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1、(10)申请公布号 CN 103361595 A (43)申请公布日 2013.10.23 CN 103361595 A *CN103361595A* (21)申请号 201210083684.7 (22)申请日 2012.03.27 C23C 8/36(2006.01) F16J 9/26(2006.01) (71)申请人 香港生产力促进局 地址 中国香港九龙 (72)发明人 郭达勤 王国华 吴征威 熊涛 朱剑豪 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 代理人 瞿卫军 (54) 发明名称 使用等离子体浸没离子注入 (PIII) 对活塞 环进行渗氮的装置 (57) 摘。
2、要 本发明公开了一种用于支承安装于其上的物 体以进行掺杂的装置, 其包括底部、 设置在底部上 的中心支撑体和至少一个适于连接并包住中心支 撑体的外壳盖, 从而在其间产生空腔。 所述物体适 于经由其内表面紧固地安装在外壳盖上, 因此在 物体掺杂期间, 由掺杂系统提供的热量通过所述 腔以加热物体。 同样, 通过由掺杂系统提供的掺杂 剂来均匀地掺杂物体的外表面。还公开了一种使 用该装置对多个活塞环进行渗氮的方法。 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 5 页 附图 8 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书5页 附图8页 (10)申请公布。
3、号 CN 103361595 A CN 103361595 A *CN103361595A* 1/2 页 2 1. 一种用于在其上支承至少一个物体以进行掺杂的装置, 其包括 : a) 底部 ; b) 设置在所述底部上的中心支撑体 ; 和 c) 至少一个适于连接到并包住所述中心支撑体的外壳盖, 以在其间产生空腔 ; 其中, 所述物体适于经由所述物体的内表面而紧固地安装到所述外壳盖上 ; 在掺杂期 间, 由掺杂系统提供的热量通过所述腔以加热所述物体, 由此通过所述掺杂系统提供的掺 杂剂来均匀地掺杂所述物体的外表面。 2. 如权利要求 1 所述的装置, 还包括设置在所述中心支撑体上的延展组件, 以用。
4、于延 展所述外壳盖。 3. 如权利要求 2 所述的掺杂装置, 其中所述延展组件包括可滑动地连接到所述中心支 撑体上的第一滑块和第二滑块, 适于被固定到所述第一和第二滑块上的铰链, 和适于移动 所述第一和第二滑块的旋转部件 ; 且其中, 当使用者以预定方向转动所述旋转部件时, 所述 第一和第二滑块沿着所述中心支撑体滑动以伸展所述铰链, 从而延展所述外壳盖。 4. 如权利要求 2 所述的装置, 其中, 所述延展组件设置在所述中心支撑体的每一端。 5. 如权利要求 1 所述的装置, 其中, 所述外壳盖包括用于紧固被安装在所述外壳盖上 的所述物体的紧固轴。 6. 如权利要求 1 所述的装置, 还包括适。
5、于互相结合以包住所述中心支撑体的两个外壳 盖, 和适于紧固所述两个外壳盖之间的所述结合的锁。 7. 如权利要求 1 所述的装置, 其中, 所述物体为活塞环且所述掺杂剂为氮化物。 8. 一种用于在其上安装至少一个活塞环以进行掺杂的装置, 其包括 : a) 底部 ; b) 设置在所述底部上的中心轴 ; 和 c) 适合于互相结合的三个外壳盖, 用于包住所述中心轴, 以在其间产生空腔 ; 其中, 所述活塞环适于经由所述活塞环的内表面紧固地安装在所述外壳盖上 ; 在掺杂 期间, 所述腔提供用于供由掺杂系统提供的热量通过的通道, 以加热所述活塞环, 由此通过 由所述掺杂系统提供的掺杂剂来均匀地掺杂所述活塞。
