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1、(10)申请公布号 CN 102294759 A (43)申请公布日 2011.12.28 CN 102294759 A *CN102294759A* (21)申请号 201110205845.0 (22)申请日 2006.12.01 2005-348256 2005.12.01 JP 2006-256769 2006.09.22 JP 200680026761.8 2006.12.01 B28D 7/00(2006.01) C03B 33/10(2006.01) (71)申请人 三星钻石工业股份有限公司 地址 日本大阪 (72)发明人 山本正男 田端淳 (74)专利代理机构 中国国际贸易促进。
2、委员会专 利商标事务所 11038 代理人 黄永杰 (54) 发明名称 刀片架 (57) 摘要 将刀片 (14) 转动自由地安装在刀片架 (10) 上。刀片架 (10) 做成圆筒形， 在其前端设置安装 部 (16)。在架接头上设置开口部， 利用磁铁吸引 并安装刀片架 (10)， 由此使装拆容易进行。另外， 在刀片架 (10) 的面上将刀片的偏置数据作为二 维编码(17)加以记录。 通过在更换刀片架时读出 偏置数据并输入至划线装置， 抵消偏置。这样， 会 节省在拆装刀片架时有关修正的必要操作， 可以 在短暂的装置停止期间内更换刀片。 (30)优先权数据 (62)分案原申请数据 (51)Int.C。
3、l. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 2 页 说明书 10 页 附图 17 页 CN 102294762 A1/2 页 2 1. 一种刀片架， 该刀片架是用于形成切断脆性材料基板用的划线线条的刀片架， 一端 插入在支承刀片架的支承部的开口中， 在另一端具备旋转自由地被安装的划线线条形成用 的滚轮刀片， 其特征在于， 在所述一端具有以包括倾斜部的方式将一面切除的安装部， 所述一端的至少一部分由磁性体构成。 2. 一种刀片架， 该刀片架是用于形成切断脆性材料基板用的划线线条的刀片架， 一端 插入在支承刀片架的支承部的开口中， 在另一端具备旋转自由地被安装的划。
4、线线条形成用 的滚轮刀片， 其特征在于， 在所述一端具有以包括倾斜部的方式将一面切除的安装部， 所述一端的至少一部分由磁性体构成， 若所述一端插入到支承部的开口中， 则所述刀片架的倾斜部与在支承部的开口内垂直 于开口中心轴地设置的平行销接触而定位， 由埋设在支承部的开口中的磁铁固定。 3. 如权利要求 1 或 2 所述的刀片架， 其特征在于， 所述滚轮刀片与刀片架一体化。 4.如权利要求1或2所述的刀片架， 其特征在于， 所述安装部还包括跟所述倾斜部连续 并与刀片架的中心轴平行的平坦部。 5. 如权利要求 4 所述的刀片架， 其特征在于， 所述刀片架在另一端还包括下方平坦部， 所述安装部的平坦。
5、部和所述下方平坦部相互垂直。 6. 如权利要求 2 所述的刀片架， 其特征在于， 所述平行销设置在与开口的中心轴隔开 的位置上。 7. 如权利要求 1 或 2 所述的刀片架， 其特征在于， 所述刀片架的一端的端部角被倒角。 8.如权利要求1或2所述的刀片架， 其特征在于， 所述刀片架在至少一面上具有记录了 固有的数据的编码。 9. 如权利要求 8 所述的刀片架， 其特征在于， 所述编码是二维编码。 10. 如权利要求 8 所述的刀片架， 其特征在于， 所述固有的数据包括表示安装的刀片的 种类的数据。 11. 如权利要求 2 所述的刀片架， 其特征在于， 所述固有的数据包括将划线时的偏置消 除的。
6、修正数据。 12. 一种刀片架， 该刀片架是用于形成切断脆性材料基板用的划线线条的刀片架， 具备 一端和另一端， 在另一端具备旋转自由地被安装的划线线条形成用的滚轮刀片， 其特征在 于， 在所述一端具备安装部， 该安装部以包括倾斜部以及跟所述倾斜部连续并与中心轴平 行的平坦部的方式将一面切除， 在所述另一端包括下方平坦部， 所述安装部的平坦部和所述下方平坦部相互垂直， 所述一端的至少一部分由磁性体构成， 所述一端的端部角被倒角， 所述滚轮刀片与刀片架一体化， 所述刀片架在至少一面上具备记录了固有的数据的编码。 13. 如权利要求 12 所述的刀片架， 其特征在于， 所述编码是二维编码。 14.。
