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金属喷墨片的二元电沉积加工方法.pdf

  • 上传人:b***
  • 文档编号:488367
  • 上传时间:2018-02-19
  • 格式:PDF
  • 页数:8
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  • 摘要
    申请专利号:

    CN200910033466.0

    申请日:

    2009.06.22

    公开号:

    CN101590730A

    公开日:

    2009.12.02

    当前法律状态:

    授权

    有效性:

    有权

    法律详情:

    授权|||实质审查的生效|||公开

    IPC分类号:

    B41J2/16; G03F7/16; G03F7/20; C25D1/00

    主分类号:

    B41J2/16

    申请人:

    昆山美微电子科技有限公司

    发明人:

    周 涛; 李真明; 黎增祺

    地址:

    215300江苏省昆山市开发区青阳南路161号

    优先权:

    专利代理机构:

    南京纵横知识产权代理有限公司

    代理人:

    董建林;孙永生

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    内容摘要

    本发明涉及一种金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于采用光电加工和二元电沉积技术,包括:设计金属喷墨片的图形文件;采用不锈钢基板,将基板置于烘箱中烘烤;将光阻材料热压或印刷在基板上;按照设计好的金属喷墨片的图形文件,制作负片光罩菲林,进行高精度曝光;将曝光后的基板在显影机中清洗;将基板放入镍金电铸槽中进行二元电铸沉积加工;电铸沉积达到所需要的厚度后,将基板上的金属喷墨片取下,放入超声波清洗机中进行清洗;抽样检查。本发明可以使金属喷墨片的孔径达到1~3um的孔径要求,误差小,并满足喷墨打印机达到600DPI的分辨率精度,使喷墨片可以喷墨液体颗粒达到5um以下的直径水平,降低了使用成本。

    权利要求书

    1、  一种金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于采用光电加工和二元电沉积技术,具体包括以下步骤:
    (1)、设计金属喷墨片的图形文件;
    (2)、采用304不锈钢基板,经表面研磨处理、外观检查符合要求后,将基板置于烘箱中烘烤30分钟,烘烤温度为70~80度;
    (3)、将光阻材料热压或印刷在基板上;
    (4)、按照设计好的金属喷墨片的图形文件,制作2000DPI的负片光罩菲林,在平行光机上进行高精度曝光;
    (5)、将曝光后的基板在1%的显影机中进行清洗,使图形停留在基板上,并作图形尺寸及外观检查;
    (6)、将基板放入镍金电铸槽中的电铸溶液中进行二元电铸沉积加工,所述的二元电铸沉积加工是利用一定的电流沉积厚度,分别在光阻材料四周及上面沉积两次而成;
    (7)、电铸沉积达到所需要的厚度后,将基板上的金属喷墨片取下,放入超声波清洗机中进行清洗;
    (8)、抽样检查、包装。

    2、
      根据权利要求1所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的光阻材料为干膜或光刻胶。

    3、
      根据权利要求2所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的干膜或光刻胶,经由300~400nm的光照射后可以发生固化反应。

    4、
      根据权利要求1所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于在所述的步骤(3)中,将光阻材料热压或印刷在基板上,是利用干膜机在温度110~130度、压力在1.2KG~1.5KG、速度在0.8~1.0m/S的条件下,将25um的干膜热压在304不锈钢基板上,保证外观达到要求;或采用印刷、旋涂的方法,将一定厚度的光刻胶在100~200目丝网印刷下,使光刻胶平均涂覆在304不锈钢基板上,厚度为20~50um。

    5、
      根据权利要求1所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的步骤(4)中的高精度曝光,曝光时UV光能量控制在3~5KW。

    6、
      根据权利要求1所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的电铸溶液为镍钴溶液或镍磷溶液。

    7、
      根据权利要求6所述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的镍钴溶液的主要成分和含量如下:
    氨基磺酸镍溶液:350~550g/L;
    氨基磺酸钴溶液:50~300g/L;
    氯化镍溶液:10~30g/L;
    硼酸:20~45g/L;
    光亮剂XS-L:1~5ml/L;
    添加剂P900:2~10ml/L。