6、环的外表面。 9. 如权利要求 8 所述的装置, 还包括设置在所述中心轴的每一端上的延展组件, 用于 延展所述外壳盖, 其包括可滑动地连接到所述中心支撑体上的第一滑块和第二滑块, 适于 被固定至所述第一和第二滑块的铰链, 和适于移动所述第一和第二滑块的旋转部件 ; 且其 中, 当使用者以预定方向转动所述旋转部件时, 所述第一和第二滑块则沿着所述中心支撑 体滑动以伸展所述铰链, 从而延展所述外壳盖。 10. 用于对多个活塞环进行渗氮的方法, 其包括 : a) 提供根据权利要求 1 的装置 ; b) 在所述外壳盖上以预定的空间间隔堆叠多个活塞环 ; c) 将具有安装于其上的所述活塞环的所述装置放置。
7、在真空腔内, 并抽吸所述真空腔至 预定的基准压力 ; d) 将氮气引入所述真空腔内, 以使所述真空腔达到预定工作压力, ; e) 将等离子体浸没离子注入渗氮应用于所述真空腔 ; 和 f) 以预定持续时间将所述真空腔的温度提高至预定温度 ; 权 利 要 求 书 CN 103361595 A 2 2/2 页 3 由此在所述活塞环的外表面上均匀地掺杂氮化层。 11. 如权利要求 10 所述的方法, 其中所述预定空间间隔在 0mm 至 10mm 的范围内 ; 所述 预定基准压力低于5.0x10-3Pa ; 所述预定工作压力在0.2Pa至200Pa的范围内 ; 所述预定温 度在 200至 1000的范围。
8、内 ; 所述预定持续时间在 2 至 10 小时的范围内 ; 在步骤 (e) 中 的等离子体浸没离子注入期间, 产生的负电压脉冲的电压振幅在 -500V 和 -2kV 之间, 产生 的负电压脉冲的频率在 100Hz 和 40kHz 之间, 且产生的负电压脉冲的脉冲宽度至少为 5 微 秒。 权 利 要 求 书 CN 103361595 A 3 1/5 页 4 使用等离子体浸没离子注入 (PIII) 对活塞环进行渗氮的 装置 技术领域 0001 本发明涉及用于对活塞环进行渗氮的支承装置, 且具体地涉及使用等离子体浸没 离子注入 (PIII) 对活塞环进行渗氮的支承装置。 背景技术 0002 近几年,。
9、 内燃机被设计以满足增长的对高输出量、 高的单位分钟转数和更长的产 品使用寿命的需求, 并符合世界范围内日益严格的废气排放规定。因此发动机中使用的活 塞环是在更加严格的操作环境下运行的。典型地, 很多这种活塞环在其上下表面上形成有 镀铬膜、 氮化层或者物理气相沉积膜。氮化硬面层总是形成在活塞环的外表面上。美国专 利 US6,279,913 中公开了氮化环的实例。镀层操作实质上将增加活塞环的制造成本。 0003 一般而言, 渗氮是一种将氮扩散进入金属表面以产生表面硬化的表面的热处理工 艺。其主要用于钢, 但也可用于钛、 铝和钼。等离子体渗氮, 也被称为离子渗氮、 等离子体离 子渗氮或者辉光放电渗。
10、氮, 是一种用于金属材料的工业化表面硬化处理。在等离子体渗氮 中, 渗氮介质的反应性能不归因于温度, 而是归因于气体电离态。在这一技术中, 使用强电 场以产生围绕待氮化表面的气体的离子化分子。 该具有离子化分子的高活性气体被称为等 离子体, 为这种技术命名。用于等离子体渗氮的气体通常为纯氮, 因为不需要自发分解。由 于氮粒子可通过电离制得, 不同于气浴或盐浴的是, 等离子体渗氮的效率不取决于温度。 因 此, 等离子体渗氮可以在从 260至高于 600的宽的温度范围内实施。例如, 可在中等温 度 ( 如 420 ) 下氮化不锈钢而不形成氮化铬沉淀, 由此保持其耐腐蚀性能。例如, 在美国 专利 U。
11、S6142481、 US6139022和US6149162中已经广泛地讨论了对活塞环进行渗氮的方法。 0004 在如上所述用于渗氮工艺的传统渗氮系统中, 涉及了很多部件或构件, 尤其是比 如加热构件和支承构件, 因此系统的这种复杂性会很容易降低在活塞环上渗氮的效率。 发明内容 0005 根据上述背景技术, 本发明的目的是提供用于支承活塞环和对活塞环进行渗氮的 可选装置。 0006 因此, 在一个方面, 本发明是一种用于在其上支承用于掺杂的至少一个物体的装 置, 其包括 : 底部, 设置在所述底部上的中心支撑体, 和至少一个适于连接到并包住所述中 心支撑体以便在其间形成空腔的外壳盖。 所述物体适。