7、 如权利要求 12 所述的刀片架， 其特征在于， 所述固有的数据包括表示安装的刀片 权 利 要 求 书 CN 102294759 A CN 102294762 A2/2 页 3 的种类的数据。 15. 如权利要求 12 所述的刀片架， 其特征在于， 所述固有的数据包括将划线时的偏置 消除的修正数据。 权 利 要 求 书 CN 102294759 A CN 102294762 A1/10 页 4 刀片架 0001 本发明专利申请是申请号为200680026761.8、 申请日为2006年12月1日、 发明名 称为 “划线装置、 划线方法以及刀片架” 的发明专利申请的分案申请。 技术领域 0002。
8、 本发明涉及用于在脆性材料基板上形成划线线条的划线装置、 划线方法及其所使 用的刀片架， 特别涉及在保持划线线条形成用的滚轮刀片 ( 划线滚轮 ) 的刀片架上具有特 征的划线装置、 划线方法及刀片架。 背景技术 0003 以往， 在液晶显示面板或液晶投影器基板等平板显示器等中， 在制造过程中， 素玻 璃基板在粘合后被截断， 形成规定大小的单个的面板。在截断该素玻璃基板等脆性材料基 板时， 有划线工序和断开工序， 在划线工序中使用划线装置。 0004 图 1 是表示现有的划线装置的一例的概略立体图。该划线装置 100 中的移动台 101 沿一对导轨 102a、 102b 在 y 轴方向移动自由地。
9、被保持。滚珠丝杠 103 与移动台 101 螺 纹接合。滚珠丝杠 103 由马达 104 驱动而旋转， 使移动台 101 沿导轨 102a、 102b 在 y 轴方 向移动。在移动台 101 的上面设有马达 105。马达 105 使工作台 106 在 xy 平面内旋转， 按 规定角度定位。脆性材料基板 107 放置在该工作台 106 上， 由没有图示的真空吸引机构等 保持。在划线装置的上部设有拍摄脆性材料基板 107 的对位标记的两台 CCD 照相机 108。 0005 在划线装置 100 中， 按跨过移动台 101 和其上部的工作台 106 的方式， 沿 x 轴方向 利用支柱 111a、 1。
10、11b 架设桥构件 110。划线头 112 能沿设在桥构件 110 上的导向件 113 在 x 轴方向移动。马达 114 是使划线头 112 沿 x 轴方向移动的驱动源。在划线头 112 的前端 部， 经由架接头 120 而安装有刀片架 130。 0006 下面对安装在划线头 112 上的现有的架接头和刀片架进行说明。如图 2 所示的分 解立体图那样， 架接头 120 在上部具有轴承 121， 下方具有构成为 L 字形的架部 122。在架 部 122 的侧方设有定位用的销 123。刀片架 130 如图 3、 图 4 所示是可转动地保持圆板状的 滚轮刀片 ( 以下简称为刀片 )131 的部件。刀。
11、片 131 利用销 ( 未作图示 ) 旋转自由地保持 在下端中央的前端部， 销由挡块 132 防止脱落。刀片 131 一边与脆性材料基板压接一边滚 动， 形成划线线条。该刀片架 130 通过使其侧面与定位销 123 接触， 定位在架接头 120 的架 部 122。而且， 刀片架 130 由固定螺栓 133 固定在架部 122 上。划线头 112 可升降移动地保 持其下部的架接头 120 以及刀片架 130。在划线头 112 上设有在其内部可以进行这样的升 降动作的升降部， 例如使用气压控制的气缸或由线性马达等驱动的电动升降部等。该升降 部一边以适当的载荷使刀片131压接在脆性材料基板的表面上，。
12、 一边使刀片131滚动， 形成 划线线条。 0007 其次， 对在作为划线装置组装后， 对划线动作所需的电以及机械方面的调整结束 了的划线装置的划线动作进行说明。图 5A、 图 5B 是表示该处理顺序的流程图。在划线开 始前， 如图 6 所示， 首先把脆性材料基板 107 放置在工作台 106 上， 在定位后进行吸引固定 说 明 书 CN 102294759 A CN 102294762 A2/10 页 5 ( 步骤 S0)。之后， 为了确认定位状况， 使用设在划线装置上方的两台 CCD 照相机 108， 分别 放大摄像基板上的左右两处的定位用的对位标记 63a 及 63b， 进行图像处理 (。
