蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法.pdf

《蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《蒸镀装置、蒸镀设备及蒸镀方法.pdf（13页完整版）》请在专利查询网上搜索。

1、(10)申请公布号 CN 104004995 A (43)申请公布日 2014.08.27 CN 104004995 A (21)申请号 201410247239.9 (22)申请日 2014.06.05 C23C 14/24(2006.01) C23C 14/54(2006.01) (71)申请人 上海和辉光电有限公司 地址 201500 上海市金山区金山工业区大道 100 号 1 幢二楼 208 室 (72)发明人 张耀宇 (74)专利代理机构 隆天国际知识产权代理有限 公司 72003 代理人 赵根喜 郑特强 (54) 发明名称 蒸镀装置、 蒸镀设备及蒸镀方法 (57) 摘要 本发明提供。

2、一蒸镀装置、 蒸镀设备及蒸镀方 法， 蒸镀装置包括 ： 至少一蒸镀源 ； 以及， 一动力 装置， 接设于所述蒸镀源， 所述动力装置驱动所述 蒸镀源往复摇摆。本发明将现有线性蒸镀源直线 扫描生产方式， 改为摇摆方式来达成成膜目的。 利 用蒸镀源的摇摆， 减少其中一个或多个喷口出气 率不良时的影响， 提高蒸镀气体均匀性， 从而提高 成膜均匀性。 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 6 页 附图 4 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书6页 附图4页 (10)申请公布号 CN 104004995 A CN 104004995 A 1/。

3、2 页 2 1. 一种蒸镀装置， 其特征在于， 包括 ： 至少一蒸镀源， 具有多个喷口 ； 及 一动力装置， 接设于所述蒸镀源， 所述动力装置驱动所述蒸镀源致使所述蒸镀源往复 摇摆。 2. 根据权利要求 1 所述的蒸镀装置， 其中， 多个所述蒸镀源排布为一排或多排， 排布方 向顺待蒸镀基板长度或宽度方向 ； 同一排的所述蒸镀源安装于一摇摆轴件， 所述动力装置 通过所述摇摆轴件致使所述蒸镀源往复摇摆。 3. 根据权利要求 2 所述的蒸镀装置， 其中， 所述蒸镀源具有多个坩埚， 各所述坩埚分别 设有一个所述喷口 ； 所述多个坩埚垂直于所述摇摆轴件的轴线排布。 4. 根据权利要求 3 所述的蒸镀装置。

4、， 其中， 所述摇摆轴件为一传动轴， 所述蒸镀源固定 于所述摇摆轴件上， 且各所述蒸镀源固定于所述摇摆轴件角度错开分布 ； 所述动力装置得 以带动所述摇摆轴件在一定角度内往复转动。 5. 根据权利要求 3 所述的蒸镀装置， 其中， 所述摇摆轴件为一多级套组轴， 各所述蒸镀 源分别固定于其所处的所述摇摆轴件各级轴上 ； 所述动力装置通过所述摇摆轴件能分别带 动所述各蒸镀源在一定角度内往复转动。 6. 根据权利要求 1 所述的蒸镀装置， 其中， 所述蒸镀源为多个， 多个所述蒸镀源顺待蒸 镀基板长度或宽度方向排布为一排或多排 ； 所述各蒸镀源分别连接于一动力装置。 7. 根据权利要求 1 至 6 任。

5、一项所述的蒸镀装置， 其中， 各所述坩埚都分别具有加热装 置。 8.一种应用如权利要求1至7任一项中所述蒸镀装置的蒸镀设备， 还包括一移载机构、 多个镀率感应器及一蒸镀控制器 ； 其中 ： 所述移载机构可移动地承载所述蒸镀装置 ； 所述镀率感应器设置于所述蒸镀装置， 位于所述蒸镀装置排放范围内 ； 所述蒸镀控制器连接控制所述蒸镀装置的动力装置， 所述镀率感应器信号连接至所述 蒸镀控制器 ； 所述蒸镀控制器根据所述镀率感应器测得数据控制所述蒸镀装置的摇摆动 作。 9. 根据权利要求 8 所述的蒸镀设备， 更包括 ： 一基板保持台位于所述蒸镀装置上方， 其 内固定待蒸镀基板， 所述基板保持台上设置。

