一种使用定位装置安装或拆卸静电吸盘的方法.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 103419145 A (43)申请公布日 2013.12.04 CN 103419145 A *CN103419145A* (21)申请号 201210162948.8 (22)申请日 2012.05.24 B25B 11/00(2006.01) B23P 19/06(2006.01) (71)申请人 上海宏力半导体制造有限公司 地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园 区祖冲之路 1399 号 (72)发明人 王旭东 (74)专利代理机构 上海信好专利代理事务所 ( 普通合伙 ) 31249 代理人 张静洁 徐雯琼 (54) 发明名称 一种使用定位装置安装或。

2、拆卸静电吸盘的方 法 (57) 摘要 本发明涉及一种使用定位装置安装或拆卸静 电吸盘的方法， 所述的定位装置包含若干定位杆， 每个定位杆的长度大于基座和静电吸盘的厚度之 和 ； 在拆卸或安装静电吸盘时， 利用定位杆做引 导， 可平稳且准确定位静电吸盘的位置， 使其与基 座保持对齐， 因此能避免因静电吸盘位置移动而 导致碰撞并损伤其他例如顶针机构或者温度传感 器等半导体部件， 有效减少半导体刻蚀设备的维 护成本和时间， 有利于提高生产效率。 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 4 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书。

3、4页 附图2页 (10)申请公布号 CN 103419145 A CN 103419145 A *CN103419145A* 1/2 页 2 1. 一种使用定位装置安装静电吸盘的方法， 其特征在于， 所述的定位装置包含若干定 位杆 （2） ， 每个所述定位杆 （2） 的长度大于基座 （1） 和静电吸盘 （3） 的厚度之和 ； 所述安装 静电吸盘的方法具体包含以下步骤 ： 步骤 1、 将各个定位杆 （2） 一一对应插入基座 （1） 上的固定螺孔中， 且每个定位杆 （2） 的 上端均露出基座 （1） 的表面 ； 步骤 2、 将各个定位杆 （2） 的顶端分别对准并插入静电吸盘 （3） 上的固定螺孔中。

4、， 在定 位杆 （2） 的引导下将静电吸盘 （3） 对齐放置到基座 （1） 上， 且每个定位杆 （2） 的上端均露出 静电吸盘 （3） 的表面 ； 步骤 3、 依次将所有定位杆 （2） 由静电吸盘 （3） 和基座 （1） 的固定螺孔中取出 ； 步骤 4、 将锁紧螺丝分别拧入静电吸盘 （3） 和基座 （1） 的固定螺孔中， 完成静电吸盘 （3） 固定安装在基座 （1） 上。 2. 如权利要求 1 所述的使用定位装置安装静电吸盘的方法， 其特征在于， 所述的基座 （1） 上的固定螺孔间隔设置在基座 （1） 的边缘位置上。 3. 如权利要求 2 所述的使用定位装置安装静电吸盘的方法， 其特征在于， 。

5、所述的静电 吸盘 （3） 上的固定螺孔间隔设置在静电吸盘 （3） 的边缘位置上， 其设置位置与基座 （1） 上的 固定螺孔相对应， 其开孔形状以及开孔尺寸与基座 （1） 上的固定螺孔相一致。 4. 如权利要求 3 所述的使用定位装置安装静电吸盘的方法， 其特征在于， 所述的定位 杆 （2） 的底端设置有一段外螺纹， 该段外螺纹的形状与所述基座 （1） 上的固定螺孔的内螺 纹相匹配， 且该段外螺纹的长度与所述基座 （1） 上的固定螺孔的深度相同。 5. 如权利要求 3 所述的使用定位装置安装静电吸盘的方法， 其特征在于， 所述的定位 杆 （2） 的外径小于基座 （1） 上的固定螺孔的内径。 6.。

6、 一种使用定位装置拆卸静电吸盘的方法， 其特征在于， 所述的定位装置包含若干定 位杆 （2） ， 每个所述定位杆 （2） 的长度大于基座 （1） 和静电吸盘 （3） 的厚度之和 ； 所述拆卸 静电吸盘的方法具体包含以下步骤 ： 步骤 1、 将锁紧螺丝分别从静电吸盘 （3） 和基座 （1） 的固定螺孔中拧松取出 ； 步骤 2、 依次将各个定位杆 （2） 插入相对应设置的静电吸盘 （3） 和基座 （1） 的固定螺孔 中， 且每个定位杆 （2） 的上端均露出静电吸盘 （3） 的表面 ； 步骤 3、 在定位杆 （2） 的引导下， 将静电吸盘 （3） 沿着定位杆 （2） 向上取出 ； 步骤 4、 将各个。

