手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构.pdf

《手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《手动光刻机对准工作台Z向粗微动机构.pdf（9页完整版）》请在专利查询网上搜索。

1、(10)申请公布号 CN 103048896 A (43)申请公布日 2013.04.17 CN 103048896 A *CN103048896A* (21)申请号 201210477532.5 (22)申请日 2012.11.22 G03F 9/00(2006.01) G03F 7/20(2006.01) F16H 25/24(2006.01) (71)申请人 中国电子科技集团公司第四十五研 究所 地址 100716 北京市大兴区北京经济技术开 发区泰和三街 1 号 (72)发明人 周占福 甄万财 刘玄博 (74)专利代理机构 北京中建联合知识产权代理 事务所 11004 代理人 朱丽岩 。

2、刘湘舟 (54) 发明名称 手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构 (57) 摘要 一种手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机 构， 涉及接近接触式手动光刻机设备技术领域。 由 差动螺纹机构、 棘轮磨擦力调整机构、 摩擦式棘轮 机构、 粗动锁紧机构、 微动限位装置和粗动限位装 置以及结构架组成。通过大导程的多头螺纹实现 Z 向粗动， 又通过安装在粗动上的细牙螺纹实现 Z 向微动的微分离， 为了提高 Z 向微动时微分力量 的准确性， 采用锁紧气缸带动制动片锁紧 Z 向粗 动， 采用摩擦式棘轮机构传递找平力， 改变压簧对 棘爪的作用力， 实现微力找平和找平调整。 发明效 果显著 , 能够实现接近接触。

3、式手动光刻机快速 Z 向粗动、 微动， 本发明找平力小， 且找平力可调， 同 时， 结构简单， 性能稳定可靠， 使用和维修方便。 实 际使用效果好。应用范围广。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 5 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 5 页 附图 2 页 1/1 页 2 1. 一种手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构， 其特征在于 ： 所述手动光刻机对准工 作台 Z 向粗微动机构由差动螺纹机构、 棘轮磨擦力调整机构、 摩擦式棘轮机构、 粗动锁紧机 构、 微动限位装置和粗动限位装置以及结构架 （1） 组成。

4、 ； 所述差动螺纹机构由结构架 （1） 上固接一个大丝杠母 （5） ， 所述大丝杠母 （5） 螺纹连 接大丝杠 （4） ， 所述大丝杠 （4） 外观呈上部为大圆柱体下部为小圆柱体的 T 字形， 所述大丝 杠 （4） 轴心设有中心装配孔， 装配孔上部呈阶梯状， 所述装配孔阶梯状处固定一个小丝杠母 （8） ， 所述小丝杠母 （8） 螺纹连接小丝杠 （7） ， 装配孔下部置有一个顶柱 （2） ， 所述小丝杠 （7） 与所述顶柱 （2） 之间设有一个传动钢球 （6） ， 所述大丝杠 （4） 的顶端面上设有一个粗调棘轮 （9） ， 所述粗调棘轮 （9） 下面设有环状的弧面棘齿， 所述粗调棘轮 （9） 有。

5、间隙地通过其轴孔 套接在所述小丝杠母 （8） 上部的外径上， 粗调棘轮 （9） 设有的凹槽底上置有一个套接在小 丝杠母 （8） 上的环形压板 （10） ， 所述环形压板 （10） 通过螺钉固定在所述大丝杠 （4） 的上端 面上， 所述粗调棘轮 （9） 通过所述螺钉的连接有间隙的处在环形压板 （10） 与粗调棘轮 （9） 上表面之间， 所述小丝杠 （7） 通过其上设置的圆锥台与微调手轮 （11） 设置的圆锥孔连接， 并且微调手轮 （11） 通过固定螺母 （13） 固定在所述小丝杠 （7） 上构成 ； 所述棘轮磨擦力调整机构由大丝杠 （4） 上部的大圆柱体内对称设有两个通孔， 顶端面 上设有一个环。

6、形槽， 所述两个通孔的上端口处在所述环形槽内， 所述大圆柱体下端环形面 固定一个环形挡板 （20） ， 所述环形挡板 （20） 上设有两个螺纹孔， 所述环形挡板 （20） 上的两 个螺纹孔与大圆柱体的两个通孔分别同轴心， 所述环形挡板 （20） 上的两个螺纹孔上各自 螺纹连接一个调整螺杆 （18） ， 处在通孔内部的所述调整螺杆 （18） 的顶端贴合连接导向柱 （21） ， 导向柱 （21） 上端套接压簧 （22） ， 压簧 （22） 上端套接棘爪 （23） 的下部， 棘爪 （23） 的齿 部处在通孔外部的环形槽中， 所述粗调棘轮 （9） 的棘齿倒置在所述环形槽内构成 ； 所述摩擦式棘轮机构由。

