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1、(10)申请公布号 CN 103728833 A (43)申请公布日 2014.04.16 CN 103728833 A (21)申请号 201310432700.3 (22)申请日 2013.09.22 101135627 2012.09.27 TW G03F 7/004(2006.01) G02B 1/04(2006.01) (71)申请人 奇美实业股份有限公司 地址 中国台湾台南市仁德区三甲里三甲子 59-1 号 (72)发明人 陈凯民 施俊安 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事 务所 ( 普通合伙 ) 11277 代理人 刘新宇 李茂家 (54) 发明名称 感光性树脂组成物。
2、、 保护膜及具有保护膜的 元件 (57) 摘要 本发明涉及感光性树脂组成物、 保护膜及具 有保护膜的元件。一种感光性树脂组成物， 包含 ： 碱可溶性树脂(A)、 邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、 含2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C)， 及溶剂 (D)。其 中， 该含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C) 是硅 烷材料的水解缩合产物， 该硅烷材料包括具有式 (I) 结构的含硫醇基的硅烷 ： RaSi(ORb)3 (I)式 (I) 中， Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的 C1至 C8的有机基团， 或含硫醇基且具有芳香环的有机 基团 ； Rb表示氢、 C1至 C6的烷基、 C1至 C6的酰基， 或 C6。
3、至 C15的芳香基， 多个 R b各自为相同或不同。 本发明还提供由上述感光性树脂组成物形成的保 护膜， 及具有该保护膜的元件。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 18 页 附图 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书18页 附图1页 (10)申请公布号 CN 103728833 A CN 103728833 A 1/1 页 2 1. 一种感光性树脂组成物， 其特征在于包含 ： 碱可溶性树脂 (A) ； 邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) ； 含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C) ； 及 溶剂 (D) ； 其。
4、中， 所述含2个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解缩合产物， 所述硅烷 材料包括具有式 (I) 结构的含硫醇基的硅烷 ； RaSi(ORb)3 (I) 式 (I) 中， Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的 C1至 C8的有机基团， 或含硫醇基且具有 芳香环的有机基团 ； Rb表示氢、 C1至 C6的烷基、 C1至 C6的酰基， 或 C6至 C15的芳香基， 多个 Rb各自为相同或不同。 2.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物， 其特征在于， 所述碱可溶性树脂(A)由不 饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物 (a1)、 含环氧基的不饱和化合物 (a2)， 及其他不饱和化合 物 (a3) 共聚合。
5、而得。 3.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物， 其特征在于， 基于碱可溶性树脂(A)的总 量为 100 重量份， 邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) 的使用量为 10 至 50 重量份 ； 含 2 个以上硫醇基 的倍半硅氧烷 (C) 的使用量为 0.5 至 20 重量份 ； 溶剂 (D) 的使用量为 100 至 800 重量份。 4. 根据权利要求 1 所述的感光性树脂组成物， 其特征在于， 所述硅烷材料还包括交联 性化合物， 所述交联性化合物是至少一种选自由下列所构成的组的化合物 ： 单烷氧基硅烷、 二烷氧基硅烷、 三烷氧基硅烷、 四烷氧基硅烷、 四烷氧基钛， 及四烷氧基锆。 5.一种保护膜， 。
