用于电视机零件的水洗洗涤装置.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 102671881 A (43)申请公布日 2012.09.19 CN 102671881 A *CN102671881A* (21)申请号 201110356614.X (22)申请日 2011.11.11 10-2011-0023777 2011.03.17 KR B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (71)申请人 ( 株 ) 克来森 地址 韩国仁川广域市 (72)发明人 杨熙俊 南孝俊 吴东宪 罗国柱 李镕吉 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 代理人 李洋 王轶 (54) 发明名称 用于电。

2、视机零件的水洗洗涤装置 (57) 摘要 本发明涉及用于电视机零件的水洗洗涤装 置， 进一步讲， 涉及一种用于电视机零件的水洗洗 涤装置， 其具备将用超纯水制造机制造出来的超 纯水清洗液供应至洗涤槽与冲洗槽之后通过喷嘴 将超纯水清洗液喷洒到电视机零件上来进行洗涤 的结构， 由此来显著提高污染物 ( 油 ) 的去除效 率。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 7 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 7 页 附图 7 页 1/1 页 2 1. 一种用于电视机零件的水洗洗涤装置， 按顺序安装有 ：。

3、 洗涤室8， 其通过上部喷洒单元4和下部喷洒单元6将超纯水清洗液喷洒到电视机零件 上来进行洗涤 ； 第一轮脱液室 10， 其以高压空气将零件上残留的洗涤液进行脱液 ； 冲洗室 12， 其通过上部喷洒单元 4 和下部喷洒单元 6 将超纯水清洗液再次喷洒到零件 上来进行洗涤 ； 第二轮脱液室 14， 其以高压空气将零件上残留的洗涤液再次进行脱液 ； 干燥室 16， 其以高压空气对零件进行干燥， 其中， 所述洗涤室 8 与冲洗室 12 上分别连接有洗涤槽 54 与冲洗槽 56 并装配有连接上 部喷洒单元 4 与下部喷洒单元 6 的供应泵 60、 排水阀 76、 水位传感器 64、 纱窗 66、 油分。

4、离机 68， 其中， 安装在所述洗涤室 8 上的下部喷洒单元 6 包括 ： 分配管 20， 其连接到供应泵 60 ； 多个引导管 26， 其可旋转地结合到所述分配管 20 上， 具备喷嘴 24 ； 运作单元28， 其结合到各个引导管26上， 将引导管26在1120范围内正向、 逆向 旋转。 2.如权利要求1所述的用于电视机零件的水洗洗涤装置， 其中， 所述运作单元28， 由以 下构成， 即 ： 作用杆 34， 其竖直地安装在各引导管 26 的末端部上 ； 传达杆 36， 其松松地以螺丝结合到各作用杆 34 的下端部并以水平排置 ； 中间杆 38， 其松松地以螺丝结合到各传达杆 36 的前端部 。

5、； 旋转板 42， 其与松松地结合到所述中间杆 38 的前端部上的连接棒 40 结合 ； 喷嘴马达 44， 其与旋转板 42 的轴结合。 3.如权利要求1所述的用于电视机零件的水洗洗涤装置， 其中， 所述引导管26， 通过转 动接头 22 与所述分配管 20 结合。 4.如权利要求1至3中任何一项所述的用于电视机零件的水洗洗涤装置， 其中， 所述洗 涤槽 54 与冲洗槽 56 与超纯水制造机 88 连接接收超纯水清洗液的供应。 权 利 要 求 书 CN 102671881 A 2 1/7 页 3 用于电视机零件的水洗洗涤装置 技术领域 0001 本发明涉及用于电视机零件的水洗洗涤装置， 进一步。