7、所述粗调棘轮 （9） 的棘齿与所述棘爪 （23） 的齿贴合连接构成 ； 所述粗动锁紧装置由结构架 （1） 固接气缸支架 （17） ， 所述气缸支架 （17） 上固定一个气 缸 （16） ， 所述气缸 （16） 的活塞头部安装制动片 （15） ， 所述制动片 （15） 左移与所述大丝杠 （4） 外圆表面成压紧贴合的制动状态构成 ； 所述微动限位装置由所述微调手轮 （11） 底面设有圆形凹槽， 处在圆形凹槽中的所述小 丝杠 （7） 上固接一个限位销 （12） 形成。 2. 根据权利要求 1 所述手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构， 其特征在于 ： 所述大 丝杠母 （5） 连接大丝杠 （4） 的。

8、螺纹为多头、 大导程粗牙螺纹结构， 所述小丝杠母 （8） 连接小 丝杠 （7） 的螺纹为细牙螺纹结构。 3. 根据权利要求 1 或 2 所述的手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构， 其特征在于 ： 所述粗调棘轮 （9） 在所述大丝杠 （4） 上具有一个单向打滑空转运动轨迹， 粗调棘轮 （9） 带动 大丝杠 （4） 以及小丝杠 （7） 和顶柱 （2） 在所述大丝杠母 （5） 上具有一个双向往返转动轨迹 和上下往返的直线运动轨迹， 所述微调手轮 （11） 带动小丝杠 （7） 和顶柱 （2） 在所述小丝杠 母 （8） 上具有一个双向往返转动轨迹和上下往返的直线运动轨迹。 4. 根据权利要求 3 所。

9、述的手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构， 其特征在于 ： 所述 微调手轮 （11） 往返的转动角区域为 0 180， 直线运动距离为 0.05mm。 权 利 要 求 书 CN 103048896 A 2 1/5 页 3 手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构 技术领域 0001 本发明涉及一种手动光刻机设备技术领域， 特别是涉及一种手动光刻机对准工作 台 Z 向粗微动机构。 背景技术 0002 手动光刻机对准工作台的 Z 向粗微动机构要求 Z 向能够快速上升或下降， 又能够 微量上升或下降， 实现基片涂胶面与掩模版图形面找平、 锁紧、 微分离、 再接触工作， 同时具 有对片厚进行自动补偿和。

10、找平力简便调节功能。该机构是手动光刻机的核心部件- 对准 工作台中的关键机构之一， 该机构直接体现手动光刻机的研制、 生产、 制造、 装配等技术水 平， 是手动光刻机的关键技术之一。国内外手动光刻机的 Z 向升降、 微分离机构都是自行研 制的， 在世界范围内没有单独生产制造商销售， 无从购买。国内光刻机目前配置的 Z 向升降 机构， 一般采用膜片气缸或螺纹传动实现升降运动。 采用膜片气缸实现升降运动时， 找平力 大小受压缩空气压力变化的影响波动范围大， 而且微分离量是一个固定值不可调整， 无法 实现微分离量的变动， 影响对准的精度 ； 采用螺纹传动实现升降运动时， 没有粗微动之分， 找平力、 。

11、微分力量的大小完全凭个人的经验来确定， 影响芯片图形的质量。为此， 研制开发 快速抬升找平、 锁紧， 微量分离对准再接触的 Z 向的粗调、 微动机构是非常必要的。 发明内容 0003 本发明的目的是针对已有技术的不足， 给出一种找平力以及 Z 向既可粗调整又可 微调整， 性能稳定可靠， 使用范围广， 维修方便的手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构。 0004 本发明的目的是能够实现的。本发明手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构的特 征在于 ： 所述手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构由差动螺纹机构、 棘轮磨擦力调整机 构、 摩擦式棘轮机构、 粗动锁紧机构、 微动限位装置和粗动限位装置以及。

