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一种微流量传感器,包括覆盖层、电极层及隔离层,所述电极层包括基板以及沉积于基板上的至少一电极,所述至少一电极的厚度小于10m,所述隔离层设置于电极层与覆盖层之间,隔离层上形成有至少一流道用于容纳液体,其制造与使用方法包括:提供一基板并在所述基板上沉积导电材料形成至少一厚度小于10m电极;提供一隔离层并将所述隔离层的第一表面贴附于基板上,所述隔离层形成有至少一流道横跨所述至少一电极;以及提供一覆盖层。