13、 步骤 S1)。由 于摄像后的放大图像在各自对应的监视器上显示， 所以， 操作人员可以一边确认其摄制的 图像一边进行精确的定位作业。 划线装置100通过图像处理， 检测基板107从连接两台CCD 照相机的线、 即工作台 106 的基准线 A 倾斜多少角度 () 放置， 或者基板 107 从作为工作 台 106 的基准的原点位置偏离多少放置 ( 步骤 S2)。根据其检测结果， 划线装置 100 进入步 骤 S3， 通过马达 105 的转动进行修正， 使工作台 106 的倾斜角 变成 0。从工作台 106 的 原点位置的偏离可以进行以下修正。关于 y 轴方向， 使工作台 106 在 y 轴方向上移。
14、动与上 述偏离量的 y 轴方向成分相当的量， 另外， 关于 x 轴方向使划线头 112 的位置移动与上述偏 离量的 x 轴成分相当的量。另外， 作为其它的修正方法， 还有下述的方法。即， 划线装置把 上述偏离量分成 x 轴成分和 y 轴成分， 通过修正划线动作开始位置的位置数据的各轴成分 的值， 使划线开始位置移动。若这样作也可以得到相同的结果。 0008 在更换划线对象的基板时， 每次必定需要在划线开始前实行上述偏离量的修正作 业。只要修正作业结束， 就从所希望的位置开始划线动作。划线装置 100 使刀片架下降， 使 刀片一边与基板接触一边滚动， 进行通常划线 ( 步骤 S5 S7)。之后，。
15、 在该划线线条的形 成之后， 划线装置 100 使刀片架上升 ( 步骤 S8)， 接着， 使基板相对移动 ( 步骤 S9)， 返回至 S5。 0009 下面， 利用图5B对步骤S9中所示的基板的移动进行详细说明。 首先， 划线装置100 判断作为控制程序内的控制数据的旗标 FX 是否为 0( 步骤 S10)。该旗标 FX 是在工作台转 动时创建的旗标， 初始化后成为 0。只要旗标 FX 为 0， 就进入步骤 S11， 判断 x 轴方向的划线 是否结束。如果未结束， 则划线装置 100 通过移动工作台 106 相对移动基板 ( 步骤 S12)， 返 回至步骤 S5， 反复进行同样的处理。这样， 。
16、通过反复该循环， 可以结束 x 轴方向的划线。在 x 轴方向的划线结束后， 进入步骤 S13， 划线装置 100 设定旗标 Fx 为 1， 进入步骤 S14， 使工 作台 106 向右方向转动 90 度。之后， 在步骤 S15 中判断 y 轴方向的划线是否结束， 如果未 结束， 就进入步骤 S16 使工作台 106 移动， 返回到步骤 S5。如果 x 轴方向的划线结束， 则旗 标 FX 即被建立， 所以， 划线装置 100 从步骤 S10 进入到步骤 S15， 判断 y 轴方向的划线是否 结束。 在没有结束的情况下， 划线装置100使基板相对地向y轴方向平行移动必要的移动量 ( 步骤 S16)。
17、。之后， 再次返回步骤 S5， 重复同样的划线动作。此后， 当划线装置 100 判断在 步骤 S15 中完全结束了 y 轴方向的划线线条的形成时， 使工作台向左方向转动 90 度， 结束 划线动作。划线装置 100 重新设定旗标 FX， 基板解除吸引， 从工作台 106 拆下 ( 步骤 S17)。 接着， 在工作台上放置另一基板时， 也可以按同样的顺序进行划线动作。 0010 在新制造的划线装置 100 上安装使用架接头 120 时， 或在使用划线装置的中途为 了调整、 修理或为了更换而拆除安装刀片131的刀片架130、 划线头112或架接头120后， 调 整后再安装使用时， 或在更换后安装另。
18、一构件进行使用时， 需要用下述方法进行偏移量的 修正作业。 此时， 为了简单地说明， 假定以下的调整已经结束来进行说明。 即， 调整两台CCD 照相机内的一台的摄影图像的中心坐标， 使之与划线线条的形成所必需的原点位置一致， 进而， 在刀片架等构件安装后由刀片形成的划线线条预先调整成与工作台的 x 轴方向的基 准线平行。 0011 首先， 为了精确测出划线装置 100 的驱动系统的原点位置和实际上刀片 131 在基 说 明 书 CN 102294759 A CN 102294762 A3/10 页 6 板上开始形成划线线条的开始位置的偏移， 必须进行测试划线。 在进行测试划线时， 操作人 员把。