    说明书

    金属喷墨片的二元电沉积加工方法
    技术领域
    本发明涉及一种喷墨打印机或印刷机使用的喷墨片的加工方法,具体讲是涉及一种金属喷墨片的二元电沉积加工方法,属于超高精密制造技术领域
    背景技术
    随着喷墨打印机对图形分辨率要求逐渐提高,设备制造厂商对喷墨片的性能提出了更高的技术要求。传统激光加工工艺不能满足更高要求的技术规格,其加工的不锈钢喷墨片微孔直径不小于20um,激光加工能力已经到了极限,不能满足更微小孔的加工要求。因此业界亟需一种微孔达到1~3um的喷墨片,来满足国内高分辨率打印的膨大需求,摆脱由国外供应高精度微孔喷墨片的高价格供应格局。
    发明内容
    为解决现有激光加工技术的不足,本发明的目的在于提供一种金属喷墨片的二元电沉积加工方法,满足高性能喷墨器对微孔喷墨片的制造要求,降低使用成本,提高打印分辨率。
    为解决上述问题,本发明是通过以下的技术方案来实现的:
    一种金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于采用光电加工和二元电沉积技术,具体包括以下步骤:
    (1)、设计金属喷墨片的图形文件;
    (2)、采用304不锈钢基板,经表面研磨处理、外观检查符合要求后,将基板置于烘箱中烘烤30分钟,烘烤温度为70~80度;
    (3)、将光阻材料热压或印刷在基板上;
    (4)、按照设计好的金属喷墨片的图形文件,制作2000DPI的负片光罩菲林,在平行光机上进行高精度曝光;
    (5)、将曝光后的基板在1%的显影液中进行清洗,使图形停留在基板上,并作图形尺寸及外观检查;
    (6)、将基板放入镍金电铸槽中的电铸溶液中进行二元电铸沉积加工,所述的二元电铸沉积加工是利用一定的电流沉积厚度,分别在光阻材料四周及上面沉积两次而成;
    (7)、电铸沉积达到所需要的厚度后,将基板上的金属喷墨片取下,放入超声波清洗机中进行清洗;
    (8)、抽样检查、包装。
    前述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的光阻材料为干膜、光刻胶。
    前述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的干膜、光刻胶,经由300~400nm的光照射后可以发生固化反应。
    前述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于在所述的步骤(3)中,将光阻材料热压或印刷在基板上,是利用干膜机在温度110~130度、压力在1.2KG~1.5KG、速度在0.8~1.0m/S的条件下,将25um的干膜热压在304不锈钢基板上,保证外观达到要求;或采用印刷、旋涂的方法,将一定厚度的光刻胶在100~200目丝网印刷下,使光刻胶平均涂覆在304不锈钢基板上,厚度为20~50um。
    前述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的步骤(4)中的高精度曝光,曝光时UV光能量控制在3~5KW。
    前述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的电铸溶液为镍钴溶液或镍磷溶液。
    前述的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,其特征在于所述的镍钴溶液的主要成分和含量如下:
    氨基磺酸镍溶液:350~550g/L;
    氨基磺酸钴溶液:50~300g/L;
    氯化镍溶液:10~30g/L;
    硼酸:20~45g/L;
    光亮剂XS-L:1~5ml/L;
    添加剂P900:2~10ml/L。
    本发明的有益效果是:采用本发明的二元电沉积加工方法来制造微孔金属喷墨片,可以使微孔金属喷墨片的孔径达到1~3um的孔径要求,并满足喷墨片打印机达到600DPI的打印分辨率精度,使喷墨片可以喷墨液体颗粒达到5um以下的直径水平,降低了使用成本。并且,电铸沉积的镍金合金材料硬度达到450~550hv,厚度达到0.020~0.060mm,圆度误差达到0.5um。
    附图说明
    图1为本发明的工艺流程图。
    具体实施方式
    以下结合附图具体介绍本发明的方法。
    本发明中的金属喷墨片的二元电沉积加工方法,采用光电加工及二元电铸沉积技术,光阻材料采用干膜或光刻胶,电铸沉积基板采用304不锈钢基板,电铸溶液采用镍磷或镍钴溶液。所采用的干膜或光刻胶,经由波长300~400nm的UV光照射后可以发生固化反应。
    本发明的工艺过程为(如图1):
    设计金属喷墨片的图形文件;采用304不锈钢基板,经表面研磨处理,检查外观符合要求后,将基板置于烘箱中烘烤30分钟,温度70~80度;利用干膜机在温度110~130度,压力在1.2KG~1.5KG,速度在0.8~1.0m/S的参数下,将25um的干膜热压在不锈钢基板上,保证外观达到要求;或采用印刷、旋涂的方法,将一定厚度的光刻胶在100~200目丝网印刷下,使光刻胶平均涂覆在304不锈钢基板上,厚度为20~50um。按照设计好的金属喷墨片的图形文件,制作2000DPI的负片光罩菲林,在平行光机上进行高精度曝光,UV光能量控制在3~5KW即可。曝光后的基板在1%的显影液中进行清洗,使图形停留在基板上,并作图形尺寸及外观检查。然后将基板放入镍金电铸槽中的电铸溶液中进行二元电铸沉积加工,达到所需要的厚度后即可将基板上的金属喷墨片取下,放入超声波清洗机上进行清洗,最后需要按照抽样频率检查金属喷墨片的各项尺寸。
    二元电沉积加工方法是利用一定电流沉积厚度,分别在光阻材料四周及上面沉积两次而成。
    当采用镍钴电铸溶液时,所采用的镍钴电铸溶液主要成分及含量如下:
    氨基磺酸镍溶液:350~550g/L;
    氨基磺酸钴溶液:50~300g/L;
    氯化镍溶液:10~30g/L;
    硼酸:20~45g/L;
    光亮剂XS-L:1~5ml/L;
    添加剂P900:2~10ml/L。
    电铸沉积的镍金合金材料硬度达到450~550hv,厚度为0.020~0.060mm,微孔直径可以达到1~3um,圆度误差为0.5um。孔径小,精度高,使用寿命长,满足金属喷墨打印机达到600DPI的打印分辨率精度,使金属喷墨片可以喷墨液体颗粒达到5um以下的直径水平,并价格较低,降低了使用成本。
    上述实施例不以任何形式限制本发明,凡采取等同替换或等效变换的方式所获得的技术方案,均落在本发明的保护范围内。

    关 键  词:
    金属 喷墨 二元 沉积 加工 方法
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