12、于经由其内表面而牢固地安装在所述 外壳盖上, 因此在物体的掺杂期间, 由掺杂系统提供的热量通过所述腔以加热物体。同样, 使用所述掺杂系统提供的掺杂剂来均匀地掺杂所述物体的外表面。 0007 在本发明的一个示例实施例中, 所述装置还包括设置在所述中心支撑体上的延展 组件, 用于延展所述外壳盖。 在另一个示例实施例中, 延展组件包括可滑动地连接到所述中 心支撑体上的第一滑块和第二滑块, 适于被固定至所述第一和第二滑块的铰链, 和适于移 动所述第一和第二滑块的旋转部件。当使用者将所述旋转部件沿预定方向旋转时, 所述第 说 明 书 CN 103361595 A 4 2/5 页 5 一和第二滑块沿着所述。
13、中心支撑体滑动, 从而伸展所述铰链, 以延展所述外壳盖。 0008 在另一个示例实施例中, 所述装置包括一个外壳盖, 其中所述外壳盖还包括用于 紧固被安装在所述外壳盖上的物体的紧固轴。在另一个示例实施例中, 所述装置包括两个 适于互相结合以包住所述中心支撑体的外壳盖, 和适于紧固两个外壳盖之间的所述结合的 锁。 0009 在又一个示例实施例中, 所述物体为活塞环, 且掺杂剂为氮化物。 0010 根据本发明的另一方面, 一种用于在其上安装至少一个待掺杂的活塞环的装置, 其包括底部, 设置在所述底部上的中心轴, 和三个适于互相结合以包住所述中心轴从而在 其间形成空腔的外壳盖。所述活塞环适于经由其内。
14、表面而紧固地安装到所述外壳盖上, 因 此在活塞环的掺杂期间, 所述腔提供通道, 以供由掺杂系统提供的热量通过, 从而加热所述 活塞环。同样, 使用由所述掺杂系统提供的掺杂剂来均匀地掺杂所述活塞环的外表面。 0011 在另一个示例实施例中, 所述装置还包括设置在所述中心轴的每一端上的延展组 件, 用于延展所述外壳盖。所述延展组件包括可滑动地连接到所述中心支撑体上的第一滑 块和第二滑块, 适于被固定至所述第一和第二滑块的铰链, 和适于移动所述第一和第二滑 块的旋转部件。当使用者以预定方向转动所述旋转部件时, 所述第一和第二滑块则沿着所 述中心支撑体滑动, 从而伸展所述铰链, 以延展所述外壳盖。 0。
15、012 在本发明的另一方面, 提供了一种用于对多个活塞环进行渗氮的方法, 其包括如 下步骤 : 提供根据前面所描述的任意实施例的装置, 在所述外壳盖上以预定的空间间隔堆 叠活塞环, 将所述其上安装有活塞环的装置放置在真空腔内, 并抽吸所述真空腔至预定的 基准压力, 将氮气引入所述真空腔内, 以使所述真空腔达到预定的工作压力, 将等离子体浸 没离子注入渗氮应用于所述真空腔, 以及, 以预定持续时间将所述真空腔的温度提高至预 定温度。以此, 在所述活塞环的外表面上均匀地掺杂氮化层。 0013 本发明具有很多优点。例如, 由于本发明装置内部的腔提供了用于供在掺杂工艺 期间产生的热量通过的通道, 安装。
16、在所述装置上的活塞环将被更均匀和有效地加热, 使得 氮化物可被均匀地掺杂在活塞环的外表面上。同样, 由于 PIII 系统同时提供了热量和氮等 离子体, 有可能只使用一个电源同时进行加热和渗氮, 这将提高工艺的总体效率。 附图说明 0014 图 1 是根据本发明实施例的装置的透视图 ; 0015 图 2a 是图 1 中装置的透视图, 其中移除了所有三个外壳盖。图 2b 是图 1 中装置 的透视图, 其中只移除了三个外壳盖中的一个。 0016 图3是图1中装置的透视图, 其中只有一个延展组件被设置在中心支撑体的一端。 0017 图 4a 是根据本发明另一个实施例的装置的透视图, 并且在图 4b 中。