6、讲， 涉及一种用于电视机零 件的水洗洗涤装置， 其具备将用超纯水制造机制造出来的超纯水清洗液供应至洗涤槽与冲 洗槽之后通过喷嘴将超纯水清洗液喷洒到电视机零件上来进行洗涤的结构， 由此来显著提 高污染物(油)的去除效率， 此外， 其还具备将安装在洗涤单元和冲洗单元上的下部喷洒单 元的引导管在 1 120的范围内进行正向、 逆向旋转的结构， 由此可以显著提高通过喷 嘴喷洒的超纯水清洗液来洗涤电视机零件的凹凸部分和孔隙部分的效率。 背景技术 0002 一般来说， 超纯水清洗液作为高纯度的水， 里面不含任何有机物、 无机物、 细菌等， 而且是没有离子化， 所以超纯水清洗液被用于半导体装置、 电视机零件。

7、、 药品制造、 食品加 工等各领域。 0003 另一方面， 作为现有技术的韩国专利申请KR10-2008-0032482 A2008.04.15的 “用 于显示装置的框架自动洗涤装置” ， 参照图1， 首先洗涤机中按顺序安装有洗涤槽12、 冲洗洗 涤单元13、 空气冲洗单元14、 预备干燥单元15、 最终干燥单元16等， 在所述洗涤机的下部安 装有移送单元 11。 0004 如上所述的现有技术的作用可说明如下。 0005 首先， 在上述洗涤机运转时移送单元 11 将 LCD 显示器框架移送时， 在洗涤槽 12 中 用喷嘴喷洒的清洗液来洗涤 LCD 显示器框架， 之后 LCD 显示器框架在通过冲。

8、洗洗涤单元 13 的同时再次进行清洗， 之后在空气冲洗单元14中用高压空气对残留在LCD显示器框架表面 上的清洗液进行脱液。 0006 之后， 所述 LCD 显示器框架移动至预备干燥单元 15 的同时被高温热风干燥， 之后 再最终干燥室 16 中通过气刀 28c 喷出的高压空气进行干燥之后运出到外部。 0007 如上所述用于洗涤 LCD 显示器框架的清洗液， 一般是使用炭化水素系清洗液， 这 种现有的清洗液即使在清洗 LCD 显示器框架时在去除污染物 ( 油 ) 的效果上也存在明显的 效率低下问题。 0008 另外一个问题在于， 在洗涤槽12和冲洗洗涤单元12中， 喷洒清洗液的喷嘴一般是 在固。

9、定的状态下向通过的 LCD 显示器框架进行喷洒， 由此 LCD 显示器框架的凹凸部分或者 孔隙部分无法被清洗干净。 发明内容 0009 本发明为解决上述的现有技术而提出， 目的在于， 通过构建将用超纯水制造机制 造出来的超纯水清洗液供应至洗涤槽与冲洗槽之后、 通过喷嘴将超纯水清洗液喷洒到电视 机零件上来进行洗涤的结构， 来显著提高污染物 ( 油 ) 的去除效率， 此外， 通过构建将安装 在洗涤单元和冲洗单元上的下部喷洒单元的引导管在 1 120的范围内进行正向、 逆 向旋转的结构， 由此来显著提高通过喷嘴喷洒的超纯水清洗液来洗涤电视机零件的凹凸部 说 明 书 CN 102671881 A 3 。

10、2/7 页 4 分和孔隙部分的效率。 0010 为解决上述的现有技术而提出的本发明， 一种用于电视机零件的水洗洗涤装置， 按顺序安装有 ： 洗涤室 8， 其通过上部喷洒单元 4 和下部喷洒单元 6 将超纯水清洗液喷洒到 电视机零件上来进行洗涤 ； 第一轮脱液室 10， 其以高压空气将零件上残留的洗涤液进行脱 液 ； 冲洗室 12， 其通过上部喷洒单元 4 和下部喷洒单元 6 将超纯水清洗液再次喷洒到零件 上来进行洗涤 ； 第二轮脱液室 14， 其以高压空气将零件上残留的洗涤液再次进行脱液 ； 干 燥室 16， 其以高压空气对零件进行干燥， 其中， 所述洗涤室 8 与冲洗室 12 上分别连接有洗。