6、其特征在于， 是将根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组成 物涂布于基材上， 再经预烤、 曝光、 显影及后烤处理后所形成的。 6. 一种具有保护膜的元件， 其特征在于， 其包含基材以及根据权利要求 5 所述的保护 膜。 权 利 要 求 书 CN 103728833 A 2 1/18 页 3 感光性树脂组成物、 保护膜及具有保护膜的元件 技术领域 0001 本发明涉及一种感光性树脂组成物， 特别是涉及一种感光性树脂组成物、 由此感 光性树脂组成物所形成的断面形状佳且线膨胀系数低的保护膜， 及具有该保护膜的元件。 背景技术 0002 在液晶显示元件或固态成像装置等光学元件的制造过程中， 必须。
7、通过在严苛条件 下进行的处理编程， 例如在基板表面形成配线电极层时， 除需通过酸性溶剂或碱性溶液浸 泡， 或溅镀 (Sputtering) 等处理编程外， 更会有局部高温伴随产生。为防止制造时受到损 害， 必须在元件表面上铺设保护膜。 0003 保护膜除了能抵御上述处理编程的严苛条件， 还需要与基板间保持优异的附着 力， 并具有高透明度、 高表面硬度且平滑的表面， 以及高耐热性与耐光性， 使保护膜于长期 使用下不会有变色、 黄化或白化等变质情况发生。此外， 该保护膜还需要具有良好的耐水 性、 耐化性、 耐溶剂性、 耐酸性， 及耐碱性等特性。 0004 JP2001-354822 公开一种适用于。
8、形成保护膜的感放射线性树脂组成物， 包含 A 由不饱和羧酸和 / 或不饱和羧酸酐、 含有环氧基的不饱和化合物、 顺丁烯二酰亚胺系单体， 及其他烯烃系不饱和化合物形成的共聚物， 与 B1,2- 二叠氮化合物 ； 其中， 基于 A 为 100 重量份， B 的使用量为 5 至 100 重量份。该树脂组成物具有较高的感度， 所形成的保 护膜具备良好耐热性及耐溶剂性， 但却有断面形状不佳、 线膨胀系数高的问题， 导致配线电 极层难以精准铺设， 且造成元件受损。 0005 由上述可知， 为防止光学元件于制造时受到损伤， 并考量后续配线电极层的铺设， 有必要发展一种适用于形成具有断面形状佳及线膨胀系数低等。
9、优点的保护膜的感光性树 脂组成物。 发明内容 0006 本发明的第一目的， 在于提供一种感光性树脂组成物， 其所形成的保护膜具备适 于后续制程的断面形状及低线膨胀系数。本发明感光性树脂组成物， 包含碱可溶性树脂 (A)、 邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B)、 含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C)， 及溶剂 (D)。其中， 该 含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C) 是硅烷材料的水解缩合产物， 该硅烷材料包括具有式 (I) 结构的含硫醇基的硅烷 ； 0007 RaSi(ORb)3 (I) 0008 式 (I) 中， Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的 C1至 C8的有机基团， 或含硫醇基且 具有芳香。
10、环的有机基团 ； Rb表示氢、 C1至 C6的烷基、 C1至 C6的酰基， 或 C6至 C15的芳香基， 多个 Rb各自为相同或不同。 0009 本发明感光性树脂组成物， 所述碱可溶性树脂 (A) 由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐 化合物 (a1)、 含环氧基的不饱和化合物 (a2)， 及其他不饱和化合物 (a3) 共聚合而得。 0010 本发明感光性树脂组成物， 基于碱可溶性树脂(A)的总量为100重量份， 邻萘醌二 说 明 书 CN 103728833 A 3 2/18 页 4 叠氮磺酸酯 (B) 的使用量为 10 至 50 重量份 ； 含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C) 的使用 量为 0。
11、.5 至 20 重量份 ； 溶剂 (D) 的使用量为 100 至 800 重量份。 0011 本发明感光性树脂组成物， 所述硅烷材料还包括交联性化合物， 所述交联性化合 物是至少一种选自由下列所构成的组的化合物 ： 单烷氧基硅烷、 二烷氧基硅烷、 三烷氧基硅 烷、 四烷 氧基硅烷、 四烷氧基钛， 及四烷氧基锆。 0012 本发明的第二目的， 在于提供一种断面形状佳且线膨胀系数低的保护膜。 0013 于是， 本发明保护膜， 是将如前所述的感光性树脂组成物涂布于基材上， 再经预 烤、 曝光、 显影及后烤处理后所形成的。 0014 本发明的第三目的， 在于提供一种具有保护膜的元件。 0015 本发明。
12、具有保护膜的元件， 包含基材以及形成于所述基材上的如上所述的保护 膜。 0016 本发明的有益效果在于 ： 本发明感光性树脂组成物通过添加所述含 2 个以上硫醇 基的倍半硅氧烷 (C)， 形成断面形状佳且线膨胀系数低的保护膜。 附图说明 图 1 是一示意图， 说明应用例及应用比较例具有图样的保护膜的断面形状 ； 图 2 是一示意图， 说明应用例及应用比较例具有图样的保护膜的断面形状 ； 图 3 是一示意图， 说明应用例及应用比较例具有图样的保护膜的断面形状 ； 及 图 4 是一示意图， 说明应用例及应用比较例具有图样的保护膜的断面形状。 具体实施方式 0017 首先要说明的是， 在本文中， 该。
