚度的 ZnS 层、 839nm 厚度的 Ge 层和 530nm 厚度的 ZnS 层。权利要求书 CN 103713345 A 2 1/2 页 3 通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片技术领域 0001 本发明涉及红外滤光片领域，尤其是。

8、一种通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片。背景技术 0002 红外测温仪由光学系统、探测器、信号放大器及信号处理、显示输出等部分组成。光学系统汇聚其视场内的目标红外能量 ( 热量 )，视场的大小由测温仪的光学零件及其位置确定。红外能量聚焦在探测器上并转变为相应的电信号。该信号经过放大器和信号处理电路，并按照仪器内的算法和目标发射率校正后转变为被测目标的温度值。 0003 红外测温仪的探测器是实现红外能量 ( 热能 ) 转换电信号的关键，由于各种生物所发出来的红外能量 ( 热量 ) 是不同的，所以在日常使用中为了观察某种特定生物的温度值，人们往往会在探。

9、测器中添加红外滤光片，通过红外滤光片可以使探测器只接受特定波段的红外能量，保证红外测温仪的测温结果，用于测温和成像。 0004 但是，目前的通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片，其信噪比低，精度差，不能满足市场发展的需要。发明内容 0005 本发明的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片。 0006 为了达到上述目的，本发明所设计的通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片，包括以 Ge 为原材料的基板，以 Ge、 ZnS 为第一镀膜层和以 Ge、 ZnS 为第二。

10、镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有： 192nm 厚度的 Ge 层、 272nm 厚度的 ZnS 层、 144nm 厚度的 Ge 层、 270nm 厚度的 ZnS 层、 137nm 厚度的 Ge 层、 202nm 厚度的 ZnS 层、 101nm 厚度的 Ge 层、 241nm 厚度的 ZnS 层、 137nm 厚度的 Ge 层、 294nm 厚度的 ZnS 层、 173nm 厚度的 Ge 层、 450nm 厚度的 ZnS 层、 173nm 厚度的 Ge 层、 323nm 厚度的 ZnS 层、 165nm 厚度的 Ge 层、 318n。

11、m 厚度的 ZnS 层、 180nm 厚度的 Ge 层、 420nm 厚度的 ZnS 层、 229nm 厚度的 Ge 层、 452nm 厚度的 ZnS 层、 336nm 厚度的 Ge 层、 309nm 厚度的 ZnS 层、 249nm 厚度的 Ge 层、 365nm 厚度的 ZnS 层、 322nm 厚度的 Ge 层、 353nm 厚度的 ZnS 层、 357nm 厚度的 Ge 层、 354nm 厚度的 ZnS 层、 162nm 厚度的 Ge 层、 690nm 厚度的 ZnS 层、 239nm 厚度的 Ge 层、 627nm 厚度的 ZnS 层、 346nm 厚度的 Ge 层、 679nm 厚。

12、度的 ZnS 层、 356nm 厚度的 Ge 层、 631nm 厚度的 ZnS 层、 359nm 厚度的 Ge 层、 549nm 厚度的 ZnS 层、 415nm 厚度的 Ge 层、 877nm 厚度的 ZnS 层、 165nm 厚度的 Ge 层、 740nm 厚度的 ZnS 层、 461nm 厚度的 Ge 层和 1132nm 厚度的 ZnS 层；所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有： 699nm 厚度的 Ge 层、 440nm 厚度的 ZnS层、 125nm厚度的Ge层、 1079nm厚度的ZnS层、 495nm厚度的Ge层、 777nm厚度的ZnS层、 235nm 厚度的 Ge 层。

13、、 573nm 厚度的 ZnS 层、 370nm 厚度的 Ge 层、 842nm 厚度的 ZnS 层、 499nm 厚度的 Ge 层、 1798nm 厚度的 ZnS 层、 675nm 厚度的 Ge 层、 1104nm 厚度的 ZnS 层、 605nm 厚度说明书 CN 103713345 A 3 2/2 页 4 的 Ge 层、 1653nm 厚度的 ZnS 层、 624nm 厚度的 Ge 层、 1140nm 厚度的 ZnS 层、 653nm 厚度的 Ge 层、 1663nm 厚度的 ZnS 层、 582nm 厚度的 Ge 层、 1079nm 厚度的 ZnS 层、 839nm 厚度的 Ge。