12、结构架组成。 0005 所述差动螺纹机构由结构架上固接一个大丝杠母， 所述大丝杠母螺纹连接大丝 杠， 所述大丝杠外观呈上部为大圆柱体下部为小圆柱体的 T 字形， 所述大丝杠轴心设有中 心装配孔， 装配孔上部呈阶梯状， 所述装配孔阶梯状处固定一个小丝杠母， 所述小丝杠母螺 纹连接小丝杠， 装配孔下部置有一个顶柱， 所述小丝杠与所述顶柱之间设有一个传动钢球， 所述大丝杠的顶端面上设有一个粗调棘轮， 所述粗调棘轮下面设有环状的弧面棘齿， 所述 粗调棘轮有间隙地通过轴孔套接在所述小丝杠母上部的外径上， 粗调棘轮设有的凹槽底上 置有一个套接在小丝杠母上的环形压板， 所述环形压板通过螺钉固定在所述大丝杠的。

13、上端 面上， 所述粗调棘轮通过所述螺钉的连接有间隙的处在环形压板与粗调棘轮上表面之间， 所述小丝杠通过其上设置的圆锥台与微调手轮设置的圆锥孔连接， 并且微调手轮通过固定 螺母固定在所述小丝杠上构成。 0006 所述棘轮磨擦力调整机构由大丝杠上部的大圆柱体内对称设有两个通孔， 顶端面 上设有一个环形槽， 所述两个通孔的上端口处在所述环形槽内， 所述大圆柱体下端环形面 固定一个环形挡板， 所述环形挡板上设有两个螺纹孔， 所述环形挡板上的两个螺纹孔与大 说 明 书 CN 103048896 A 3 2/5 页 4 圆柱体的两个通孔分别同轴心， 所述环形挡板上的两个螺纹孔上各自螺纹连接一个通过螺 母锁。

14、紧的调整螺杆， 处在通孔内部的所述调整螺杆的顶端贴合连接导向柱， 导向柱上端套 接压簧， 压簧上端套接棘爪的下部， 棘爪的齿部处在通孔外部的环形槽中， 所述粗调棘轮的 棘齿倒置在所述环形槽内构成。 0007 所述摩擦式棘轮机构由所述粗调棘轮的棘齿与所述棘爪的齿贴合连接构成。 0008 所述粗动锁紧装置由结构架固接气缸支架， 所述气缸支架上固定一个气缸， 所述 气缸的活塞头部安装制动片， 所述制动片左移与所述大丝杠外圆表面成压紧贴合的制动状 态构成。 0009 所述微动限位装置由所述微调手轮底面设有圆形凹槽， 处在圆形凹槽中的所述小 丝杠上固接一个限位销形成。所述微调手轮 11 上部安装有端盖 。

15、14。 0010 所述粗动限位装置由所述大丝杠底端固接一个限动板形成。 0011 本发明手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构， 其中所述大丝杠母连接大丝杠的 螺纹为多头、 大导程粗牙螺纹结构， 所述小丝杠母连接小丝杠的螺纹为细牙螺纹结构。 0012 本发明手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构， 其中所述粗调棘轮在所述大丝杠 上具有一个打滑单向空转运动轨迹， 粗调棘轮带动大丝杠以及小丝杠和顶柱在所述大丝杠 母上具有一个双向往返转动轨迹和上下往返的直线运动轨迹， 所述微调手轮带动小丝杠和 顶柱在所述小丝杠母上具有一个双向往返转动轨迹和上下往返的直线运动轨迹。 0013 本发明手动光刻机对准工作。

16、台 Z 向粗微动机构， 其中所述微调手轮往返的转动角 区域为 0 180， 直线运动距离为 0.05mm。 0014 本发明手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构由差动螺纹机构、 棘轮磨擦力调整 机构、 摩擦式棘轮机构、 粗动锁紧机构、 微动限位装置和粗动限位装置以及结构架 1 组成。 本发明通过大导程的多头螺纹实现 Z 向粗动， 又通过安装在粗动上的细牙螺纹实现 Z 向微 动的微分离， 为了提高 Z 向微动时微分力量的准确性， 采用锁紧气缸带动制动片锁紧 Z 向 粗动， 采用摩擦式棘轮机构传递找平力， 改变压簧对棘爪的作用力， 实现微力找平和找平调 整。发明效果显著 , 能够实现快速 Z 向。