13、(甲基)丙烯酸表示丙烯酸和/或甲基丙烯酸 ； (甲 基)丙烯酰(meth)acryloyl表示丙烯酰(acryloyl)和/或甲基丙烯酰methacryloyl ； ( 甲基 ) 丙烯酸酯 (meth)acrylate 表示丙烯酸酯 (acrylate) 和 / 或甲基丙烯酸酯 (methacrylate） 。 0018 本发明感光性树脂组成物， 包含碱可溶性树脂 (A)、 邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B)、 含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷(C)， 及溶剂(D) ； 其中， 该倍半硅氧烷(C)是硅烷材料的水解缩 合产物， 该硅烷材料包括具有式 (I) 结构的含硫醇基的硅烷 ； 0019 RaSi(。
14、ORb)3 (I) 0020 式 (I) 中， Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的 C1至 C8的有机基团， 或含硫醇基且 具有芳香环的有机基团 ； Rb表示氢、 C1至 C6的烷基、 C1至 C6的酰基， 或 C6至 C15的芳香基， 多个 Rb各自为相同或不同。 0021 以下将逐一对碱可溶性树脂 (A)、 邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B)、 含 2 个以上硫醇基的 倍半硅氧烷 (C)， 以及溶剂 (D) 进行详细说明 ： 0022 碱可溶性树脂 (A) 0023 该碱可溶性树脂 (A) 是指可溶于碱性水溶液中的树脂， 其结构并没有特别限制。 0024 较 佳 地， 该 碱 可 溶 性 树 脂 (。
15、A) 是 指 含 羧 酸 基 的 树 脂 或 苯 酚 - 酚 醛 清 漆 (phenol-novolac) 树脂 ； 又较佳地， 该碱可溶性树脂 (A) 由混合物在聚合起始剂存在下进 行共聚合反应所制得， 该混合物可包含 ： (i) 不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物 (a1) 及含 说 明 书 CN 103728833 A 4 3/18 页 5 环氧基的不饱和化合物 (a2) ； (ii) 不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物 (a1)、 含环氧基的 不饱和化合物 (a2)， 及其他不饱和化合物 (a3) ； (iii) 不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物 (a1) 及其他不饱和化合物 (a3)。 002。
16、5 0026 基于碱可溶性树脂 (A) 聚合时化合物的使用量为 100 重量份， 该不饱和羧酸或不 饱和羧酸酐化合物 (a1) 的用量范围为 5 至 50 重量份。较佳地， 该不饱和羧酸或不饱和羧 酸酐化合物 (a1) 的用量范围为 8 至 45 重量份。更佳地， 该不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化 合物 (a1) 的用量范围为 10 至 40 重量份。 0027 该不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物 (a1) 是指包含羧酸基或羧酸酐结构及聚合 结合用的不饱和键的化合物， 其结构并没有特别限制， 例如但不限于 ： 不饱和单羧酸化合 物、 不饱和二羧酸化合物、 不饱和羧酸酐化合物、 多环型不饱和羧酸化合物。
17、、 多环型不饱和 二羧酸化合物、 多环型不饱和酸酐化合物。 0028 该不饱和单羧酸化合物包含但不限于 ： ( 甲基 ) 丙烯酸、 丁烯酸、 - 氯丙烯酸、 乙基丙烯酸、 肉桂酸、 2-( 甲基 ) 丙烯酰乙氧 基丁二酸酯 2-(meth)acryloyloxyethyl succinate monoester、 2-( 甲基 ) 丙烯酰乙氧基六氢化苯二甲酸酯、 2-( 甲基 ) 丙烯酰乙 氧基苯二甲酸酯、 - 羧基聚己内酯多元醇单丙烯酸酯 ( 商品名为 ARONIX M-5300， 东亚合 成制 ) 等。 0029 该不饱和二羧酸化合物包含但不限于 ： 马来酸、 富马酸、 甲基富马酸、 衣康。
18、酸、 柠康 酸等。 0030 该不饱和羧酸酐化合物包含但不限于前述不饱和二羧酸化合物的酸酐化合物。 0031 该多环型不饱和羧酸化合物包含但不限于 ： 5- 羧基双环 2.2.1 庚 -2- 烯、 5- 羧 基 -5- 甲基双环 2.2.1 庚 -2- 烯、 5- 羧基 -5- 乙基双环 2.2.1 庚 -2- 烯、 5- 羧基 -6- 甲 基双环 2.2.1 庚 -2- 烯、 5- 羧基 -6- 乙基双环 2.2.1 庚 -2- 烯等。 0032 该多环型不饱和二羧酸化合物包含但不限于 ： 5,6- 二羧酸二环 2.2.1 庚 -2- 烯。 0033 该多环型不饱和二羧酸酐化合物包含但不限于。