14、层和 530nm 厚度的 ZnS 层。 0007 上述各材料对应的厚度，其允许在公差范围内变化，其变化的范围属于本专利保护的范围，为等同关系。通常厚度的公差在 10nm 左右。 0008 本发明所得到的通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度。该滤光片 50%Cut on 7.60.05um， 50%Cut off 9.30.05um ； 1500 7100nm、 9800 14000nm T 3% ； 8000 9000nm T 88%、 7700 9200nm Tavg 90%。附图说明 0009 图 1。

15、是实施例整体结构示意图； 0010 图 2 是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。具体实施方式 0011 下面通过实施例结合附图对本发明作进一步的描述。 0012 实施例 1 ： 0013 如图 1、图 2 所示，本实施例描述的通过带为 7600-9300nm 的红外测温滤光片，包括以 Ge 为原材料的基板 2，以 Ge、 ZnS 为第一镀膜层 1 和以 Ge、 ZnS 为第二镀膜层 3，且所述基板 2 位于第一镀膜层 1 和第二镀膜层 3 之间，所述第一镀膜层 1 由内向外依次排列包含有： 192nm 厚度的 Ge 层、 272nm 厚度的 ZnS 层、 144n。

16、m 厚度的 Ge 层、 270nm 厚度的 ZnS 层、 137nm 厚度的 Ge 层、 202nm 厚度的 ZnS 层、 101nm 厚度的 Ge 层、 241nm 厚度的 ZnS 层、 137nm 厚度的 Ge 层、 294nm 厚度的 ZnS 层、 173nm 厚度的 Ge 层、 450nm 厚度的 ZnS 层、 173nm 厚度的 Ge 层、 323nm 厚度的 ZnS 层、 165nm 厚度的 Ge 层、 318nm 厚度的 ZnS 层、 180nm 厚度的 Ge 层、 420nm 厚度的 ZnS 层、 229nm 厚度的 Ge 层、 452nm 厚度的 ZnS 层、 336nm 。

17、厚度的 Ge 层、 309nm 厚度的 ZnS 层、 249nm 厚度的 Ge 层、 365nm 厚度的 ZnS 层、 322nm 厚度的 Ge 层、 353nm 厚度的 ZnS 层、 357nm 厚度的 Ge 层、 354nm 厚度的 ZnS 层、 162nm 厚度的 Ge 层、 690nm 厚度的 ZnS 层、 239nm 厚度的 Ge 层、 627nm 厚度的 ZnS 层、 346nm 厚度的 Ge 层、 679nm 厚度的 ZnS 层、 356nm 厚度的 Ge 层、 631nm 厚度的 ZnS 层、 359nm 厚度的 Ge 层、 549nm 厚度的 ZnS 层、 415nm 厚度的。

18、 Ge 层、 877nm 厚度的 ZnS 层、 165nm 厚度的 Ge 层、 740nm 厚度的 ZnS 层、 461nm 厚度的 Ge 层和 1132nm 厚度的 ZnS 层；所述第二镀膜层 3 由内向外依次排列包含有： 699nm 厚度的 Ge 层、 440nm 厚度的 ZnS 层、 125nm 厚度的 Ge 层、 1079nm 厚度的 ZnS 层、 495nm 厚度的 Ge 层、 777nm 厚度的 ZnS 层、 235nm 厚度的 Ge 层、 573nm 厚度的 ZnS 层、 370nm 厚度的 Ge 层、 842nm 厚度的 ZnS 层、 499nm 厚度的 Ge 层、 1798nm 厚度的 ZnS 层、 675nm 厚度的 Ge 层、 1104nm 厚度的 ZnS 层、 605nm 厚度的 Ge 层、 1653nm 厚度的 ZnS 层、 624nm 厚度的 Ge 层、 1140nm 厚度的 ZnS 层、 653nm厚度的Ge层、 1663nm厚度的ZnS层、 582nm厚度的Ge层、 1079nm厚度的ZnS层、 839nm 厚度的 Ge 层和 530nm 厚度的 ZnS 层。说明书 CN 103713345 A 4 1/1 页 5 图 1 图 2 说明书附图 CN 103713345 A 5 。