17、粗动、 微动， 找平力小， 且找平力可调， 同时， 结构简 单， 性能稳定可靠， 使用方便。应用范围广。 0015 下面结合附图对本发明的手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构作进一步说明。 附图说明 0016 图 1 为本发明手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构的结构示意图。 0017 图 2 为图 1 中的 A-A 剖面结构示意图。 具体实施方式 0018 如图 1、 图 2 所示， 本发明是一种全新设计。本发明手动光刻机对准工作台 Z 向粗 微动机构由差动螺纹机构、 棘轮磨擦力调整机构、 摩擦式棘轮机构、 粗动锁紧机构、 微动限 位装置和粗动限位装置以及结构架 1 组成。 0019 差。

18、动螺纹机构由 ： 结构架1固接一个大丝杠母5， 大丝杠母5螺纹连接大丝杠4， 大 丝杠 4 外观呈上部为大圆柱体下部为小圆柱体的 T 字形， 大丝杠 4 轴心设有中心装配孔， 装 配孔上部呈阶梯状， 装配孔阶梯状处固定一个小丝杠母8， 小丝杠母8螺纹连接小丝杠7， 装 说 明 书 CN 103048896 A 4 3/5 页 5 配孔下部置有一个顶柱 2， 小丝杠 7 与顶柱 2 之间设有一个传动钢球 6， 大丝杠 4 的顶端面 上设有一个粗调棘轮 9， 粗调棘轮 9 下面设有环状的弧面棘齿， 粗调棘轮 9 有间隙地套接在 所述小丝杠母 8 上部的外径上， 粗调棘轮 9 设有的凹槽底上置有一个。

19、套接在小丝杠母 8 上 的环形压板 10， 环形压板 10 通过螺钉固定在大丝杠 4 的上端面上， 粗调棘轮 9 通过螺钉的 连接成有间隙的处在环形压板 10 与粗调棘轮 9 上表面之间， 小丝杠 7 通过其上设置的圆锥 台与微调手轮 11 设置的圆锥孔连接， 并且微调手轮 11 通过固定螺母 13 固定在所述小丝杠 7 上构成。 0020 棘轮磨擦力调整机构由 : 大丝杠 4 上部的大圆柱体， 大圆柱体内对称设有两个通 孔， 大圆柱体顶端面上设有一个环形槽， 两个通孔的上端口处在环形槽内， 大圆柱体下端环 形面固定一个环形挡板20， 环形挡板20上设有两个螺纹孔， 环形挡板20上的两个螺纹孔。

20、与 大圆柱体的两个通孔分别同轴心， 环形挡板 20 上的两个螺纹孔上各自螺纹连接一个通过 螺母 19 锁紧的调整螺杆 18， 处在通孔内部的调整螺杆 18 的顶端贴合连接导向柱 21， 导向 柱21上端套接压簧22， 压簧22上端套接棘爪23的下部， 棘爪23的齿部处在通孔外部的环 形槽中， 粗调棘轮 9 的棘齿倒置在环形槽内构成。旋转调整螺杆 18 使导向柱 21 在大丝杠 4 的通孔内移动， 改变压簧 22 对棘爪 23 的作用力， 达到调整粗调棘轮 11 与棘爪 23 摩擦力 的目的， 有效地控制找平力的大小， 当压簧22压力调节完成后， 螺母19锁紧调整螺杆18， 防 止调整螺杆 18。

21、 松动。 0021 摩擦式棘轮机构由粗调棘轮 9 的棘齿与棘爪 23 的齿贴合连接构成。粗动锁紧装 置由结构架 1 固接气缸支架 17， 气缸支架 17 上固定一个气缸 16， 气缸 16 的活塞头部安装 制动片 15， 制动片 15 左移与大丝杠 4 外圆表面成压紧贴合的制动状态构成。锁紧气缸 16 通气， 制动片 15 向左运动， 制动片 15 半圆弧与大丝杠 4 外圆接触， 利用摩擦力锁紧大丝杠 4， 防止 Z 向微动时大丝杠 4 产生旋转。 0022 微动限位装置由微调手轮11底面设有圆形凹槽， 处在圆形凹槽中的小丝杠7上固 接一个限位销 12 形成。限位销 12 安装在小丝杠 7 上。