19、前述多环型不饱和二羧酸化合物 的酸酐化合物。 0034 较佳地， 该不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物 (a1) 选自丙烯酸、 甲基丙烯酸、 马 来酸酐、 2- 甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯， 或 2- 甲基丙烯酰基乙氧基六氢化苯二甲酸。上述 化合物可单独或混合多种使用。 0035 0036 基于碱可溶性树脂 (A) 聚合时化合物的使用量为 100 重量份， 该含环氧基的不饱 和化合物 (a2) 的用量范围为 10 至 70 重量份， 较佳地， 该含环氧基的不饱和化合物 (a2) 的 用量范围为 20 至 70 重量份。更佳地， 该含环氧基的不饱和化合物 (a2) 的用量范围为 25 至 65 重量份。
20、。 0037 该含环氧基的不饱和化合物 (a2) 例如但不限于 ： 含环氧基 的 ( 甲基 ) 丙烯酸酯 化合物、 含环氧基的 - 烷基丙烯酸酯化合物、 环氧丙醚化合物。 0038 该含环氧基的 ( 甲基 ) 丙烯酸酯化合物例如但不限于 ： ( 甲基 ) 丙烯酸环氧丙酯 glycidyl(meth)acrylate、 ( 甲基 ) 丙烯酸 2- 甲基环氧丙酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸 3,4- 环氧 说 明 书 CN 103728833 A 5 4/18 页 6 丁酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸 6,7- 环氧庚酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸 3,4- 环氧环己酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸 3,4- 环氧。
21、环己基甲酯 3,4-Epoxycyclohexylmethyl(meth)acrylate 等。 0039 该含环氧基的 - 烷基丙烯酸酯化合物例如但不限于 ： - 乙基丙烯酸环氧丙酯、 - 正丙基丙烯酸环氧丙酯、 - 正丁基丙烯酸环氧丙酯、 - 乙基丙烯酸 6,7- 环氧庚酯 等。 0040 该 环 氧 丙 醚 化 合 物 例 如 但 不 限 于 ：邻 - 乙 烯 基 苯 甲 基 环 氧 丙醚 (o-vinylbenzylglycidylether)、 间 - 乙烯基苯甲基环氧丙 醚 (m-vinylbenzylglycidylether)、 对 - 乙烯基苯甲基环氧丙醚 (p-vinylb。
22、enzylglycidylether) 等。 0041 较佳地， 该含环氧基的不饱和化合物(a2)选自甲基丙烯酸环氧丙酯、 (甲基)丙烯 酸 3,4- 环氧环己基甲酯、 甲基丙烯酸 6,7- 环氧庚酯、 邻 - 乙烯基苯甲基环氧丙醚、 间 - 乙 烯基苯甲基环氧丙醚， 及对 - 乙烯基苯甲基环氧丙醚。 0042 0043 基于碱可溶性树脂 (A) 聚合时化合物的使用量为 100 重量份， 该其他不饱和化合 物 (a3) 的用量范围为 0 至 70 重量份。较佳地， 该其他不饱和化合物 (a3) 的用量范围为 0 至 60 重量份。更佳地， 该其他不饱和化合物 (a3) 的用量范围为 0 至 5。
23、5 重量份。 0044 该其他不饱和化合物 (a3) 例如但不限于 ： ( 甲基 ) 丙烯酸烷基酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸 脂环族酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸芳基酯、 不饱和二羧酸二酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸羟烷酯、 ( 甲基 ) 丙 烯酸酯的聚醚、 芳香族乙烯基化合物及其他不饱和化合物。 0045 该 ( 甲基 ) 丙烯酸烷基酯包含但不限于 ： ( 甲基 ) 丙烯酸甲酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸乙 酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸正丙酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸异丙酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸正丁酯、 ( 甲基 ) 丙烯 酸异丁酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸仲丁酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸叔丁酯等。 0046 。
