芯片焊接机和芯片的位置识别方法.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 103681396 A (43)申请公布日 2014.03.26 CN 103681396 A (21)申请号 201310066300.5 (22)申请日 2013.03.01 2012-204006 2012.09.18 JP H01L 21/66(2006.01) B23K 37/00(2006.01) (71)申请人株式会社日立高新技术仪器地址日本埼玉县 (72)发明人大森僚小桥英晴 (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人许静郭凤麟 (54) 发明名称芯片焊接机和芯片的位置识别方法 (57) 摘要本发明提供芯。

2、片焊接机和芯片的位置识别方法。在芯片焊接机中，与晶圆上的芯片的状态无关地正确地进行芯片的位置识别。具备：对晶圆进行拍摄的摄像部；存储摄像部拍摄到的晶圆的图像、存储了在晶圆上形成的芯片的轮廓的识别图案、以及上述识别程序的存储部；接收表示上述晶圆的每个上述芯片良好或不良的地图数据的通信部；通过执行上述识别程序，将上述晶圆上形成的上述芯片与上述识别图案进行对照，求出上述芯片的中心位置，并求出上述地图数据为良好的上述芯片在上述晶圆上的位置的控制 / 运算部。并且，芯片的识别图案是存储了轮廓的图案，通过控制 / 运算部执行识别程序，将晶圆上形成的。

3、芯片与识别图案进行对照，来求出芯片的中心位置。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页说明书 5 页附图 5 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请权利要求书1页说明书5页附图5页 (10)申请公布号 CN 103681396 A CN 103681396 A 1/1 页 2 1. 一种芯片焊接机，其特征在于，具备：对晶圆进行拍摄的摄像部；存储上述摄像部拍摄到的上述晶圆的图像、存储了在上述晶圆上形成的芯片的轮廓的识别图案、以及上述识别程序的存储部；接收表示上述晶圆的每个上述芯片良好或不良的地图数据的通信部；。

4、通过执行上述识别程序，将上述晶圆上形成的上述芯片与上述识别图案进行对照，求出上述芯片的中心位置，并求出上述地图数据为良好的上述芯片在上述晶圆上的位置的控制 / 运算部。 2. 根据权利要求 1 所述的芯片焊接机，其特征在于，上述芯片的识别图案对于一个设计规格的芯片为一种，与作为对象的芯片所对应的地图数据的良好、不良无关，用于求出上述芯片的中心位置。 3. 根据权利要求 1 所述的芯片焊接机，其特征在于，在无法将上述识别图案与上述芯片的图案进行比较时，根据在上述晶圆上形成的切割槽来求出成为对象的上述芯片的中心位置。 4. 一种芯片的位置识别方法，其特征在于，包括。

5、：把对晶圆进行拍摄的摄像部拍摄到的上述晶圆存储在存储部中的工序；通过控制 / 运算部执行识别程序，生成存储了上述晶圆上形成的芯片的轮廓的上述芯片的一种识别图案的工序；通过上述控制 / 运算部执行识别程序，将上述晶圆上形成的上述芯片与上述识别图案进行对照，识别上述芯片的中心位置的工序；通过上述控制 / 运算部执行识别程序，将上述晶圆上形成的上述芯片与上述识别图案进行对照，在无法将上述芯片的图案与上述识别图案进行比较时，根据该芯片的切割槽求出成为对象的上述芯片的中心位置的工序。权利要求书 CN 103681396 A 2 1/5 页 3 芯片焊接机和芯。

6、片的位置识别方法技术领域 0001 本发明涉及一种芯片焊接机和芯片的位置识别方法，特别涉及适合于正确地识别晶圆上的芯片的位置，确实地拾取芯片的芯片焊接机和芯片的位置识别方法。背景技术 0002 作为半导体制造装置之一，具有将半导体芯片（芯片）焊接在引线框等基板上的芯片焊接机。在芯片焊接机中，通过焊头对芯片进行真空吸附，高速地上升、水平移动、下降并安装到基板上。 0003 在通过焊头对芯片进行真空吸附的情况下，必须确实地拾取芯片。伴随着当今芯片的超薄化，该要求不断提高。为此，在芯片焊接机中，对芯片的位置进行识别检测出芯片的偏离，然后对焊头的位置进行修正。