22、， 限制小丝杠 7 的转动角度， 水平安装 的限位销12与垂直方向安装的定位销控制微调手轮11的旋转角度在180范围内， 实际的 Z向微动量是根据用户的工艺要求确定， 一般不大于0.05mm。 同时限位销12是微调手轮11 旋转的初始位置。微调手轮 11 上部安装有端盖 14。 0023 粗动限位装置由大丝杠 4 底端固接一个限动板 3 形成。限动板 3 可防止丝杠 4 旋 转脱出丝杠母 5， 起到保护作用。 0024 大丝杠母 5 连接大丝杠 4 的螺纹为多头、 大导程粗牙螺纹结构， 小丝杠母 8 连接小 丝杠 7 的螺纹为细牙螺纹结构。 0025 粗调棘轮 9 在大丝杠 4 上具有一个打滑。

23、单向空转运动轨迹。粗调棘轮 9 带动大丝 杠 4 以及小丝杠 7 和顶柱 2 在大丝杠母 5 上具有一个双向往返转动轨迹和上下往返的直线 运动轨迹。微调手轮 11 带动小丝杠 7 和顶柱 2 在小丝杠母 8 上具有一个双向往返转动轨 迹和上下往返的直线运动轨迹。 0026 下面通过本发明的工作原理和具体工作方法， 对本发明的手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构作进一步更加详实的描述。 0027 本发明手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构为接近接触式的， 采用摩擦式棘轮 机构中粗调棘轮 9 旋转， 摩擦带动大丝杠 4 内的圆周上对称分布的两个棘爪 23 与大丝杠 4 说 明 书 CN 103。

24、048896 A 5 4/5 页 6 一起旋转， 由于大丝杠母 5 被固定安装在结构架 1 上， 大丝杠 4 既作旋转运动、 又作 Z 向运 动。顶柱 2 内置安装在大丝杠 4 的装配孔里， 将 Z 向粗动运动和找平力传递到工作台上， 进 行找平。达到找平和找平力要求时， 即达到了最大传递扭矩， 此时粗调棘轮 9 与棘爪 23 进 行滑动摩擦， 而大丝杠 4 不再旋转和作 Z 向粗动运动 ； 安装在气缸支架 17 上的锁紧气缸 16 的活塞伸出， 使安装在锁紧气缸 16 活塞端的制动片 15 锁紧大丝杠 4， 确保找平状态 ； 旋转 微调手轮 11 带动小丝杠 7 一起旋转， 小丝杠母 8 被。

25、内置固定安装在大丝杠 4 里。在小丝杠 7 下端面安装钢珠 6， 将小丝杠 7 旋转运动、 Z 向微动直接转化为 Z 向微动传动到顶柱 2 上， 实现工作台的分离。分离、 对准工作完成后， 反向旋转微调手轮 11 回到初始位置。由于作 用于顶柱2上的反作用力使顶柱2、 钢珠6也回到初始位置， 完成分离、 对准、 接触工艺要求。 0028 工作台对顶柱 2 有一个反作用力， 这个反作用力既作用于大丝杠 4 与大丝杠母 5 的螺旋接触面上， 也通过大丝杠 4 传递到棘爪 23 和粗调棘轮 9 摩擦接触面上， 当反作用力 使大丝杠 4 与大丝杠母 5 的螺旋接触面产生的摩擦力大于棘爪 23 与粗调棘。

26、轮 9 的接触斜 面的摩擦力时， 达到设定的最大扭矩， 即使粗调棘轮继续旋转， 反作用力也使丝杠 4 不再旋 转， 停止 Z 向粗动运动 ； 这时安装在气缸支架 17 上的锁紧气缸 16 的活塞伸出， 使安装在锁 紧气缸 16 活塞端的制动片的半圆弧面与大丝杠 4 的圆柱面紧密接触， 对大丝杠 4 的任何旋 转运动起到阻止作用， 防止 Z 向微动时对粗动产生影响， 破坏找平时的状态， 确保 Z 向微动 分离、 对准、 接触后能够准确回到初始位置。 0029 初始状态时本机构处于静止状态， 旋转粗调棘轮 9 由于摩擦力带动大丝杠 4 内的 圆周上对称分布的两个棘爪 23 与大丝杠 4 一起旋转，。

27、 因大丝杠母 5 被固定安装在结构架 1 上， 大丝杠 4 是多头螺纹， 导程大， 能够使基片涂胶面快速地接近掩模版图形面， 进行接触、 找平， 然后安装在气缸支架 17 上的锁紧气缸 16 活塞伸出， 使制动片 15 的圆弧面压紧大丝 杠 4 的圆弧面， 锁紧大丝杠 4 ； 旋转微调手轮 11 带动小丝杠 7 一起旋转， 使钢珠 6、 顶柱 2 在 大丝杠 4 的轴心孔内作 Z 向微动， 使基片涂胶面与掩模版图形面产生一个相对的平行分离 间距， 进行基片涂胶面图形与掩模版图形面的图形对准。 对准工作完成后， 反向旋转微调手 轮 11， 使钢珠 6、 顶柱 2 在大丝杠 4 的内孔作 Z 向回。