11、 涤槽 54 与冲洗槽 56 并装配有连接上部喷洒单元 4 与下部喷洒单元 6 的供应泵 60、 排水阀 76、 水位传感器64、 纱窗66、 油分离机68， 其中， 安装在所述洗涤室8上的下部喷洒单元6包 括 ： 分配管20， 其连接到供应泵60 ； 多个引导管26， 其可旋转地结合到所述分配管20上， 具 备喷嘴 24 ； 运作单元 28， 其结合到各个引导管 26 上， 将引导管 26 在 1 120范围内正 向、 逆向旋转。 0011 本发明将用超纯水制造机88制造出来的超纯水清洗液供应至洗涤槽54与冲洗槽 56之后， 通过安装在洗涤室8与冲洗室12上安装的下部喷洒单元6的喷嘴24将这。

12、种超纯水 清洗液喷洒到电视机零件上来进行洗涤， 可以显著提高电视机零件表面上的污染物 ( 油 ) 的去除效率。 0012 此外， 安装在洗涤室 8 和冲洗室 12 上的下部喷洒单元 6 依喷嘴 44 将引导管 26 在 1120的范围内进行正向、 逆向旋转的结构， 可以通过引导管26的喷嘴24喷洒的超纯 水清洗液来细细地洗涤电视机零件的凹凸部分和孔隙部分， 由此可以显著提高对电视机零 件的洗涤的效率。 附图说明 0013 图 1 是现有技术的洗涤机的正面图 ； 0014 图 2 是根据本发明的洗涤机的平面图 ； 0015 图 3 是根据本发明的洗涤机的正面图 ； 0016 图 4 是根据本发明。

13、的洗涤机的侧面截面图 ； 0017 图 5 是根据本发明的洗涤机的上部喷洒单元的立体图 ； 0018 图 6 是根据本发明的控制单元的结构框图 ； 0019 图 7A、 7B 是根据本发明的洗涤机的运转流程图。 0020 附图标记说明 0021 2 ： 洗涤机 0022 4 ： 上部喷洒单元 0023 6 ： 下部喷洒单元 0024 8 ： 洗涤室 0025 10 ： 第一轮脱液室 0026 12 ： 冲洗室 0027 14 ： 第二轮脱液室 0028 16 ： 干燥室 0029 18 ： 供应管 说 明 书 CN 102671881 A 4 3/7 页 5 0030 20 ： 分配管 003。

14、1 22 ： 转动接头 0032 24、 30 ： 喷嘴 0033 26、 32 ： 引导管 0034 28 ： 运作单元 0035 34 ： 作用杆 0036 36 ： 传达杆 0037 38 ： 中间杆 0038 40 ： 连接棒 0039 42 ： 旋转板 0040 44 ： 喷嘴马达 0041 46 ： 支持锁 0042 48 ： 垫台 0043 50 ： 底盘 0044 52 ： 排泄管 0045 54 ： 洗涤槽 0046 56 ： 冲洗槽 0047 58 ： 罐 0048 60 ： 供应泵 0049 62 ： 过滤器 0050 64、 86 ： 水位传感器 0051 66 ： 纱。

15、窗 0052 67 ： 加热器 0053 68 ： 油分离机 0054 70 ： 吸入泵 0055 72 ： 油分离室 0056 74 ： 排水管 0057 76 ： 排水阀 0058 78 ： 废水处理单元 0059 80 ： 存储罐 0060 82 ： 管子 0061 84 ： 移送泵 0062 88 ： 超纯水制造机 0063 90 ： 供应阀 0064 92 ： 控制单元 0065 94 ： 输入单元 0066 96 ： 显示单元 具体实施方式 说 明 书 CN 102671881 A 5 4/7 页 6 0067 参照图 2 至图 6， 本发明的实施例， 首先， 在使用超纯水清洗液来。