7、，来拾取芯片。 0004 作为识别芯片位置的方法，例如有专利文献 1、 2 所示的技术。在专利文献 1 中，如图 5 所示，揭示了以下的方法，即对芯片的对位标记 M 或焊盘 BP 的特有的部分 Pa 中的摄像数据和预先通过仿真动作得到的模板进行图案匹配，识别芯片的位置。另一方面，在专利文献2中，如图5所示，揭示了以下的方法，即对具有芯片的摄像数据进行二值化处理等，检测出将在晶圆上形成了多个的芯片分开后的切割的槽，求出芯片的中心位置。 0005 在芯片焊接机中，根据被称为地图数据的表示芯片良好、不良的信息，拾取良好的芯片。 0006 以下，使用图 7 。

8、说明拾取良好芯片的处理。 0007 图 7 是说明晶圆上的芯片的状态的图。 0008 假设良好芯片是芯片 a、芯片 f。 0009 这时，在求出芯片 a 的中心位置后，逐个求出下一个芯片 b、芯片 c、芯片 d 的中心位置，到达芯片 f 的中心位置。在此，不良芯片 b、芯片 c、芯片 d 有可能产生位置偏离等，因此为了从芯片 a 的中心位置到达芯片 f 的中心位置，需要正确地求出不良芯片 b、芯片 c、芯片 d 的中心位置。另外，在途中还要考虑到芯片的图案缺损的情况，因此还需要应对该情况。 0010 作为芯片的识别方法，具有使用了图案识别的方法、使用了。

9、芯片的轮廓的方法。在使用了图案识别的方法中，需要与各个芯片的图案对应地登录模板。另外，在晶圆上形成的芯片有时四边的轮廓不清楚，在这样的情况下，无法使用使用了轮廓的识别方法。 0011 专利文献 1 ：日本特开 2003-188193 号公报 0012 专利文献 2 ：日本特开 2011-061069 号公报发明内容 0013 本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，提供一种芯片焊接机，其能够与晶圆上的芯片的状态无关地进行芯片的位置识别。 0014 本发明的芯片焊接机具备：对晶圆进行拍摄的摄像部；存储上述摄像部拍摄到的说明书 CN 1036813。

10、96 A 3 2/5 页 4 上述晶圆的图像、存储了在上述晶圆上形成的芯片的轮廓的识别图案、以及上述识别程序的存储部；接收表示上述晶圆的每个上述芯片良好或不良的地图数据的通信部；通过执行上述识别程序，将上述晶圆上形成的上述芯片与上述识别图案进行对照，求出上述芯片的中心位置，并求出上述地图数据为良好的上述芯片在上述晶圆上的位置的控制 / 运算部。 0015 另外，芯片的识别图案是存储了轮廓的图案，通过由控制 / 运算部执行识别程序，将晶圆上形成的芯片与识别图案进行对照，求出芯片的中心位置，求出地图数据良好的芯片在晶圆上的位置。 0016 在此，芯片的识别图案。

11、为一种，与作为对象的芯片所对应的地图数据的良好、不良无关，用于求出上述芯片的中心位置。 0017 另外，在无法将识别图案与芯片的图案进行比较时，根据在晶圆上形成的切割槽来求出成为对象的芯片的中心位置。 0018 根据本发明，能够提供一种能够与晶圆上的芯片的状态无关地正确地进行芯片的位置识别的芯片焊接机。附图说明 0019 图 1 是表示从上面看本发明一个实施方式的芯片焊接机 10 的结构的概要的图。 0020 图 2 是表示本实施方式的光学系统结构图的图。 0021 图 3 是控制系统 40 的概要结构图。 0022 图 4 是说明与地图数据相关联的设备结构的概念图。 00。

12、23 图 5 是说明芯片焊接机对晶圆上的芯片的位置识别的方法的图。 0024 图 6 是说明芯片焊接机对晶圆上的芯片的位置识别的处理的流程图。 0025 图 7 是说明晶圆上的芯片的状态的图。具体实施方式 0026 以下，使用图 1 图 6 说明本发明的一实施方式的芯片焊接机。 0027 首先，使用图 1 图 3 说明本发明的一实施方式的芯片焊接机的结构。 0028 图1是表示从上面看本发明的一个实施方式的芯片焊接机10的结构的概要的图。 0029 图 2 是表示本实施方式的光学系统结构图的图。 0030 图 3 是控制系统 40 的概要结构图。 0031 芯片焊接机大致具有晶圆供给部。