6、有多个镀率感应器， 这些镀率感应器位于所述 基板待蒸镀区域外周侧， 所述镀率感应器位于所述蒸镀源排放范围内。 10. 根据权利要求 9 所述的蒸镀设备， 其中， 所述移载机构具有推动机构， 所述蒸镀控 制器连接控制所述推动机构， 所述蒸镀控制器根据所述保持台面上多个镀率感应器所测数 据， 控制所述推动机构将所述移载机构与所述保持台面对中或偏移补正。 11. 一种蒸镀方法， 包括步骤 ： 在保持台面上放置待蒸镀基板， 并将所述基板置于蒸镀源在下方 ； 对所述蒸镀源进行加热 ； 所述蒸镀源达到蒸镀温度后， 打开所述蒸镀源喷口 ； 快速摇摆所述蒸镀源， 并感测镀率， 依照感测到的所述镀率变化换算摇摆。

7、速度， 待所述 蒸镀源蒸发量稳定后， 修正所述蒸镀源之所述摇摆速度 ； 根据所述蒸镀源喷口侧的镀率感应器及所述基板四周的镀率感应器感测镀率变化调 权 利 要 求 书 CN 104004995 A 2 2/2 页 3 整所述摇摆速度， 通过控制所述蒸镀源的偏摆和区域内的速度变化进行补正 ； 以及 在所述基板上成膜， 并关闭所述蒸镀源喷口。 权 利 要 求 书 CN 104004995 A 3 1/6 页 4 蒸镀装置、 蒸镀设备及蒸镀方法 技术领域 0001 本发明涉及蒸镀技术， 特别涉及一种能利用摇摆式蒸镀装置提高成膜均匀性的蒸 镀装置、 蒸镀设备及蒸镀方法。 背景技术 0002 如图 1 所。

8、示， 为现有技术蒸镀机构简化结构示意图。该蒸镀机构在一个蒸镀腔体 60 内， 通过一移载机构 61 载置一组线性蒸镀源 62。 0003 现有技术蒸镀机构实施蒸镀时， 在基板进行镀膜前， 移载机构 61 先位于基板保护 台65一侧， 利用一组镀率感测器63确认线性蒸镀源62镀率稳定后 ； 再依照镀率， 根据所述 需成膜厚度， 计算出蒸镀源 62 扫描通过次数与直线运行速度 ； 然后， 按照预算的次数和速 度， 以移载机构 61 移动线性蒸镀源 62 进行扫描镀膜。 0004 现有技术蒸镀机构存在的技术问题在于， 线性蒸镀源 62 在扫描蒸镀时， 因无法再 实时感测镀率的变化， 所以不能在线调整。

9、修正线性扫描蒸镀速度， 会造成同一基板上成膜 厚度的大幅变化， 成膜均匀性的不稳定。 0005 现有技术蒸镀机构需要解决的技术问题在于， 使用这种扫描蒸镀方式时， 由于移 载机构 61 需要先在基板保护台 5 一侧进行镀率测试， 并等待镀率稳定。这样， 会大量浪费 蒸镀源中昂贵的有机原料， 使成本居高不下。同时， 这种结构也使蒸镀设备的体积庞大， 也 会增加其维持真空状态的成本， 不利于降低制造成本， 影响厂区空间摆放效率。 其运作发展 受到相当大的限制与不便。 发明内容 0006 为解决现有技术的问题， 本发明的主要目的在于提供一种成膜均匀性更高的蒸镀 装置。 0007 本发明的次要目的在于。