17、示出了活塞环 被堆叠和安装在所述装置上。 0018 图 5a 是根据本发明另一个实施例的装置的透视图, 并且在图 5b 中示出了活塞环 被堆叠和安装在所述装置上。 0019 图 6 是图 1 中装置的透视图, 活塞环被堆叠和安装在所述装置上。 0020 图 7a 示出了使用根据本发明的一个实施例的装置、 通过 PIII 渗氮工艺对六个活 塞环进行氮化。图 7b 示出了图 7a 中工艺的实验设备和结果。 说 明 书 CN 103361595 A 5 3/5 页 6 0021 图 8 示出了氮化后的活塞环的横截面的硬度分布。水平点之间的距离为 10 微米, 并且氮化层的厚度至少为 30 微米。 具。
18、体实施例 0022 如在此处和权利要求中所使用的,“包括” 指的是包含下面的元件但不排除其它元 件。物体的 “内表面” 指的是与安装有该物体于其上的支撑体表面相接触的表面, 而物体的 “外表面” 指的是不与支撑体表面相接触的表面。例如, 在本发明中例示的活塞环的 “内表 面” 指的是与安装有活塞环于其上的外壳盖的表面相接触的内周表面, 反之, 在本发明中例 示的活塞环的 “外表面” 指的是不与外壳盖的表面相接触的上、 下和外周表面。 0023 现在参考图 1, 本发明的第一实施例是一种用于支承待由掺杂剂掺杂的活塞环的 装置 10, 在优选实施例中, 所述掺杂剂例如为氮化物。装置 10 包括中心。
19、轴 20, 牢固地连接 有所述中心轴 20 于其上的 底部 24, 以及外壳盖 22。在一个例示的实例中, 中心轴 20 为由 坚硬材料 ( 例如不锈钢 ) 制成的圆柱形的柱体, 并且其充当装置 10 的基本支撑体。三个弧 形圆柱体不锈钢片充当三个外壳盖 22, 以包住中心轴 20, 使得在其间形成空腔。 0024 图2a示出了装置10的不同部分的配置, 同时为了易于例示, 移除了所有三个外壳 盖。延展组件 34 设置在中心轴 20 的每一端, 该延展组件 34 包括第一滑块 28、 第二滑块 30 和铰链 32。通过设置在中心轴 20 两端上的螺纹 36 的耦合, 第一滑块 28 和第二滑块。
20、 30 都 可滑动地连接到中心轴 20 上。第一滑块 28 进一步邻近于被连接到中心轴 20 的端部上的 固定元件 38 而设置。铰链 32 连接至第一滑块 28 和第二滑块 30 两者上。 0025 如在具体实例中所示出的, 具有 T 形横截面的外围轴 40 适用于连接外壳盖 22 上, 如图 2b 所示。外围轴 40 被连接至铰链 30 上, 使得第一滑块 28 和 / 或第二滑块 30 的运动 引起铰链 32 相对外围轴 40 伸展。因此, 外围轴 40 会被朝外推动, 这样, 连接在其上的外壳 盖 22 会被延展。处于延展状态 ( 即外壳盖 22 被延展 ) 的装置 10 将能够容纳具。
21、有更大直 径的活塞环。在一个优选实施例中, 装置 10 可容纳具有在 50mm 至 70mm 范围内的直径的活 塞环 ; 在另一个实施例中, 装置 10 可容纳具有在 70mm 至 90mm 范围内的直径的活塞环。 0026 使用者以顺时针或逆时针方向旋转延展组件 34 的旋转动部件, 相应转动了中心 轴 20, 以此带动第一滑块 28 和 / 或第二滑块 30 的运动。如图 2a 中所示的具体实例中所例 示的, 底部 24 充当旋转部件, 因此当使用者以预定方向转动 “旋转部件” ( 即底部 24) 时, 中 心轴 20 通过该转动动作而旋转, 这引起第一滑块 28 和第二滑块 30 沿着中。
22、心轴 20 彼此相 对滑动, 以伸展铰链 30。同样, 外壳盖 22 可由上面所描述的机构被延伸。 0027 在一个优选实施例中, 第一滑块 28 被牢固地连接至固定部件 38 上并变得不可移 动, 因此只有第二滑块 30 会移动, 并通过中心轴 20 的旋转动作靠近第一滑块 28, 以用于伸 展铰链 30。 0028 图 3 演示了本发明的装置 10 的第二实施例, 其中只有一个延展组件 34 被设置在 中心轴 20 的一端。 0029 本发明的装置 10 的另一个实施例如图 4a 和 4b 所示, 其中只有一个外壳盖 22 包 住中心轴 20。在一个优选实施例中, 通过本领域通常所知的固定。