13、1、工件供给 / 运送部 2、芯片焊接部 3。 0032 晶圆供给部 1 具有晶圆匣升降机 11、拾取装置 12。 0033 晶圆匣升降机11具有填充了晶圆环的晶圆匣（未图示），顺序地将晶圆环提供给拾取装置 12。拾取装置 12 使晶圆环移动以便能够从晶圆环中拾取希望的芯片。 0034 工件供给 / 运送部 2 具有堆料装料机 21、框供给机 22、卸载机 23，将工件（引线框等基板）向箭头方向运送。堆料装料机 21 将粘接芯片的工件提供给框供给机 22。框供给机 22 经由框供给机 22 上的 2 个位置的处理位置，将工件运送到卸载机 23。卸载机 23 保管。

14、运送的工件。 0035 芯片焊接部 3 具有预形成部（膏涂覆单元） 31、焊头部 32。预形成部 31 用针将芯片粘结剂涂覆到通过框供给机 22 运送来的工件、例如引线框上。焊头部 32 从拾取装置 12 说明书 CN 103681396 A 4 3/5 页 5 拾取芯片后上升，将芯片移动到框供给机 22 上的焊接点。然后，焊头部 32 使芯片在焊接点下降，将芯片焊接到涂覆了芯片粘结剂的工件上。 0036 焊头部 32 具有使焊头 35（参照图 2）在 Z（高度）方向上升降，在 Y 方向上移动的 ZY 驱动轴 60 和在 X 方向上移动的 X 驱动轴 70。ZY 驱动。

15、轴 60 具有使焊头 35 在 Y 方向上，即拾取装置 12 内的拾取位置和焊接点之间往返的 Y 驱动轴 80 以及为了从晶圆拾取芯片或将芯片焊接到基板 B 上使焊头 35 升降的 Z 驱动轴 50。X 驱动轴 70 使 ZY 驱动轴 60 整体在运送工件的方向即 X 方向上移动。 0037 光学系统 38 如图 2 所示，具备：掌握针 36 的涂覆位置的预形成部光学系统 33 ；掌握焊头 35 在运送来的基板 B 上进行焊接的焊接位置的焊接部光学系统 34 ；掌握焊头 35 从晶圆 14 拾取的芯片 D 的拾取位置的晶圆部光学系统 15。各部光学系统具有向对象照明的照明。

16、装置和照相机。在晶圆 14 中切割为网眼状的芯片 D 被固定在固定于晶圆环 16 上的切割带 17 上。 0038 通过该结构，用针36将芯片粘结剂涂覆到正确的位置，通过焊头35确实地拾取芯片 D，将其焊接到基板 B 的正确的位置。 0039 控制系统 40 如图 3 所示，大致具备主要由 CPU 构成的控制 / 运算部 41、存储装置 42、输入输出装置 43、总线 44、电源部 45、通信接口部 46。 0040 存储装置 42 具备由存储有处理程序等的 RAM 构成的主存储装置 42a、存储有控制所需要的控制数据、图像数据等的 HDD（硬盘驱动器）、由 S。

17、SD（固态驱动器）构成的辅助存储装置 42b。 0041 输入输出装置 43 具备显示装置状态、信息等的监视器 43a、输入操作者的指示的触摸板43b、操作监视器的鼠标43c、取得来自光学系统38的图像数据的图像取得装置43d、控制拾取装置 12 的 XY 台（未图示）、 ZY 驱动轴 60 等的电动机 65 的电动机控制装置 43e、取得或控制各种传感器信号、来自照明装置等的开关等的信号部66的信号的I/O信号控制装置 43f。控制 / 运算部 41 经由总线 44 取得需要的数据并进行运算，将信息发送到焊头 35 等的控制、监视器 43a 等。 0042 通。

18、信接口部 46 是与外部的系统、设备进行通信的部分。 0043 在辅助存储装置42b中，存储有控制芯片焊接机10的各部的控制程序200、进行芯片 D 的识别的识别程序 201、芯片 D 的识别图案 P。进行芯片 D 的识别的识别程序 201 包含预先生成用于进行识别的芯片 D 的识别图案 P 的功能。 0044 将控制程序 200 和地图数据 M 装载到主存储装置 42a 中，通过控制 / 运算部 41 执行。 0045 芯片 D 的识别图案 P 是在识别芯片在晶圆上的位置时，由识别程序参照的数据。 0046 接着，使用图 4 说明与地图数据相关联的设备结构。 0047 图。

