信号线倾斜角测量方法及装置.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 103309066 A (43)申请公布日 2013.09.18 CN 103309066 A *CN103309066A* (21)申请号 201310238959.4 (22)申请日 2013.06.17 G02F 1/13(2006.01) G01B 11/26(2006.01) (71)申请人 深圳市华星光电技术有限公司 地址 518132 广东省深圳市光明新区塘明大 道 92 号 (72)发明人 郑文达 (74)专利代理机构 深圳翼盛智成知识产权事务 所 ( 普通合伙 ) 44300 代理人 刁文魁 唐秀萍 (54) 发明名称 信号线倾斜角测量方法及装置 (。

2、57) 摘要 本发明公开了一种信号线倾斜角测量方法及 装置， 方法包括 ： 将待测量基板设置于承载平台 上， 所述待测量基板包括信号线 ； 提供一光源， 控 制光源旋转并发射光线以照射信号线外侧面， 所 述旋转以信号线的长度方向为轴、 绕信号线的外 侧面进行 ； 在光源旋转过程中， 实时的获取光源 的旋转角度以及对应旋转角度的光线强度 ； 获取 光线强度最大值所对应的旋转角度， 并根据光线 强度最大值所对应的旋转角度生成信号线倾斜 角。本发明能准确的测得信号线倾斜角度， 误差 小， 而且无需切割待测量基板即可完成对信号线 倾斜角的测量， 过程简洁， 能够在发现信号线倾斜 角发生异常时进行实时有。

3、效的监控。 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 5 页 附图 3 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 (10)申请公布号 CN 103309066 A CN 103309066 A *CN103309066A* 1/2 页 2 1. 一种信号线倾斜角测量方法， 其特征在于 ： 所述方法包括以下步骤 ： 将待测量基板设置于承载平台上， 所述待测量基板包括信号线， 所述信号线包括与所 述待测量基板平行的上表面以及位于所述上表面一侧的外侧面 ； 提供一光源， 控制光源旋转并发射光线以照射所述信号线外侧面， 其中所述旋转。

4、以所 述信号线的长度方向为轴、 绕所述信号线的外侧面进行 ； 在所述光源旋转过程中， 实时的获取所述光源的旋转角度以及对应所述旋转角度的光 线强度， 其中所述光线强度为经所述外侧面反射后的光线的强度 ； 以及 获取所述光线强度最大值所对应的旋转角度， 并根据所述光线强度最大值所对应的旋 转角度生成信号线倾斜角。 2. 根据权利要求 1 所述的信号线倾斜角测量方法， 其特征在于 ： 控制光源旋转并发射 光线以照射所述信号线外侧面时， 是以所述信号线的长度方向为轴， 从所述信号线的外侧 面与上表面的交汇处开始顺时针进行旋转， 并旋转至所发射的光线与所述信号线上表面平 行为止。 3. 根据权利要求 。

5、2 所述的信号线倾斜角测量方法， 其特征在于 ： 所述光源的旋转角度 为所述光线相对所述信号线上表面垂直线的旋转角度， 所述信号线上表面垂直线垂直于所 述信号线上表面 ； 而在获取所述光线强度最大值所对应的旋转角度后， 所述光线强度最大 值所对应的旋转角度即为所述信号线倾斜角。 4. 根据权利要求 1 所述的信号线倾斜角测量方法， 其特征在于 ： 获取所述光线强度最 大值所对应的旋转角度的步骤包括 ： 对所获取的光线强度一一进行对比， 获取所述光线强度最大值 ； 以及 匹配与所述光线强度最大值对应的旋转角度。 5. 根据权利要求 1 所述的信号线倾斜角测量方法， 其特征在于 ： 通过光线传感器。

