光刻胶与显影液的恒温控制系统.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 103792790 A (43)申请公布日 2014.05.14 CN 103792790 A (21)申请号 201210424510.2 (22)申请日 2012.10.30 G03F 7/16(2006.01) G03F 7/30(2006.01) G05D 23/00(2006.01) (71)申请人 沈阳芯源微电子设备有限公司 地址 110168 辽宁省沈阳市浑南新区飞云路 16 号 (72)发明人 王冲 (74)专利代理机构 沈阳科苑专利商标代理有限 公司 21002 代理人 白振宇 (54) 发明名称 光刻胶与显影液的恒温控制系统 (57) 摘要 本发明。

2、涉及 IC 及 LED 行业， 具体地说是一种 光刻胶与显影液的恒温控制系统。包括恒温水控 制装置、 双层套管组件及喷嘴， 其中双层套管组件 设有两个双层管路， 每个双层管路的内层管路一 端均设有喷嘴， 另一端均为药液入口， 每个双层管 路的外层管路与喷嘴同侧的一端相互连通， 两个 外层管路与药液进口同侧的另一端分别设有恒温 水入口II和恒温水出口II， 所述恒温水控制装置 的恒温水入口 I 和恒温水出口 I 通过管路分别与 双层套管组件的恒温水出口 II 和恒温水入口 II 连接， 形成恒温水回路， 内层管路浸泡在恒温水 中， 通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液 的温度。 本发明安装简单。

3、， 控温精度高， 反应灵敏， 在 IC 和 LED 行业可广泛使用。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (10)申请公布号 CN 103792790 A CN 103792790 A 1/1 页 2 1. 一种光刻胶与显影液的恒温控制系统， 其特征在于 ： 包括恒温水控制装置 (10)、 双 层套管组件及喷嘴 (13)， 其中双层套管组件设有两个双层管路， 每个双层管路的内层管路 一端均设有喷嘴 (13)， 另一端均为药液入口， 每个双层管路的外层管路与喷嘴。

4、 (13) 同侧的 一端相互连通， 两个外层管路与药液进口同侧的另一端分别设有恒温水入口 II(14) 和恒 温水出口II(21)， 所述恒温水控制装置(10)的恒温水入口I(8)和恒温水出口I(9)通过管 路分别与双层套管组件的恒温水出口II(21)和恒温水入口II(14)连接， 形成恒温水回路， 内层管路浸泡在恒温水中， 通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。 2. 按权利要求 1 所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统， 其特征在于 ： 所述双层套管 组件包括套管连接件 I(5)、 套管连接件 II(7)、 套管连接件 III(6) 及两个套管内管 (22) 和 套管外管 (23)，。

5、 其中两个套管内管 (22) 分别设置于两个套管外管 (23) 内， 所述套管内管 (22) 外壁与套管外管 (23) 的内壁之间留有间隙， 形成两个所述双层管路， 每个双层管路的 一端分别通过套管连接件 I(5) 和套管连接件 II(7) 将套管内管 (22) 和套管外管 (23) 连 接， 两个双层管路的另一端通过套管连接件III(6)连接， 所述套管连接件III(6)上设有贯 通两个套管外管 (23) 的通孔， 所述套管连接件 I(5) 和套管连接件 II(7) 上分别设有与套 管外管 (23) 连通的恒温水入口 II(14) 和恒温水出口 II(21) ； 每个套管内管 (22) 的一。

6、端 均穿出套管连接件 III(6) 设有喷嘴 (13)， 另一端分别穿出套管连接件 I(5)、 套管连接件 II(7) 为药液入口端。 3. 按权利要求 2 所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统， 其特征在于 ： 所述套管连接 件 I(5) 和套管连接件 II(7) 结构相同， 其上均设有阶梯孔， 所述套管内管 (22) 穿过该阶梯 孔、 并与小直径孔密封连接， 阶梯孔的大直径端的端部沿轴向向外延伸形成接头， 所述接头 的内径大于套管内管(22)的直径， 接头的外壁与套管外管(23)的内壁密封连接， 所述套管 连接件 I(5) 和套管连接件 II(7) 的侧壁上分别设有与阶梯孔的大直径端连通的恒。

