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1、(10)申请公布号 CN 102304761 A (43)申请公布日 2012.01.04 CN 102304761 A *CN102304761A* (21)申请号 201110242652.2 (22)申请日 2011.08.23 C30B 29/00(2006.01) C30B 29/18(2006.01) (71)申请人 陕西科技大学 地址 710021 陕西省西安市未央区大学园区 陕西科技大学 (72)发明人 伍媛婷 王秀峰 (74)专利代理机构 西安智大知识产权代理事务 所 61215 代理人 刘国智 (54) 发明名称 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法 (57) 摘要 一种非密堆蛋。
2、白石光子晶体的制备方法， 先 以正硅酸乙酯为原料制备 SiO2球体颗粒， 将大尺 寸 SiO2球体颗粒与小尺寸有机颗粒经超声、 垂直 沉积后获得双尺寸胶体晶体结构， 再将所得异质 双尺寸胶体晶体结构在有机颗粒的燃烧分解温度 下煅烧以除去有机物， 即获得非密堆蛋白石光子 晶体， 本发明方法设备简单， 操作简便， 制备周期 较短， 产率较高。 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 3 页 说明书 4 页 CN 102304767 A1/3 页 2 1. 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 其特征在于， 包括以下步骤 ： 第一步， 以正硅酸乙酯。
3、为原料制备 SiO2纳米或亚微米球 ； 第二步， 将粒径比为 DSiO2 D有机微球 5 8 1 的两种球体颗粒按质量比为 mSiO2 m 有机微球 1 3 1 分别进行称取， 然后分别将两种球体颗粒超声分散于有机溶剂中， 超声 时间为 2 3h， 将两悬浮液混合后继续超声 2 3h， 得到混合悬浮液， 其颗粒的质量分数为 12， 其中 ： DSiO2表示SiO2的直径， D有机微球表示有机微球的直径， mSiO2表示SiO2的质量， m有机微球表示有机微球的质量 ； 第三步， 将基底垂直浸入已放置平稳的混合悬浮液中， 在 40 50下真空干燥， 待溶 液完全蒸发后， 在基底表面生长出一层双尺。
4、寸光子晶体 ； 第四步， 将双尺寸光子晶体煅烧 4 6h， 煅烧温度为所用有机微球的燃烧分解温度， 即 得非密堆蛋白石光子晶体。 2. 根据权利要求 1 所述的非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 其特征在于， 所述第一 步制备 SiO2纳米或亚微米球按照以下步骤实现 ： 首先， 将正硅酸乙酯溶于 a 体积份的无水乙醇配置成溶液 A ； 其次， 将正硅酸乙酯体积 1 5 倍的质量浓度为 25 28的氨水溶于 b 体积份的无 水乙醇配置成溶液 B， a b 1 1 2 ； 然后， 将溶液 A 置于磁力搅拌设备中， 在不停搅拌下将溶液 B 加入溶液 A 中， 混合液中 正硅酸乙酯的浓度为 0.4 0.。
5、6mol/L， 反应 22h 后， 分离沉淀， 离心洗涤后于 50 60干 燥， 得到 SiO2纳米或亚微米球。 3. 根据权利要求 1 所述的非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 其特征在于， 所述第二 步中有机微球的分解燃烧温度低于 500。 4. 根据权利要求 1 所述的非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 其特征在于， 所述第二 步中有机微球为聚苯乙烯、 聚氨酯、 聚甲基丙烯酸甲酯、 聚甲基丙烯酸羟乙酯或者聚苯乙烯 丙烯酸羟乙酯。 5. 根据权利要求 1 所述的非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 其特征在于， 所述第二 步中有机溶剂为乙醇、 甲醇、 丙酮、 乙腈或者异丙醇。 6. 根据权利要求 。
