一种多线切割机的钢线清洗装置.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 103737733 A (43)申请公布日 2014.04.23 CN 103737733 A (21)申请号 201310716902.0 (22)申请日 2013.12.23 201320678844.2 2013.10.30 CN B28D 7/02(2006.01) (71)申请人 章博 地址 064100 河北省唐山市玉田县电子街昌 通电子有限公司 (72)发明人 章博 (74)专利代理机构 北京风雅颂专利代理有限公 司 11403 代理人 李翔 李弘 (54) 发明名称 一种多线切割机的钢线清洗装置 (57) 摘要 本发明公开了一种多线切割机的钢线清洗装 。

2、置， 包括清洗箱、 水箱、 供水管、 下水管、 第一喷水 管、 第二喷水管、 分水阀、 水泵 ； 所述清洗箱固定 在多线切割机的墙板上， 其相对的两个侧壁上均 有两个呈上下设置的通孔， 钢线分别从位于上方 和位于下方的两个通孔穿过 ； 所述水泵与所述水 箱连接 ； 所述供水管一端与所述水泵连接， 另一 端通过所述分水阀分别与所述第一喷水管和第二 喷水管连接， 所述第一喷水管和第二喷水管伸入 所述清洗箱内， 用于引流所述水泵抽出的水并喷 出以分别清洗所述清洗箱内位于上方和位于下方 的钢线 ； 所述下水管两端分别连接所述清洗箱和 水箱 ； 本发明的钢线清洗装置能够降低这个装置 的维护成本、 提高工。

3、作效率。 (66)本国优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 4 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (10)申请公布号 CN 103737733 A CN 103737733 A 1/1 页 2 1. 一种多线切割机的钢线清洗装置， 其特征在于， 包括清洗箱、 水箱、 供水管、 下水管、 第一喷水管、 第二喷水管、 分水阀、 水泵 ； 所述清洗箱固定在多线切割机的墙板上， 其相对 的两个侧壁上均有两个呈上下设置的通孔， 钢线分别从位于上方和位于下方的两个通孔穿 过 ； 所述水泵与所述水箱连。

4、接， 用于将所述水箱储存的水抽出 ； 所述供水管一端与所述水 泵连接， 另一端通过所述分水阀分别与所述第一喷水管和第二喷水管连接， 所述第一喷水 管和第二喷水管伸入所述清洗箱内， 用于引流所述水泵抽出的水并喷出以分别清洗所述清 洗箱内位于上方和位于下方的钢线 ； 所述下水管两端分别连接所述清洗箱和水箱， 用于将 清洗后的废水引流回所述水箱内。 2. 根据权利要求 1 所述的钢线清洗装置， 其特征在于， 所述水箱内部设置多个挡板， 所 述多个挡板相互平行， 且交错设置在所述水箱的底部和顶部 ； 所述下水管与所述水箱的连 接端和所述水泵分别设置在位于两端的两个所述挡板的外侧。 3. 根据权利要求 。

5、2 所述的钢线清洗装置， 其特征在于， 所述水箱内部设置三个挡板， 位 于中间的挡板设置在所述水箱顶部， 其两侧的两个挡板设置在所述水箱底部。 4. 根据权利要求 1 所述的钢线清洗装置， 其特征在于， 所述水箱底部设置用于放水的 出水口。 5. 根据权利要求 1 所述的线清洗装置， 其特征在于， 所述第一喷水管的出水端处于所 述清洗箱内位于上方的钢线上方 ； 所述第二喷水管的出水端处于所述清洗箱内位于下方的 钢线上方。 权 利 要 求 书 CN 103737733 A 2 1/4 页 3 一种多线切割机的钢线清洗装置 技术领域 0001 本发明涉及多线切割机技术领域， 特别是指一种多线切割机。