19、 4 是说明与地图数据相关联的设备结构的概念图。 0048 芯片焊接机 10 经由通信接口部 46 与外部的 PC（个人计算机） 90 连接。 0049 对于晶圆 W，检查装置 30 通过晶圆的外观检查工序对每个芯片进行检查，对每个芯片生成表示良好、不良的地图数据 M 并发送到 PC90。地图数据 M 是在通过外部的检查装置检查晶圆时生成的数据，对晶圆上的每个芯片保存良好、不良的信息。另外，地图数据 M 暂时存储在与 PC90 连接的辅助存储装置 91 中，然后被转送到芯片焊接机 10。说明书 CN 103681396 A 5 4/5 页 6 0050 接着，使用图。

20、5 图 6 说明本发明的一实施方式的芯片焊接机对晶圆上的芯片的位置识别方法。 0051 图 5 是说明芯片焊接机对晶圆上的芯片的位置识别的方法的图。 0052 图 6 是说明芯片焊接机对晶圆上的芯片的位置识别的处理的流程图。 0053 芯片焊接机 10 为了从晶圆上拾取芯片 D，需要正确地识别在晶圆上形成的良好的芯片 D。 0054 在此，通过晶圆部光学系统15拍摄晶圆的图像，并放入到辅助存储装置42b中。另外，通过晶圆的外观检查工序对每个芯片进行检查，对每个芯片生成表示良好、不良的地图数据 M，在识别时，从 PC90 转送并取得。 0055 芯片焊接机10通过由控制。

21、/识别装置41执行识别程序201，为了拾取良好的芯片 D，如下那样进行晶圆上的芯片的位置识别。 0056 为了拾取良好的芯片 D，求出芯片 D 的中心位置（芯片中心）即可。 0057 首先，根据地图数据 M 判断对象的芯片 D 良好还是不良。在此，在芯片 D 良好时，在地图数据中存储 “1” ，在不良时，存储 “0” （图 6 ： S01）。 0058 在芯片 D 良好（地图数据： 1）时（图 5A），将芯片 D 的图案和识别图案 P 的图案进行比较（S02），求出芯片的中心位置（S03）。 0059 识别图案 P 设为具有与良好的芯片 D 相同大。

22、小的镜面芯片（没有形成电路图案的芯片），将其轮廓信息保存为识别图案 P 的数据。对于该识别图案 P，基于芯片 D 的设计值、良好芯片的拍摄图像，由识别程序 201 生成，并保存在辅助存储装置 48b 中。针对一个设计规格的芯片 D 生成一种识别图案 P，不会为了识别相同的晶圆而生成多个图案，即例如不会像良好图案、不良品轮廓有缺失的图案等那样生成与情况对应的图案。 0060 在芯片 D 不良（地图数据： 0）时，将对芯片 D 的图案和识别图案 P 的图案进行比较（S04），判断是否能够进行图案比较（S05）。 0061 在芯片 D 不良（地图数据：。

23、 0）时，如图 5B 那样，在芯片 D 的轮廓不明确的情况下，如图 5C 那样，存在在一个晶圆上形成其他图案的情况。在一个晶圆上形成有其他图案的情况是指在晶圆上形成有被称为标签芯片的测试用的评价芯片的情况等，将这时的标签芯片作为不良品处理。 0062 在能够将芯片D的图案和识别图案P的图案进行比较时，根据该图案，求出不良的芯片的中心位置（S06）。 0063 在不能将芯片 D 的图案和识别图案 P 的图案进行比较时，例如在该位置没有形成图案时，根据切割槽求出不良芯片的中心位置（图 5D、 S07）。切割槽是指在晶圆上附带的用于切割芯片的槽。 0064 然后。

24、，判断是否有下一个芯片 D（S10），在没有时结束，在有下一个芯片 D 时，求出下一个芯片 D 的大致位置，将下一个芯片 D 作为检查的对象（S11），返回到 S01。 0065 由此，只准备一个镜面图案的识别图案，就能够正确地求出良好的芯片、不良芯片双方的芯片的中心位置。即使在芯片的图案有缺损时，也能够根据芯片的切割槽，识别有缺损的芯片的大致位置。 0066 附图标记说明 0067 B ：基板； D ：芯片； P ：识别图案； M ：地图数据； 10 ：芯片焊接机； 1 ：晶圆供给部； 11 ：说明书 CN 103681396。

25、 A 6 5/5 页 7 晶圆匣升降机； 12 ：拾取装置； 14 ：晶圆； 15 ：晶圆部光学系统； 16 ：晶圆环； 17 ：切割带； 2 ：工件供给 / 运送部； 21 ：堆料装料机； 22 ：框供给机； 23 ：卸载机； 3 ：芯片焊接部； 31 ：预形成部（膏涂覆单元）； 32 ：焊头部； 35 ：焊头； 33 ：预形成部光学系统 34 ：焊接部光学系统； 36 ：针； 38 ：光学系统； 35 ：焊头； 50 ： Z 驱动轴； 60 ： ZY 驱动轴； 70 ： X 驱动轴； 80 ： Y 驱动轴；。