10、提供一种降低蒸镀设备体积与制造成本的蒸镀装置。 0008 本发明的再一目的在于提供一种成膜均匀性更高的蒸镀设备。 0009 本发明的再一目的在于提供一种降低蒸镀设备体积与制造成本的蒸镀设备。 0010 本发明的再一目的在于提供一种成膜均匀性更高的蒸镀方法。 0011 本发明的再一目的在于提供一种降低蒸镀设备体积与制造成本的蒸镀方法。 0012 为实现上述发明目的， 本发明提供一种蒸镀装置包括 ： 至少一蒸镀源， 具有多个喷 口 ； 以及， 一动力装置， 接设于所述蒸镀源， 所述动力装置驱动所述蒸镀源致使所述蒸镀源 往复摇摆。 0013 本发明相较于现有技术的有益技术效果在于 ： 本发明将现有线。

11、性蒸镀源直线扫描 生产方式， 改为摇摆方式来达成成膜目的。 利用蒸镀源的摇摆， 减少其中一个或多个喷口出 气率不良时的影响， 提高上升后蒸镀气体均匀性， 从而提高成膜均匀性。 0014 根据一实施例， 多个所述蒸镀源顺待蒸镀基板长度或宽度方向排布为一排或多 排 ； 同一排的所述蒸镀源安装于一摇摆轴件， 所述动力装置通过所述摇摆轴件致使所述蒸 说 明 书 CN 104004995 A 4 2/6 页 5 镀源往复摇摆。 0015 根据一实施例， 所述蒸镀源具有多个坩埚， 各所述坩埚分别设有一个所述喷口 ； 所 述多个坩埚垂直于所述摇摆轴件的轴线排布。 。 0016 根据一实施例， 所述摇摆轴件为。

12、一传动轴， 所述蒸镀源固定于所述摇摆轴件上， 且 各所述蒸镀源固定于所述摇摆轴件角度错开分布 ； 所述动力装置得以带动所述摇摆轴件在 一定角度内往复转动。 0017 根据一实施例， 所述摇摆轴件为一多级套组轴， 各所述蒸镀源分别固定于其所处 的所述摇摆轴件各级轴上 ； 所述动力装置通过所述摇摆轴件能分别带动所述各蒸镀源在一 定角度内往复转动。 0018 根据一实施例， 所述蒸镀源为多个， 多个所述蒸镀源顺待蒸镀基板长度或宽度方 向排布为一排或多排 ； 所述各蒸镀源分别连接于一动力装置。 0019 根据一实施例， 各所述坩埚都分别具有加热装置。 0020 从另一角度来看， 本公开提供一种应用如前。

13、所述蒸镀装置的蒸镀设备， 还包括一 移载机构、 多个镀率感应器及一蒸镀控制器 ； 其中 ： 所述移载机构可移动地承载所述蒸镀 装置 ； 所述镀率感应器设置于所述蒸镀源， 位于所述蒸镀源排放范围内 ； 所述蒸镀控制器 连接控制所述蒸镀装置的动力装置， 所述镀率感应器信号连接至所述蒸镀控制器 ； 所述蒸 镀控制器根据所述镀率感应器测得数据控制所述蒸镀装置的摇摆动作。 0021 本发明相较于现有技术的有益技术效果在于 ： 本发明将多个蒸镀源分为不同角度 上的多个， 分别安装在转动轴上， 以驱动装置带动转动轴来分别带动这些蒸镀源进行摇摆。 这些蒸镀源中都具有各自的电加热装置。并根据镀率感应器的实时反馈。

14、， 控制蒸镀源位置 与摇摆速度的调整。从而获得均匀膜厚的薄膜。 0022 根据一实施例， 更包括一基板保持台位于所述蒸镀装置上方， 其内固定待蒸镀基 板， 所述基板保持台上也设置有多个镀率感应器， 这些镀率感应器位于所述基板待蒸镀区 域外周侧， 所述镀率感应器位于所述蒸镀装置排放范围内。 0023 根据一实施例， 所述移载机构具有推动机构， 所述蒸镀控制器连接控制所述推动 机构， 所述蒸镀控制器根据所述保持台面上多个镀率感应器所测数据， 控制所述推动机构 将所述移载机构与所述保持台面对中或偏移补正。 0024 本公开还提出一种蒸镀方法， 包括步骤 ： 0025 在保持台面上放置待蒸镀基板， 并。