7、定位杆 （2） 由基座 （1） 上的固定螺孔中取出， 完成将静电吸盘 （3） 从基 座 （1） 上拆下。 7. 如权利要求 6 所述的使用定位装置拆卸静电吸盘的方法， 其特征在于， 所述的基座 （1） 上的固定螺孔间隔设置在基座 （1） 的边缘位置上。 8. 如权利要求 7 所述的使用定位装置拆卸静电吸盘的方法， 其特征在于， 所述的静电 吸盘 （3） 上的固定螺孔间隔设置在静电吸盘 （3） 的边缘位置上， 其设置位置与基座 （1） 上的 固定螺孔相对应， 其开孔形状以及开孔尺寸与基座 （1） 上的固定螺孔相一致。 9. 如权利要求 8 所述的使用定位装置拆卸静电吸盘的方法， 其特征在于， 所。

8、述的定位 杆 （2） 的底端设置有一段外螺纹， 该段外螺纹的形状与所述基座 （1） 上的固定螺孔的内螺 纹相匹配， 且该段外螺纹的长度与所述基座 （1） 上的固定螺孔的深度相同。 10. 如权利要求 8 所述的使用定位装置拆卸静电吸盘的方法， 其特征在于， 所述的定位 权 利 要 求 书 CN 103419145 A 2 2/2 页 3 杆 （2） 的外径小于基座 （1） 上的固定螺孔的内径。 权 利 要 求 书 CN 103419145 A 3 1/4 页 4 一种使用定位装置安装或拆卸静电吸盘的方法 技术领域 0001 本发明属于半导体设备技术领域， 涉及一种安装或拆卸静电吸盘 （ESC）。

9、 的方法， 尤 其是指一种使用定位装置来安装或拆卸静电吸盘的方法。 背景技术 0002 目前， 对于 TEL 刻蚀机、 LAM 刻蚀机或者是 CDE 刻蚀机等一系列常用的半导体刻蚀 设备， 在维护保养的过程中， 如需要拆下并重新安装静电吸盘时， 是没有任何特殊的辅助工 具的。在安装静电吸盘的过程中， 完全只依靠人工操作将设置在静电吸盘边缘上的若干锁 紧螺丝对准设置在基座边缘处的固定螺孔， 随后拧紧各个锁紧螺丝固定。而在拆卸静电吸 盘的过程中， 首先将所有锁紧螺丝拧松， 然后人工操作向上慢慢提起静电吸盘将其拆下。 0003 在上述安装或拆卸的过程中， 极其容易因为操作不稳而导致静电吸盘的位置有些。

10、 许移动或偏差， 从而极其容易碰撞到那些设置在基座中心位置且位于静电吸盘下方的一些 半导体刻蚀设备中的关键精确部件 （如顶针机构或是温度传感器） ， 进一步导致顶针机构或 是温度传感器的损坏， 加大设备维护的费用和时间， 降低生产效率。 发明内容 0004 本发明的目的在于提供一种使用定位装置安装或拆卸静电吸盘的方法， 利用定位 杆做引导， 使得静电吸盘在安装和拆卸过程中能平稳、 准确定位， 避免因静电吸盘位置移动 而导致碰撞并损伤其他半导体部件。 0005 为了达到上述目的， 本发明首先提供一种使用定位装置安装静电吸盘的方法， 所 述的定位装置包含若干定位杆， 每个所述定位杆的长度大于基座和。

11、静电吸盘的厚度之和 ； 所述安装静电吸盘的方法具体包含以下步骤 ： 步骤 1、 将各个定位杆一一对应插入基座上的固定螺孔中， 且每个定位杆的上端均露出 基座的表面 ； 步骤 2、 将各个定位杆的顶端分别对准并插入静电吸盘上的固定螺孔中， 在定位杆的引 导下将静电吸盘对齐放置到基座上， 且每个定位杆的上端均露出静电吸盘的表面 ； 步骤 3、 依次将所有定位杆由静电吸盘和基座的固定螺孔中取出 ； 步骤 4、 将锁紧螺丝分别拧入静电吸盘和基座的固定螺孔中， 完成静电吸盘固定安装在 基座上。 0006 所述的基座上的固定螺孔间隔设置在基座的边缘位置上。 0007 所述的静电吸盘上的固定螺孔间隔设置在静。

12、电吸盘的边缘位置上， 其设置位置与 基座上的固定螺孔相对应， 其开孔形状以及开孔尺寸与基座上的固定螺孔相一致。 0008 在本发明的一个优选实施例中， 所述的定位杆的底端设置有一段外螺纹， 该段外 螺纹的形状与所述基座上的固定螺孔的内螺纹相匹配， 且该段外螺纹的长度与所述基座上 的固定螺孔的深度相同。 0009 在本发明的另一个优选实施例中， 所述的定位杆的外径小于基座上的固定螺孔的 说 明 书 CN 103419145 A 4 2/4 页 5 内径。 0010 本发明还提供一种使用定位装置拆卸静电吸盘的方法， 所述的定位装置包含若干 定位杆， 每个所述定位杆的长度大于基座和静电吸盘的厚度之和。