摘要
申请专利号：	CN201310631464.8	申请日：	2013.11.29
公开号：	CN103713345A	公开日：	2014.04.09
当前法律状态：	授权	有效性：	有权
法律详情：	专利权人的姓名或者名称、地址的变更IPC(主分类):G02B 5/20变更事项:专利权人变更前:杭州麦乐克电子科技有限公司变更后:杭州麦乐克科技股份有限公司变更事项:地址变更前:311188 浙江省杭州市钱江经济开发区兴国路503-2-101变更后:311188 浙江省杭州市钱江经济开发区兴国路503-2-101\|\|\|授权\|\|\|实质审查的生效IPC(主分类):G02B 5/20申请日:20131129\|\|\|公开
IPC分类号：	G02B5/20; G01J5/08	主分类号：	G02B5/20
申请人：	杭州麦乐克电子科技有限公司
发明人：	吕晶; 王继平; 胡伟琴
地址：	311188 浙江省杭州市钱江经济开发区兴国路503-2-101
优先权：
专利代理机构：	杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241	代理人：	周豪靖
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内容摘要

本发明所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片，包括以Ge为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，该通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度。该滤光片50%Cut on＝7.6±0.05um，50%Cut off＝9.3±0.05um；1500～7100nm、9800～14000nm T≤3%；8000～9000nm T≥88%、7700～9200nm Tavg≥90%。

权利要求书

权利要求书
1. 一种通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片，包括以Ge为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是：所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有：192nm厚度的Ge层、272nm厚度的ZnS层、144nm厚度的Ge层、270nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、202nm厚度的ZnS层、101nm厚度的Ge层、241nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、294nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、450nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、323nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、318nm厚度的ZnS层、180nm厚度的Ge层、420nm厚度的ZnS层、229nm厚度的Ge层、452nm厚度的ZnS层、336nm厚度的Ge层、309nm厚度的ZnS层、249nm厚度的Ge层、365nm厚度的ZnS层、322nm厚度的Ge层、353nm厚度的ZnS层、357nm厚度的Ge层、354nm厚度的ZnS层、162nm厚度的Ge层、690nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、627nm厚度的ZnS层、346nm厚度的Ge层、679nm厚度的ZnS层、356nm厚度的Ge层、631nm厚度的ZnS层、359nm厚度的Ge层、549nm厚度的ZnS层、415nm厚度的Ge层、877nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、740nm厚度的ZnS层、461nm厚度的Ge层和1132nm厚度的ZnS层；所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有：699nm厚度的Ge层、440nm厚度的ZnS层、125nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、495nm厚度的Ge层、777nm厚度的ZnS层、235nm厚度的Ge层、573nm厚度的ZnS层、370nm厚度的Ge层、842nm厚度的ZnS层、499nm厚度的Ge层、1798nm厚度的ZnS层、675nm厚度的Ge层、1104nm厚度的ZnS层、605nm厚度的Ge层、1653nm厚度的ZnS层、624nm厚度的Ge层、1140nm厚度的ZnS层、653nm厚度的Ge层、1663nm厚度的ZnS层、582nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、839nm厚度的Ge层和530nm厚度的ZnS层。