6、1 所述的非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 其特征在于， 所述第三 步中基底为载玻片、 ITO 玻璃或者硅片。 7. 根据权利要求 1 所述的非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 其特征在于， 所述第三 步中基底在浸入混合悬浮液之前， 先依次用质量浓度为12的氢氟酸， 体积比为73 的浓硫酸-双氧水混合溶液， 以及质量浓度为12的氢氧化钠溶液各超声清洗15min， 用去离子水冲洗后在红外灯下烘干备用。 8. 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 其特征在于， 包括以下步骤 ： 第一步， 先将正硅酸乙酯溶于 a 体积份的无水乙醇配置成溶液 A， 再将正硅酸乙酯体积 5 倍的质量浓度为 25的氨水溶于 b。
7、 体积份的无水乙醇配置成溶液 B， a b 1 1， 然 后， 将溶液 A 置于磁力搅拌设备中， 在不停搅拌下将溶液 B 加入溶液 A 中， 混合液中正硅酸 乙酯的浓度为 0.4mol/L， 反应 22h 后， 分离沉淀， 离心洗涤后于 50干燥， 得到 SiO2纳米或 亚微米球 ； 第二步， 将粒径比为DSiO2D有机微球51的两种球体颗粒按质量比为mSiO2m有机微球 权 利 要 求 书 CN 102304761 A CN 102304767 A2/3 页 3 3 1 分别进行称取， 然后分别将两种球体颗粒超声分散于乙醇中， 超声时间为 2h， 将两 悬浮液混合后继续超声2h， 得到混合悬。
8、浮液， 其颗粒的质量分数为1， 其中 ： DSiO2表示SiO2 的直径， D有机微球表示有机微球的直径， mSiO2表示 SiO2的质量， m有机微球表示有机微球的质量， 有机微球为聚苯乙烯、 聚氨酯、 聚甲基丙烯酸甲酯、 聚甲基丙烯酸羟乙酯或者聚苯乙烯丙烯 酸羟乙酯 ； 第三步， 将基底依次用质量浓度为 1的氢氟酸， 体积比为 7 3 的浓硫酸 - 双氧水混 合溶液， 以及质量浓度为 1的氢氧化钠溶液各超声清洗 15min， 用去离子水冲洗后在红外 灯下烘干备用， 然后将基底垂直浸入已放置平稳的混合悬浮液中， 在 50下真空干燥， 待溶 液完全蒸发后， 在基底表面生长出一层双尺寸光子晶体，。
9、 所述基底为载玻片、 ITO 玻璃或者 硅片 ； 第四步， 将双尺寸光子晶体煅烧 4 6h， 煅烧温度为所用有机微球的燃烧分解温度， 即 得非密堆蛋白石光子晶体。 9. 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 其特征在于， 包括以下步骤 ： 第一步， 先将正硅酸乙酯溶于 a 体积份的无水乙醇配置成溶液 A， 再将正硅酸乙酯等体 积的质量浓度为 28的氨水溶于 b 体积份的无水乙醇配置成溶液 B， a b 1 2， 然后， 将溶液 A 置于磁力搅拌设备中， 在不停搅拌下将溶液 B 加入溶液 A 中， 混合液中正硅酸乙酯 的浓度为 0.6mol/L， 反应 22h 后， 分离沉淀， 离心洗涤后于 60干。