26、 40 ：控制系统； 41 ：控制 / 运算部； 42 ：存储装置； 42a 主存储装置； 42b ：辅助存储装置； 43 ：输入输出装置； 43a ：监视器； 43b ：触摸板； 43c ：鼠标； 43d ：图像取得装置； 43e ：电动机控制装置； 43f ：信号控制装置； 44 ：总线； 45 ：电源部； 46 ：通信接口部； 65 ：电动机； 66 ：信号部； 200 ：控制程序； 201 ：识别程序。说明书 CN 103681396 A 7 1/5 页 8 图 1 图 2 说明书附图 CN 103681396 A 8 2/5 页 9 图 3 说明书附图 CN 103681396 A 9 3/5 页 10 图 4 说明书附图 CN 103681396 A 10 4/5 页 11 图 5 说明书附图 CN 103681396 A 11 5/5 页 12 图 6 图 7 说明书附图 CN 103681396 A 12 。

摘要
申请专利号：	CN201310066300.5	申请日：	2013.03.01
公开号：	CN103681396A	公开日：	2014.03.26
当前法律状态：	撤回	有效性：	无权
法律详情：	发明专利申请公布后的视为撤回IPC(主分类):H01L 21/66申请公布日:20140326\|\|\|专利申请权的转移IPC(主分类):H01L 21/66变更事项:申请人变更前权利人:株式会社日立高新技术仪器变更后权利人:捷进科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:埼玉县变更后权利人:日本山梨县登记生效日:20150715\|\|\|实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20130301\|\|\|公开
IPC分类号：	H01L21/66; B23K37/00	主分类号：	H01L21/66
申请人：	株式会社日立高新技术仪器
发明人：	大森僚; 小桥英晴
地址：	日本埼玉县
优先权：	2012.09.18 JP 2012-204006
专利代理机构：	北京银龙知识产权代理有限公司 11243	代理人：	许静;郭凤麟
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内容摘要

本发明提供芯片焊接机和芯片的位置识别方法。在芯片焊接机中，与晶圆上的芯片的状态无关地正确地进行芯片的位置识别。具备：对晶圆进行拍摄的摄像部；存储摄像部拍摄到的晶圆的图像、存储了在晶圆上形成的芯片的轮廓的识别图案、以及上述识别程序的存储部；接收表示上述晶圆的每个上述芯片良好或不良的地图数据的通信部；通过执行上述识别程序，将上述晶圆上形成的上述芯片与上述识别图案进行对照，求出上述芯片的中心位置，并求出上述地图数据为良好的上述芯片在上述晶圆上的位置的控制/运算部。并且，芯片的识别图案是存储了轮廓的图案，通过控制/运算部执行识别程序，将晶圆上形成的芯片与识别图案进行对照，来求出芯片的中心位置。

权利要求书

权利要求书
1.  一种芯片焊接机，其特征在于，具备：
对晶圆进行拍摄的摄像部；
存储上述摄像部拍摄到的上述晶圆的图像、存储了在上述晶圆上形成的芯片的轮廓的识别图案、以及上述识别程序的存储部；
接收表示上述晶圆的每个上述芯片良好或不良的地图数据的通信部；
通过执行上述识别程序，将上述晶圆上形成的上述芯片与上述识别图案进行对照，求出上述芯片的中心位置，并求出上述地图数据为良好的上述芯片在上述晶圆上的位置的控制/运算部。

2.  根据权利要求1所述的芯片焊接机，其特征在于，
上述芯片的识别图案对于一个设计规格的芯片为一种，与作为对象的芯片所对应的地图数据的良好、不良无关，用于求出上述芯片的中心位置。

3.  根据权利要求1所述的芯片焊接机，其特征在于，
在无法将上述识别图案与上述芯片的图案进行比较时，根据在上述晶圆上形成的切割槽来求出成为对象的上述芯片的中心位置。