7、温水入 口 II(14) 和恒温水出口 II(21)。 4. 按权利要求 3 所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统， 其特征在于 ： 所述阶梯孔 的小直径孔端部设有容置密封机构的沉孔， 所述密封机构包括密封压块 (18) 和密封圈 II(20)， 其中密封圈 II(20) 套设于套管内管 (22) 上、 并设置于沉孔的底部， 所述密封圈 II(20) 通过密封压块 (18) 压紧。 5. 按权利要求 2 所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统， 其特征在于 ： 所述套管连接 件 III(6) 上设有两个阶梯孔， 每个阶梯孔内均穿过套管内管 (22)， 每个套管内管 (22) 均 与阶梯孔的小直径孔密。

8、封配合， 两个阶梯孔的大直径孔底部相互贯通、 并端口部分别沿轴 向向外延伸形成两个接头， 每个接头的内径大于套管内管 (22) 的直径、 并外壁与套管外管 (23) 的内壁密封连接。 6. 按权利要求 5 所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统， 其特征在于 ： 所述套管连接 件 III(6) 上的两个阶梯孔的小直径端均设有沉孔， 所述喷嘴 (13) 容置于该沉孔内、 并与 套管内管 (22) 连接， 喷嘴 (13) 与沉孔的底部之间设有套设于套管内管 (22) 上的密封圈 I(12)。 7. 按权利要求 1 所述的光刻胶与显影液的恒温控制系统， 其特征在于 ： 所述各药液进 口端均设有阀门。 权。

9、 利 要 求 书 CN 103792790 A 2 1/3 页 3 光刻胶与显影液的恒温控制系统 技术领域 0001 本发明涉及 IC 及 LED 行业， 具体地说是一种光刻胶与显影液的恒温控制系统。 背景技术 0002 在 IC( 集成电路 ) 及 LED( 发光二极管 ) 行业， 需要进行大量的光刻胶涂覆和显影 作业， 而光刻胶与显影液的温度对光刻胶的涂覆和显影效果有直接影响。 在IC及LED行业， 为了提高产品良率， 对光刻胶的膜厚， 均匀性和显影的均匀性都有较高的要求。 为了达到这 种要求， 就需要在进行光刻胶涂覆和显影作业时， 保证光刻胶和显影液的温度。 发明内容 0003 针对上述。

10、问题， 本发明的目的在于提供一种光刻胶与显影液的恒温控制系统。该 光刻胶与显影液的恒温控制系统使光刻胶与显影液从喷头喷出时温度恒定， 并且可以根据 工艺要求调整温度， 从而减小温度对光刻胶涂覆和显影的影响， 达到提高产品良率的目的。 0004 为了实现上述目的， 本发明采用以下技术方案 ： 0005 一种光刻胶与显影液的恒温控制系统， 包括恒温水控制装置、 双层套管组件及喷 嘴， 其中双层套管组件设有两个双层管路， 每个双层管路的内层管路一端均设有喷嘴， 另一 端均为药液入口， 每个双层管路的外层管路与喷嘴同侧的一端相互连通， 两个外层管路与 药液进口同侧的另一端分别设有恒温水入口 II 和恒。

11、温水出口 II， 所述恒温水控制装置的 恒温水入口 I 和恒温水出口 I 通过管路分别与双层套管组件的恒温水出口 II 和恒温水入 口 II 连接， 形成恒温水回路， 内层管路浸泡在恒温水中， 通过热交换控制内层管路中光刻 胶与显影液的温度。 0006 所述双层套管组件包括套管连接件I、 套管连接件II、 套管连接件III及两个套管 内管和套管外管， 其中两个套管内管分别设置于两个套管外管内， 所述套管内管外壁与套 管外管的内壁之间留有间隙， 形成两个所述双层管路， 每个双层管路的一端分别通过套管 连接件I和套管连接件II将套管内管和套管外管连接， 两个双层管路的另一端通过套管连 接件 III。