10、燥， 得到 SiO2纳米或亚微 米球 ； 第二步， 将粒径比为DSiO2D有机微球81的两种球体颗粒按质量比为mSiO2m有机微球 1 1 分别进行称取， 然后分别将两种球体颗粒超声分散于甲醇中， 超声时间为 3h， 将两 悬浮液混合后继续超声3h， 得到混合悬浮液， 其颗粒的质量分数为1， 其中 ： DSiO2表示SiO2 的直径， D有机微球表示有机微球的直径， mSiO2表示 SiO2的质量， m有机微球表示有机微球的质量， 有机微球为聚苯乙烯、 聚氨酯、 聚甲基丙烯酸甲酯、 聚甲基丙烯酸羟乙酯或者聚苯乙烯丙烯 酸羟乙酯 ； 第三步， 将基底依次用质量浓度为 1.5的氢氟酸， 体积比为 。
11、7 3 的浓硫酸 - 双氧水 混合溶液， 以及质量浓度为 1.5的氢氧化钠溶液各超声清洗 15min， 用去离子水冲洗后在 红外灯下烘干备用， 然后将基底垂直浸入已放置平稳的混合悬浮液中， 在 50下真空干燥， 待溶液完全蒸发后， 在载玻片表面生长出一层双尺寸光子晶体， 所述基底为载玻片、 ITO 玻 璃或者硅片 ； 第四步， 将双尺寸光子晶体煅烧 4 6h， 煅烧温度为所用有机微球的燃烧分解温度， 即 得非密堆蛋白石光子晶体。 10. 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 其特征在于， 包括以下步骤 ： 第一步， 先将正硅酸乙酯溶于 a 体积份的无水乙醇配置成溶液 A， 再将正硅酸乙酯体积 3 。
12、倍的质量浓度为 25的氨水溶于 b 体积份的无水乙醇配置成溶液 B， a b 1 1.5， 然后， 将溶液 A 置于磁力搅拌设备中， 在不停搅拌下将溶液 B 加入溶液 A 中， 混合液中正硅 酸乙酯的浓度为 0.5mol/L， 反应 22h 后， 分离沉淀， 离心洗涤后于 50干燥， 得到 SiO2纳米 或亚微米球 ； 第二步， 将粒径比为DSiO2D有机微球61的两种球体颗粒按质量比为mSiO2m有机微球 2 1 分别进行称取， 然后分别将两种球体颗粒超声分散于丙酮中， 超声时间为 2h， 将两 权 利 要 求 书 CN 102304761 A CN 102304767 A3/3 页 4 悬。
13、浮液混合后继续超声3h， 得到混合悬浮液， 其颗粒的质量分数为1， 其中 ： DSiO2表示SiO2 的直径， D有机微球表示有机微球的直径， mSiO2表示 SiO2的质量， m有机微球表示有机微球的质量， 有机微球为聚苯乙烯、 聚氨酯、 聚甲基丙烯酸甲酯、 聚甲基丙烯酸羟乙酯或者聚苯乙烯丙烯 酸羟乙酯 ； 第三步， 将基底依次用质量浓度为 2的氢氟酸， 体积比为 7 3 的浓硫酸 - 双氧水混 合溶液， 以及质量浓度为 2的氢氧化钠溶液各超声清洗 15min， 用去离子水冲洗后在红外 灯下烘干备用， 然后将基底垂直浸入已放置平稳的混合悬浮液中， 在 50下真空干燥， 待溶 液完全蒸发后， 。
14、在载玻片表面生长出一层双尺寸光子晶体， 所述基底为载玻片、 ITO 玻璃或 者硅片 ； 第四步， 将双尺寸光子晶体煅烧 4 6h， 煅烧温度为所用有机微球的燃烧分解温度， 即 得非密堆蛋白石光子晶体。 权 利 要 求 书 CN 102304761 A CN 102304767 A1/4 页 5 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法 技术领域 0001 本发明涉及一种光子晶体的制备方法， 特别涉及一种非密堆蛋白石光子晶体的制 备方法。 背景技术 0002 光子晶体是一种折射率空间周期变化的新型光学微结构材料， 光子对于人工周期 性介电材料， 即相当于电子对于半导体材料， 因此得名。其中， 单分散微球在。
15、某种介质中相 互间以一定的空间间隔排列成周期排列的三维有序结构称为非紧密堆积光子晶体， 这类光 子晶体可提高光子晶体的调控性。 制备非密堆光子晶体的方法主要包括微细加工法和自组 装法， 其中微细加工法可制备多样的光子晶体结构， 但周期长、 成本高 ； 而自组装法所制备 的结构较为单一， 但其制备工艺设备简单、 周期短、 成本低。 在自组装方法中， 目前主要有三 种方法 ： (1) 将单分散微球分散在可以聚合的高分子单体溶液中进行聚合而得， 此法过程 中聚合反应比较困难 ； (2) 在紧密堆积胶体晶体中灌注具有伸缩特性的弹性材料， 再通过 拉伸弹性材料从而将紧密堆积的胶体晶体转换为非紧密堆积胶体。
