一种等离子体灭菌超净台
技术领域
本发明涉及生物医药化工设备技术领域，具体涉及一种等离子体灭菌超净台。
背景技术
超净台是一种供单人操作的通用型局部净化设备，气流形式为垂直层流与水平层流，
它可造就局部高清洁度空气环境，是科研制药、医疗卫生、电子光学仪器等行业最为理想的
专用设备。洁净工作台广泛应用于需要局部净化的区域、实验室、生物制药、光电产业、微电
子、硬盘制造等领域。
超净台在使用前和使用后一般需要将移动门关闭，利用紫外灯照射30分钟进行灭
菌消毒，部分严格的实验需要紫外灯照射一夜时间。然而紫外灯的灭菌效果和效率都非常
的低。紫外灯对于真菌和霉菌类则非常难以杀灭，而需要用化学方法如新洁尔灭或乳酸熏
蒸超净台一次。而对于有的病毒（比如流感病毒）则可能有光修复功能，这样短于40小时的
紫外灯照射则不起作用。超净台内在紫外灯的阴影之下则是灭菌死角。紫外灯的距离也会
影响灭杀效率。台面若有污垢或液体则可能会因为照射不透而无法灭菌。紫外光对人体眼
睛有很强的伤害，灭菌时人必须离开一定范围。人体皮肤长期暴露于紫外光照射下也极易
罹患皮肤癌。另外，紫外灯非常容易坏，灯管的寿命一般都不长。
发明内容
本发明提供一种等离子体灭菌超净台，利用等离子体进行安全高效、对人体无害
的灭菌。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
一种等离子体灭菌超净台，包括上下布置的进气过滤室和操作室，所述操作室内形成
有用于放置物品的台面，操作室的一侧设置有移动门，台面上设置有电极探入装置，该台面
的下方布置有等离子体电源，该电极探入装置包括高压电极杆、设置在高压电极杆末端的
接电端以及锁紧机构，该高压电极杆能够垂直于台面进行伸缩，并通过锁紧机构进行限位，
所述操作室的壳体上设置有可折叠的地电极，高压电极杆和操作室壳体分别连接等离子体
电源的正负极，高压电极杆与地电极之间能够产生低气压等离子体。
进一步地，所述锁紧机构包括套设在高压电极杆上的安装管、压紧螺母，以及布置
在安装管与压紧螺母间的锥形密封垫，安装管与高压电极杆之间设置有上绝缘垫，压紧螺
母与高压电极杆之间设置有下绝缘垫。
由以上技术方案可知，本发明采用单独的地电极，与探入超净台操作区域内的高
压电极杆之间产生低气压放电现象，即产生低气压等离子体，利用等离子体对超净台内部
所有区域进行等离子体灭菌，灭菌效率高，灭菌无死角，在超净台内部，等离子体能够进入
的任何区域、角落和缝隙，都可以进行有效灭菌。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明中锁紧机构的结构示意图。
图中：10、进气过滤室，20、操作室，21、台面，22、移动门，23、紫外灯，24、照明灯，
25、抽气口，40、电极探入装置，41、高压电极杆，42、接电端，50、锁紧机构，51、安装管，52、压
紧螺母，53、锥形密封垫，54、上绝缘垫，55、下绝缘垫，60、地电极，70、等离子体电源。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的一种优选实施方式作详细的说明。
本发明的超净台可以单独使用，也可以由多个超净台，或其他设备一起组成生产
流水线，可以满足生产中多种需求。本发明涉及的等离子体包含所有方式产生的低温等离
子体，包括但不局限于射频、微波、各类阴极等方式产生的等离子体。涵盖了辉光放电、电晕
放电、弧光放电、介质阻挡放电、射频放电、大气压辉光放电、次大气压辉光放电、滑动电弧
放电、等一切形式下的低温等离子体。
如图1所示，所述等离子体灭菌超净台包括上下布置的进气过滤室10和操作室20，
所述操作室中设置有电极探入装置40，该电极探入装置包括高压电极杆41、设置在高压电
极杆末端的接电端42以及锁紧机构50，该高压电极杆能够进行伸缩，并通过锁紧机构进行
限位。
本发明涉及的等离子体包含所有方式产生的低温等离子体，包括但不局限于射
频、微波、各类阴极等方式产生的等离子体。等离子体电源70布置在操作室的下部空间，等
离子体灭菌器的电源包括但不局限于射频电源、微波电源、各类阴极电源及加热电源等。
所述操作室20内形成有用于放置物品的台面21，高压电极杆41设置在台面上，并
垂直于台面做伸缩运动，该台面的上方设置有紫外灯23和照明灯24，进行紫外杀菌和照明，
操作室的一侧设置有移动门22，移动门在操作时可向上抬起，在不需操作台操作（如紫外杀
菌）时落下。在进行无菌操作之前，关闭移动门，将超净台内部封闭成独立空间。
所述操作室20内壁上设置有可折叠的地电极60，高压电极杆41与地电极之间能够
产生低气压等离子体。单独设置的地电极，使得探入的高压电极杆与地电极之间间距更小，
等离子体放电条件更低，可折叠设计在不使用时可以折叠靠在操作室内壁，提高空间利用
率。
操作室20的一侧设置抽气口25，用于连接真空泵，可以对超净台进行抽真空操作，
获得0.01~100Pa压强的气压更有利于等离子体的产生，降低放电条件。本发明所述的等离
子体包括但不局限于低气压等离子体，部分等离子体的电源可以不需要真空获得设备，而
是产生大气等离子体，也具有同样的效果，也在本发明保护范围之内。
如图2所示，所述锁紧机构50包括套设在高压电极杆上的安装管51、压紧螺母52，
以及布置在安装管与压紧螺母之间的锥形密封垫53，安装管与高压电极杆之间设置有上绝
缘垫54，压紧螺母与高压电极杆之间设置有下绝缘垫55。
依靠锥形密封垫进行密封，锥形密封垫包含但不局限于氟橡胶材质，以聚四氟乙
烯作为上绝缘垫和下绝缘垫的材料。操作时旋开压紧螺母52，可以调节高压电极杆探入的
深度，拧紧压紧螺母，可以实现高压电极杆的锁定。
以上所述实施方式仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范
围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方
案作出的各种变形和改进，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。