19、与一般的母基板不同的虚拟基板放置在工作台 106 上， 实施从步骤 S0 到 S3 的前处理。 图7是表示由测试在虚拟基板上形成的划线和由CCD照相机拍摄的图像的对位标记的中心 坐标 P0 的位置关系的模式图。只要划线头 112 或架接头 120 及刀片架 130 的各偏置量被 修正处理并抵消， 划线装置 100 就可以从中心坐标 P0 开始划线。 0012 可是， 由于存在电及机械的误差， 每个组装构件的值都不同， 故若不重新测定安装 后的误差量而结束所需的修正处理的话， 就不能从中心坐标 P0 进行划线。因此， 操作人员 使刀片架 130 下降， 使刀片与虚拟基板接触 ( 步骤 S5、 S。
20、6 )。之后， 对虚拟基板进行测 试划线， 形成一根划线线条 (S7 )。之后， 使刀片架上升 (S8 )， 测量偏移量 (S9 )。在 此， 假设刀片的划线开始位置 (X， Y) 如图 7 所示是位置 P1(X， Y) (4， 3)。该位置可以用 CCD 照相机 108 的拍摄图像进行测量。 0013 其次， 操作人员测量从位置 P1 到中心坐标 P0 的偏移量 (S9 )。由于该偏移量成 为作为偏置而应被消除的值， 故把其作为修正值进行修正处理 (S10 )。之后， 从工作台取 下虚拟基板结束修正处理 (S11 )。之后， 返回步骤 S0， 反复进行同样的处理。这样， 对于 图 5A 所示。
21、的步骤 S5 以下的通常的划线， 可以从中心坐标 P0 开始划线。 0014 只要进行这样的修正处理， 则其以后每当更换划线对象的基板时都通过进行步骤 S1 S3 的前处理在脆性材料基板 107 上形成划线线条， 该划线线条在预定的线 ( 例如图 6 的线 B) 的位置上精确地形成， 相对同一基板 107 顺次改变划线开始位置， 反复进行划线动 作 ( 步骤 S5 S9)。 0015 当刀片对脆性材料基板进行规定长度的划线时， 会产生磨损而使性能下降， 故必 须进行定期更换(专利文献1)。 在现有的划线装置中， 在更换作为消耗品的刀片时， 操作人 员首先从划线头 112 拆下刀片架 130。其。
22、次从拆下的刀片架 130 上拆下磨损了的刀片 131， 把新刀片安装在刀片架 130 上。之后， 操作人员再次把刀片架 130 安装在划线头 112 上， 结 束更换作业。因此， 在更换刀片自身、 刀片架和划线头的任意一个构件时， 由于刀片的安装 位置发生误差(偏置)， 故为了抵消偏置， 测试划线和其后的修正处理(步骤S5S11) 是必须的。 0016 这样， 通过修正伴随划线头的周围构件的替换产生的偏置量， 其后对一般的母基 板进行从步骤 S0 到 S3 的前处理后， 反复进行从步骤 S5 到 S9 的一系列的划线关联动作， 在 基板上形成所需数量的划线线条。 0017 另外， 在此表示划线。
23、头沿x轴方向移动且工作台沿y轴方向移动、 同时旋转的划线 装置 100， 但也有工作台沿 x 轴、 y 轴方向移动且旋转的划线装置 ( 专利文献 2)。另外， 还 有工作台沿 x 轴、 y 轴方向移动而没有转动机构的划线装置。进而， 还有工作台被固定、 划 线头沿 x 轴及 y 轴方向移动的类型的划线装置 ( 专利文献 3)。 0018 作为图1所示的划线装置的变型例， 有在移动台101上不设置旋转工作台、 在移动 台上直接放置脆性材料基板107的类型的划线装置(装置类型1)。 进而， 作为另一变型例， 有图1的工作台106固定、 桥构件110和支柱111a及111b一起沿y轴方向移动的具备驱。
24、动 机构的类型的划线装置 ( 装置类型 2， 例如专利文献 4)。此时， 必须进行以下的划线动作。 即， 由于不能修正在图 5A 的步骤 S2 中检测出的基板 107 的倾斜角 ， 故利用步骤 S3 仅实 行基板的偏移量的修正处理。在该划线装置中， 作为 的修正的代替， 由用图 6 说明的直 说 明 书 CN 102294759 A CN 102294762 A4/10 页 7 线内插法实行划线动作。即， 在设定了在直线 B 的位置形成正规的划线线条时， 只让划线头 112 单沿 x 轴方向移动的话， 则得到直线 A 的线条。因此， 在该划线装置中， 与划线头的 x 轴 方向的移动同时并行， 。