16、晶体结构， 其存在可选择 的伸缩性材料较少、 灌注较困难的缺点 ； (3) 将核壳结构进行自组装， 之后将核或壳除去， 此法中制备出粒径分布窄的球形核壳颗粒是其难点。 发明内容 0003 为了克服上述现有技术的不足， 本发明的目的在于提供一种非密堆蛋白石光子晶 体的制备方法， 制备的非密堆蛋白石光子晶体排列完整、 间隙可调， 且生产工艺简单、 周期 短、 所需设备简单。 0004 为了实现上述目的， 本发明采用的技术方案是 ： 0005 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 包括以下步骤 ： 0006 第一步， 以正硅酸乙酯为原料制备 SiO2纳米或亚微米球 ； 0007 第二步， 将粒径比为 D。
17、SiO2 D有机微球 5 8 1 的两种球体颗粒按质量比为 mSiO2 m有机微球 1 3 1 分别进行称取， 然后分别将两种球体颗粒超声分散于有机溶剂 中， 超声时间为 2 3h， 将两悬浮液混合后继续超声 2 3h， 得到混合悬浮液， 其颗粒的质 量分数为 1 2， 其中 ： DSiO2表示 SiO2的直径， D有机微球表示有机微球的直径， mSiO2表示 SiO2的质量， m有机微球表示有机微球的质量 ； 0008 第三步， 将基底垂直浸入已放置平稳的混合悬浮液中， 在 40 50下真空干燥， 待溶液完全蒸发后， 在基底表面生长出一层双尺寸光子晶体 ； 0009 第四步， 将双尺寸光子晶。
18、体煅烧 4 6h， 煅烧温度为所用有机微球的燃烧分解温 度， 即得非密堆蛋白石光子晶体。 0010 其中， 0011 所述第一步制备 SiO2纳米或亚微米球按照以下步骤实现 ： 0012 首先， 将正硅酸乙酯溶于 a 体积份的无水乙醇配置成溶液 A ； 说 明 书 CN 102304761 A CN 102304767 A2/4 页 6 0013 其次， 将正硅酸乙酯体积 1 5 倍的质量浓度为 25 28氨水溶于 b 体积份的 无水乙醇配置成溶液 B， a b 1 1 2 ； 0014 然后， 将溶液 A 置于磁力搅拌设备中， 在不停搅拌下将溶液 B 加入溶液 A 中， 混合 液中正硅酸乙酯。
19、的浓度为0.40.6mol/L， 反应22h后， 分离沉淀， 离心洗涤后于5060 干燥， 得到 SiO2纳米或亚微米球。 0015 所述第二步中有机微球的分解燃烧温度低于 500， 可以选择聚苯乙烯、 聚氨酯、 聚甲基丙烯酸甲酯、 聚甲基丙烯酸羟乙酯或者聚苯乙烯丙烯酸羟乙酯等。 0016 所述第二步中有机溶剂为乙醇、 甲醇、 丙酮、 乙腈或者异丙醇等。 0017 所述第三步中基底为载玻片、 ITO 玻璃或者硅片以及其它能承受煅烧温度的基底 材料。 0018 所述第三步中基底在浸入混合悬浮液之前， 先依次用质量浓度为 1 2的氢 氟酸， 体积比为 7 3 的浓硫酸 - 双氧水混合溶液， 以及质。
20、量浓度为 1 2的氢氧化钠 溶液各超声清洗 15min， 用去离子水冲洗后在红外灯下烘干备用。 0019 与现有技术相比， 本发明的优点是 ： 0020 (1) 本方法制备的非密堆蛋白石光子晶体周期性排列完整， 且其周期性排列的间 隙可调， 通常用密堆积光子晶体刻蚀来获得非密堆蛋白石结构， 但是刻蚀紧密堆积的单尺 寸光子晶体时， 其中的胶体球的形貌易被破坏， 且容易造成排列的破坏， 本方法采用两种胶 体颗粒， 其中有机颗粒的配比可控制二氧化硅颗粒的间隙， 有机颗粒是通过煅烧去除的， 对 二氧化硅颗粒不造成损坏， 且通常在 300 500这个有机物煅烧去除的温度区间内， 会使 二氧化硅胶体晶体的。
