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1、(10)申请公布号 CN 102240951 A (43)申请公布日 2011.11.16 CN 102240951 A *CN102240951A* (21)申请号 201110203097.2 (22)申请日 2011.07.20 B24B 19/22(2006.01) (71)申请人 洛阳金诺机械工程有限公司 地址 471009 河南省洛阳市国家高新技术开 发区金鑫路 2 号 (72)发明人 刘朝轩 王晨光 (54) 发明名称 一种晶体材料磨削机构 (57) 摘要 一种晶体材料磨削机构， 涉及一种晶体材料 的加工设备， 所述用于固定晶棒的夹持机构 (5) 设置在磨削晶棒的竖磨削机构和用于。
2、磨削晶棒的 横磨削机构的一侧 ； 所述用于磨削晶棒的竖磨削 机构的磨轮 (4) 的外缘对应晶棒 (7) 的轴向中心 线， 形成晶棒 (7) 端部面的 “U” 型切口的结构设 置 ； 所述用于磨削晶棒的横磨削机构的所述磨轮 (4)外缘垂直于晶棒(7)的轴向中心线 ； 所述用于 磨削晶棒的竖磨削机构和磨削晶棒的横磨削机构 及进给机构外接控制系统 ； 本发明利用晶棒的磨 削晶棒的竖磨削机构和磨削晶棒的横磨削机构进 行精确地磨削 ； 本发明实现了稳固的磨削晶棒的 目的， 有效地提高了晶棒加工的机械化程度， 克服 了现有技术必须拉制硅芯圆球体的弊端。 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知。
3、识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 2 页 说明书 5 页 附图 5 页 CN 102240955 A1/2 页 2 1. 一种晶体材料磨削机构， 包括用于固定晶棒的晶体夹持机构 (5) ； 用于磨削晶棒的 竖磨削机构 ； 用于磨削晶棒的横磨削机构 ； 用于晶体夹持机构 (5) 或横、 竖磨削机构的进给 机构， 其特征是 ： 所述用于固定晶棒的夹持机构 (5) 设置在磨削晶棒的竖磨削机构和用于 磨削晶棒的横磨削机构的一侧 ； 所述用于磨削晶棒的竖磨削机构设置有轴套 (3)， 所述轴 套 (3) 通过轴套固定座 A(33) 固定在磨头固定板 (14) 上部面的一边， 在轴套 (3) 的一。
4、端设 置有磨轮 (4)， 在轴套 (3) 的另一端设置有动力机构， 所述磨轮 (4) 的外缘对应晶棒 (7) 的 轴向中心线， 形成晶棒 (7) 端部面的 “U” 型切口的结构设置 ； 所述用于磨削晶棒的横磨削机 构设置有轴套 (3)， 所述轴套 (3) 通过轴套固定座 B(34) 固定在磨头固定板 (14) 上部面的 另一边， 在轴套 (3) 的一端设置有磨轮 (4)， 在轴套 (3) 的另一端设置有动力机构， 所述磨 轮 (4) 外缘垂直于晶棒 (7) 的轴向中心线 ； 所述用于磨削晶棒的竖磨削机构和磨削晶棒的 横磨削机构及进给机构外接控制系统。 2. 根据权利要求 1 所述的晶体材料磨削。
5、机构， 其特征是 ： 所述用于晶体夹持机构 (5) 或横、 竖磨削机构的进给机构包括横向进给机构和纵向进给机构 ； 所述横向进给机构和纵 向进给机构设置在磨头固定板 (14) 或者固定晶棒的夹持机构的下部面。 3. 根据权利要求 1 所述的晶体材料磨削机构， 其特征是 ： 所述用于磨削晶棒的竖磨 削机构包括轴套 (3)、 磨轮 (4)、 电机 (12)、 电机安装座 (13)、 联轴器 A(28)、 轴承 (29)、 轴 (31)、 轴承压盖 (32) 和轴套固定座 A(33)， 所述轴套 (3) 的一端通过电机安装座 (13) 固定 有电机 (12)， 在轴套 (3) 的内部设置有轴 (31。