24、该 ( 甲基 ) 丙烯酸脂环族酯包含但不限于 ： ( 甲基 ) 丙烯酸环己酯、 ( 甲基 ) 丙烯 酸 -2- 甲基环己酯、 三环 5.2.1.02,6 癸 -8- 基 ( 甲基 ) 丙烯酸酯 ( 或称为 ( 甲基 ) 丙烯酸 双环戊酯 dicyclopentanyl(meth)acrylate)、 ( 甲基 ) 丙烯酸二环戊氧基乙酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸异冰片酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸四氢呋喃酯等。 0047 该 ( 甲基 ) 丙烯酸芳基酯包含但不限于 ： ( 甲基 ) 丙烯酸苯基酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸 苯甲酯 benzyl(meth)acrylate 等。 0048 该不饱和二羧酸二。
25、酯包含但不限于 ： 马来酸二乙酯、 富马酸二乙酯、 衣康酸二乙酯 等。 0049 该 ( 甲 基 ) 丙 烯 酸 羟 烷 酯 包 含 但 不 限 于 ： ( 甲 基 ) 丙 烯 酸 2- 羟 基 乙 酯 2-hydroxyethyl(meth)acrylate、 ( 甲基 ) 丙烯酸 -2- 羟基丙酯等。 0050 该 ( 甲基 ) 丙烯酸酯的聚醚包含但不限于 ： 聚乙二醇单 ( 甲基 ) 丙烯酸酯、 聚丙二 醇单 ( 甲基 ) 丙烯酸酯等。 0051 该芳香族乙烯基化合物包含但不限于 ： 苯乙烯、 - 甲基苯乙烯、 间 - 甲基苯乙烯， 对 - 甲基苯乙烯、 对 - 甲氧基苯乙烯等。 005。
26、2 该其他不饱和化合物包含但不限于 ： 丙烯腈、 甲基丙烯腈、 氯乙烯、 偏二氯乙烯、 丙 烯酰胺、 甲基丙烯酰胺、 乙烯乙酯、 1,3- 丁二烯、 异戊二烯、 2,3- 二甲基 1,3- 丁二烯、 氮 - 环 己基马来酰亚胺、 氮 - 苯基马来酰亚胺、 氮 - 苄基马来酰亚胺， 氮 - 丁二酰亚胺基 -3- 马来 说 明 书 CN 103728833 A 6 5/18 页 7 酰亚胺苯甲酸酯、 氮 - 丁二酰亚胺基 -4- 马来酰亚胺丁酸酯、 氮 - 丁二酰亚胺基 -6- 马来酰 亚胺己酸酯、 氮 - 丁二酰亚胺基 -3- 马来酰亚胺丙酸酯、 氮 -(9- 吖啶基 ) 马来酰亚胺等。 005。
27、3 较佳地， 该其他不饱和化合物 (a3) 选自 ( 甲基 ) 丙烯酸甲酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸丁 酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸 2- 羟基乙酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸叔丁酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸苯甲酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸双环戊酯、 ( 甲基 ) 丙烯酸二环戊氧基乙酯、 苯乙烯， 或对 - 甲氧基苯乙烯。上述化 合物可单独或混合多种使用 0054 制备该碱可溶性树脂 (A) 时所用的溶剂包含但不限于 (1) 醇类化合物 ： 甲醇、 乙 醇、 苯甲醇、 2- 苯乙醇， 或 3- 苯基 -1- 丙醇等 ； (2) 醚类化合物 ： 四氢呋喃等 ； (3) 二醇醚 类化合物 ： 乙二醇单丙醚、 。
28、乙二醇单甲醚、 乙二醇单乙醚等 ； (4) 乙二醇烷基醚醋酸酯 ： 乙 二醇丁醚醋酸酯、 乙二醇乙醚醋酸酯、 乙二醇甲醚醋酸酯等 ； (5) 二乙二醇类化合物 ： 二 乙二醇单甲醚、 二乙二醇单乙醚、 二乙二醇单丁醚、 二乙二醇二甲醚 (diethylene glycol dimethyl ether)、 二乙二醇二乙醚、 二乙二醇甲乙醚等 ； (6) 二丙二醇类化合物 ： 二丙二醇 单甲醚、 二丙二醇单乙醚、 二丙二醇二甲醚、 二丙二醇二乙醚、 二丙二醇甲乙醚等 ； (7) 丙二 醇单烷基醚类化合物 ： 丙二醇单甲醚、 丙二醇单乙醚、 丙二醇单丙醚、 丙二醇单丁醚等 ； (8) 丙二醇烷基醚。
29、醋酸酯类化合物 ： 丙二醇甲醚醋酸酯(Propylene glycol monomethyl ether acetate)、 丙二醇乙醚醋酸酯、 丙二醇丙醚醋酸酯、 丙二醇丁醚醋酸酯等 ； (9) 丙二醇烷基 醚丙酸酯类化合物 ： 丙二醇甲醚丙酸酯、 丙二醇乙醚丙酸酯、 丙二醇丙醚丙酸酯、 丙二醇丁 醚丙酸酯等 ； (10) 芳香烃类化合物 ： 甲苯、 二甲苯等 ； (11) 酮类化合物 ： 甲乙酮、 环己酮、 二 丙酮醇等 ； (12) 酯类化合物 ： 乙酸甲酯、 乙酸乙酯、 乙酸丙酯、 乙酸丁酯、 2- 羟基丙酸乙酯、 2- 羟基 -2- 甲基丙酸甲酯、 2- 羟基 -2- 甲基丙酸乙酯、。