23、方式, 例如但不限于螺钉, 外壳盖22被连接到中心轴上。 在另一个优选实施例中, 外壳盖22包括圆柱腔46, 使得中心 轴 20 能够通过其插入, 以用于中心轴 20 和外壳盖 22 之间的紧固连接。紧固轴 44 也适于 说 明 书 CN 103361595 A 6 4/5 页 7 在其外周处被连接至外壳盖 22, 用于经由活塞环 42 的内表面来紧固被安装在外壳盖 22 上 的活塞环 42。 0030 在图 5a 和 5b 所示的本发明的装置 10 的另一个实施例中, 两个外壳盖 22a 和 22b 被用于包住中心轴20。 这两个外壳盖22a和22b被固定在每个盖的一端处且适于在每个盖 的另。
24、一端相互结合, 同时锁 48 适合于紧固这种结合。类似于前述实施例, 通过本领域通常 已知的固定方式, 例如但不限于螺钉, 外壳盖 22a 和 22b 被连接到中心轴上。在另一个优选 实施例中, 外壳盖 22a 包括圆柱腔 46, 使得中心轴 20 能够通过其插入, 以用于中心轴 20 和 外壳盖 22a、 22b 之间的紧固连接。图 5b 还示出了活塞环 42 堆叠在外壳盖 22a 和 22b 上。 在一个优选实施例中, 外壳盖22a和22b相互不完全结合, 且在其间设置有小的缝隙。 同样, 装置的整个外周被扩展以用于容纳具有更大直径的活塞环。在另一个优选实施例中, 类似 于图 4a 和 4。
25、b 所示的紧固轴也可被并入到装置中, 以用于进一步紧固被安装在外壳盖 22a 和 22b 上的活塞环 42。 0031 现在转向在对活塞环进行渗氮的工艺中使用上面所述的装置的操作, 其中用包括 三个外壳的装置的实施例作为示例。对于本领域技术人员而言, 所描述的装置的其它实施 例显然也可以用于渗氮工艺。 如图 6 所示, 一系列环 42 首先沿着装置 10 的中心轴线以如 图 6 所示的精确的空间间隔而轴向对齐地堆叠。在一个优选实施例中, 该空间间隔在 0mm 至 10mm 的范围内。然后, 具有堆叠环的装置被放置在真空腔内, 且真空腔首先被抽空至特 定的基准压力, 例如 5.0x10-3pa,。
26、 以最小化腔内的氧气含量。将氮气引入真空腔中以达到 0.2Pa 至 200Pa 的工作压力 ; 在一个优选实施例中, 工作压力在 0.5Pa 至 200Pa 之间。当具 有 -500V 和 -2kV 之间的电压振幅的负电压脉冲以 0Hz 和 40kHz 之间的频率通过对样品台 导电而被施加到装置上时, 在等离子体浸没离子注入 (PIII) 工艺中产生氮等离子体 ; 在一 个优选实施例中, 该频率在 100Hz 和 40kHz 之间。负电压脉冲的脉冲宽度至少为 5 微秒 ; 在 一个优选实施例中, 脉冲宽度在 5 微秒和 200 微秒之间。总体处理工艺在 2 至 10 小时的范 围内。 0032。
27、 在上述实验条件下, 在装置和腔内生成强氮等离子体。当离子和电子流通过装置 的空腔时发生自加热, , 而这又产生热量且温度可以在200至1000的范围内。 在一个优选 实施例中, 当 PIII 参数, 即电压振幅、 频率、 脉冲宽度最优化时, 装置的温度可达到 1000。 然而, 为了对活塞环进行渗氮, 可通过精细控制 PIII 参数使温度在 500以下。 0033 作为实例, 在上面所述的活塞环的 PIII 渗氮工艺中例示了本发明装置的用途, 图 7b 概括了在不同的 PIII 参数和处理时间下对多个环实施的一系列实验。样品 1 的环的厚 度为 2mm, 而样品 2 的环的厚度为 4mm。所。
28、有环的直径为 63mm, 且以其间 5mm 或 10mm 的空间 间隔被安装在装置上 ( 例如, 如图 6 所示 )。工作压力被固定在 50Pa, 而负电压脉冲的脉冲 频率为 40kHz。负电压脉冲的脉冲宽度和负电压振幅是变化的, 以用于将温度精确控制在 500下。脉冲宽度的范围在 11.25 微秒至 17.5 微秒之间, 而负电压振幅的范围在 -590V 至 -650V 之间。所有这些实验的总处理时间为 5 或 6 小时。 0034 如图 7a 所示, 通过该工艺在 50Pa 的工作压力、 40kHz 的负电压脉冲频率、 -590V 的 负电压脉冲电压以及17.5微秒的负电压脉冲宽度下处理六。