15、将所述基板置于蒸镀源在下方 ； 0026 对所述蒸镀源进行加热 ； 0027 所述蒸镀源达到蒸镀温度后， 打开所述蒸镀源喷口 ； 0028 快速摇摆所述蒸镀源， 并感测镀率， 依照感测到的所述镀率变化换算摇摆速度， 待 所述蒸镀源蒸发量稳定后， 修正所述蒸镀源之所述摇摆速度 ； 0029 根据所述蒸镀源喷口侧的镀率感应器及所述基板四周的镀率感应器感测镀率变 化调整所述摇摆速度， 通过控制所述蒸镀源的偏摆和区域内的速度变化进行补正 ； 以及 0030 在所述基板上成膜， 并关闭所述蒸镀源喷口。 0031 本发明将现有线性蒸镀源直线扫描生产方式， 改为摇摆方式来达成成膜目的。其 中蒸镀源摇摆的幅度。

16、， 有关于成膜范围的大小。 摇摆的速度， 依照膜厚监测后调整的速度来 进行， 能即时监控膜厚的变化， 进行镀率的监控搭配摇摆的速度来调整膜厚， 使其均匀性更 说 明 书 CN 104004995 A 5 3/6 页 6 佳化。 本发明也解决了原先线性蒸镀源机台设备过于庞大的问题， 有效缩减体积， 提升机台 设备可适配性与空间利用率。 附图说明 0032 图 1 为现有技术蒸镀机构简化结构示意图 ； 0033 图 2 为本发明蒸镀机构简化结构示意图 ； 0034 图 3 为本发明蒸镀设备结构示意图 ； 0035 图 4 为本发明蒸镀装置一种实施方式俯视结构示意图 ； 0036 图 5 为本发明蒸。

17、镀装置另一种实施方式俯视结构示意图 ； 0037 图 6 为本发明蒸镀装置中摇摆轴件一种实施方式的结构示意图 ； 0038 图 7 本发明摇摆式蒸镀源与现有标准线性蒸镀源对比蒸镀试验数据图。 0039 附图标记说明 ： 0040 本发明部分 0041 蒸镀腔体 10、 基板搬运机构 1、 蒸镀装置 2、 蒸镀源 21、 坩埚 211、 喷口 2111、 动力装 置 22、 摇摆轴件 221、 输入端 221A、 输出端 221B、 芯轴 2211、 一级套轴 2212、 二级套轴 2213、 三级套轴2214、 四级套轴2215、 轴座222、 变速箱223、 马达224、 移载机构3、 工作。

18、台31、 推动 机构 32、 镀率感应器 4、 基板保持台 5、 挡板 8、 基板 9。 0042 现有技术部分 0043 蒸镀腔体 60、 移载机构 61、 蒸镀源 62、 镀率感测器 63、 基板搬运机构 66。 具体实施方式 0044 体现本公开特征与优点的实施方式将在以下的说明中详细叙述。 应理解的是本公 开能够在不同的实施方式上具有各种的变化， 其皆不脱离本公开的范围， 且其中的说明及 附图在本质上是当作说明之用， 而非用以限制本公开。 0045 如图2、 图3所示， 本发明提供一种蒸镀设备， 主要包括蒸镀腔体10、 一基板搬运机 构 1、 至少一蒸镀装置 2、 一移载机构 3、 多。

19、个镀率感应器 4、 基板保持台 5 及一蒸镀控制器。 基板搬运机构 1、 蒸镀装置 2、 移载机构 3、 镀率感应器 4 与保持台 5 设置于蒸镀腔体 10 内。 蒸镀控制器可位于蒸镀腔体 10 内， 也可位于蒸镀腔体 10 外。 0046 如图 2 所示， 基板搬运机构 1 可为一基板搬运机械手臂， 通过基板搬运机构 1 能将 待蒸镀基板 9 移至基板保持台 5， 或移出已蒸镀完成的基板 9。基板搬运机构 1 可采用现有 技术搬运设备， 在此不再赘述。 0047 如图 2 至图 5 所示， 本发明提出的蒸镀装置 2 较佳包括多个蒸镀源 21 及至少一动 力装置 22。可由动力装置 22 驱动。