21、排列更加紧密。 0021 (2) 生产工艺简单， 设备简单， 操作简便， 制备周期较短， 产率较高， 目前， 如果利用 对密堆结构刻蚀技术来制备非密堆结构易损坏胶体排列， 而利用微细加工来制备非密堆结 构， 虽然其精密度高， 制备周期排列好， 但是制备的非密堆结构光子晶体周期长、 也不能如 自组装法一样大面积地制备， 而本工艺不仅可如利用自组装法中周期短、 可大面积制备的 优点， 而且由于利用的是双尺寸光子晶体， 没有刻蚀带来的损坏， 因此产率高， 同时工艺控 制稳定。 0022 (3)SiO2球体颗粒和有机微球为单独制备， 不存在反应中的相互影响， 也不存在如 灌注伸缩特性的弹性材料的制备方。
22、法中灌注的困难。 具体实施方式 0023 下面结合实施例对本发明做进一步详细说明。 0024 实施例一 0025 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 包括以下步骤 ： 0026 第一步， 先将正硅酸乙酯溶于 a 体积份的无水乙醇配置成溶液 A， 再将正硅酸乙酯 体积5倍的质量浓度为25的氨水溶于b体积份的无水乙醇配置成溶液B， ab11， 然后， 将溶液 A 置于磁力搅拌设备中， 在不停搅拌下将溶液 B 加入溶液 A 中， 混合液中正硅 酸乙酯的浓度为 0.4mol/L， 反应 22h 后， 分离沉淀， 离心洗涤后于 50干燥， 得到 SiO2纳米 或亚微米球 ； 0027 第二步， 将粒径比为。
23、 DSiO2 D有机微球 5 1 的两种球体颗粒按质量比为 mSiO2 m 说 明 书 CN 102304761 A CN 102304767 A3/4 页 7 有机微球31分别进行称取， 然后分别将两种球体颗粒超声分散于乙醇中， 超声时间为2h， 将两悬浮液混合后继续超声 2h， 得到混合悬浮液， 其颗粒的质量分数为 1， 其中有机微球 选择聚苯乙烯 ； 0028 第三步， 将载玻片依次用质量浓度为 1的氢氟酸， 体积比为 7 3 的浓硫酸 - 双 氧水混合溶液， 以及质量浓度为 1的氢氧化钠溶液各超声清洗 15min， 用去离子水冲洗后 在红外灯下烘干备用， 然后将载玻片垂直浸入已放置平稳。
24、的混合悬浮液中， 在 50下真空 干燥， 待溶液完全蒸发后， 在载玻片表面生长出一层双尺寸光子晶体 ； 0029 第四步， 将双尺寸光子晶体在 450温度下煅烧 6h， 即获得非密堆蛋白石光子晶 体。 0030 实施例二 0031 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 包括以下步骤 ： 0032 第一步， 先将正硅酸乙酯溶于 a 体积份的无水乙醇配置成溶液 A， 再将正硅酸乙酯 等体积的质量浓度为 28的氨水溶于 b 体积份的无水乙醇配置成溶液 B， a b 1 2， 然后， 将溶液 A 置于磁力搅拌设备中， 在不停搅拌下将溶液 B 加入溶液 A 中， 混合液中正硅 酸乙酯的浓度为 0.6mol/。
25、L， 反应 22h 后， 分离沉淀， 离心洗涤后于 60干燥， 得到 SiO2纳米 或亚微米球 ； 0033 第二步， 将粒径比为 DSiO2 D有机微球 8 1 的两种球体颗粒按质量比为 mSiO2 m 有机微球11分别进行称取， 然后分别将两种球体颗粒超声分散于甲醇中， 超声时间为3h， 将两悬浮液混合后继续超声 3h， 得到混合悬浮液， 其颗粒的质量分数为 1， 其中有机微球 选择聚氨酯 ； 0034 第三步， 将 ITO 玻璃依次用质量浓度为 1.5的氢氟酸， 体积比为 7 3 的浓硫 酸 - 双氧水混合溶液， 以及质量浓度为 1.5的氢氧化钠溶液各超声清洗 15min， 用去离子 水。