6、)， 所述轴 (31) 的一端通过联轴器 A(28) 与电 机 (12) 连接， 在轴 (31) 的两端紧配有轴承 (29)， 所述轴承 (29) 的外圈固定在轴套 (3) 内 部的两端， 在轴套(3)的另一端设置有轴承压盖(32)和磨轮(4)， 所述轴套3通过焊接或者 铰接的形式固定在轴套固定座 A33 的侧边。 4. 根据权利要求 1 所述的晶体材料磨削机构， 其特征是 ： 所述用于磨削晶棒的横磨 削机构包括轴套 (3)、 磨轮 (4)、 电机 (12)、 电机安装座 (13)、 联轴器 A(28)、 轴承 (29)、 轴 (31)、 轴承压盖 (32) 和轴套固定座 B(34)， 所述轴。
7、套 (3) 的一端通过电机安装座 (13) 固定 有电机 (12)， 在轴套 (3) 的内部设置有轴 (31)， 所述轴 (31) 的一端通过联轴器 A(28) 与电 机 (12) 连接， 在轴 (31) 的两端紧配有轴承 (29)， 所述轴承 (29) 的外圈固定在轴套 (3) 内 部的两端， 在轴套(3)的另一端设置有轴承压盖(32)和磨轮(4)， 所述轴套(3)通过焊接或 者铰接的形式固定在轴套固定座 B(34) 的上部面。 5. 根据权利要求 2 所述的晶体材料磨削机构， 其特征是 ： 所述用于晶体夹持机构 (5) 或横、 竖磨削机构的横向进给机构包括大安装底板 (8)、 电机 (12。
8、)、 电机安装座 (13)、 滑轨 (15)、 滑轨安装座 (16)、 轴承座 (17)、 丝杠 (18)、 滑块 (19)、 挡板 (20)、 减速机 (21)、 丝母 (35)、 减速器轴 (37)、 减速器轴锁紧螺母 (38) 和联轴器 B(39)， 所述大安装底板 (8) 的上部 面上设置有至少两个相互平行的滑轨安装座 (16)， 在滑轨安装座 (16) 的上部面设置有滑 轨 (15)， 所述滑轨 (15) 的一端设置有挡板 (20)， 滑轨 (15) 与滑块 (19) 滑配， 形成横向进 给机构， 在滑块 (19) 的上部面设置有中托盘， 在中托盘的下部设置有丝母 (35)， 所述丝。
9、母 (35) 通过设置在大安装底板 (8) 上部面的丝杠 (18) 形成丝接连接， 所述丝杠 (18) 的两端 通过轴承座(17)固定在大安装底板(8)上部面， 在丝杠(18)的一端设置有减速机(21)， 所 述减速机 (21) 安装孔内安装有减速器轴 (37)， 所述减速器轴 (37) 通过减速器轴锁紧螺母 (38) 固定在减速机上， 减速器轴 (37) 的一端通过联轴器 B(39) 与丝杠 (18) 连接。 权 利 要 求 书 CN 102240951 A CN 102240955 A2/2 页 3 6. 根据权利要求 2 所述的晶体材料磨削机构， 其特征是 ： 所述用于晶体夹持机构 (5。
10、) 或横、 竖磨削机构的纵向进给机构包括电机 (12)、 电机安装座 (13)、 滑轨 (15)、 滑轨安装座 (16)、 轴承座 (17)、 丝杠 (18)、 滑块 (19)、 减速机 (21)、 丝母 (35)、 减速器轴 (37)、 减速器轴 锁紧螺母 (38) 和联轴器 B(39)， 所述至少两个滑轨安装座 (16) 固定在中托盘的上部面， 在 滑轨安装座 (16) 的上部面设置有滑轨 (15)， 所述滑轨 (15) 与滑块 (19) 滑配， 形成纵向进 给机构， 在滑块 (19) 的上部面设置有磨头固定板 (14) 或晶体夹持机构 (5)， 在磨头固定板 (14) 或晶体夹持机构 (。