20、一个或多个蒸镀源 21 同步地往复摇摆或异步地往复摇 摆。 0048 本发明蒸镀源 21 可为现有线性蒸镀源， 也可由点蒸镀源组合而成。以下以组合的 点蒸镀源来进行示例进行说明， 但并不以此为限。 0049 如图 4 所示具体实施例中， 蒸镀源 21 可通过坩埚架固设有多个坩埚 211， 各坩埚 211 都具有一喷口 2111， 每个蒸镀源 21 中各坩埚 211 的喷口 2111 指向最好统一， 以便于在 摇摆中进行精确量化控制。坩埚 211 在坩埚架中可以排成一排， 但最好对中并垂直于摇摆 说 明 书 CN 104004995 A 6 4/6 页 7 轴线排布， 这样从各喷口 2111 蒸。

21、发出的气体能覆盖更大的宽度。当然， 蒸镀源 21 中也可以 有两排以上坩埚 211， 形成陈列排布。各坩埚 211 可分别具有电阻加热装置。或每个蒸镀源 21 由一磁感加热装置进入加热。 0050 如图 4 所示， 较佳以多个蒸镀源 21 顺待蒸镀基板 9 长度方向排布为一排 ； 这样可 在基板 9 中线向两侧宽度方向摇摆蒸镀。当然也可以排布为多排平行的蒸镀源 21。虽上述 实施方式中多个蒸镀源 21 顺待蒸镀基板 9 长度方向排布为一排， 但是， 多个蒸镀源 21 同样 可顺待蒸镀基板 9 宽度方向排布为一排或多排 ； 并不以此为限。 0051 关于蒸镀源 21 摇摆的动力装置 22 提供如。

22、下两种实施方式 ： 0052 第一种实施方式， 如图 3 至图 5 所示的实施中， 动力装置 22 包括摇摆轴件 221、 轴 座 222、 变速箱 223 及马达 224。摇摆轴件 221 通过两端的两个轴座 222， 枢装于移载机构 3 工作台上， 马达 224 能通过变速箱 223 带动摇摆轴件 221 往复回转。变速箱 223 可为定速 减速器， 也可为输出速度可调的减速器。马达 224 可为电动马达、 液压马达， 或可由液压缸、 气缸带动的摆臂替换使用， 并不以此为限。 0053 同一排的蒸镀源21以底部安装于一摇摆轴件221， 如图3所示的实施方式中， 摇摆 轴件 221 可为一传。

23、动轴， 各蒸镀源 21 固定安装于其所处的摇摆轴件 221 上。这样， 能以喷 口 2111 到摇摆轴件 221 轴心的直线距离为半径， 由动力装置 22 带动蒸镀源 21 进行摇摆蒸 镀。一般各喷口 2111 喷出气体时， 会向外周扩散 15 至 30 度， 所以， 要让摇摆中各喷口 2111 排放气体， 上升时尽量都在待生产基板 9 范围内， 各蒸镀源 21 偏摆角度最好控制在左右 30 度以内。 0054 如图 3、 图 5 所示， 各蒸镀源 21 固定于摇摆轴件 221 角度最好错开分布。这样， 能 以固定模式控制各蒸镀源 21 偏摆角度。以垂线为基准， 最好要控制在 25 度以内。 。

24、0055 本发明对于摇摆轴件 221 另提供一种实施方式， 如图 6 所示， 摇摆轴件 221 可为一 多级套组轴 ( 类如机械钟表中表针的中轴技术 )， 可包括芯轴 2211、 一级套轴 2212、 二级套 轴 2213、 三级套轴 2214 及四级套轴 2215， 图中以四级为例进行说明， 应用中可有更多级进 行使用。各蒸镀源 21 分别固定于其所处的摇摆轴件 221 输出端 221B 各级轴上。动力装置 22 通过摇摆轴件 221 输入端 221A 能分别带动各蒸镀源 21 在一定角度内往复转动。这样， 可分别控制各蒸镀源 21 的摆动角度和速度， 灵活性最大， 且都是同轴线摆动， 更方。