13、 ； 所述拆卸静电吸盘的方 法具体包含以下步骤 ： 步骤 1、 将锁紧螺丝分别从静电吸盘和基座的固定螺孔中拧松取出 ； 步骤 2、 依次将各个定位杆插入相对应设置的静电吸盘和基座的固定螺孔中， 且每个定 位杆的上端均露出静电吸盘的表面 ； 步骤 3、 在定位杆的引导下， 将静电吸盘沿着定位杆向上取出 ； 步骤 4、 将各个定位杆由基座上的固定螺孔中取出， 完成将静电吸盘从基座上拆下。 0011 所述的基座上的固定螺孔间隔设置在基座的边缘位置上。 0012 所述的静电吸盘上的固定螺孔间隔设置在静电吸盘的边缘位置上， 其设置位置与 基座上的固定螺孔相对应， 其开孔形状以及开孔尺寸与基座上的固定螺孔。

14、相一致。 0013 在本发明的一个优选实施例中， 所述的定位杆的底端设置有一段外螺纹， 该段外 螺纹的形状与所述基座上的固定螺孔的内螺纹相匹配， 且该段外螺纹的长度与所述基座上 的固定螺孔的深度相同。 0014 在本发明的另一个优选实施例中， 所述的定位杆的外径小于基座上的固定螺孔的 内径。 0015 本发明所提供的使用定位装置安装或拆卸静电吸盘的方法， 利用定位杆做引导， 使得静电吸盘在安装和拆卸过程中能平稳、 准确定位， 避免因静电吸盘位置移动而导致碰 撞并损伤其他例如顶针机构或者温度传感器等关键半导体部件， 有效减少半导体刻蚀设备 的维护成本和时间， 有利于提高生产效率。 附图说明 00。

15、16 图 1 是本发明中的定位杆安装在基座上的结构示意图 ； 图 2 是本发明中的利用定位杆安装或拆卸静电吸盘的剖面示意图。 具体实施方式 0017 以下结合图 1 和图 2， 通过详细描述来说明本发明的具体实施方式。 0018 在本发明所提供的使用定位装置安装静电吸盘的方法中， 所述的定位装置包含若 干定位杆 2， 每个所述定位杆 2 的长度大于基座 1 和静电吸盘 3 的厚度之和 ； 本发明方法具 体包含以下步骤 ： 步骤1、 如图1所示， 将各个定位杆2一一对应插入基座1上的固定螺孔中， 且每个定位 杆 2 的上端均露出基座 1 的表面 ； 步骤 2、 如图 2 所示， 将各个定位杆 2。

16、 的顶端分别对准并插入静电吸盘 3 上的固定螺孔 中， 在定位杆 2 的引导下将静电吸盘 3 对齐放置到基座 1 上， 且每个定位杆 2 的上端均露出 静电吸盘 3 的表面 ； 此时， 由于静电吸盘 3 在对准放置到基座 1 的过程中使用了定位杆 2 做引导， 可平稳且 准确定位静电吸盘 3 的安装位置， 使其与基座 1 对齐， 不会因为操作不稳而使得静电吸盘 3 的位置发生移动产生偏差， 从而碰撞并损伤设置在基座 1 中心位置且位于静电吸盘 3 下方 说 明 书 CN 103419145 A 5 3/4 页 6 的顶针机构或者温度传感器 ； 步骤 3、 捏住定位杆 2 的顶端， 依次将所有定。

17、位杆 2 由相对应设置的静电吸盘 3 和基座 1 的固定螺孔中取出 ； 步骤 4、 将锁紧螺丝分别拧入静电吸盘 3 和基座 1 的固定螺孔中， 将静电吸盘 3 固定安 装在基座 1 上。 0019 所述的基座 1 上的固定螺孔间隔设置在基座 1 的边缘位置上。如图 1 所示， 本实 施例中， 在基座 1 的边缘位置上均匀间隔设置有 3 个固定螺孔。 0020 所述的静电吸盘 3 上的固定螺孔间隔设置在静电吸盘 3 的边缘位置上， 其设置位 置与基座1上的固定螺孔相对应， 其开孔形状以及开孔尺寸与基座1上的固定螺孔相一致。 本实施例中， 在静电吸盘 3 的边缘位置上也对应均匀间隔设置有 3 个固。