6、获取 从所述光源射出、 并经所述信号线外侧面反射后的光线强度。 6. 一种信号线倾斜角测量装置， 其特征在于 ： 包括 ： 承载平台， 用于承载待测量基板， 其中所述待测量基板包括信号线， 所述信号线包括与 所述待测量基板平行的上表面以及位于所述上表面一侧的外侧面 ； 光源， 用于发射光线 ； 控制单元， 用于控制光源旋转并发射光线以照射所述信号线外侧面， 其中所述旋转以 所述信号线的长度方向为轴、 绕所述信号线的外侧面进行 ； 角度记录单元， 用于在所述光源旋转过程中， 记录所述光源的旋转角度 ； 光线强度获取单元 ： 用于接收经所述信号线外侧面反射后的光线， 并根据接收到的光 线生成光线强。

7、度 ； 以及 结果生成单元 ： 用于获取光线强度中的最大值， 并获取该最大值所对应的旋转角度， 并 根据获取的旋转角度生成信号线倾斜角。 7. 根据权利要求 6 所述的信号线倾斜角测量装置， 其特征在于 ： 所述控制单元在控制所述光源旋转并发射光线以照射所述信号线外侧面时， 是以所述 信号线的长度方向为轴， 从所述信号线的外侧面与上表面的交汇处开始顺时针进行旋转， 并旋转至所发射的光线与所述信号线上表面平行为止。 8. 根据权利要求 7 所述的信号线倾斜角测量装置， 其特征在于 ： 所述光源的旋转角度 权 利 要 求 书 CN 103309066 A 2 2/2 页 3 为所述光线相对所述信号。

8、线上表面垂直线的旋转角度， 所述信号线上表面垂直线垂直于所 述信号线上表面 ； 而在所述结果生成单元获取所述光线强度最大值所对应的旋转角度后， 所述光线强度最大值所对应的旋转角度即为所述信号线倾斜角。 9. 根据权利要求 6 所述的信号线倾斜角测量装置， 其特征在于 ： 所述结果生成单元在 获取所述光线强度最大值所对应的旋转角度时， 进一步的用于对所获取的光线强度一一进 行对比， 获取所述光线强度最大值， 并匹配与所述光线强度最大值对应的旋转角度。 10. 根据权利要求 6 所述的信号线倾斜角测量装置， 其特征在于 ： 所述光线强度获取单 元为光线传感器， 所述光线传感器用于获取从所述光源射出。

9、、 并经所述信号线外侧面反射 后的光线强度。 权 利 要 求 书 CN 103309066 A 3 1/5 页 4 信号线倾斜角测量方法及装置 【技术领域】 0001 本发明涉及显示器生产技术领域， 特别是涉及一种信号线倾斜角测量方法及装 置。 【背景技术】 0002 随着薄膜晶体管液晶显示器 (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display， TFT-LCD) 的不断普及， 对 TFT-LCD 的生产效率提出了很高的要求。 0003 其中 TFT-LCD 包括上玻璃基板 （譬如 Array 基板） 和下玻璃基板 （譬如 CF 基板） ， 所 述上玻璃基。

10、板和下玻璃基板包括有液晶层， 所述液晶层内包括有液晶分子。 TFT-LCD薄膜制 作工艺主体包括成膜、 清洗、 涂光阻胶、 曝光、 显影、 烘干、 蚀刻、 去光阻胶、 检测等过程， 从而 在玻璃基板上形成信号线， 经过多道光罩制作工艺最终形成薄膜晶体管 ( TFT) 阵列。 0004 譬如请参阅图 1， 所述信号线 10 的侧表面 11 和下表面 12 之间具有一倾斜角 ， 为了保证信号线的导通， 防止有断线的情况发生， 会控制所述倾斜角 在合适的角度， 避 免所述倾斜角 过大， 以避免接下来覆盖的薄膜有孔隙产生， 造成 TFT-LCD 基板有缺陷。 0005 为了监控所述信号线 10 倾斜角。

11、 ， 现有技术通常是将正在生产的玻璃基板进行 玻璃切割， 再送至实验室通过扫描式电子显微 （SEM） 技术进行倾斜角测量。 0006 由于现有技术的信号线倾斜角的测量方式都是扫描电子显微镜切片方式， 该方式 为人工测量信号线倾斜角， 过程繁琐， 容易因为切片的角度问题导致误差较大 ； 而且该方式 需要对玻璃基板进行破坏式测量， 造成材料的浪费， 且在发现信号线倾斜角异常时不能实 时有效监控， 严重影响 TFT-LCD 的产品良率。 0007 因此， 需解决现有技术中存在的上述技术问题。 【发明内容】 0008 本发明的一个目的在于提供一种信号线倾斜角测量方法及装置， 以解决现有技术 中对信号线。