6、的钢线清洗装置。 背景技术 0002 多线切割机是用来切割硅片或者其他坚硬石头的一种机器。 多线切割技术是目前 世界上较先进的硅片加工技术， 它的原理是通过高速运动的钢线带动附着在钢线上的研磨 砂浆对半导体等硬脆材料进行摩擦， 从而达到切割效果。 在整个过程中， 钢线通过十几个导 线轮的引导， 在线辊上形成一张线网， 而待加工的硅片或金属半导体等硬脆材料固定在工 作台上， 通过工作台的上升下降实现工件的进给， 可将待加工物料一次同时切割为数十片。 0003 钢线进入加工区域后， 会被持续的喷射加入磨料的研磨砂浆用于切割， 钢线在运 动至加工区域以外的过程中会粘上很多研磨砂浆中的沙子， 钢线绕过。

7、导线轮时， 钢线上的 沙子会落入到支撑导轮的轴承里面， 从而造成轴承的损坏， 不仅如此， 钢线上沾了沙子会对 绕线的导线轮和线辊造成较大的磨损， 甚至发生切割时的断线， 从而增加了机器的维护成 本， 同时降低了机器的使用寿命。 发明内容 0004 有鉴于此， 本发明的目的在于提出一种能够降低多线切割机维护成本、 增加使用 寿命， 且提高工作效率的钢线清洗装置。 0005 基于上述目的本发明提供的一种多线切割机的钢线清洗装置， 包括清洗箱、 水箱、 供水管、 下水管、 第一喷水管、 第二喷水管、 分水阀、 水泵 ； 所述清洗箱固定在多线切割机的 墙板上， 其相对的两个侧壁上均有两个呈上下设置的通。

8、孔， 钢线分别从位于上方和位于下 方的两个通孔穿过 ； 所述水泵与所述水箱连接， 用于将所述水箱储存的水抽出 ； 所述供水 管一端与所述水泵连接， 另一端通过所述分水阀分别与所述第一喷水管和第二喷水管连 接， 所述第一喷水管和第二喷水管伸入所述清洗箱内， 用于引流所述水泵抽出的水并喷出 以分别清洗所述清洗箱内位于上方和位于下方的钢线 ； 所述下水管两端分别连接所述清洗 箱和水箱， 用于将清洗后的废水引流回所述水箱内。 0006 可选的， 所述水箱内部设置多个挡板， 所述多个挡板相互平行， 且交错设置在所述 水箱的底部和顶部 ； 所述下水管与所述水箱的连接端和所述水泵分别设置在位于两端的两 个所。

9、述挡板的外侧。 0007 优选的， 所述水箱内部设置三个挡板， 位于中间的挡板设置在所述水箱顶部， 其两 侧的两个挡板设置在所述水箱底部。 0008 优选的， 所述水箱底部设置用于放水的出水口。 0009 优选的， 所述第一喷水管的出水端处于所述清洗箱内位于上方的钢线上方 ； 所述 第二喷水管的出水端处于所述清洗箱内位于下方的钢线上方。 0010 从上面所述可以看出， 本发明提供的一种多线切割机的钢线清洗装置， 通过水泵 抽出水箱中的水并由喷水管喷出， 对钢线进行清洗， 减少钢线经过非工作区域时上附带的 说 明 书 CN 103737733 A 3 2/4 页 4 砂浆， 减小了钢线与导线轮之。

10、间的磨损， 提高导轮使用寿命， 减低设备维护成本， 同时能够 降低钢线在切割时断线的概率， 提高工作效率 ； 用于清洗钢线的水循环利用， 节约资源。 附图说明 0011 图 1 为应用本发明实施例的多线切割机结构示意图 ； 0012 图 2 为本发明实施例的钢线清洗装置结构示意图。 具体实施方式 0013 为使本发明的目的、 技术方案和优点更加清楚明白， 以下结合具体实施例， 并参照 附图， 对本发明进一步详细说明。 0014 本发明实施例的钢线清洗装置应用于多线切割机， 所述的多线切割机使用的切割 方法即通过金属丝的高速往复运动， 把磨料带入半导体加工区域进行研磨， 将半导体等硬 脆材料一次。

11、同时切割为许多个薄片。 0015 参考图 1， 为应用本发明实施例的多线切割机结构示意图。 0016 其中， 用于切割的钢线 1 相互平行的缠绕在三个线辊 2 上， 三个线辊 2 呈正三角形 放置， 钢线 1 位于下方的两个线辊 2 间形成切割线网， 即加工区域 ； 同时为设定钢线 1 的走 线路径， 钢线 1 还会经过多个导线轮 （未示出） 。放线电机 4 和收线电机 5 分别连接至钢线 1 的两端， 用于为钢线 1 的运动提供动力。待切割物料固定在工作台 3 上， 工作台 3 位于钢 线 1 形成的切割线网正下方。 0017 进行切割时， 钢线 1 在放线电机 4 和收线电机 5 的驱动下。

