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本发明公开了一种防氧化物料切割方法及装置,本发明方法是将切割物料置于一封闭箱体内,对封闭箱体抽真空后再充入阻隔防氧化气体,通过置于箱体内的切割设备进行防氧化切割。所述阻隔防氧化气体为氮气或二氧化碳之一或其混合气体,气体浓度为80100。本发明方法可排除或隔绝可封闭箱体内的氧化剂物质与被切割物料的接触,并通过冷却破坏氧化反应发生的温度条件,从而达到阻隔防氧化效果。适用于单晶硅、多晶硅等贵重物料的切割。