16、洗涤电视机零件 的洗涤机 2( 参照图 2) 中， 按顺序安装有 ： 洗涤室 8， 其通过上部喷洒单元 4 和下部喷洒单 元 6 将超纯水清洗液喷洒到电视机零件上来进行洗涤 ； 第一轮脱液室 10， 其以高压空气将 零件上残留的洗涤液进行脱液 ； 冲洗室 12， 其通过上部喷洒单元 4 和下部喷洒单元 6 将超 纯水清洗液再次喷洒到零件上来进行洗涤 ； 第二轮脱液室 14， 其以高压空气将零件上残留 的洗涤液再次进行脱液 ； 干燥室 16， 其以高压空气对零件进行干燥， 其中， 在所述洗涤机 2 的下部安装有移送电视机零件的移送手段。 0068 所述洗涤室8与冲洗室12上， 分别安装有结构相同。

17、的下部喷洒单元6， 该下部喷洒 单元 6 由以下构成， 即 ： 分配管 20( 参照图 5)， 其连接到供应超纯水清洗液的供应管 18 ； 多 个引导管26， 其用转动接头(swivel joint)22可旋转地结合到所述分配管20上， 并具备喷 嘴 24 ； 运作单元 28， 其结合到各个引导管 26 上， 将引导管 26 在 1 120范围内正向、 逆 向旋转。 0069 所述运作单元 28( 参照图 5)， 由以下构成， 即 ： 作用杆 34， 其竖直地安装在各引导 管 26 的末端部上 ； 传达杆 36， 其松松地以螺丝结合到各作用杆 34 的下端部并以水平排置 ； 中间杆 38， 其。

18、松松地以螺丝结合到各传达杆 36 的前端部 ； 旋转板 42， 其与松松地结合到所 述中间杆 38 的前端部上的连接棒 40 结合 ； 喷嘴马达 44， 其与旋转板 42 的轴结合。 0070 此外， 引导管 26 的末端部和供应管 18 的末端部以轴承结合在支持箍 46 上， 所述 支持箍 46 各自固定在各个洗涤机 2 的内部所安装的垫台 48 上。 0071 此外， 所述洗涤室 8 与冲洗室 12 上， 分别安装有结构相同的上部喷洒单元 4( 参照 图 4)， 所述上部喷洒单元 4 由具备喷嘴 30 的引导管 32 构成。在这里所述上部喷洒单元 4 是被固定安装的结构， 但是上部喷洒单元。

19、 4 也可以以与下部喷洒单元 6 相同的结构安装。 0072 在如上所述安装的洗涤室 8 与冲洗室 12 的下部， 分别安装有结构相同的底盘 (drain fan)50， 该底盘 50 位于下部喷洒单元 6 下面， 一侧连接有排泄管 52。 0073 此外， 洗涤室8上连接有洗涤槽54， 该洗涤槽54通过供应管18供应超纯水清洗液 的同时通过排泄管 52 回收超纯水清洗液 ； 冲洗室 12 上连接有冲洗槽 56， 该冲洗槽通过供 应管 18 供应超纯水清洗液的同时通过排泄管 52 回收超纯水清洗液。 0074 如上所述安装的洗涤槽 54( 参照图 2) 上， 具备用于存储超纯水清洗液的罐 58。

20、， 该 罐 58 上按次序有供应泵 60 与过滤器 62 连接并安装在外部， 所述过滤器 62 与安装到洗涤 室 8 上的上部喷洒单元 4、 下部喷洒单元 6 的供应管 18 连接。 0075 此外， 所述罐 58( 参照图 4) 的侧壁上， 有安装到洗涤室 8 上的排泄管 52 贯通结 合， 罐 58 的内部墙面上、 下侧上固定安装有水位传感器 64， 罐 58 的中间位置上安装有以过 滤网形成的纱窗 (screen)66。 0076 此外， 所述罐 58 内部安装有加热器 67， 罐 58 的水面上有油分离机 68 安装并与吸 入泵 70 以软管连接， 吸入泵 70 与安装在罐 58 上端。