18、定螺孔。 0021 本实施例中， 所述的定位杆 2 采用铝材料制成。 0022 在本发明的一个优选实施例中， 所述的定位杆 2 的底端设置有一段外螺纹， 该段 外螺纹的形状与所述基座 1 上的固定螺孔的内螺纹相匹配， 且该段外螺纹的长度与所述基 座 1 上的固定螺孔的深度相同， 可将定位杆 2 拧入基座 1 上的固定螺孔中。 0023 在本发明的另一个优选实施例中， 所述的定位杆 2 的外径小于基座 1 上的固定螺 孔的内径， 因此定位杆 2 能轻易插入基座 1 上的固定螺孔以及静电吸盘 3 上的固定螺孔 （基 座 1 上的固定螺孔与静电吸盘 3 上的固定螺孔内径相同） 。 0024 上述所提。

19、供的实施例中， 已经详细描述了将静电吸盘安装至基座上的步骤， 由于 整个安装过程具有可逆性， 本领域的普通技术人员将根据上述安装步骤能够显而易见的得 到如何将静电吸盘由基座上拆下的方法。故， 以下再简单介绍下使用定位装置拆卸静电吸 盘的方法。 0025 在本发明所提供的使用定位装置拆卸静电吸盘的方法中， 所述的定位装置包含若 干定位杆 2， 每个所述定位杆 2 的长度大于基座 1 和静电吸盘 3 的厚度之和 ； 本发明方法具 体包含以下步骤 ： 步骤 1、 将锁紧螺丝分别从静电吸盘 3 和基座 1 的固定螺孔中拧松取出 ； 步骤 2、 依次将各个定位杆 2 插入相对应设置的静电吸盘 3 和基座。

20、 1 的固定螺孔中， 且 每个定位杆 2 的上端均露出静电吸盘 3 的表面 ； 步骤 3、 在定位杆 2 的引导下， 将静电吸盘 3 沿着定位杆 2 向上取出 ； 此时， 由于静电吸盘 3 在取出的过程中使用了定位杆 2 做引导， 使得取出操作平稳， 静 电吸盘 3 也不会发生位置移动而产生偏差， 因此能够避免碰撞并损伤设置在基座 1 中心位 置且位于静电吸盘 3 下方的顶针机构或者温度传感器 ； 步骤 4、 将各个定位杆 2 由基座 1 上的固定螺孔中取出， 完成将静电吸盘 3 从基座 1 上 拆下。 0026 所述的基座 1 上的固定螺孔间隔设置在基座 1 的边缘位置上。本实施例中， 在基。

21、 座 1 的边缘位置上均匀间隔设置有 3 个固定螺孔。 0027 所述的静电吸盘 3 上的固定螺孔间隔设置在静电吸盘 3 的边缘位置上， 其设置位 置与基座1上的固定螺孔相对应， 其开孔形状以及开孔尺寸与基座1上的固定螺孔相一致。 本实施例中， 在静电吸盘 3 的边缘位置上也对应均匀间隔设置有 3 个固定螺孔。 0028 本实施例中， 所述的定位杆 2 采用铝材料制成。 说 明 书 CN 103419145 A 6 4/4 页 7 0029 在本发明的一个优选实施例中， 所述的定位杆 2 的底端设置有一段外螺纹， 该段 外螺纹的形状与所述基座 1 上的固定螺孔的内螺纹相匹配， 且该段外螺纹的长。

22、度与所述基 座 1 上的固定螺孔的深度相同， 可将定位杆 2 插入静电吸盘 3 的固定螺孔中后， 依螺纹拧入 基座 1 上的固定螺孔中。 0030 在本发明的另一个优选实施例中， 所述的定位杆 2 的外径小于基座 1 上的固定螺 孔的内径， 因此定位杆 2 能轻易插入基座 1 上的固定螺孔以及静电吸盘 3 上的固定螺孔 （基 座 1 上的固定螺孔与静电吸盘 3 上的固定螺孔内径相同） 。 0031 综上所述， 本发明所提供的安装或拆卸静电吸盘的方法， 由于使用了定位装置做引导， 使得静电吸盘在安装和拆卸过程中能平稳、 准确定位， 避免因静电吸盘位置移动而导致碰 撞并损伤其他例如顶针机构或者温度传感器等关键半导体部件， 有效减少半导体刻蚀设备 的维护成本和时间， 有利于提高生产效率。 0032 尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍， 但应当认识到上述的 描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后， 对于本发明的 多种修改和替代都将是显而易见的。 因此， 本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。 说 明 书 CN 103419145 A 7 1/2 页 8 图 1 说 明 书 附 图 CN 103419145 A 8 2/2 页 9 图 2 说 明 书 附 图 CN 103419145 A 9 。