4.  一种芯片的位置识别方法，其特征在于，包括：
把对晶圆进行拍摄的摄像部拍摄到的上述晶圆存储在存储部中的工序；
通过控制/运算部执行识别程序，生成存储了上述晶圆上形成的芯片的轮廓的上述芯片的一种识别图案的工序；
通过上述控制/运算部执行识别程序，将上述晶圆上形成的上述芯片与上述识别图案进行对照，识别上述芯片的中心位置的工序；
通过上述控制/运算部执行识别程序，将上述晶圆上形成的上述芯片与上述识别图案进行对照，在无法将上述芯片的图案与上述识别图案进行比较时，根据该芯片的切割槽求出成为对象的上述芯片的中心位置的工序。

说明书

说明书芯片焊接机和芯片的位置识别方法
技术领域
本发明涉及一种芯片焊接机和芯片的位置识别方法，特别涉及适合于正确地识别晶圆上的芯片的位置，确实地拾取芯片的芯片焊接机和芯片的位置识别方法。
背景技术
作为半导体制造装置之一，具有将半导体芯片（芯片）焊接在引线框等基板上的芯片焊接机。在芯片焊接机中，通过焊头对芯片进行真空吸附，高速地上升、水平移动、下降并安装到基板上。
在通过焊头对芯片进行真空吸附的情况下，必须确实地拾取芯片。伴随着当今芯片的超薄化，该要求不断提高。为此，在芯片焊接机中，对芯片的位置进行识别检测出芯片的偏离，然后对焊头的位置进行修正，来拾取芯片。
作为识别芯片位置的方法，例如有专利文献1、2所示的技术。在专利文献1中，如图5所示，揭示了以下的方法，即对芯片的对位标记M或焊盘BP的特有的部分Pa中的摄像数据和预先通过仿真动作得到的模板进行图案匹配，识别芯片的位置。另一方面，在专利文献2中，如图5所示，揭示了以下的方法，即对具有芯片的摄像数据进行二值化处理等，检测出将在晶圆上形成了多个的芯片分开后的切割的槽，求出芯片的中心位置。
在芯片焊接机中，根据被称为地图数据的表示芯片良好、不良的信息，拾取良好的芯片。
以下，使用图7说明拾取良好芯片的处理。
图7是说明晶圆上的芯片的状态的图。
假设良好芯片是芯片a、芯片f。
这时，在求出芯片a的中心位置后，逐个求出下一个芯片b、芯片c、芯片d的中心位置，到达芯片f的中心位置。在此，不良芯片b、芯片c、芯片d有可能产生位置偏离等，因此为了从芯片a的中心位置到达芯片f的中心位置，需要正确地求出不良芯片b、芯片c、芯片d的中心位置。另外，在途中还要考虑到芯片的图案缺损的情况，因此还需要应对该情况。
作为芯片的识别方法，具有使用了图案识别的方法、使用了芯片的轮廓的方法。在使用了图案识别的方法中，需要与各个芯片的图案对应地登录模板。另外，在晶圆上形成的芯片有时四边的轮廓不清楚，在这样的情况下，无法使用使用了轮廓的识别方法。
专利文献1：日本特开2003-188193号公报
专利文献2：日本特开2011-061069号公报
发明内容
本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，提供一种芯片焊接机，其能够与晶圆上的芯片的状态无关地进行芯片的位置识别。
本发明的芯片焊接机具备：对晶圆进行拍摄的摄像部；存储上述摄像部拍摄到的上述晶圆的图像、存储了在上述晶圆上形成的芯片的轮廓的识别图案、以及上述识别程序的存储部；接收表示上述晶圆的每个上述芯片良好或不良的地图数据的通信部；通过执行上述识别程序，将上述晶圆上形成的上述芯片与上述识别图案进行对照，求出上述芯片的中心位置，并求出上述地图数据为良好的上述芯片在上述晶圆上的位置的控制/运算部。
另外，芯片的识别图案是存储了轮廓的图案，通过由控制/运算部执行识别程序，将晶圆上形成的芯片与识别图案进行对照，求出芯片的中心位置，求出地图数据良好的芯片在晶圆上的位置。
在此，芯片的识别图案为一种，与作为对象的芯片所对应的地图数据的良好、不良无关，用于求出上述芯片的中心位置。
另外，在无法将识别图案与芯片的图案进行比较时，根据在晶圆上形成的切割槽来求出成为对象的芯片的中心位置。
根据本发明，能够提供一种能够与晶圆上的芯片的状态无关地正确地进行芯片的位置识别的芯片焊接机。
附图说明
图1是表示从上面看本发明一个实施方式的芯片焊接机10的结构的概要的图。