28、归运动， 回归到原来初始位置， 即基片涂 胶面与掩模版图形面接触、 找平位置， 也就是粗动完成接触、 找平时的位置。进行基片涂胶 面曝光。曝光之后， 锁紧气缸 16 的活塞缩回， 解除制动片 15 对大丝杠 4 的锁紧， 旋转粗调 棘轮 9， 粗调棘轮 9 的端齿面与棘爪 23 的端齿面啮合， 带动大丝杠 4 旋转快速回到初始位 置。为了使找平力可调节， 满足不同的要求， 每个压簧 22 对棘爪 23 都有一定的调整压力， 使棘爪 23 斜面与粗调棘轮 9 斜面紧密接触， 保证一定的正压力， 达到找平力所要求的带动 大齿轮 4 旋转的摩擦力。 0030 本发明的手动光刻机对准工作台 Z 向粗微。

29、动机构， 主要工作是通过紫外光使基片 表面的涂胶层感光， 显影后在基片表面形成和掩模版相应的电路图形。图形复印的过程要 求 ： 基片涂胶面以掩模版图形面为基准接触找平， 然后基片涂胶面与掩模版图形面垂直分 离 0 0.05mm 的距离， 通过显微镜观察， 要求基片涂胶面上的图形与掩模版图形面上的图 形按照一定高要求进行图形对准， 对准之后， 消除微分离量， 使基片涂胶面与掩模版图形面 接触曝光， 将掩模版上的图形复印到基片涂胶面上， 然后被曝光的基片快速下降到原来位 置。为了在基片涂胶面上获得满意的掩模版上的图形， 基片涂胶面以掩模版图形面的找平 时必须是微力找平， 否则， 找平力大， 使掩模。

30、版表面发生向上的弯曲变形， 复印到基片上的 说 明 书 CN 103048896 A 6 5/5 页 7 图形与掩模版上的图形偏移值比较大， 易造成废品。 找平力过大， 会损坏基片上涂胶层及掩 模版。接近接触式手动光刻机对准工作台 Z 向的粗动的快速运动是提高生产效率的前提。 0031 本发明的手动光刻机对准工作台 Z 向粗微动机构， 采用摩擦式棘轮机构和差动螺 纹机构， 通过旋转安装在挡板 20 的调整螺杆 18， 使导向柱 21 在大丝杠 4 内运动， 改变压簧 22 的压缩长度， 改变棘爪 23 对粗调棘轮 9 的正压力， 从而改变棘爪 23 与粗调棘轮 9 的摩 擦力， 控制粗调棘轮 。

31、9 的最大扭矩， 实现基片涂胶面以掩模版图形面的微力找平 ； 大丝杠 4 采用多头、 大导程螺纹， 实现 Z 向粗动的快速运动， 小丝杠 7 采用细牙螺纹实现 Z 向微动的 微分离运动。由于棘爪 23、 粗调棘轮 9 长期摩擦， 棘爪 23 易磨损， 压簧 22 的压力会发生变 化， 松开螺母 19， 旋转调整螺杆 18， 使导向柱 21 向上运动压缩压簧 22， 调节压簧 22 长度达 到找平力的要求 ； 如棘爪 23 磨损剧烈， 打开微调手轮 11 上的端盖 14， 松开手轮压母 13， 取 掉手轮压母 13、 微调手轮 11、 限位销 12， 拧掉压板 10 上的紧固螺钉， 取掉压板 10、 粗调棘轮 9， 更换新的棘爪 23。 0032 本发明结构简单， 工作稳定可靠， 维修方便， 实际使用效果好。 0033 以上所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述， 并非对本发明的范 围进行限定， 在不脱离本发明设计精神的前提下， 本领域普通技术人员对本发明的技术方 案作出的各种变形和改进， 均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。 说 明 书 CN 103048896 A 7 1/2 页 8 图 1 说 明 书 附 图 CN 103048896 A 8 2/2 页 9 图 2 说 明 书 附 图 CN 103048896 A 9 。