30、 羟乙酸甲酯、 羟乙酸乙酯、 羟乙酸丁 酯、 乳酸甲酯、 乳酸丙酯、 乳酸丁酯、 3- 羟基丙酸甲酯、 3- 羟基丙酸乙酯、 3- 羟基丙酸丙酯、 3-羟基丙酸丁酯、 2-羟基-3-甲 基丁酸甲酯、 甲氧基乙酸甲酯、 甲氧基乙酸乙酯、 甲氧基乙 酸丁酯、 乙氧基乙酸甲酯、 乙氧基乙酸乙酯、 乙氧基乙酸丙酯、 乙氧基乙酸丁酯、 丙氧基乙酸 甲酯、 丙氧基乙酸乙酯、 丙氧基乙酸丙酯、 丙氧基乙酸丁酯、 丁氧基乙酸甲酯、 丁氧基乙酸乙 酯、 丁氧基乙酸丙酯、 丁氧基乙酸丁酯、 3- 甲氧基丁基乙酸酯、 2- 甲氧基丙酸甲酯、 2- 甲氧 基丙酸乙酯、 2-甲氧基丙酸丙酯、 2-甲氧基丙酸丁酯、 2-。
31、乙氧基丙酸甲酯、 2-乙氧基丙酸乙 酯、 2- 乙氧基丙酸丙酯、 2- 乙氧基丙酸丁酯、 2- 丁氧基丙酸甲酯、 2- 丁氧基丙酸乙酯、 2- 丁 氧基丙酸丙酯、 2- 丁氧基丙酸丁酯、 3- 甲氧基丙酸甲酯、 3- 甲氧基丙酸乙酯、 3- 甲氧基丙 酸丙酯、 3- 甲氧基丙酸丁酯、 3- 乙氧基丙酸甲酯、 3- 乙氧基丙酸乙酯、 3- 乙氧基丙酸丙酯、 3-乙氧基丙酸丁酯、 3-丙氧基丙酸甲酯、 3-丙氧基丙酸乙酯、 3-丙氧基丙酸丙酯、 3-丙氧基 丙酸丁酯、 3-丁氧基丙酸甲酯、 3-丁氧基丙酸乙酯、 3-丁氧基丙酸丙酯、 3-丁氧基丙酸丁酯 等。 0055 较佳地， 制备该碱可溶性树脂。
32、 (A) 时所用的溶剂选自二乙二醇二甲醚或丙二醇甲 醚醋酸酯。该溶剂可单独或混合使用。 0056 制备该碱可溶性树脂 (A) 时所使用的聚合起始剂包含但不限于偶氮化合物或过 氧化物， 可单独或混合使用。 0057 该偶氮化合物例如但不限于 ： 2,2 - 偶氮双异丁腈、 2,2 - 偶氮双 (2,4- 二甲基戊 腈 )2,2-Azobis(2,4-dimethylvaleronitrile)、 2,2 - 偶氮双 (4- 甲氧基 -2,4- 二甲基 戊腈)、 2,2 -偶氮双-2-甲基丁腈2,2-azobis-2-methyl butyronitrile、 4,4 -偶氮双 说 明 书 CN 。
33、103728833 A 7 6/18 页 8 (4- 氰基戊酸 )、 二甲基 2,2 - 偶氮双 (2- 甲基丙酸酯 )、 2,2 - 偶氮双 (4- 甲氧基 -2,4- 二 甲基戊腈 ) 等。 0058 该过氧化物例如但不限于 ： 过氧化二苯甲酰、 过氧化十二酰、 叔丁基过氧化叔戊酸 酯、 1,1- 双 ( 叔丁基过氧化 ) 环己烷、 过 氧化氢等。 0059 该碱可溶性树脂 (A) 的分子量的调整， 可通过使用单一种树脂， 或可使用两种或 两种以上不同分子量的树脂。较佳地， 该碱可溶性树脂 (A) 的重量平均分子量为 3,000 至 100,000 ； 又较佳地为 4,000 至 80,0。
34、00 ； 更佳地为 5,000 至 60,000。 0060 邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) 0061 该感光性树脂组成物中的邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) 没有特别的限制， 可选用一般 所使用的。该邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) 是可为完全酯化或部分酯化的酯化物。较佳地， 该 邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) 是由邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类与羟基化合物反应所制得。更佳 地， 该邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) 是由邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类与多元羟基化合物反应所 制得。 0062 该邻萘醌二叠氮磺酸包含但不限于邻萘醌二叠氮 -4- 磺酸、 邻萘醌二叠氮 -5- 磺 酸、 邻萘醌二叠氮 -6- 磺酸等。该邻萘醌二叠氮磺酸。
35、的盐类可例如但不限于邻萘醌二叠氮 磺酸卤盐。 0063 该羟基化合物可单独或混合使用， 且该羟基化合物包含但不限于 ： 0064 (1)羟基二苯甲酮类化合物， 例如但不限于2,3,4-三羟基二苯甲酮、 2,4,4-三羟 基二苯甲酮、 2,4,6- 三羟基二苯甲酮、 2,3,4,4- 四羟基二苯甲酮、 2,4,2,4- 四羟基二苯 甲酮、 2,4,6,3,4- 五羟基二苯甲酮、 2,3,4,2,4- 五羟基二苯甲酮、 2,3,4,2,5- 五羟 基二苯甲酮、 2,4,5,3,5- 五羟基二苯甲酮、 2,3,4,3,4,5- 六羟基二苯甲酮等。 0065 (2) 羟基芳基类化合物， 例如但不限于由。
36、式 (a) 所示的羟基芳基类化合物 ： 0066 0067 式 (a) 中， Rm至 Ro表示氢原子或 C1至 C6的烷基 ； Rp至 Ru表示氢原子、 卤素原 子、 C1至 C6的烷基、 C1至 C6的烷氧基 (alkoxy)、 C1至 C6的链烯基 (alkenyl)， 或环烷基 (cycloalkyl) ； Rv及 Rw表示氢原子、 卤素原子及 C1至 C6的烷基 ； x、 y 及 z 表示 1 至 3 的整 数 ； k表示0或1。 上式(a)所示的羟基芳基类化合物例如但不限于三(4-羟基苯基)甲烷、 双 (4- 羟基 -3,5- 二甲基苯基 )-4- 羟基苯基甲烷、 双 (4- 羟基 。