图2是表示本实施方式的光学系统结构图的图。
图3是控制系统40的概要结构图。
图4是说明与地图数据相关联的设备结构的概念图。
图5是说明芯片焊接机对晶圆上的芯片的位置识别的方法的图。
图6是说明芯片焊接机对晶圆上的芯片的位置识别的处理的流程图。
图7是说明晶圆上的芯片的状态的图。
具体实施方式
以下，使用图1～图6说明本发明的一实施方式的芯片焊接机。
首先，使用图1～图3说明本发明的一实施方式的芯片焊接机的结构。
图1是表示从上面看本发明的一个实施方式的芯片焊接机10的结构的概要的图。
图2是表示本实施方式的光学系统结构图的图。
图3是控制系统40的概要结构图。
芯片焊接机大致具有晶圆供给部1、工件供给/运送部2、芯片焊接部3。
晶圆供给部1具有晶圆匣升降机11、拾取装置12。
晶圆匣升降机11具有填充了晶圆环的晶圆匣（未图示），顺序地将晶圆环提供给拾取装置12。拾取装置12使晶圆环移动以便能够从晶圆环中拾取希望的芯片。
工件供给/运送部2具有堆料装料机21、框供给机22、卸载机23，将工件（引线框等基板）向箭头方向运送。堆料装料机21将粘接芯片的工件提供给框供给机22。框供给机22经由框供给机22上的2个位置的处理位置，将工件运送到卸载机23。卸载机23保管运送的工件。
芯片焊接部3具有预形成部（膏涂覆单元）31、焊头部32。预形成部31用针将芯片粘结剂涂覆到通过框供给机22运送来的工件、例如引线框上。焊头部32从拾取装置12拾取芯片后上升，将芯片移动到框供给机22上的焊接点。然后，焊头部32使芯片在焊接点下降，将芯片焊接到涂覆了芯片粘结剂的工件上。
焊头部32具有使焊头35（参照图2）在Z（高度）方向上升降，在Y方向上移动的ZY驱动轴60和在X方向上移动的X驱动轴70。ZY驱动轴60 具有使焊头35在Y方向上，即拾取装置12内的拾取位置和焊接点之间往返的Y驱动轴80以及为了从晶圆拾取芯片或将芯片焊接到基板B上使焊头35升降的Z驱动轴50。X驱动轴70使ZY驱动轴60整体在运送工件的方向即X方向上移动。
光学系统38如图2所示，具备：掌握针36的涂覆位置的预形成部光学系统33；掌握焊头35在运送来的基板B上进行焊接的焊接位置的焊接部光学系统34；掌握焊头35从晶圆14拾取的芯片D的拾取位置的晶圆部光学系统15。各部光学系统具有向对象照明的照明装置和照相机。在晶圆14中切割为网眼状的芯片D被固定在固定于晶圆环16上的切割带17上。
通过该结构，用针36将芯片粘结剂涂覆到正确的位置，通过焊头35确实地拾取芯片D，将其焊接到基板B的正确的位置。
控制系统40如图3所示，大致具备主要由CPU构成的控制/运算部41、存储装置42、输入输出装置43、总线44、电源部45、通信接口部46。
存储装置42具备由存储有处理程序等的RAM构成的主存储装置42a、存储有控制所需要的控制数据、图像数据等的HDD（硬盘驱动器）、由SSD（固态驱动器）构成的辅助存储装置42b。
输入输出装置43具备显示装置状态、信息等的监视器43a、输入操作者的指示的触摸板43b、操作监视器的鼠标43c、取得来自光学系统38的图像数据的图像取得装置43d、控制拾取装置12的XY台（未图示）、ZY驱动轴60等的电动机65的电动机控制装置43e、取得或控制各种传感器信号、来自照明装置等的开关等的信号部66的信号的I/O信号控制装置43f。控制/运算部41经由总线44取得需要的数据并进行运算，将信息发送到焊头35等的控制、监视器43a等。
通信接口部46是与外部的系统、设备进行通信的部分。
在辅助存储装置42b中，存储有控制芯片焊接机10的各部的控制程序200、进行芯片D的识别的识别程序201、芯片D的识别图案P。进行芯片D的识别的识别程序201包含预先生成用于进行识别的芯片D的识别图案P的功能。
将控制程序200和地图数据M装载到主存储装置42a中，通过控制/运算部41执行。
芯片D的识别图案P是在识别芯片在晶圆上的位置时，由识别程序参照的数据。
接着，使用图4说明与地图数据相关联的设备结构。
图4是说明与地图数据相关联的设备结构的概念图。