25、分别在装置类型 1 的情况下移动工作台 106， 在另一装置类型 2 的情 况下移动桥构件 110。如果这样的话， 就能形成倾斜的划线线条 B。同时并行移动的移动量 依存于倾斜角 的大小。对于倾斜的划线， 划线头 112 和工作台 106( 或桥构件 110) 分担 与由倾斜角 形成的三角形的底边和高度相当的移动量， 换句话说， 可以通过反复进行两 个方向的微小的台阶状的直线移动来实现。 0019 专利文献 1 ： 日本专利第 3074143 号公报 0020 专利文献 2 ： 日本专利公开 2000-119030 号公报 0021 专利文献 3 ： 日本专利公开 2000-086262 号公。
26、报 0022 专利文献 4 ： 日本专利公开 2000-264657 号公报 0023 发明要解决的课题 0024 在更换现有的被安装在刀片架上的刀片时， 操作人员首先松开固定螺栓 133， 从架 接头 120 拆下刀片架 130。之后， 操作人员松开挡块 132 的螺栓， 使挡块 132 从销孔错开， 拔 出销， 取出刀片 131。或者， 更换成新刀片后， 操作人员用同样的过程插入销， 把刀片安装在 刀片架 130 上， 如图 4 所示， 把刀片架 130 组装在架接头 120 上。其次， 把架接头 120 安装 在划线头 112 上。 0025 在这样更换刀片时， 必须进行从图 5 的 S。
27、0 到 S3 及从 S5到 S11的作业。即， 为 了修正随着该交换的偏置， 必须进行所谓暂时用虚拟基板形成测试性的划线线条或者求出 偏置量而修正该量这样的作业， 存在这样的处理比较费事的缺点。 0026 另外， 刀片的大小根据用途而不同， 在液晶显示体用的贴合基板划线用的情况下， 例如直径是 2.5mm 左右， 销是 0.5mm 左右， 小而难以处理。因而， 现有技术存在刀片更换 作业费时的缺点。 另外， 在对各种装置安装使用多种刀片的面板加工工厂内， 有可能错误地 安装了不同种类的刀片。在此情况下， 划线条件改变， 不能正常进行稳定的划线， 还存在不 能直接搞清其原因的缺点。 另外， 用固。
28、定螺栓把刀片架固定在架接头上时， 由于由固定方式 使刀片的安装位置微小地偏移， 所以存在由安装后的刀片在划线线条的形成位置上产生偏 差的缺点。 发明内容 0027 本发明是着眼于现有的划线装置或划线方法的问题而提出的， 目的是通过使用与 刀片一体化的刀片架、 事先在刀片架中以编码的形式保持偏置数据来解决上述问题。 0028 为了解决该课题， 本发明的划线装置包括 ： 设置脆性材料基板的设置机构 ( 例如 工作台、 传送器等 ) ； 面对所述设置机构上的脆性材料基板而设置的划线头 ； 设在所述划线 头前端的架接头 ； 具备一端装拆自由地安装在所述架接头上且另一端旋转自由地安装的划 线线条形成用的。
29、滚轮刀片、 并且具备记录了划线时的偏置数据的编码的刀片架 ； 在使所述 划线头及所述脆性材料在沿着脆性材料基板的平面的面内 ( 例如设置机构是工作台时， 沿 工作台面的 x 轴方向及 y 轴方向 ) 相对地移动的同时、 在划线前根据保持在所述刀片架中 的偏置数据使所述划线头在 x 轴方向及 y 轴方向相对移动来修正偏置的相对移动部。 0029 为了解决该课题， 本发明的划线方法使用了以下划线装置， 该划线装置包括 ： 设置 说 明 书 CN 102294759 A CN 102294762 A5/10 页 8 脆性材料基板的设置机构， 面对所述设置机构上的脆性材料基板而设置的划线头， 设在所 。
30、述划线头前端的架接头， 以及具有一端装拆自由地安装在所述架接头上而另一端旋转自由 地安装的划线线条形成用的滚轮刀片、 并具有记录了划线时的偏置数据的编码的刀片架 ； 其中在把刀片架安装在架接头上时， 读出所述刀片架的上述第一偏置数据， 在更换所述划 线头及所述架接头的至少一方时， 通过测试划线检测其安装部的误差， 得到单元的第二偏 置数据， 根据从所述刀片架读出的偏置的上述第一偏置数据和单元的上述第二偏置数据使 所述划线头在x轴方向及y轴方向相对移动， 进行修正处理， 使所述划线头及所述脆性材料 在沿着脆性材料基板的平面的面内 ( 例如设置机构是工作台时， 沿工作台面的 x 轴方向及 y 轴方。
31、向 ) 相对地移动， 对设置机构上的脆性材料基板划线。 0030 在此， 作为所述相对移动部， 也可以把所述工作台做成沿x轴方向及y轴方向移动 的构件。 0031 在此， 作为所述相对移动部， 也可以包括使所述工作台沿 y 轴方向移动的移动部 及使所述划线头沿 x 轴方向移动的移动部。 0032 在此， 作为所述相对移动部， 也可以进一步具有使所述工作台在脆性材料基板的 面内旋转的旋转部。 0033 在此， 所述编码也可以做成二维编码。 0034 在此， 所述编码也可以包括表示滚轮刀片的种类的数据。 0035 为了解决该课题， 本发明的刀片架在一端具有转动自由地安装的划线线条形成用 的滚轮刀片。
