一种干式真空泵的排气结构技术领域
本发明属于干式真空泵领域，具体地说是一种干式真空泵的排气
结构。
背景技术
干式真空泵是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由
于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化
学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。
随着半导体工业、电子工业的蓬勃兴起，对于真空环境的要求越
来越多、越来越严格。由于由普通的油封机械泵、扩散泵所组成的真
空系统易于向真空室中返油，真空室中的油分子会在硅片晶体上沉
积，使硅晶体成为废品。所以，这样的真空系统在半导体工业、电子
工业中的应用受到了限制。相反，由于干式真空泵不需要润滑油来润
滑密封，做到了无油蒸汽污染，而且对被抽气体中含有的灰尘和水蒸
气不敏感。所以，由干式真空泵组成的真空系统得到了广泛的应用，
并在半导体工业、电子工业的发展过程中起到了推动的作用。
由于在实际中，真空泵常常处于大负载的工况下；气体流经多级
泵腔经过逐级压缩，最后经泵的排气口排出。传统干式真空泵只设置
一个排气口，转子与腔体间隙逐级减小，因此，当气载过大时会造成
真空泵功率增加，导致电机损坏或排气级转子与腔体卡死。
发明内容
为了解决多级干式真空泵在大负载下工作时电机损坏或排气级
转子与泵腔卡死的问题，本发明的目的在于提供一种干式真空泵的排
气结构。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
本发明的干式真空泵包括多级泵腔；所述多级泵腔中的一级泵腔
上开有进气口，最后一级泵腔上开有排气口，在所述最后一级泵腔的
前一级泵腔上开有安全排气口，该安全排气口处设有安全阀。
其中：所述安全阀包括阀体、芯轴、滑套及阀瓣，阀体安装在所
述安全排气口外，在所述阀体上设有套有滑套的芯轴，所述阀瓣与芯
轴相铰接、可绕所述芯轴转动，所述阀瓣与阀体处于闭合状态时密封
接触；所述阀体中间开孔，孔内安装有O型密封圈，所述阀瓣通过该
O型密封圈在与阀体处于闭合状态时密封接触。
本发明的优点与积极效果为：
1.本发明在排气口所在级泵腔的前一级泵腔设置了安全排气口，
并在安全排气口处安装了安全阀，当排气口所在级泵腔排气压力过大
时，安全阀会自动打开从安全排气口出排气，避免因负载过大导致电
机损坏或排气级转子与泵腔热膨胀卡死的现象发生。
2.本发明的完全阀为机械式，不涉及到复杂的电气控制部分，
结构简单，成本低。
附图说明
图1为干式真空泵的结构示意图；
图2为本发明的结构原理图；
图3为本发明安全阀的结构示意图；
其中：1为电机，2为进气口，3为排气口，4为隔板，5为一级
泵腔，6为二级泵腔，7为三级泵腔，8为四级泵腔，9为五级泵腔，
10为安全排气口，11为安全阀，12为阀体，13为芯轴，14为滑套，
15为阀瓣，16为O型密封圈。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详述。
如图1、图2所示，多级干式真空泵包括多级泵腔和位于各级泵
腔中的主动轴、从动轴、转子、隔板4及轴套，主动轴由电机1驱动
旋转，通过主动轴及从动轴上的转子相互啮合，各级泵腔之间通过隔
板4隔成独立的单元。多级泵腔中的一级泵腔上开有进气口2，最后
一级泵腔上开有排气口3。本实施例分为五级泵腔，分别为一级泵腔
5、二级泵腔6、三级泵腔7、四级泵腔8及五级泵腔9，一级泵腔5
上开有进气口2，五级泵腔9上开有排气口3。在排气口3所在级泵
腔(本实施例为五级泵腔9)的前一级泵腔(本实施例为四级泵腔8)
上开有安全排气口10，该安全排气口10处设有安全阀11。
本发明的安全阀为机械式，无需电控操作。如图3所示，安全阀
11包括阀体12、芯轴13、滑套14及阀瓣15，其中阀体12安装在安
全排气口10外，阀体12为直径大小不等的两个圆柱，中间开孔，孔
内安装有O型密封圈16。在阀体12朝外侧的表面上安装有芯轴13，
滑套14套在芯轴13上。阀瓣15与芯轴13相铰接、可绕芯轴13转
动；阀瓣15呈圆盘状，内表面中间设有凸起。阀瓣15与阀体12处
于闭合状态时，通过O型密封圈16与阀体12密封接触。
本发明的工作原理为：
当多级干式真空泵工作运转时，阀瓣15与阀体12通过O型密封
圈16密封。当多级干式真空泵负载过大时，排气口3所在级泵腔的
排气压力过大，安全阀11在气体压力的作用下阀瓣15会自动绕芯轴
13、滑套14转动，安全阀11打自动打开，从安全排气口10处排气。
多级干式真空泵负载小、安全阀11关闭时，安全阀11被安全排
气口10所在级泵腔内部真空吸附，处于密封状态，不影响多级干式
真空泵的真空度。