12、倾斜角的测量方式误差大， 效率低， 过程繁琐的技术问题。 0009 为解决上述技术问题， 本发明构造了一种信号线倾斜角测量方法， 所述方法包括 以下步骤 ： 0010 将待测量基板设置于承载平台上， 所述待测量基板包括信号线， 所述信号线包括 与所述待测量基板平行的上表面以及位于所述上表面一侧的外侧面 ； 0011 提供一光源， 控制所述光源旋转并发射光线以照射所述信号线的外侧面， 其中所 述旋转以所述信号线的长度方向为轴、 绕所述信号线的外侧面进行 ； 0012 在所述光源旋转过程中， 实时的获取所述光源的旋转角度以及对应所述旋转角度 的光线强度 ； 其中所述光线强度为经所述外侧面反射后的光。

13、线的强度 ； 0013 获取所述光线强度最大值所对应的旋转角度， 并根据所述光线强度最大值所对应 的旋转角度生成信号线倾斜角。 0014 为解决上述技术问题， 本发明还构造了一种信号线倾斜角测量装置， 包括 ： 说 明 书 CN 103309066 A 4 2/5 页 5 0015 承载平台， 用于承载待测量基板， 其中所述待测量基板包括信号线， 所述信号线包 括与所述待测量基板平行的上表面以及位于所述上表面一侧的外侧面 ； 0016 光源， 用于发射光线 ； 0017 控制单元， 用于控制光源旋转并发射光线以照射所述信号线外侧面， 其中所述旋 转以所述信号线的长度方向为轴、 绕所述信号线的外。

14、侧面进行 ； 0018 角度记录单元， 用于在所述光源旋转过程中， 记录所述光源的旋转角度 ； 0019 光线强度获取单元 ： 用于接收经所述信号线外侧面反射后的光线， 并根据接收到 的光线生成光线强度 ； 以及 0020 结果生成单元 ： 用于获取光线强度中的最大值， 并获取该最大值所对应的旋转角 度， 并根据获取的旋转角度生成信号线倾斜角。 0021 相对于现有技术， 本发明通过控制光源绕信号线的外侧面进行旋转照射， 获取经 所述信号线外侧面反射后的光线强度， 并匹配光线强度最大值所对应的光源旋转角度， 得 到的光源旋转角度对应所述信号线倾斜角。 显然， 本发明能够准确的测得信号线倾斜角度。

15、， 误差小， 而且无需切割待测量基板即可完成对信号线倾斜角的测量， 过程简洁， 能够在发现 信号线倾斜角发生异常时进行实时有效的监控， 提高了 TFT-LCD 产品的良率。 0022 为让本发明的上述内容能更明显易懂， 下文特举优选实施例， 并配合所附图式， 作 详细说明如下 ： 【附图说明】 0023 图 1 为信号线倾斜角度示意图 ； 0024 图 2 为本发明第一实施例中信号线倾斜角测量方法的流程示意图 ； 0025 图 3A 至 3D 为本发明实施例中测量信号线倾斜角的过程示意图 ； 0026 图 4 为本发明实施例中信号线倾斜角测量装置的结构示意图。 【具体实施方式】 0027 以下。

16、各实施例的说明是参考附加的图式， 用以例示本发明可用以实施的特定实施 例。本发明所提到的方向用语， 例如 上 、下 、前 、后 、左 、右 、内 、外 、侧 面 等， 仅是参考附加图式的方向。 因此， 使用的方向用语是用以说明及理解本发明， 而非用 以限制本发明。在图中， 结构相似的单元是以相同标号表示。 0028 请参阅图 2， 图 2 为本发明实施例中信号线倾斜角测量方法的流程示意图。 0029 在步骤 S201 中， 将待测量基板设置于承载平台上。 0030 譬如请参阅图 3A， 图 3A 为所述待检测基板的剖视图。其中所述待检测基板 30 包 括待检测基板主体 31 以及信号线 32，。