29、个活塞环50, 持续6小时。 与原 环相比, 经过处理的环的颜色变暗, 同时在环的外表面上出现均匀的氮化物沉积。在图 7a 中描述的特定实例显示了与原环 52 并排的经过处理的环 50。当在整个工艺中将装置的温 说 明 书 CN 103361595 A 7 5/5 页 8 度保持在 500以下时, 在经过处理的环 50 中没有观察到形变。 0035 根据维式 (Vickers) 硬度实验来确定环的平均硬度, 在该实验中, 在以克为单位 的负荷下, 将硬度计压头按压在实验样品的表面上。在该实例中, 硬度计压头为金刚石。 然后通过 F/A 的比率来确定维式角锥硬度值 (HV), 其中 F 是施加在。
30、金刚石上的力, 单位为 克 - 力, A 是所产生的压痕的表面面积, 单位为平方毫米。在该实例中, 在原环和经过处理 的环这两种环上, 测量总共 14 个点 ( 分别是来自环顶面和底面的 7 个点 ) 并取均值。未经 处理的原环显示出的平均硬度为 474HV(100gf)。如图 7b 所示, 对于经过 PIII 渗氮处理后 的环, 其平均硬度从原环的 474HV(100gf) 增长到 900 和 1000HV 之间。因此, 该系列实验显 示出, 使用了本发明的支承装置的活塞环的 PIII 渗氮工艺是可重复的, 并且在接受实验的 环中产生均匀的氮化物沉积。 0036 图 8 描绘了使用本发明的装。
31、置的 PIII 渗氮工艺来处理的活塞环的一部分的纵向 横截面。通过以 10 克的负荷敲击硬度计压头 62, 在环 60 的表面处实施硬度分布。硬度计 压头的水平点之间的距离保持在 10 微米, 该距离由样品台千分尺控制。其显示出, 通过使 用本发明的装置的所述工艺, 掺杂在环上的氮化层的厚度至少为 30 微米 ; 在一个优选实施 例中, 氮化层的厚度为 30 微米至 60 微米之间。 0037 由此充分描述了本发明的典型实施例。尽管实施描述涉及具体的实施例, 对本领 域技术人员而言, 本发明显然可以使用这些具体细节 的变化来实施。 因此本发明不应被解 释为被局限于此处所陈述的实施例。 0038。
32、 例如, 本发明的装置内的部件之间的连接, 比如在外围轴和外壳盖之间的连接, 或 者在铰链和外围轴之间的连接, 可以通过本领域中通常已知的固定装置来实现, 例如但不 限于螺钉。 0039 而且, 尽管将活塞环作为待使用本发明的装置被掺杂的物体来讨论, 对本领域技 术人员而言, 显然可以使用对所述装置的任何部分或部分的组合进行适当调节和改变的装 置、 以期望的掺杂剂来对其它物体进行掺杂, 比如刀具、 钻头等。 0040 同样, 尽管图 2a 中的底部 24 充当延展组件 34 的旋转部件, 对于本领域技术人员 而言, 所述装置的其它部分或部分的组合显然也能够充当旋转部件, 只要该部分或部分的 组。
33、合可引起第一和第二滑块的运动, 以用于伸展铰链从而延展外壳盖。 说 明 书 CN 103361595 A 8 1/8 页 9 图 1 说 明 书 附 图 CN 103361595 A 9 2/8 页 10 说 明 书 附 图 CN 103361595 A 10 3/8 页 11 图 3 说 明 书 附 图 CN 103361595 A 11 4/8 页 12 说 明 书 附 图 CN 103361595 A 12 5/8 页 13 说 明 书 附 图 CN 103361595 A 13 6/8 页 14 图 6 说 明 书 附 图 CN 103361595 A 14 7/8 页 15 图 7a 图 7b 说 明 书 附 图 CN 103361595 A 15 8/8 页 16 图 8 说 明 书 附 图 CN 103361595 A 16 。