32、， 在另一端具有一面被切去的安装部， 可以装拆自由地安装在划线装置的架接 头上。 0036 为了解决该课题， 本发明的刀片架具有安装在一端的划线线条形成用的滚轮刀 片、 在另一端的一面被切去的安装部、 和在所述刀片架的至少一面上记录了所述刀片架所 固有的数据的编码， 装拆自由地安装在划线装置的架接头上。 0037 在此， 所述编码也可以做成二维编码。 0038 在此， 所述刀片架所固有的数据也可以包括表示安装在所述刀片架上的刀片的种 类的数据。 0039 在此， 所述刀片架所固有的数据也可以包括消除所述刀片架在划线时的偏置的修 正数据。 0040 发明效果 0041 根据具有这些特征的本发明，。
33、 由于把刀片的偏置数据作为编码保持在刀片架中， 故通过读取该编码可以很容易地把修正数据设定在划线装置中。因而， 不必测量刀片架所 固有的偏置， 得到可以容易地从所希望的位置开始划线的效果。 附图说明 0042 图 1 是表示现有的划线装置的整体结构的立体图 ； 0043 图 2 是表示现有的架接头及刀片架的立体图 ； 0044 图 3 是表示现有的刀片架的立体图 ； 0045 图 4 是表示把现有的刀片架安装在架接头上的状态的图 ； 0046 图 5A 是表示现有的划线处理的流程图 ； 说 明 书 CN 102294759 A CN 102294762 A6/10 页 9 0047 图 5B 。
34、是表示在现有的划线处理中基板的移动处理的流程图 ； 0048 图 6 是表示用 CCD 照相机拍摄对位标记的状态的图 ； 0049 图 7 是表示对位标记和刀片的划线开始位置及偏置数据的关系的图 ； 0050 图 8 是表示根据本发明的实施例的划线装置的整体结构的立体图 ； 0051 图 9 是表示根据本发明的实施例的刀片架的结构的图 ； 0052 图 10 是根据本实施例的刀片架的立体图 ； 0053 图 11 是表示根据本实施例的架接头的图 ； 0054 图 12 是表示根据本实施例的架接头的刀片架插入时的立体图 ； 0055 图 13 是表示插入刀片架的状态的架接头的局部剖面图 ； 00。
35、56 图 14 是表示把架接头安装在划线头上的状态的图 ； 0057 图 15 是表示根据本实施例的划线装置的控制系统的结构的方框图 ； 0058 图 16A 是表示根据本实施例的划线装置的划线处理顺序的流程图 ； 0059 图 16B 是表示根据本实施例的划线装置的划线处理顺序的流程图 ； 0060 图 17 是表示对位标记和刀片的划线开始位置及偏置数据的关系的图 ； 0061 图 18A 是表示对刀片架写入二维数据的处理的概略模式图 ； 0062 图 18B 是表示对刀片架读取二维数据的处理的概略模式图。 0063 附图标记说明 0064 1 划线装置 0065 10 刀片架 0066 1。
36、1a、 11b、 16b 平坦部 0067 12 缺口 0068 13 销槽 0069 14 刀片 0070 15 销 0071 16 安装部 0072 16a 倾斜部 0073 17 二维编码 0074 20 架接头 0075 21a、 21b 轴承 0076 22 保持部 0077 23 开口 0078 24 磁铁 0079 25 平行销 0080 41 图像处理部 0081 42 控制部 0082 43 修正值输入部 0083 44 X 马达驱动部 0084 45 Y 马达驱动部 0085 46 旋转用马达驱动部 说 明 书 CN 102294759 A CN 102294762 A7/。
37、10 页 10 0086 47 刀片架升降驱动部 0087 48 监视器 0088 112 划线头 具体实施方式 0089 图 8 是表示根据本发明的实施例的划线装置的立体图。在该划线装置中， 与上述 现有例相同的部分赋予相同的附图标记。根据本实施例的划线装置 1 的移动台 101 沿一对 导轨 102a、 102b 在 y 轴方向移动自由地被保持。滚珠丝杠 103 与移动台 101 螺纹接合。滚 珠丝杠 103 由马达 104 驱动而旋转， 使移动台 101 沿导轨 102a、 102b 在 y 轴方向移动。在 移动台 101 的上面设有马达 105。马达 105 使工作台 106 在 xy。