11、5) 的下部面设置有丝母 (35)， 所述丝母 (35) 通过设置在中托盘上 部面的丝杠 (18) 形成丝接连接， 所述丝杠 (18) 的两端通过轴承座 (17) 固定在大安装底板 (8) 上部面， 在丝杠 (18) 的一端设置有减速机 (21)， 所述减速机 (21) 安装孔内安装有减 速器轴 (37)， 所述减速器轴 (37) 通过减速器轴锁紧螺母 (38) 固定在减速机上， 减速器轴 (37) 的一端通过联轴器 B(39) 与丝杠 (18) 连接。 7. 根据权利要求 5 或 6 任一权利要求所述的晶体材料磨削机构， 其特征是 ： 所述大安 装底板 (8) 的下部面连接有至少四个支撑座 。
12、(9)， 在支撑座 (9) 的下部面连接有机架 (10)， 在机架 (10) 的一侧设置有穿线孔 (11)。 8. 根据权利要求 1 所述的晶体材料磨削机构， 其特征是 ： 所述控制系统包括控制盒 (1)、 连接杆 (2) 和连接杆固定座 (25)， 所述控制盒 (1) 通过接杆 (2) 和连接杆固定座 (25) 固定在大安装底板 (8) 的一侧。 9. 根据权利要求 5 或 6 任一权利要求所述的晶体材料磨削机构， 其特征是 ： 所述大安 装底板 (8) 的一侧边安装有水管 (22)、 水管固定座 (23) 和传感器固定座 (24)， 所述传感器 固定座 (24) 上固定有测量机构。 权 利。
13、 要 求 书 CN 102240951 A CN 102240955 A1/5 页 4 一种晶体材料磨削机构 【技术领域】 0001 本发明涉及一种晶体材料的加工设备， 具体涉及一种晶体材料磨削机构。 【背景技术】 0002 在使用西门子法生产多晶硅的过程中， 硅芯搭接技术是非常重要的一个环节， 它 主要应用于多晶硅生产的还原反应过程。这个环节的还原反应过程的原理是 ： 所述还原 反应是在一个密闭的还原炉中进行的， 在装炉前先在还原炉内用硅芯搭接成若干个闭合回 路， 也就是行话中的 “搭桥” ； 每个闭合回路都由两根竖硅芯和一根横硅芯组成 ； 每一个闭合 回路的两个竖硅芯分别接在炉底上的两个电。
14、极上， 两个电极分别连接直流电源的正负极， 向密闭的还原炉内通入氢气和三氯氢硅， 然后对硅芯进行加热， 加热中一组搭接好的硅芯 相当于一个大电阻， 进行还原反应 ； 这样， 所需的多晶硅就会在硅芯表面生成。 0003 实现上述技术时， 通过搭桥技术使一根横硅芯和两根竖硅芯进行联通， 本发明人 在先申请的中国专利 ： 公开了一种可有效提高接触面积和减小电阻的孔式硅芯搭接方法， 该专利提出了一种圆球形硅芯的搭接方法， 它是通过在横硅芯两端分别设置硅芯圆球体， 并在两个硅芯圆球体的下部分别设置插孔， 由竖硅芯上端的插柱与插孔吻配连接， 形成提 高接触面积和减少电阻的连接方式 ； 但是， 在实际应用中。
15、发现在横硅芯圆球体上钻孔时往 往会造成横硅芯圆球体产生裂纹， 甚至发生断裂， 成品率相对较低， 使得加工成本增加 ； 且 在横硅芯两端拉制圆球体也是一个工艺较为复杂且成本较高的工艺过程， 这个过程不仅工 艺复杂， 而且在拉制横硅芯圆球体时一不小心便会出现高频线圈与硅芯接触造成打火现象 的发生， 甚至造成高频线圈报废， 并且影响工艺的进行， 必须得停止拉制过程， 通过更换高 频线圈来进行下一次的拉制过程， 这其中停工中的再次开启设备时为防止原料棒在拉制过 程中发生氧化， 还必须重新更换新的籽晶， 同时还要重新对硅芯炉进行抽真空、 冲入保护性 气体、 加热等工艺步骤 ； 所以有必要对于硅芯的搭接方。
16、式及其设备进行改进。 0004 参考文献 ： 0005 中国专利 ； 专利名称、 可有效提高接触面积和减小电阻的孔式硅芯搭接方法， 公开 号、 CN101570890A， 公开日、 2009 年 11 月 4 日。 【发明内容】 0006 为克服背景技术中的不足， 本发明所要解决的技术问题是提供一种晶体材料磨削 机构， 本发明所述的晶体材料磨削机构实现了稳固的磨削晶棒的目的， 有效地提高了晶棒 加工的机械化程度， 克服了现有技术必须拉制硅芯圆球体的弊端。 0007 为了实现所述发明目的， 本发明采用如下技术方案 ： 0008 一种晶体材料磨削机构， 包括用于固定晶棒的晶体夹持机构 ； 用于磨削。