21、部的油分离室 72 连接， 所述罐 58 底面 上有排水管 74 与排水阀 76 结合并连接到废水处理单元 78。 0077 如上所述构成的洗涤槽 54 以与冲洗槽 56 相同的结构制成。 0078 此外， 所述洗涤槽 54 与冲洗槽 56 上， 有临时存储超纯水清洗液的存储罐 80 以管 子82连接， 在所述管子82的中间结合有移送泵84， 所述存储罐80的内部， 上部和下部分别 安装有水位传感器 86。 说 明 书 CN 102671881 A 6 5/7 页 7 0079 所述存储罐 80 上， 连接有制造和供应超纯水清洗液的超纯水制造机 88， 所述超纯 水制造机 88 的入口处有供应。

22、阀装配并连接到自来水水管。 0080 从超纯水制造器 88 中制造出来的超纯水清洗液， 用于大大提高电视机零件表面 上的污染物 ( 油 )， 这种超纯水是高纯度的水， 其中完全不存在有机物、 无机物、 细菌等， 并 没有被离子化。 0081 此外， 如上所述安装的供应阀90、 超纯水制造机88、 水位传感器64、 86、 移送泵84、 供应泵 60、 排水阀 76、 吸入泵 70、 喷嘴马达 44、 洗涤机 2 等与控制单元 92 连接， 该控制单元 92 上连接有输入单元 94 与显示单元 96。 0082 如上所述的本发明的作用说明如下。 0083 首先， 洗涤机 2( 参照图 2) 的入。

23、口处， 有洗涤对象即电视机零件正在等待， 该电视 机零件可以是盖子、 框架、 板子等各种种类。 0084 此后， 在步骤 S1， 当在输入单元 94 中选择了开始模式时， 控制单元 92 向供应阀 90 发送打开命令， 并向超纯水制造机 88 发送运转命令。 0085 当供应阀 90 依上述控制单元 92 的命令打开之后， 从自来水水管收到的水会通过 超纯水制造机 88， 此时自来水管里的水中含有的有机物、 无机物、 细菌等均被去除且水被非 离子化而成为高纯度的水， 这种高纯度的水被作为超纯水清洗液供应至存储管 80。 0086 如上所述的超纯水清洗液， 除了用于洗涤电视机零件之外， 还用于半。

24、导体装置、 药 品制造、 食品制造等各种用途。 0087 上述步骤 S1 之后， 在步骤 S2， 控制单元 92， 判断存储罐 80 的上部水位传感器 86 是否被打开。 0088 当控制单元 92 判断为存储罐 80 的上部上安装的水位传感器 86 没有被打开时， 维 持步骤 S1， 当判断为水位传感器 86 被打开时， 执行下一步骤。 0089 上述步骤S2之后， 在步骤S3， 控制单元92向供应阀90发送关闭命令， 并向超纯水 制造机 88 发送运转终止命令， 同时向移送泵 84 发送打开命令。 0090 当供应阀90依控制单元92的命令关闭时， 自来水的供应被终止， 同时超纯水制造 机。

25、 88 依上述控制单元 92 的命令终止运转时， 超纯水清洗液也就不再被供应， 当移送泵 84 依控制单元 92 的命令被打开时， 存储罐 80 中的超纯水清洗液沿着管子 82 移动， 分别被供 应到洗涤槽 54 和冲洗槽 56 中。 0091 上述步骤S3之后， 在步骤S4， 控制单元92判断洗涤槽54及冲洗槽56的上部水位 传感器 64 是否被打开。 0092 当控制单元 92 判断为洗涤槽 54 及冲洗槽 56 的罐 58 上部安有的水位传感器 64 没有被打开时， 维持步骤 S3， 当判断为水位传感器 64 已被打开时， 进行下一步骤。 0093 上述步骤S4之后， 在步骤S5， 控制。