说明书

说明书通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片
技术领域
本发明涉及红外滤光片领域，尤其是一种通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片。
背景技术
红外测温仪由光学系统、探测器、信号放大器及信号处理、显示输出等部分组成。光学系统汇聚其视场内的目标红外能量(热量)，视场的大小由测温仪的光学零件及其位置确定。红外能量聚焦在探测器上并转变为相应的电信号。该信号经过放大器和信号处理电路，并按照仪器内的算法和目标发射率校正后转变为被测目标的温度值。
红外测温仪的探测器是实现红外能量(热能)转换电信号的关键，由于各种生物所发出来的红外能量(热量)是不同的，所以在日常使用中为了观察某种特定生物的温度值，人们往往会在探测器中添加红外滤光片，通过红外滤光片可以使探测器只接受特定波段的红外能量，保证红外测温仪的测温结果，用于测温和成像。
但是，目前的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片，其信噪比低，精度差，不能满足市场发展的需要。
发明内容
本发明的目的是为了解决上述技术的不足而提供一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片。
为了达到上述目的，本发明所设计的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片，包括以Ge为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有：192nm厚度的Ge层、272nm厚度的ZnS层、144nm厚度的Ge层、270nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、202nm厚度的ZnS层、101nm厚度的Ge层、241nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、294nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、450nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、323nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、318nm厚度的ZnS层、180nm厚度的Ge层、420nm厚度的ZnS层、229nm厚度的Ge层、452nm厚度的ZnS层、336nm厚度的Ge层、309nm厚度的ZnS层、249nm厚度的Ge层、365nm厚度的ZnS层、 322nm厚度的Ge层、353nm厚度的ZnS层、357nm厚度的Ge层、354nm厚度的ZnS层、162nm厚度的Ge层、690nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、627nm厚度的ZnS层、346nm厚度的Ge层、679nm厚度的ZnS层、356nm厚度的Ge层、631nm厚度的ZnS层、359nm厚度的Ge层、549nm厚度的ZnS层、415nm厚度的Ge层、877nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、740nm厚度的ZnS层、461nm厚度的Ge层和1132nm厚度的ZnS层；所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有：699nm厚度的Ge层、440nm厚度的ZnS层、125nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、495nm厚度的Ge层、777nm厚度的ZnS层、235nm厚度的Ge层、573nm厚度的ZnS层、370nm厚度的Ge层、842nm厚度的ZnS层、499nm厚度的Ge层、1798nm厚度的ZnS层、675nm厚度的Ge层、1104nm厚度的ZnS层、605nm厚度的Ge层、1653nm厚度的ZnS层、624nm厚度的Ge层、1140nm厚度的ZnS层、653nm厚度的Ge层、1663nm厚度的ZnS层、582nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、839nm厚度的Ge层和530nm厚度的ZnS层。
上述各材料对应的厚度，其允许在公差范围内变化，其变化的范围属于本专利保护的范围，为等同关系。通常厚度的公差在10nm左右。
本发明所得到的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度。该滤光片50%Cut on＝7.6±0.05um，50%Cut off＝9.3±0.05um；1500～7100nm、9800～14000nm T≤3%；8000～9000nm T≥88%、7700～9200nm Tavg≥90%。
附图说明
图1是实施例整体结构示意图；
图2是实施例提供的红外光谱透过率实测曲线图。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图对本发明作进一步的描述。
实施例1：
如图1、图2所示，本实施例描述的通过带为7600-9300nm的红外测温滤光片，包括以Ge为原材料的基板2，以Ge、ZnS为第一镀膜层1和以Ge、ZnS为第二镀膜层3，且所述基板2位于第一镀膜层1和第二镀膜层3之间，所述第一镀膜层1由内向外依次排列包含有：192nm厚度的Ge层、272nm厚度的ZnS层、144nm厚度的Ge层、270nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、202nm厚度的ZnS层、101nm厚度的Ge层、241nm厚度的ZnS层、137nm厚度的Ge层、294nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、450nm厚度的ZnS层、173nm厚度的Ge层、323nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、318nm厚度的ZnS层、180nm厚度的Ge层、420nm厚度的ZnS层、229nm厚度的Ge层、452nm厚度的ZnS层、336nm厚度的Ge层、309nm厚度的ZnS层、249nm厚度的Ge层、365nm厚度的ZnS层、322nm厚度的Ge层、353nm厚度的ZnS层、357nm厚度的Ge层、354nm厚度的ZnS层、162nm厚度的Ge层、690nm厚度的ZnS层、239nm厚度的Ge层、627nm厚度的ZnS层、346nm厚度的Ge层、679nm厚度的ZnS层、356nm厚度的Ge层、631nm厚度的ZnS层、359nm厚度的Ge层、549nm厚度的ZnS层、415nm厚度的Ge层、877nm厚度的ZnS层、165nm厚度的Ge层、740nm厚度的ZnS层、461nm厚度的Ge层和1132nm厚度的ZnS层；所述第二镀膜层3由内向外依次排列包含有：699nm厚度的Ge层、440nm厚度的ZnS层、125nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、495nm厚度的Ge层、777nm厚度的ZnS层、235nm厚度的Ge层、573nm厚度的ZnS层、370nm厚度的Ge层、842nm厚度的ZnS层、499nm厚度的Ge层、1798nm厚度的ZnS层、675nm厚度的Ge层、1104nm厚度的ZnS层、605nm厚度的Ge层、1653nm厚度的ZnS层、624nm厚度的Ge层、1140nm厚度的ZnS层、653nm厚度的Ge层、1663nm厚度的ZnS层、582nm厚度的Ge层、1079nm厚度的ZnS层、839nm厚度的Ge层和530nm厚度的ZnS层。