12、 连接， 所述套管连接件 III 上设有贯通两个套管外管的通孔， 所述套管连接件 I 和 套管连接件 II 上分别设有与套管外管连通的恒温水入口 II 和恒温水出口 II ； 每个套管内 管的一端均穿出套管连接件III设有喷嘴， 另一端分别穿出套管连接件I、 套管连接件II为 药液入口端。 0007 所述套管连接件 I 和套管连接件 II 结构相同， 其上均设有阶梯孔， 所述套管内管 穿过该阶梯孔、 并与小直径孔密封连接， 阶梯孔的大直径端的端部沿轴向向外延伸形成接 头， 所述接头的内径大于套管内管的直径， 接头的外壁与套管外管的内壁密封连接， 所述套 管连接件 I 和套管连接件 II 的侧壁。

13、上分别设有与阶梯孔的大直径端连通的恒温水入口 II 和恒温水出口 II。 0008 所述阶梯孔的小直径孔端部设有容置密封机构的沉孔， 所述密封机构包括密封压 块和密封圈 II， 其中密封圈 II 套设于套管内管上、 并设置于沉孔的底部， 所述密封圈 II 通 说 明 书 CN 103792790 A 3 2/3 页 4 过密封压块压紧。 0009 所述套管连接件 III 上设有两个阶梯孔， 每个阶梯孔内均穿过套管内管， 每个套 管内管均与阶梯孔的小直径孔密封配合， 两个阶梯孔的大直径孔底部相互贯通、 并端口部 分别沿轴向向外延伸形成两个接头， 每个接头的内径大于套管内管的直径、 并外壁与套管 。

14、外管的内壁密封连接。 0010 所述套管连接件 III 上的两个阶梯孔的小直径端均设有沉孔， 所述喷嘴容置于该 沉孔内、 并与套管内管连接， 喷嘴与沉孔的底部之间设有套设于套管内管上的密封圈 I。所 述各药液进口端均设有阀门。 0011 本发明的优点及有益效果是 ： 0012 1. 本发明通过恒温控制器产生恒温水， 恒温水在外层管路中循环， 内层管路中为 光刻胶或显影液， 通过内层管路和外层管路之间进行热交换达到控制光刻胶与显影液温度 的目的。 0013 2. 本发明具有结构简单、 安装方便、 响应时间快， 控温精度高等特点。 0014 3. 本发明能通过对恒温控制器温度的设定来改变光刻胶与显。

15、影液出口温度。 0015 4. 本发明在光刻胶与显影液流动过程中进行控温， 不占用设备工作时间。 附图说明 0016 图 1 为本发明的原理图 ； 0017 图 2 为本发明的套管及密封结构图。 0018 其中 ： 1 为冷却水入口， 2 为冷却水出口， 3 为阀门 I， 4 为阀门 II， 5 为套管连接件 I， 6 为套管连接件 III， 7 为套管连接件 II， 8 为恒温水入口 I， 9 为恒温水出口 I， 10 为恒温 水控制装置， 11 为喷头固定座， 12 为密封圈 I， 13 为喷嘴， 14 为恒温水入口 II， 15 为入口密 封座， 16为药液入口I， 17为出口密封座， 。

16、18为密封压块， 19为药液入口II， 20为密封圈II， 21 为恒温水出口 II， 22 为套管内管， 23 为套管外管。 具体实施方式 0019 下面结合附图对本发明作详细描述。 0020 如图 1、 图 2 所示， 本发明包括恒温水控制装置 10、 双层套管组件及喷嘴 13， 其中 所述双层套管组件包括套管连接件 I5、 套管连接件 II7、 套管连接件 III6 及两个套管内管 22 和套管外管 23， 其中两个套管内管 22 分别设置于两个套管外管 23 内， 套管内管 22 外壁 与套管外管 23 的内壁之间留有间隙， 形成两个双层管路。每个双层管路的一端分别通过套 管连接件 I。

17、5 和套管连接件 II7 将套管内管 22 和套管外管 23 连接， 两个双层管路的另一端 通过套管连接件 III6 连接， 套管连接件 III6 上设有贯通两个套管外管 23 的通孔， 套管连 接件 I5 和套管连接件 II7 上分别设有与套管外管 23 连通的恒温水入口 II14 和恒温水出 口 II21。恒温水控制装置 10 的恒温水入口 I8 和恒温水出口 I9 通过管路分别与双层套管 组件的恒温水出口 II21 和恒温水入口 II14 连接， 形成恒温水回路。每个套管内管 22 的一 端均穿出套管连接件 III6 设有喷嘴 13， 另一端分别穿出套管连接件 I5、 套管连接件 II7。