26、单元92向移送泵84发送关闭命令， 并向供应泵 60 和喷嘴马达 44 发送打开命令， 向洗涤机 2 发送运转命令， 计算洗涤槽 54 和冲洗槽 56 的 使用时间。 0094 当移送泵 84 依控制单元 92 的命令关闭时， 中断从存储罐 80 中供应超纯水清洗 液， 当移送泵 60 依控制单元 92 的命令打开时， 洗涤槽 54 与冲洗槽 56 的向罐 58 供应的超 纯水清洗液分别被供应至洗涤室 8 与冲洗室 12， 此过程如下。 0095 首先， 供应泵 60 运转时， 洗涤槽 54 中的超纯水清洗液在通过过滤器 62 的同时其 说 明 书 CN 102671881 A 7 6/7 页。

27、 8 中包含的异物被去除， 之后， 超纯水清洗液沿供应管18移动， 流入上部喷洒单元4的引导管 32， 通过喷嘴 30 被喷洒到下方， 同时该超纯水清洗液的一部分沿下部喷洒单元 6 的分配管 6 与引导管 26 按次序移动， 通过喷嘴 24 倍喷洒到上方。 0096 在上述状态下， 当喷嘴马达 44( 参照图 5) 依控制单元 92 的命令运转而将旋转板 42 旋转时， 会使上述中间杆 38 反复推送或拉动传达杆 36， 由此使得作用杆 34 将引导管 26 朝正、 反方向反复旋转。 0097 此时， 引导管 26 的旋转角度可以被设定在 1 120的范围内， 但并不限于此。 0098 当上述。

28、引导管26朝正、 反方向反复旋转时， 从喷嘴24中喷出来的超纯水清洗液被 喷洒向上方， 由此从中通过的电视机零件的底面上的凹凸部分和孔隙 (hole) 部分中的异 物和污染物可以容易地被去除。 0099 同时， 通过上述喷洒单元 4( 参照图 4) 的喷嘴 30 喷洒出的超纯水清洗液， 被喷洒 到电视机零件的上端面来去除异物和污染物。 0100 如上所述从上部喷洒单元 4 和下部喷洒单元 6 中喷洒出来的超纯水清洗液， 在洗 涤电视机零件的同时落下至底盘 50， 此时这里的超纯水清洗液中含有异物和污染物。 0101 之后， 用过的超纯水清洗液通过排泄管52流入洗涤槽54的罐58并通过加热器67。

29、 被加热， 之后该超纯水清洗液中包含的油通过油分离机68被分离， 并通过吸入泵70被移动 至油分离室 72。 0102 同时， 罐 58 中的超纯水清洗液在通过纱窗 66 的同时异物和油被过滤掉， 之后， 超 纯水清洗液依供应泵 60 从罐 58 中出来， 通过过滤器 62 的同时被再次过滤， 之后超纯水清 洗液沿供应管 18 移动， 反复被供应至上部喷洒单元 4 和下部喷洒单元 6 的过程。 0103 如上所述供应到洗涤槽 54( 参照图 2) 中的超纯水清洗液被供应到洗涤室 8 的过 程， 和供应到冲洗室 56 中的超纯水清洗液被供应到冲洗室 12 的过程相同。 0104 此后， 在如上所。

30、述的状态下洗涤机 2 按控制单元 92 的命令运转的话， 上述电视机 零件随移送手段移动的同时通过洗涤室 8， 此时该电视机零件如前所述被上部喷洒单元 4 和下部喷洒单元 6 中同样地喷出的超纯水清洗液洗涤， 之后电视机零件在通过第一轮脱液 室 10 的同时表明残留的超纯水清洗液依高压空气被脱液。 0105 此后， 电视机零件在通过冲洗室 12 的同时， 被与洗涤室 8 相同地喷洒出来的超纯 水清洗液冲洗， 之后在第二轮脱液室 14 中电视机零件表面上残留的清洗液被高压空气脱 液， 之后电视机零件在干燥室 16 中被高压空气干燥并运出。 0106 如上在所述移送泵 84 运转的同时超纯水清洗液。