12、在线辊 2 和导线轮之间 做高速往复运动， 运动至加工区域的钢线1将会被喷射加入磨料的研磨砂浆， 工作台3携带 待切割物料向切割线网运动， 并与加工区域内附带有研磨砂浆的钢线 1 接触、 磨销， 实现切 割。钢线 1 的运动方式为往复前进， 例如， 钢线 1 先顺时针运动 M 米， 再逆时针运动 N 米， 其 中， M 大于 N， 即钢线 1 在前后往复运动的同时整体上保持前进， 保持循环 ； 这样的运动方式 可以保证钢线 1 的使用效率。 0018 参考图 2， 为本发明实施例的钢线清洗装置结构示意图。 0019 本发明实施例公开的一种多线切割机的钢线清洗装置， 包括清洗箱 6、 水箱 7、。

13、 供 水管 8、 下水管 9、 第一喷水管 10、 第二喷水管 11、 分水阀 12、 水泵 13 ； 所述清洗箱 1 固定在 多线切割机的墙板 （未示出） 上， 其相对的两个侧壁上均有两个呈上下设置的通孔 14， 钢线 1 分别从位于上方和位于下方的两个通孔 14 穿过 ； 所述水泵 13 与所述水箱 7 连接， 用于将 所述水箱 7 储存的水抽出 ； 所述供水管 8 一端与所述水泵 13 连接， 另一端通过所述分水阀 12 分别与所述第一喷水管 10 和第二喷水管 11 连接， 所述第一喷水管 10 和第二喷水管 11 伸入所述清洗箱 6 内， 用于引流所述水泵 13 抽出的水并喷出以分别。

14、清洗所述清洗箱 6 内位 于上方和位于下方的钢线 1 ； 所述下水管 9 两端分别连接所述清洗箱 6 和水箱 7， 用于将清 洗后的废水引流回所述水箱 7 内。 0020 钢线 1 在放线电机 4（参考图 1） 和收线电机 5（参考图 1） 间形成了一闭合的运动 回路， 清洗箱 6 设置在如图 1 中椭圆形虚线区域 A 所示的位置处， 钢线 1 处于非加工区域的 两部分分别穿过清洗箱 6 侧壁上的通孔 14。具体的， 钢线 1 由放线电机 4 驱动并以放线电 机 4 为起点开始由非工作区域向工作区域运动， 在进入工作区域前会先通过清洗箱 6 侧壁 说 明 书 CN 103737733 A 4 。

15、3/4 页 5 上位于上方的两个通孔 14 从清洗箱 6 内部穿过 ； 钢线 1 在工作区域完成切割后， 继续向收 线电机 5 运动过程中， 将通过清洗箱 6 侧壁上位于下方的两个通孔 14 再次从清洗箱 6 内部 穿过， 上述的运动过程持续循环进行。即在工作过程中， 钢线 1 在持续进行切割工作时， 会 循环经过清洗箱 6 内部。水泵 13 将水箱 7 内存储的水抽出， 经过供水管 8 到达分水阀 12， 分水阀 12 将水分为两路分别进入第一喷水管 10 和第二喷水管 11， 水最终从第一喷水管 10 和第二喷水管11的出水端喷出， 冲刷经过清洗箱6内的钢线1， 将钢线1上附着的研磨砂浆 。

16、冲掉。研磨砂浆很有较大的颗粒物， 且其中附带有一定量的沙子， 将非加工区域内的钢线 1 上的研磨砂浆清洗掉， 能够有效防止钢线 1 携带研磨砂浆运动经过线辊 2 和导线轮时发生 摩擦， 导致线辊 2 和导线轮的磨损， 降低了装置的维护成本 ； 减小摩擦的同时， 也保证的钢 线 1 的进行切割时不会发生断线的情况， 提高了工作效率。清洗完的废水， 经由下水管 9 流 回水箱 7 内， 实现循环利用， 节约了水资源。 0021 显然的， 根据实际使用条件以及清洗效果的需要， 可以设置更多数量的用于清洗 钢线的喷水管， 并相应的配合更多数量的喷水管来设置分水阀以及供水水路以满足使用要 求。 0022。