18、 为 药液入口 I16 和药液入口 II19， 药液入口 I16 和药液入口 II19 处分别设有阀门 I3 和阀门 II4。内层管路浸泡在恒温水中， 通过热交换控制内层管路中光刻胶与显影液的温度。 说 明 书 CN 103792790 A 4 3/3 页 5 0021 所述套管连接件I5为入口密封座15， 套管连接件II7为出口密封座17。 入口密封 座 15 和出口密封座 17 结构相同， 其上均设有阶梯孔， 套管内管 22 穿过该阶梯孔、 并与小直 径孔密封连接， 大直径孔的端部沿轴向向外延伸形成接头， 所述接头的内径大于套管内管 22 的直径， 接头的外壁与套管外管 23 的内壁密封连。

19、接。套管连接件 I5 和套管连接件 II7 的侧壁上分别设有与阶梯孔的大直径端连通的恒温水入口 II14 和恒温水出口 II21。各阶 梯孔的小直径孔端部均设有容置密封机构的沉孔， 所述密封机构包括密封压块 18 和密封 圈 II20， 其中密封圈 II20 套设于套管内管 22 上、 并设置于沉孔的底部， 密封圈 II20 通过 密封压块 18 压紧变形后抱紧套管内管 22 的外壁来实现密封， 这样套管内管 22 和套管外管 23 中的恒温水就不会从与套管内管 22 的连接处漏出来。 0022 所述套管连接件 III6 为喷头固定座 11， 其上设有两个阶梯孔， 每个阶梯孔内均穿 过套管内管。

20、 22， 每个套管内管 22 均与阶梯孔的小直径孔密封配合。两个小直径孔的端部 均设有沉孔， 喷嘴 13 容置于该沉孔中、 并与套管内管 22 连接。密封圈 I12 套设于套管内管 22 上、 并容置于沉孔底部， 密封圈 I12 通过喷嘴 13 压紧。两个阶梯孔的大直径端的端口部 分别沿轴向向外延伸形成两个接头， 每个接头的内径大于套管内管 22 的直径、 并外壁分别 与两个套管外管 23 的内壁密封连接。两个阶梯孔的大直径孔底部相互贯通， 将两个套管外 管 23 连通， 形成回路。 0023 本发明的工作过程是 ： 0024 在进行某种工艺处理时， 开启恒温水控制装置 10， 经过恒温水控制。

21、装置 10 控制产 生的恒温水， 从恒温水出口 I9 经过管路， 通过恒温水入口 II14 进入套管连接件 I5， 恒温水 进入套管内管 22 与套管外管 23 形成的缝隙中， 即进入外层管路。通过套管连接件 III6 上 的贯通孔进入回路， 通过恒温水出口 II21 进入管路回到恒温水入口 I8， 进入恒温水控制装 置 10， 形成循环回路。通过恒温水控制装置 10PID 调整， 保持整个循环中的水温保持恒定。 冷却水从冷却水入口1进入， 带走恒温水控制装置10中热交换产生的热量后从冷却水出口 2 出来。当工艺需要时， 打开阀 I3、 阀 II4， 光刻胶或显影液进入管路， 从管路通过药液入。

22、口 I16和药液入口II19进入套管内管22内， 浸泡在恒温水中， 套管内管22从套管连接件III6 分离， 到达喷嘴 13， 根据工艺需要从喷嘴 13 释放出相应体积并符合温度要求的光刻胶或显 影液。 0025 在系统工作的整个过程中， 套管外管 23 中的恒温水和套管内管 22 中的光刻胶或 显影液要完全分离开， 防止交叉污染。该系统在整个光刻胶或显影液的流动路径上都能进 行热交换， 出口的温度和恒温水的温度是一致的， 通过调整恒温水控制装置 10 的设定改变 出口处光刻胶或显影液的温度， 满足工艺要求。 本发明安装简单， 控温精度高， 反应灵敏， 在 IC 和 LED 行业可广泛使用。 说 明 书 CN 103792790 A 5 1/2 页 6 图 1 说 明 书 附 图 CN 103792790 A 6 2/2 页 7 图 2 说 明 书 附 图 CN 103792790 A 7 。