17、晶棒的竖 磨削机构 ； 用于磨削晶棒的横磨削机构 ； 用于晶体夹持机构或横、 竖磨削机构的进给机构 ； 所述用于固定晶棒的夹持机构设置在磨削晶棒的竖磨削机构和用于磨削晶棒的横磨削机 构的一侧 ； 所述用于磨削晶棒的竖磨削机构设置有轴套， 所述轴套通过轴套固定座 A 固定 说 明 书 CN 102240951 A CN 102240955 A2/5 页 5 在磨头固定板上部面的一边， 在轴套的一端设置有磨轮， 在轴套的另一端设置有动力机构， 所述磨轮的外缘对应晶棒的轴向中心线， 形成晶棒端部面的 “U” 型切口的结构设置 ； 所述 用于磨削晶棒的横磨削机构设置有轴套， 所述轴套通过轴套固定座 B。
18、 固定在磨头固定板上 部面的另一边， 在轴套的一端设置有磨轮， 在轴套的另一端设置有动力机构， 所述磨轮外缘 垂直于晶棒的轴向中心线 ； 所述用于磨削晶棒的竖磨削机构和磨削晶棒的横磨削机构及进 给机构外接控制系统。 0009 所述的晶体材料磨削机构， 所述用于晶体夹持机构或横、 竖磨削机构的进给机构 包括横向进给机构和纵向进给机构 ； 所述横向进给机构和纵向进给机构设置在磨头固定板 或者固定晶棒的夹持机构的下部面。 0010 所述的晶体材料磨削机构， 所述用于磨削晶棒的竖磨削机构包括轴套、 磨轮、 电 机、 电机安装座、 联轴器 A、 轴承、 轴、 轴承压盖和轴套固定座 A， 所述轴套的一端通。
19、过电机安 装座固定有电机， 在轴套的内部设置有轴， 所述轴的一端通过联轴器 A 与电机连接， 在轴的 两端紧配有轴承， 所述轴承的外圈固定在轴套内部的两端， 在轴套的另一端设置有轴承压 盖和磨轮， 所述轴套通过焊接或者铰接的形式固定在轴套固定座 A 的侧边。 0011 所述的晶体材料磨削机构， 所述用于磨削晶棒的横磨削机构包括轴套、 磨轮、 电 机、 电机安装座、 联轴器 A、 轴承、 轴、 轴承压盖和轴套固定座 B， 所述轴套的一端通过电机安 装座固定有电机， 在轴套的内部设置有轴， 所述轴的一端通过联轴器 A 与电机连接， 在轴的 两端紧配有轴承， 所述轴承的外圈固定在轴套内部的两端， 在。
20、轴套的另一端设置有轴承压 盖和磨轮， 所述轴套通过焊接或者铰接的形式固定在轴套固定座 B 的上部面。 0012 所述的晶体材料磨削机构， 所述用于晶体夹持机构或横、 竖磨削机构的横向进给 机构包括大安装底板、 电机、 电机安装座、 滑轨、 滑轨安装座、 轴承座、 丝杠、 滑块、 挡板、 减速 机、 丝母、 减速器轴、 减速器轴锁紧螺母和联轴器 B， 所述大安装底板的上部面上设置有至少 两个相互平行的滑轨安装座， 在滑轨安装座的上部面设置有滑轨， 所述滑轨的一端设置有 挡板， 滑轨与滑块滑配， 形成横向进给机构， 在滑块的上部面设置有中托盘， 在中托盘的下 部设置有丝母， 所述丝母通过设置在大安。
21、装底板上部面的丝杠形成丝接连接， 所述丝杠的 两端通过轴承座固定在大安装底板上部面， 在丝杠的一端设置有减速机， 所述减速机安装 孔内安装有减速器轴， 所述减速器轴通过减速器轴锁紧螺母固定在减速机上， 减速器轴的 一端通过联轴器 B 与丝杠连接。 0013 所述的晶体材料磨削机构， 所述用于晶体夹持机构或横、 竖磨削机构的纵向进给 机构包括电机、 电机安装座、 滑轨、 滑轨安装座、 轴承座、 丝杠、 滑块、 减速机、 丝母、 减速器 轴、 减速器轴锁紧螺母和联轴器 B， 所述至少两个滑轨安装座固定在中托盘的上部面， 在滑 轨安装座的上部面设置有滑轨， 所述滑轨与滑块滑配， 形成纵向进给机构， 。