37、-3,5- 二甲基苯基 )-3- 羟 基苯基甲烷、 双 (4- 羟基 -3,5- 二甲基苯基 )-2- 羟基苯基甲烷、 双 (4- 羟基 -2,5- 二甲 基苯基 )-4- 羟基苯基甲烷、 双 (4- 羟基 -2,5- 二甲基苯基 )-3- 羟基苯基甲烷、 双 (4- 羟 说 明 书 CN 103728833 A 8 7/18 页 9 基 -2,5- 二甲基苯基 )-2- 羟基苯基甲烷、 双 (4- 羟基 -3,5- 二甲基苯基 )-3,4- 二羟基苯 基甲烷、 双 (4- 羟基 -2,5- 二甲基苯基 )-3,4- 二羟基苯基甲烷、 双 (4- 羟基 -3,5- 二甲基 苯基 )-2,4- 。
38、二羟基苯基甲烷、 双 (4- 羟基 -2,5- 二甲基苯基 )-2,4- 二羟基苯基甲烷、 双 (4- 羟基苯基 )-3- 甲氧基 -4- 羟基苯基甲烷、 双 (3- 环己基 -4- 羟基苯基 )-3- 羟基苯基甲 烷、 双 (3- 环己基 -4- 羟基苯基 )-2- 羟基苯基甲烷、 双 (3- 环己基 -4- 羟基苯基 )-4- 羟基 苯基甲烷、 双 (3- 环己基 -4- 羟基 -6- 甲基苯基 )-2- 羟基苯基甲烷、 双 (3- 环己基 -4- 羟 基 -6- 甲基苯基 )-3- 羟基苯基甲烷、 双 (3- 环己基 -4- 羟基 -6- 甲基苯基 )-4- 羟基苯基 甲烷、 双 (3-。
39、 环己基 -4- 羟基 -6- 甲基苯基 )-3,4- 二羟基苯基甲烷、 双 (3- 环己基 -6- 羟 基苯基 )-3- 羟基苯基甲烷、 双 (3- 环己基 -6- 羟基苯基 )-4- 羟基苯基甲烷、 双 (3- 环己 基-6-羟基苯 基)-2-羟基苯基甲烷、 双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-2-羟基苯基甲 烷、 双(3-环己基-6-羟基-4-甲基苯基)-4-羟基苯基甲烷、 双(3-环己基-6-羟基-4-甲 基苯基 )-3,4- 二羟基苯基甲烷、 1-1-(4- 羟基苯基 ) 异丙基 -4-1,1- 双 (4- 羟基苯基 ) 乙基 苯、 1-1-(3- 甲基 -4- 羟基苯基 ) 。
40、异丙基 -4-1,1- 双 (3- 甲基 -4- 羟基苯基 ) 乙 基 苯等。 0068 (3)( 羟基苯基 ) 烃类化合物， 例如但不限于由式 (b) 所示的 ( 羟基苯基 ) 烃类化 合物 ： 0069 0070 式 (b) 中， Rx及 Ry表 示 氢 原 子 或 C1至 C6的 烷 基 ； x 及 y 表 示 1 至 3 的 整 数。该式 (b) 所示的 ( 羟基苯基 ) 烃类化合物例如但不限于 2-(2,3,4- 三羟基苯 基 )-2-(2,3,4- 三羟基苯基 ) 丙烷、 2-(2,4- 二羟基苯基 )-2-(2,4- 二羟基苯基 ) 丙 烷、 2-(4- 羟基苯基 )-2-(4-。
41、 羟基苯基 ) 丙烷、 双 (2,3,4- 三羟基苯基 ) 甲烷、 双 (2,4- 二 羟基苯基 ) 甲烷等。 0071 (4) 其他芳香族羟基类化合物， 例如但不限于苯酚、 对 - 甲氧基苯酚、 二甲基苯酚、 对苯二酚、 双酚 A、 萘酚、 邻苯二酚、 1,2,3- 苯三酚甲醚、 1,2,3- 苯三酚 -1,3- 二甲基醚、 3,4,5- 三羟基苯甲酸、 部分酯化或部分醚化的 3,4,5- 三羟基苯甲酸等。 0072 较佳地， 该羟基化合物选自 1-1-(4- 羟基苯基 ) 异丙基 -4-1,1- 双 (4- 羟基苯 基 ) 乙基 苯、 2,3,4- 三羟基二苯甲酮、 2,3,4,4- 四羟。
42、基二苯甲酮， 或前述的组合。 0073 该邻萘醌二叠氮磺酸或其盐类， 与羟基化合物的反应通常在二氧杂环己烷 (dioxane)、 氮 - 吡咯烷酮 (N-pyrrolidone)、 乙酰胺 (acetamide) 等有机溶剂中进行， 同时 在三乙醇胺、 碱金属碳酸盐或碱金属碳酸氢盐等碱性缩合剂存在下进行较有利。 0074 较佳地， 该邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)的酯化度在50%以上， 也就是说以该羟基化合 物中的羟基总量为100mol%计， 该羟基化合物中有50mol%以上的羟基与邻萘醌二叠氮磺酸 或其盐类进行酯化反应。更佳地， 该邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) 的酯化度在 60% 以上。 0075 。