25、便对中 和调整修正。当然， 这个角度受基板 9 大小以及蒸镀装置 2 与基板 9 之间距离影响， 但调原 则是各蒸镀源 21 偏摆角度最好也控制在左右 30 度以内。 0056 动力装置的第二种实施方式 ( 未绘示 )， 各坩埚组在底部可分别连接有一动力装 置， 通过动力装置安装于移载机构 3 上， 动力装置可为马达， 也可为液压缸、 气缸等可实施 摇摆驱动的动力。这样， 可分别控制各蒸镀源 21 的摆动角度和速度， 灵活性最大， 更方便对 中和调整修正。各蒸镀源 21 偏摆角度最好也控制在左右 30 度以内。 0057 当然， 也可以将以上两种方式进行结合， 例如， 同一排蒸镀源 21 中其。

26、中间隔的几 个蒸镀源 21 由一个动力装置通过传动轴或多级套组轴同步带动。如此， 动力装置的形式并 不进行限制， 可达成蒸镀源 21 的可控摇摆即可。 0058 如图 2、 图 3 所示， 移载机构 3 包括工作台 31 及推动机构 32， 工作台 31 底部以多 个轮组进行支撑， 可移动地承载蒸镀装置2。 推动机构32可以是设在工作台31内的驱动电 机， 也可为如图 3 所示的， 由液压缸、 气缸或电机驱动一推拉杆来实现。 说 明 书 CN 104004995 A 7 5/6 页 8 0059 本发明中以镀率感应器4在蒸镀生产中实时感测镀率， 如图2、 图3所示， 多个镀率 感应器 4 可通。

27、过多个固定臂分别支撑于各蒸镀源 21 外侧的前方， 镀率感应器 4 要位于蒸镀 源 21 排放范围内。以有效感测各蒸镀源 21 喷口 2111 处的镀率。同时还可在基板保持台 5 上也设置有多个镀率感应器 4， 这些镀率感应器 4 可均匀地安装于基板 9 待蒸镀区域外周 侧， 这些镀率感应器 4 要位于蒸镀源 21 排放范围内。以有效感测基板 9 待蒸镀区域外周侧 各区域的镀率。 0060 如图 2、 图 3 所示， 在蒸镀腔体 10 具有一基板保持台 5， 可位于蒸镀装置 2 上方， 其 上可具有掩膜及基板固持件， 具体结构在此不再详述。基板保持台 5 内可固定待蒸镀基板 9， 并在基板 9。

28、 底面待蒸镀区域设为镂空区域。也可在基板 9 底面以下的位置设一个可移出 的挡板 8， 在蒸镀源 21 温度未达生产温度时在基板 9 与蒸镀源 21 之间进行遮挡。达温后， 可将挡板 8 移走， 以便于正常生产。 0061 本发明中还设置有蒸镀控制器， 蒸镀控制器可为一计算机， 也可为单片机等智能 化控制装置， 其可存储和更新摇摆蒸镀中的数据和自动控制程序。蒸镀控制器可连接控制 蒸镀装置 2 的动力装置 22、 移载机构 3 的推动机构 32 以及蒸镀装置 2 的加热装置。蒸镀控 制器信号连接各镀率感应器， 蒸镀控制器根据镀率感应器 4 测得数据控制蒸镀装置 2 的摇 摆动作。还可根据镀率感应。