22、在滑块的上部面 设置有磨头固定板或晶体夹持机构， 在磨头固定板或晶体夹持机构的下部面设置有丝母， 所述丝母通过设置在中托盘上部面的丝杠形成丝接连接， 所述丝杠的两端通过轴承座固定 在大安装底板上部面， 在丝杠的一端设置有减速机， 所述减速机安装孔内安装有减速器轴， 所述减速器轴通过减速器轴锁紧螺母固定在减速机上， 减速器轴的一端通过联轴器 B 与丝 杠连接。 0014 所述的晶体材料磨削机构， 所述大安装底板的下部面连接有至少四个支撑座， 在 支撑座的下部面连接有机架， 在机架的一侧设置有穿线孔。 说 明 书 CN 102240951 A CN 102240955 A3/5 页 6 0015 。
23、所述的晶体材料磨削机构， 所述控制系统包括控制盒、 连接杆和连接杆固定座， 所 述控制盒通过接杆和连接杆固定座固定在大安装底板的一侧。 0016 所述的晶体材料磨削机构， 所述大安装底板的一侧边安装有水管、 水管固定座和 传感器固定座， 所述传感器固定座上固定有测量机构。 0017 由于采用上述技术方案， 本发明具有如下有益效果 ： 0018 所述的晶体材料磨削机构， 通过晶棒夹持机构将晶棒稳固的固定在晶棒夹持机构 上， 利用晶棒的磨削晶棒的竖磨削机构和磨削晶棒的横磨削机构进行精确地磨削， 在磨削 过程中由晶体夹持机构或横、 竖磨削机构的进给机构使晶棒在加工中的渐进磨削 ； 本发明 实现了稳固。
24、的磨削晶棒的目的， 有效地提高了晶棒加工的机械化程度， 克服了现有技术必 须拉制硅芯圆球体的弊端。 【附图说明】 0019 图 1 是本发明的立体结构示意图。 0020 图 2 是本发明的另一角度立体结构示意图。 0021 图 3 是本发明的磨头装置装配关系示意图。 0022 图 4 是本发明的磨头装置另一角度装配关系示意图。 0023 图 5 是图 1 的剖视结构示意图。 0024 图中 ： 1、 控制盒 ； 2、 连接杆 ； 3、 轴套 ； 4、 磨轮 ； 5、 晶体加持机构 ； 6、 晶体支撑机构 ； 7、 晶棒 ； 8、 大安装底板 ； 9、 支撑座 ； 10、 机架 ； 11、 穿线。
25、孔 ； 12、 电机 ； 13、 电机安装座 ； 14、 磨 头固定板 ； 15、 滑轨 ； 16、 滑轨安装座 ； 17、 轴承座 ： 18、 丝杠 ； 19、 滑块 ； 20、 挡板 ； 21、 减速机 ； 22、 水管 ； 23、 水管固定座 ； 24、 传感器固定座 ； 25、 连接杆固定座 ； 26、 挡水板 ； 27、 托板 ； 28、 联轴器 A ； 29、 轴承 ； 30、 锁紧螺母 ； 31、 轴 ； 32、 轴承压盖 ； 33、 轴套固定座 A ； 34、 轴套固定座 B ； 35、 丝母 ； 36、 防护罩 ； 37、 减速器轴 ； 38、 减速器轴锁紧螺母 ； 39、 。
26、联轴器 B。 【具体实施方式】 0025 参考下面实施例， 可以更详细的解释本发明， 但是本发明并不局限于这些实施例 的组合方式。 0026 结合附图 1 5 中所述的晶体材料磨削机构， 包括用于固定晶棒的晶体夹持机构 5 ； 在晶体夹持机构 5 的一侧设置有晶体支撑机构 6， 用于托扶晶棒 7 用于磨削晶棒的竖磨 削机构 ； 用于磨削晶棒的横磨削机构 ； 用于晶体夹持机构 5 或横、 竖磨削机构的进给机构 ； 所述用于固定晶棒的夹持机构 5 设置在磨削晶棒的竖磨削机构和用于磨削晶棒的横磨削 机构的一侧 ； 所述用于磨削晶棒的竖磨削机构设置有轴套 3， 所述轴套 3 通过轴套固定座 A33 固。