38、 平面上旋转， 按规定角度定 位。脆性材料基板 107 放置在该工作台 106 上， 由没有图示的真空吸引机构等保持。在划 线装置 1 的上部设有拍摄脆性材料基板 107 的对位标记的两台 CCD 照相机 108。 0090 在划线装置 1 上， 跨过移动台 101 和其上部的工作台 106 地沿 x 轴方向利用支柱 111a、 111b 架设桥构件 110。划线头 112 能沿设在桥构件 110 上的导向件 113 在 x 轴方向 移动。马达 114 是使划线头 112 沿 x 轴方向移动的部件。在划线头 112 的前端部通过架接 头 20 装有后述的刀片架 10。在此， 马达 104 和导。
39、轨 102a、 102b、 滚珠丝杠 103 是使工作台 沿 y 轴方向移动的移动部 ； 桥构件 110、 支柱 111a、 111b、 导向件 113 是使划线头沿 x 轴方向 移动的移动部 ； 马达 105 是使工作台旋转的旋转部 ； 这些构件构成了相对移动部。 0091 下面对根据本实施例的安装在划线头上的刀片架 10 的结构进行说明。图 9 是表 示根据本发明的实施例的刀片架的图， 图 10 是其立体图。如这些图所示， 刀片架 10 是大致 圆筒形的构件， 在其一端上按照都与中心轴平行的方式设置大致正方形的平坦部 11a、 11b。 刀片架10在该平坦部之间具有沿着中心轴的缺口12， 。
40、在平坦部11a、 11b的下端具有与其面 垂直的方向的销槽13。 刀片14例如具有轮径2.5mm、 厚度0.5mm左右的圆板形的形状， 圆周 部分的剖面形成为圆锥形， 在中心具有贯通孔。刀片 14 通过使插入销槽 13 的销 15 贯通中 心的贯通孔而可以转动自由地被保持。 把销15插入销槽13、 保持刀片14后， 即使在需要更 换刀片时， 也不用拆下刀片， 可以和刀片架一起更换。另一方面， 在刀片架 10 的另一端上， 设有定位用的安装部 16。安装部 16 通过切削刀片架 10 而形成， 具有倾斜部 16a 及平坦部 16b。平坦部 16b 与刀片架的轴平行， 且与下方的平坦部 11a、 。
41、11b 呈垂直。另外， 在平坦部 11a 上印有如后所述的二维编码 17。而且， 刀片架 10 其上部的一部分由磁性体金属构成。 0092 划线头112在其内部设有能使装有刀片的刀片架10进行升降动作的升降部， 例如 由使用气压控制的气缸或线性马达组成的电动升降部等。通过该升降部， 把刀片 14 用适当 的负荷压接在脆性材料基板的表面上并使之滚动， 形成划线线条。 0093 下面对架接头 20 进行说明。图 11 是表示架接头的图， 图 12 是表示在该架接头 20 中插入刀片架 10 的状态的立体图。如这些图所示， 架接头 20 在上部具有轴承 21a、 21b， 下 方成为保持刀片架的保持。
42、部22。 在架接头20的保持部22上， 如图所示形成圆形的开口23， 在其内侧埋设有磁铁 24。另外， 在该开口 23 的内部， 在与中心轴隔开的位置上设有与中心 轴垂直的平行销 25。平行销 25 与刀片架 10 的倾斜部 16a 连接， 使刀片架 10 定位。 0094 在把该刀片架10安装在架接头20上时， 如图12所示， 从其安装部16把刀片架10 插入架接头的开口 23 中。这样的话， 刀片架的前端部就会由磁铁 24 吸引， 进而倾斜部 16a 说 明 书 CN 102294759 A CN 102294762 A8/10 页 11 与平行销 25 接触而定位固定。图 13 是表示该。
43、安装状态的局部剖面图， 图 14 是表示安装有 架接头20的划线头112的一部分的图。 由于刀片架10只由磁铁24吸引， 故安装极为容易， 可以固定在规定的位置。即使在更换时， 只要拉拽刀片架 10 就可以容易地拆下， 装拆容易。 0095 其次， 用方框图对根据本实施例的划线装置 1 的结构进行说明。图 15 是表示划线 装置 1 的控制系统的方框图。在该图中从两台 CCD 照相机 108 的输出通过图像处理部 41 赋予控制部42。 另外， 后述的单元修正值及刀片架的修正数据通过修正值输入部43赋予控 制部 42。控制部 42 根据这些修正值把数据赋予 X 马达驱动部 44 和 Y 马达驱。