26、冲洗后在红外灯下烘干备用， 然后将 ITO 玻璃垂直浸入已放置平稳的混合悬浮液中， 在 50下真空干燥， 待溶液完全蒸发后， 在 ITO 玻璃表面生长出一层双尺寸光子晶体 ； 0035 第四步， 将双尺寸光子晶体在 400温度下煅烧 4h， 即获得非密堆蛋白石光子晶 体。 0036 实施例三 0037 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 包括以下步骤 ： 0038 第一步， 先将正硅酸乙酯溶于 a 体积份的无水乙醇配置成溶液 A， 再将正硅酸乙 酯体积 4 倍的质量浓度为 25的氨水溶于 b 体积份的无水乙醇配置成溶液 B， a b 1 1.5， 然后， 将溶液 A 置于磁力搅拌设备中， 在不停。
27、搅拌下将溶液 B 加入溶液 A 中， 混合 液中正硅酸乙酯的浓度为 0.5mol/L， 反应 22h 后， 分离沉淀， 离心洗涤后于 50干燥， 得到 SiO2纳米或亚微米球 ； 0039 第二步， 将粒径比为 DSiO2 D有机微球 6 1 的两种球体颗粒按质量比为 mSiO2 m 有机微球21分别进行称取， 然后分别将两种球体颗粒超声分散于丙酮中， 超声时间为2h， 将两悬浮液混合后继续超声 3h， 得到混合悬浮液， 其颗粒的质量分数为 1， 其中有机微球 选择聚甲基丙烯酸甲酯 ； 0040 第三步， 将硅片依次用质量浓度为 2的氢氟酸， 体积比为 7 3 的浓硫酸 - 双氧 水混合溶液，。
28、 以及质量浓度为 2的氢氧化钠溶液各超声清洗 15min， 用去离子水冲洗后在 说 明 书 CN 102304761 A CN 102304767 A4/4 页 8 红外灯下烘干备用， 然后将硅片垂直浸入已放置平稳的混合悬浮液中， 在 50下真空干燥， 待溶液完全蒸发后， 在硅片表面生长出一层双尺寸光子晶体 ； 0041 第四步， 将双尺寸光子晶体在 450温度下煅烧 6h， 即获得非密堆蛋白石光子晶 体。 0042 实施例四 0043 非密堆蛋白石光子晶体的制备方法， 包括以下步骤 ： 0044 第一步， 先将正硅酸乙酯溶于 a 体积份的无水乙醇配置成溶液 A， 再将正硅酸乙酯 体积2倍的质。
29、量浓度为28的氨水溶于b体积份的无水乙醇配置成溶液B， ab12， 然后， 将溶液 A 置于磁力搅拌设备中， 在不停搅拌下将溶液 B 加入溶液 A 中， 混合液中正硅 酸乙酯的浓度为 0.5mol/L， 反应 22h 后， 分离沉淀， 离心洗涤后于 55干燥， 得到 SiO2纳米 或亚微米球 ； 0045 第二步， 将粒径比为 DSiO2 D有机微球 6 1 的两种球体颗粒按质量比为 mSiO2 m 有机微球31分别进行称取， 然后分别将两种球体颗粒超声分散于丙酮中， 超声时间为2h， 将两悬浮液混合后继续超声 3h， 得到混合悬浮液， 其颗粒的质量分数为 1.5， 其中有机微 球选择聚甲基丙。
30、烯酸羟乙酯 ； 0046 第三步， 将载玻片依次用质量浓度为 1的氢氟酸， 体积比为 7 3 的浓硫酸 - 双 氧水混合溶液， 以及质量浓度为 1的氢氧化钠溶液各超声清洗 15min， 用去离子水冲洗后 在红外灯下烘干备用， 然后将载玻片垂直浸入已放置平稳的混合悬浮液中， 在 45下真空 干燥， 待溶液完全蒸发后， 在载玻片表面生长出一层双尺寸光子晶体 ； 0047 第四步， 将双尺寸光子晶体在 500温度下煅烧 5h， 即获得非密堆蛋白石光子晶 体。 0048 以上各个实施例中， 有机微球还可以有其他的多种选择， 但是作为一个原则， 选择 的有机微球其分解燃烧温度要低于 500 ； 同样的， 球体颗粒超声分散用的有机溶剂， 也可 以有多种选择， 例如还可以是乙腈或者异丙醇 ； 各个实施例中， 基底都可以为载玻片、 ITO 玻璃或者硅片等其它的能够承受最终煅烧温度的载体。 说 明 书 CN 102304761 A 。