31、流入洗涤槽 54 和冲洗槽 56 的罐 58 并被使用时， 控制单元 92 开始计算洗涤槽 54 和冲洗槽 56 的使用期间。 0107 上述步骤S5之后， 在步骤S6， 控制单元92判断洗涤槽54及冲洗槽56的使用期间 是否已达 7 日。 0108 当上述控制单元 92 判断为洗涤槽 54 与冲洗槽 56 的使用期间没有达到 7 日时， 维 持步骤 S5， 当判断为洗涤槽 54 与冲洗槽 56 的使用期间已经达到 7 日时， 进行下一步骤。 0109 上述步骤 S6 之后， 在步骤 S7， 控制单元 92， 向供应泵 60 和喷嘴马达 44 发送关闭 命令， 并向洗涤机 2 发送运转终止命令。

32、， 同时向排水阀 76 发送打开命令。 0110 当安装在洗涤槽 54 和冲洗槽 56 上的供应泵 60 如上所述根据控制单元 92 发送来 的命令打开时， 上述罐 58 中的超纯水清洗液不被供应到洗涤室 8 和冲洗室 12 处， 同时下部 说 明 书 CN 102671881 A 8 7/7 页 9 喷洒单元 6( 参照图 5) 的喷嘴马达 44 关闭的话， 中间杆 38、 传达杆 36、 作用杆 34 的运转中 断， 由此引导管 26 不旋转而是停止在静止状态。 0111 此外， 当洗涤机 2 的运转依控制单元 92( 参照图 2) 的命令终止运转时， 移送手段 停止， 由此电视机零件的洗。

33、涤不再进行。 0112 在如上所述的状态下排水阀 76 打开时， 洗涤槽 54 和冲洗槽 56 的罐 58 中的超纯 水清洗液沿排水管 74 移动至废水处理单元 78， 之后使用的超纯水清洗液在废水处理单元 78 中被处理异物和污染物然后被排放入下水道。 0113 该废水处理单元 78， 可以应用特许登录第 10-0971530 号中的 “包括填补了微生物 固定化载体的生物反应机的废水处理装置及废水处理方法” 中使用的装置， 用过的超纯水 清洗液中包含的各种异物和污染物被去除， 以干净的水排出。 0114 上述步骤S7之后， 在步骤S8， 控制单元92判断洗涤槽54及冲洗槽56的下部水位 传感。

34、器 64 是否关闭。 0115 当控制单元92判断为洗涤槽54及冲洗槽56的罐58上安装的下部水位传感器64 没有关闭时， 维持步骤 S7， 当判断为洗涤槽 54 及冲洗槽 56 的罐 58 上安装的下部水位传感 器 64 已经关闭时， 进行下一步骤。 0116 上述步骤 S8 之后， 在步骤 S9， 控制单元 92 向排水阀 76 发送关闭命令。 0117 如上所述， 当关闭命令被传达到排水阀76中时， 所述罐58内部成为没有用过的超 纯水清洗液的状态， 并成为可以接收新超纯水清洗液的供应的状态。 0118 上述步骤 S9 之后， 在步骤 S10， 控制单元 92 判断是否为结束模式。 01。

35、19 当控制单元 92 判断为不是结束模式时， 返回操作 S1， 再次进行前面所述的步骤， 当判断为是结束模式时， 切断供电电源， 运转终止。 说 明 书 CN 102671881 A 9 1/7 页 10 图 1 说 明 书 附 图 CN 102671881 A 10 2/7 页 11 图 2 图 3 说 明 书 附 图 CN 102671881 A 11 3/7 页 12 图 4 说 明 书 附 图 CN 102671881 A 12 4/7 页 13 图 5 说 明 书 附 图 CN 102671881 A 13 5/7 页 14 图 6 说 明 书 附 图 CN 102671881 A 14 6/7 页 15 图 7A 说 明 书 附 图 CN 102671881 A 15 7/7 页 16 图 7B 说 明 书 附 图 CN 102671881 A 16 。