43、基于该碱可溶性树脂 (A) 的总量为 100 重量份， 该邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) 的使 用量范围为 10 重量份至 50 重量份。较佳地， 该邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) 的使用量范围是 说 明 书 CN 103728833 A 9 8/18 页 10 15 重量份至 50 重量份。更佳地， 该邻萘醌二叠氮磺酸酯 (B) 的使用量范围是 15 重量份至 45 重量份。 0076 含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C) 0077 该含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C)， 是硅烷材料的水解缩合产物， 其中， 该硅 烷材料包括具有式 (I) 结构的含硫醇基的硅烷 ； 0078 RaSi(OR。
44、b)3 (I) 0079 式 (I) 中， Ra表示含硫醇基且不具有芳香环的 C1至 C8的有机基团， 或含硫醇基且 具有芳香环的有机基团 ； Rb表示氢、 C1至 C6的烷基、 C1至 C6的酰基， 或 C6至 C15的芳香基， 多个 Rb各自为相同或不同。 0080 当该感光性树脂组成物不含有该含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C) 时， 所形成 的保护膜的断面形状不佳且线膨胀系数过高。由于含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C) 的硫醇基可与其他组分所含的反应性官能团作用， 该反应性官能团可例如但不限于不饱和 键、 羟基及环氧基等， 使该感光性树脂组成物所形成的保护膜具有较佳的断面形状。
45、及低线 膨胀系数。 0081 较佳地， 该 Ra表示含硫醇基的 C1至 C8脂肪族烃基、 含硫醇基的 C1至 C8脂环族烃 基， 或含硫醇基的 C6至 C14芳香族烃基。 0082 在该 Rb的定义中， 烷基包含但不限于甲基、 乙基、 正丙基、 异丙基、 正丁基等。酰基 包含但不限于乙酰基。芳香基包含但不限于苯基。 0083 0084 该式 (I) 所示的含硫醇基的硅烷可单独或混合使用， 且该式 (I) 所示的硅烷包 含但不限于 ： 3- 巯基丙基三甲氧基硅烷、 3- 巯基丙基三乙氧基硅烷、 3- 巯基丙基三异丙氧 基硅烷、 3- 巯基丙基三正丁氧基硅烷、 1,4- 二巯基 -2-( 三甲氧基。
46、硅烷基 ) 丁烷、 1,4- 二 巯基 -2-( 三乙氧基硅烷基 ) 丁烷、 1,4- 二巯基 -2-( 三异丙氧基硅烷基 ) 丁烷、 1,4- 二 巯基 -2-( 三丁氧基硅烷基 ) 丁烷、 2- 巯基甲基 -3- 巯基丙基三甲氧基硅烷、 2- 巯基甲 基 -3- 巯基丙基三乙氧基硅烷、 2- 巯基甲基 -3- 巯基异丙基三丙氧基硅烷、 2- 巯基甲 基 -3- 巯基丙基三正丁氧基硅烷、 1,2- 二巯基乙基三甲氧基硅烷、 1,2- 二巯基乙基三乙氧 基硅烷、 1,2-二巯基乙基三异丙氧基硅烷、 及1,2-二巯基乙基三正丁氧基硅烷。 较佳地， 该 式 (I) 所示的硅烷为 3- 巯基丙基三甲。
47、氧基硅烷， 水解时反应性高， 且容易获得。 0085 较佳地， 该硅烷材料还包括交联性化合物。该交联性化合物具有调整该含 2 个以 上硫醇基的倍半硅氧烷 (C) 的交联密度的功效。该交联性化合物是至少一种选自由下列所 构成的组的化合物 ： 单烷氧基硅烷、 二烷氧基硅烷、 三烷氧基硅烷、 四烷氧基硅烷、 四烷氧基 钛， 及四烷氧基锆。 0086 其中， 选用该三烷氧基硅烷还有助于调整该含 2 个以上硫醇基的倍半硅氧烷 (C) 所含的硫醇基数量 ； 选用该四烷氧基钛或该四烷氧基锆还有助于提高该含 2 个以上硫醇基 的倍半硅氧烷 (C) 的硬化物的折射率。 0087 该单烷氧基硅烷可例如但不限于 ：。
48、 三甲基甲氧基硅烷、 三甲基乙氧基硅烷、 三乙基 甲氧基硅烷、 三乙基乙氧基硅烷、 三 苯基甲氧基硅烷， 及三苯基乙氧基硅烷等。 0088 该二烷氧基硅烷可例如但不限于 ： 二甲基二甲氧基硅烷、 二甲基二乙氧基硅烷、 二 乙基二甲氧基硅烷、 二乙基二乙氧基硅烷、 二苯基二甲氧基硅烷、 二苯基二乙氧基硅烷、 甲 说 明 书 CN 103728833 A 10 9/18 页 11 基苯基二甲氧基硅烷、 甲基苯基二乙氧基硅烷， 及 3- 巯基丙基甲基二甲氧基硅烷等。 0089 该三烷氧基硅烷可例如但不限于 ： 甲基三甲氧基硅烷、 甲基三乙氧基硅烷、 乙基三 甲氧基硅烷、 乙基三乙氧基硅烷、 苯基三甲氧基硅烷， 及苯基三乙氧基硅烷等。 0090 该四烷氧基硅烷可例如但不限于 ： 四甲氧基硅烷、 四乙氧基硅烷、 四异丙氧基硅 烷， 及四正丁氧基硅烷等。 0091 该四烷氧基钛可例如但不限于 ： 四甲氧基钛、 四乙氧基钛、 四异丙氧基钛， 及四正 丁氧基钛等。 0092 该四烷氧基锆可例如但不限于 ： 四乙氧基锆、 四异丙氧基锆， 及四正丁氧基锆等。 0093 除四烷氧基钛及四烷氧基锆外， 也可使用其他金属烷氧化物。 0094 0095 一、 水解过程 ： 0096 在该硅烷材料进行水解时可进一步添加催化剂。该催化剂没有特别的限制， 可使 用一般的催。