芯片焊接机10经由通信接口部46与外部的PC（个人计算机）90连接。
对于晶圆W，检查装置30通过晶圆的外观检查工序对每个芯片进行检查，对每个芯片生成表示良好、不良的地图数据M并发送到PC90。地图数据M是在通过外部的检查装置检查晶圆时生成的数据，对晶圆上的每个芯片保存良好、不良的信息。另外，地图数据M暂时存储在与PC90连接的辅助存储装置91中，然后被转送到芯片焊接机10。
接着，使用图5～图6说明本发明的一实施方式的芯片焊接机对晶圆上的芯片的位置识别方法。
图5是说明芯片焊接机对晶圆上的芯片的位置识别的方法的图。
图6是说明芯片焊接机对晶圆上的芯片的位置识别的处理的流程图。
芯片焊接机10为了从晶圆上拾取芯片D，需要正确地识别在晶圆上形成的良好的芯片D。
在此，通过晶圆部光学系统15拍摄晶圆的图像，并放入到辅助存储装置42b中。另外，通过晶圆的外观检查工序对每个芯片进行检查，对每个芯片生成表示良好、不良的地图数据M，在识别时，从PC90转送并取得。
芯片焊接机10通过由控制/识别装置41执行识别程序201，为了拾取良好的芯片D，如下那样进行晶圆上的芯片的位置识别。
为了拾取良好的芯片D，求出芯片D的中心位置（芯片中心）即可。
首先，根据地图数据M判断对象的芯片D良好还是不良。在此，在芯片D良好时，在地图数据中存储“1”，在不良时，存储“0”（图6：S01）。
在芯片D良好（地图数据：1）时（图5A），将芯片D的图案和识别图案P的图案进行比较（S02），求出芯片的中心位置（S03）。
识别图案P设为具有与良好的芯片D相同大小的镜面芯片（没有形成电路图案的芯片），将其轮廓信息保存为识别图案P的数据。对于该识别图案P，基于芯片D的设计值、良好芯片的拍摄图像，由识别程序201生成，并保存在辅助存储装置48b中。针对一个设计规格的芯片D生成一种识别图案P，不会为了识别相同的晶圆而生成多个图案，即例如不会像良好图案、不良品轮廓有缺失的图案等那样生成与情况对应的图案。
在芯片D不良（地图数据：0）时，将对芯片D的图案和识别图案P的图案进行比较（S04），判断是否能够进行图案比较（S05）。
在芯片D不良（地图数据：0）时，如图5B那样，在芯片D的轮廓不明确的情况下，如图5C那样，存在在一个晶圆上形成其他图案的情况。在一个晶圆上形成有其他图案的情况是指在晶圆上形成有被称为标签芯片的测试用的评价芯片的情况等，将这时的标签芯片作为不良品处理。
在能够将芯片D的图案和识别图案P的图案进行比较时，根据该图案，求出不良的芯片的中心位置（S06）。
在不能将芯片D的图案和识别图案P的图案进行比较时，例如在该位置没有形成图案时，根据切割槽求出不良芯片的中心位置（图5D、S07）。切割槽是指在晶圆上附带的用于切割芯片的槽。
然后，判断是否有下一个芯片D（S10），在没有时结束，在有下一个芯片D时，求出下一个芯片D的大致位置，将下一个芯片D作为检查的对象（S11），返回到S01。
由此，只准备一个镜面图案的识别图案，就能够正确地求出良好的芯片、不良芯片双方的芯片的中心位置。即使在芯片的图案有缺损时，也能够根据芯片的切割槽，识别有缺损的芯片的大致位置。
附图标记说明
B：基板；D：芯片；P：识别图案；M：地图数据；10：芯片焊接机；1：晶圆供给部；11：晶圆匣升降机；12：拾取装置；14：晶圆；15：晶圆部光学系统；16：晶圆环；17：切割带；2：工件供给/运送部；21：堆料装料机；22：框供给机；23：卸载机；3：芯片焊接部；31：预形成部（膏涂覆单元）；32：焊头部；35：焊头；33：预形成部光学系统34：焊接部光学系统；36：针；38：光学系统；35：焊头；50：Z驱动轴；60：ZY驱动轴；70：X驱动轴；80：Y驱动轴；40：控制系统；41：控制/运算部；42：存储装置；42a主存储装置；42b：辅助存储装置；43：输入输出装置；43a：监视器；43b：触摸板；43c：鼠标；43d：图像取得装置；43e：电动机控制装置；43f：信号控制装置；44：总线；45：电源部；46：通信接口部；65：电动机；66：信号部；200：控制程序；201：识别程序。