17、 进一步的， 通过调节所述分水阀 12 还能够控制导流的水的流速， 从而控制所述第 一喷水管 10 和第二喷水管 11 的喷水速度以满足不同规格、 类型的钢线的清洗要求。 0023 作为一个实施例， 所述第一喷水管10的出水端处于所述清洗箱6内位于上方的钢 线 1 上方 ； 所述第二喷水管 11 的出水端处于所述清洗箱 6 内位于下方的钢线上方。第一喷 水管 10 和第二喷水管 11 由钢线 1 的上方向下喷水对去进行冲刷、 清洗， 能够进一步的保证 清洗质量。根据具体的使用情况以及清洗箱 6 内部的布线设置， 所述第一喷水管 10 和第二 喷水管 11 的出水端也可以设置在其要清洗的钢线 1。

18、 附近的其他位置， 如钢线 1 下方、 与钢 线 1 平行等。 0024 所述水箱 7 内部设置多个挡板 15， 所述多个挡板 15 相互平行， 且交错设置在所述 水箱 7 的底部和顶部 ； 所述下水管 9 与所述水箱 7 的连接端和所述水泵 13 分别设置在位 于两端的两个所述挡板 15 的外侧。清洗过钢线 1 的废水流回水箱 7 时， 将沿着水箱 7 的长 度方向由流入端流向设置水泵13的一端， 设置多个挡板15的作用在于对废水中的砂浆、 沙 粒起到阻挡作用， 同时多个挡板15交错设置在所述水箱7的底部和顶部也延长了水流的路 径， 使废水中的砂浆、 沙粒有足够的时间沉淀至水箱7的底部， 即。

19、废水没经过挡板15后都将 携带更少的砂浆、 沙粒， 当流至设置水泵 13 的一端时已经比较清澈， 能够再次用于清洗钢 线 1。 0025 作为优选实施例， 所述水箱 7 内部设置三个挡板 15， 位于中间的挡板 15 设置在所 述水箱顶部， 其两侧的两个挡板15设置在所述水箱底部。 参考图2， 携带有从钢线1上冲刷 下的研磨砂浆的废水从水箱 7 的右侧流回， 由于挡板 15 的阻挡， 废水会经过一段曲折的路 径流向水箱 7 的左侧， 这个过程中， 废水中的砂浆、 沙粒被废水携带着流动过程中， 将被挡 板 15 阻挡而留在挡板 15 的一侧， 同时也会自然的发生沉淀， 留在水箱 7 底部， 废水。

20、上部较 清的部分最终流至水箱 7 的左侧位置由水泵 13 再次抽出进行清洗钢线 1 的工作， 实现水循 环利用的同时， 保证清洗用水不会带有过多的砂浆、 沙粒而影响清洗效果。需要注意的是， 挡板的具体数量可以根据水箱的规格尺寸而设置， 而并不限于本实施例中所述的数量。 0026 此外， 所述水箱7底部设置用于放水的出水口16。 经过长时间的使用， 水箱7底部 说 明 书 CN 103737733 A 5 4/4 页 6 将会累积越来越多的砂浆、 沙粒以及污物， 继续循环使用水箱 7 中储存的水将会影响清洗 效果， 故水箱7需要定期的换水， 放出废水、 充入新的清水， 通过在水箱7底部设置的出水口 16 外接水管能够实现水箱 7 内水的快速更换。 0027 所属领域的普通技术人员应当理解 ： 以上所述仅为本发明的具体实施例而已， 并 不用于限制本发明， 凡在本发明的精神和原则之内， 所做的任何修改、 等同替换、 改进等， 均 应包含在本发明的保护范围之内。 说 明 书 CN 103737733 A 6 1/2 页 7 图 1 说 明 书 附 图 CN 103737733 A 7 2/2 页 8 图 2 说 明 书 附 图 CN 103737733 A 8 。