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1、(10)申请公布号 CN 102227518 A (43)申请公布日 2011.10.26 CN 102227518 A *CN102227518A* (21)申请号 200980148362.2 (22)申请日 2009.11.19 200810203716.6 2008.11.28 CN C23G 1/18(2006.01) C11D 7/32(2006.01) H01L 21/306(2006.01) C08J 3/03(2006.01) (71)申请人 安集微电子 ( 上海 ) 有限公司 地址 201203 中国上海市浦东新区张江高 科技园区龙东大道 3000 号 5 号楼 613-6。
2、18 室 (72)发明人 刘兵 彭洪修 (74)专利代理机构 上海翰鸿律师事务所 31246 代理人 李佳铭 (54) 发明名称 一种含氟组合物及其应用 (57) 摘要 本发明公开了一种含氟组合物， 其含有氟化 物、 聚乙烯吡咯烷酮类聚合物和载体。 本发明克服 了现有的含氟组合物存在的多晶硅腐蚀速率大的 缺陷， 通过加入筛选出的在含氟体系中适用的多 晶硅腐蚀抑制剂聚乙烯吡咯烷酮类聚合物， 提供 了一种有效抑制多晶硅腐蚀速率的含氟组合物， 进一步拓宽了含氟组合物在半导体晶片清洗、 多 晶硅机械抛光和湿蚀刻， 太阳能电池等领域的应 用范围。本发明还公开了含氟组合物在清洗半导 体晶片中的应用。 (66)本国优先权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2011.05.27 (86)PCT申请的申请数据 PCT/CN2009/001282 2009.11.19 (87)PCT申请的公布数据 WO2010/060271 ZH 2010.06.03 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 。