44、动部 45， 以消 除 X 方向及 Y 方向的偏置。这些马达驱动部 44、 45 分别直接驱动马达 114、 104。而且， 旋 转用马达驱动部 46 驱动马达 105， 使配置在工作台 106 上的脆性材料基板 107 旋转， 同时， 在有角度偏离时消除角度偏离。进而， 在控制部 42 上连接刀片架升降驱动部 47 或监视器 48。刀片架升降驱动部 47 进行驱动， 以使得在刀片 14 滚动时， 刀片 14 以适当的负荷压接 在脆性材料基板的表面上。 0096 其次， 用图 16A、 图 16B 的流程图对本实施例的动作进行说明。在划线装置 1 开始 划线时， 与上述的现有例的图 5A 一样。
45、， 进行步骤 S0 S3 的处理。其次， 在步骤 S4 中， 划线 装置 1 判别是否需要测试划线， 如果需要测试划线， 则进到步骤 S5进行与上述现有例大 致相同的处理。对该处理进行以下说明。 0097 在替换新型制作的或旧的刀片架而把划线头 112 或架接头 20 新安装在划线装置 1 上加以使用时， 首先必须按下述要领进行调整， 划线装置 1 的驱动系统的原点位置及行进 方向和实际上刀片 14 在基板上开始形成划线的开始位置及形成方向精确地一致。在更换 划线头 112 或架接头 20 后进行测试划线时， 操作人员事先把虚拟基板放置在工作台上。在 此， 作为某个刀片架的修正值， 例如 X 。
46、-1， Y -2 可以预先输入。而且， 该划线装置在最 初使用时， 设定刀片架的偏置值为 X 0， Y 0。图 17 是表示安装在成为划线对象的玻璃 基板等上的对位标记和刀片架实际的切入位置的关系的图。 若以对位标记的中心点作为中 心坐标P0， 只要在划线头112或架接头20上没有偏置， 通过进行消除刀片架10的偏置的修 正， 划线装置 1 就可以从中心坐标 P0 开始划线。 0098 可是， 由于存在电及机械方面的误差， 故不能从中心坐标 P0 进行划线。因此， 操 作人员使刀片架下降， 使刀片与虚拟基板接触 ( 步骤 S5、 S6 )。之后， 对虚拟基板进行 测试划线 (S7 )， 之后，。
47、 在步骤 S8中使刀片架上升， 测定切入开始位置。在此， 假设刀片 的切入开始位置 (X， Y) 如图 17 所示为位置 P2(X， Y) (3， 1)。该位置可以用 CCD 照相机 108 进行测定。根据该测定， 在使用没有偏置的刀片架时， 在使刀片下降对虚拟基板开始划 线时， 用划线头 112 和架接头 20 可以确认单元固有的偏置 ( 误差 )。 0099 因而， 下面测定从测定的位置 P2 到中心坐标的偏移量 (S9 )。由于把该偏移量 为作为偏置而应被消除的值， 故操作人员输入使用其消除单元误差的修正值 (S12)。此时， 用于消除该偏置的单元修正值 ( 第二修正值 ) 为 X -3。
48、， Y -1。 0100 这样， 在完成该处理后或不用测试划线时， 划线装置1在步骤S21中判别是否更换 了刀片架 130。刀片架 10 如图 13 所示安装在架接头 20 上， 进而， 架接头 20 如图 14 所示 安装在划线头 112 上。因而， 只要更换这些构件中的任意一个， 就会产生电的原点和划线的 开始点的位置偏移。作为该位置偏移 ( 偏置 ) 的原因， 有部件精度或组装误差等。划线头 112 及架接头 20 更换频率小， 可以把这些作为单元的固定误差。另一方面， 对于刀片架， 由 说 明 书 CN 102294759 A CN 102294762 A9/10 页 12 于每当刀片。
49、磨损而使性能变差时都要更换刀片架 10 自身， 故必须频繁地进行修正。因此， 在本实施例中， 事先在刀片架 10 装货出厂时测定刀片架 10 固有的偏置值， 把该偏置值 ( 第 一偏置值 ) 如后所述记录在刀片架 10 自身上。而且， 在操作人员在更换刀片架时， 进入步 骤 S22， 读出新刀片架 10 的偏置值。之后， 由修正值输入部 43 输入对应的修正数据 ( 步骤 S23)。 0101 之后， 控制部 42 在步骤 S24 中作为总修正值， 对 X， Y 分别加算单元修正值和刀片 架的修正值。在上述例中， 总修正值为 X -4， Y -3， 修正处理结束。 0102 假设没有输入刀片架 10 的修正数据、 且单元的固定误差也没有修正而直接使刀 片下降， 刀片。