29、器 4 所测数据， 控制推动机构 32 将工作台 31 对中基板 9 或进 行偏移补正。 0062 本发明中提供一种蒸镀方法， 具体可包括步骤 ： 0063 在保持台面上放置待蒸镀基板 9， 并将蒸镀源 21 在下方对中基板 9 ； 0064 对蒸镀源 21 中各坩埚 211 进行加热 ； 0065 待蒸镀源 21 达到蒸镀温度后， 打开蒸镀源 21 喷口上的盖板 ( 未绘示 ) ； 这里的盖 板可以单坩埚 211 一个盖板， 也可以多个坩埚 211 共用一个盖板， 盖板具体形式并不限制。 0066 刚启动时， 由于各坩埚 211 可能存在喷出的不均， 所以需要快速摇摆蒸镀源 21， 以 便于。

30、将不均的气体混合充分。可根据蒸镀源 21 这侧的多个镀率感应器 4 测得数据的对比 值来判断各坩埚 211 喷出气体是否均匀平衡。待蒸镀源 21 蒸发量稳定后， 降低蒸镀源 21 摇摆速度。 0067 蒸镀中， 还可根据蒸镀源 21 喷口侧的镀率感应器 4 及基板 9 四周的镀率感应器 4 感测成膜厚度不均区域， 通过控制蒸镀源 21 的偏摆和区域内的速度变化进行补正。例如， 当基板 9 四周的镀率感应器 4 其中相邻几个镀率偏低， 可控制蒸镀源 21 在此区域摇摆速度 降低。再例如， 若蒸镀装置 2 中一蒸镀源 21 喷出气体不足， 可控制推动机构 32 将工作台 31 进行补充摇动， 通过。

31、相邻蒸镀源 21 进行补充。 0068 在基板 9 上成膜完成后， 停止蒸镀装置 2 的加热， 并关闭蒸镀装置 2 喷口。 0069 本发明将多个蒸镀源分为不同角度上的多个， 分别安装在转动轴上， 以驱动装置 带动转动轴来分别带动这些蒸镀装置进行摇摆。这些蒸镀装置中都具有各自的电加热装 置。并根据镀率感应器的实时反馈， 控制蒸镀装置位置与摇摆速度的调整。从而获得均匀 膜厚的薄膜。 0070 本发明将现有线性蒸镀装置直线扫描生产方式， 改为摇摆方式来达成成膜目的。 其中蒸镀装置摇摆的幅度， 有关于成膜范围的大小。 摇摆的速度， 依照膜厚监测后调整的速 度来进行， 能即时监控膜厚的变化， 进行镀率。

32、的监控搭配摇摆的速度来调整膜厚， 使其均匀 说 明 书 CN 104004995 A 8 6/6 页 9 性更佳化。 本发明也解决了原先线性蒸镀装置机台设备过于庞大的问题， 有效缩减体积， 提 升机台设备可适配性与空间利用率。 0071 如下表一所示， 并参照图 7， 是使用本发明摇摆式蒸镀源与现有标准线性蒸镀源对 比蒸镀试验数据。 这里使用本发明中 “一动力装置通过多级套组轴， 分别带动顺基板长度方 向的一排坩埚组” 的实施例， 参与该试验。均要在同样基板上形成 1000 埃 (A) 的八羟基喹 啉铝 (Alq3) 膜， 由对比蒸镀试验数据可见。采用本发明摇摆式蒸镀技术可大大提高成膜均 匀性。

33、。 0072 表一 ： 0073 位置 (cm)平均厚 ( 埃 ) 最厚 ( 埃 ) 最薄 ( 埃 ) 均匀性 标准线性蒸镀源1017.110389952.11 摇摆式蒸镀源1012.510269971.43 0074 由技术常识可知， 本发明可以通过其它的不脱离其精神实质或必要特征的实施方 案来实现。因此， 上述公开的实施方案， 就各方面而言， 都只是举例说明， 并不是仅有的。所 有在本发明范围内或在等同于本发明的范围内的改变均被本发明包含。 说 明 书 CN 104004995 A 9 1/4 页 10 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 104004995 A 10 2/4 页 11 图 3 图 4 说 明 书 附 图 CN 104004995 A 11 3/4 页 12 图 5 图 6 说 明 书 附 图 CN 104004995 A 12 4/4 页 13 图 7 说 明 书 附 图 CN 104004995 A 13 。