27、定在磨头固定板 14 上部面的一边， 在轴套 3 的一端设置有磨轮 4， 磨轮 4 通过锁紧螺 母 30 固定在轴 31 的一端， 在轴套 3 的另一端设置有动力机构， 所述磨轮 4 的外缘对应晶棒 7 的轴向中心线， 形成晶棒 7 端部面的 “U” 型切口的结构设置 ； 所述用于磨削晶棒的横磨削 机构设置有轴套3， 所述轴套3通过轴套固定座B34固定在磨头固定板14上部面的另一边， 在轴套 3 的一端设置有磨轮 4， 磨轮 4 通过锁紧螺母 30 固定在轴 31 的一端， 在轴套 3 的另 一端设置有动力机构， 所述磨轮 4 外缘垂直于晶棒 7 的轴向中心线， 形成对晶棒 7 端部的端 面磨。
28、削， 保证晶棒 7 在磨削 “U” 型槽时端面是平齐的 ； 所述用于磨削晶棒的竖磨削机构和磨 说 明 书 CN 102240951 A CN 102240955 A4/5 页 7 削晶棒的横磨削机构及进给机构外接控制系统。 0027 所述的晶体材料磨削机构， 所述用于晶体夹持机构 5 或横、 竖磨削机构的进给机 构包括横向进给机构和纵向进给机构 ； 所述横向进给机构和纵向进给机构设置在磨头固定 板 14 或者固定晶棒的夹持机构的下部面， 当横向进给机构和纵向进给机构设置在晶体夹 持机构5的下部面时， 横、 竖磨削机构固定不动， 晶体夹持机构5做横向和纵向移动， 以达到 设计目的， 当横向进给机。
29、构和纵向进给机构设置在横、 竖磨削机构的下部面时， 晶体夹持机 构 5 固定不动， 横、 竖磨削机构做横向和纵向移动， 以达到设计目的。 0028 所述的晶体材料磨削机构， 所述用于磨削晶棒的竖磨削机构包括轴套 3、 磨轮 4、 电机 12、 电机安装座 13、 联轴器 A28、 轴承 29、 轴 31、 轴承压盖 32 和轴套固定座 A33， 所述轴 套 3 的一端通过电机安装座 13 固定有电机 12， 在轴套 3 的内部设置有轴 31， 所述轴 31 的 一端通过联轴器 A28 与电机 12 连接， 在轴 31 的两端紧配有轴承 29， 所述轴承 29 的外圈固 定在轴套3内部的两端， 。
30、在轴套3的另一端设置有轴承压盖32和磨轮4， 所述轴套3通过焊 接或者铰接的形式固定在轴套固定座 A33 的侧边。 0029 所述的晶体材料磨削机构， 所述用于磨削晶棒的横磨削机构包括轴套 3、 磨轮 4、 电机 12、 电机安装座 13、 联轴器 A28、 轴承 29、 轴 31、 轴承压盖 32 和轴套固定座 B34， 所述轴 套 3 的一端通过电机安装座 13 固定有电机 12， 在轴套 3 的内部设置有轴 31， 所述轴 31 的 一端通过联轴器 A28 与电机 12 连接， 在轴 31 的两端紧配有轴承 29， 所述轴承 29 的外圈固 定在轴套3内部的两端， 在轴套3的另一端设置有。
31、轴承压盖32和磨轮4， 所述轴套3通过焊 接或者铰接的形式固定在轴套固定座 B34 的上部面。 0030 所述的晶体材料磨削机构， 所述用于晶体夹持机构 5 或横、 竖磨削机构的横向进 给机构包括大安装底板 8、 电机 12、 电机安装座 13、 滑轨 15、 滑轨安装座 16、 轴承座 17、 丝杠 18、 滑块 19、 挡板 20、 减速机 21、 丝母 35、 减速器轴 37、 减速器轴锁紧螺母 38 和联轴器 B39， 所述大安装底板8的上部面上设置有至少两个相互平行的滑轨安装座16， 在滑轨安装座16 的上部面设置有滑轨 15， 所述滑轨 15 的一端设置有挡板 20， 滑轨 15 。
32、与滑块 19 滑配， 形成 横向进给机构， 在滑块 19 的上部面设置有中托盘， 在中托盘的下部设置有丝母 35， 所述丝 母 35 通过设置在大安装底板 8 上部面的丝杠 18 形成丝接连接， 所述丝杠 18 的两端通过轴 承座 17 固定在大安装底板 8 上部面， 在丝杠 18 的一端设置有减速机 21， 所述减速机 21 安 装孔内安装有减速器轴37， 所述减速器轴37通过减速器轴锁紧螺母38固定在减速机上， 减 速器轴 37 的一端通过联轴器 B39 与丝杠 18 连接， 为了防止在工作过程中电机 12 或减速机 21 落入粉尘而影响精度， 同时也为了增加磨机的美观程度， 可在其外围设。
33、置防护罩 36。 0031 所述的晶体材料磨削机构， 所述用于晶体夹持机构 5 或横、 竖磨削机构的纵向进 给机构包括电机12、 电机安装座13、 滑轨15、 滑轨安装座16、 轴承座17、 丝杠18、 滑块19、 减 速机 21、 丝母 35、 减速器轴 37、 减速器轴锁紧螺母 38 和联轴器 B39， 所述至少两个滑轨安装 座 16 固定在中托盘的上部面， 在滑轨安装座 16 的上部面设置有滑轨 15， 所述滑轨 15 与滑 块 19 滑配， 形成纵向进给机构， 在滑块 19 的上部面设置有磨头固定板 14 或晶体夹持机构 5， 在磨头固定板 14 或晶体夹持机构 5 的下部面设置有丝母。
34、 35， 所述丝母 35 通过设置在中 托盘上部面的丝杠 18 形成丝接连接， 所述丝杠 18 的两端通过轴承座 17 固定在大安装底板 8 上部面， 在丝杠 18 的一端设置有减速机 21， 所述减速机 21 安装孔内安装有减速器轴 37， 所述减速器轴 37 通过减速器轴锁紧螺母 38 固定在减速机上， 减速器轴 37的一端通过联轴 说 明 书 CN 102240951 A CN 102240955 A5/5 页 8 器 B39 与丝杠 18 连接， 为了防止在工作过程中电机 12 或减速机 21 落入粉尘而影响精度， 同时也为了增加磨机的美观程度， 可在其外围设置防护罩 36。 0032。
35、 所述的晶体材料磨削机构， 所述大安装底板 8 的下部面连接有至少四个支撑座 9， 在支撑座 9 的下部面连接有机架 10， 在机架 10 的一侧设置有穿线孔 11。 0033 所述的晶体材料磨削机构， 所述控制系统包括控制盒 1、 连接杆 2 和连接杆固定座 25， 所述控制盒 1 通过接杆 2 和连接杆固定座 25 固定在大安装底板 8 的一侧， 在大安装底 板 8 的另一侧固定有托板 27。 0034 所述的晶体材料磨削机构， 所述大安装底板 8 的一侧边安装有水管 22、 水管固定 座23和传感器固定座24， 所述传感器固定座24上固定有测量机构， 所述测量机构可设置为 光栅尺或限位开。
36、关， 达到对进给机构的准确的控制， 同时提高对晶棒 7 的精确磨削， 所述水 管 22 通过设置在磨机旁的供水系统将水源或冷却介质输送至横、 竖磨削机构， 以防止由于 温度过高而损坏横、 竖磨削机构或晶棒 7， 当横、 竖磨削机构对晶棒 7 磨削时， 为了防止在磨 削过程中由于温度过高损坏磨头或者晶棒 7， 同时为了防止水或冷却介质渐入横、 竖磨削机 构或电机 12 中， 损坏横、 竖磨削机构， 可在横、 竖磨削机构一侧设置挡水板 26 对横、 竖磨削 机构进行保护， 同时也可以起到保护操作人员的作用。 0035 为了公开本发明的目的而在本文中选用的实施例， 当前认为是适宜的， 但是应了 解的。
37、是， 本发明旨在包括一切属于本构思和本发明范围内的实施例的所有变化和改进。 说 明 书 CN 102240951 A CN 102240955 A1/5 页 9 图 1 说 明 书 附 图 CN 102240951 A CN 102240955 A2/5 页 10 图 2 说 明 书 附 图 CN 102240951 A CN 102240955 A3/5 页 11 图 3 说 明 书 附 图 CN 102240951 A CN 102240955 A4/5 页 12 图 4 说 明 书 附 图 CN 102240951 A CN 102240955 A5/5 页 13 图 5 说 明 书 附 图 CN 102240951 A 。