17、 所述信号线包括有上表面 321、 位于所述上表面 321 一侧的外侧面 322 以及与所述上表面 321 相对设置的下表面 323， 所述信号线的上表面 321 及下表面 323 与所述待测量基板 30 平行， 所述信号线 32 为金属导线。 0031 在步骤 S202 中， 控制光源旋转并发射光线以照射所述信号线外侧面。 0032 具体的， 首先提供一光源， 譬如发光二级管 （LED） 灯， 请一并参阅图 3A、 3B 以及 3D， 其中图 3B 为所述待测量基板的俯视图， 图 3C、 3D 为所述信号线的剖视图。在具体实施过程 中， 控制所述光源 40 以所述信号线 32 的长度方向 K。

18、 为轴 （图 3B） ， 从所述信号线 32 的外侧 说 明 书 CN 103309066 A 5 3/5 页 6 面 322 与上表面 321 的交汇处 L 开始， 绕所述信号线 32 的外侧面 322 沿顺时针方向 M 进行 旋转 （图3A） ， 并旋转至所发射的光线与所述信号线32的上表面321或者下表面323平行为 止。 0033 当然， 还可以以所述信号线 32 的长度方向 K 为轴， 从所述信号线 32 的外侧面 322 与下表面 323 交汇处 N 开始， 绕所述信号线 32 的外侧面 322 沿逆时针方向进行旋转。 0034 在步骤 S203 中， 在所述光源旋转过程中， 实时。

19、的获取所述光源的旋转角度以及对 应所述旋转角度的光线强度。 0035 譬如请参阅图 3C， 本发明所指的光源 40 的旋转角度优选为所述光源 40 相对所述 信号线上表面垂直线 Q 的角度 。其中所述信号线上表面垂直线 Q 垂直于所述信号线 32 的上表面321。 当然所述旋转角度也可以是其它角度， 譬如所述光源40与所述信号线32的 上表面 321 之间的角度， 只要能够对应所述信号线倾斜角 即可。 0036 进一步的， 本发明实施例所指的光线强度为从所述光源 40 发射， 并经所述信号线 32 的外侧面 322 反射后的光线的强度。其中所述光源 40 发射的光线经所述信号线 32 的外 侧。

20、面322反射后， 可通过一光线接收器 （图未示出） 接收， 所述光线接收器接收经所述信号线 32 的外侧面 322 反射的光线后， 计算生成对应的光线强度。 0037 在步骤 S204 中， 获取所述光线强度最大值所对应的旋转角度， 并根据所述光线强 度最大值所对应的旋转角度生成信号线倾斜角。 0038 请一并参阅图 3D， 当从所述光源 40 出射的光线垂直照射所述信号线 32 的外侧面 322 时， 此时的光线被垂直反射， 因此此时反射后的光线强度最强。而此时， 所述光源 40 与 所述垂直线 Q 之间的夹角等于所述信号线倾斜角 ， 因此， 在获取所述光线强度最大值后， 匹配与该光线强度最。

21、大值对应的旋转角度， 该旋转角度即为所述信号线倾斜角， 其中该旋 转角度为所述光源 40 相对所述垂直线 Q 的角度。 0039 当然， 如果得出的旋转角度为所述光源 40 相对所述信号线 32 的下表面 323 的角 度， 则将该旋转角度与 90 度进行差值计算， 得出的差值的绝对值即为所述信号线倾斜角。 0040 在具体实施过程中， 在控制所述光源 40 从所述交汇处 L（图 3A） 开始， 旋转至所发 射的光线与所述信号线32的上表面321平行为止的过程中， 将所有实时获取的光线强度进 行一一对比， 以获取光线强度的最大值， 并根据所述光线强度最大值查找获取对应的旋转 角度。 0041 。

22、显然， 本发明实施例能够准确的测得信号线倾斜角度， 误差小 ； 而且无需切割待测 量基板即可完成对信号线倾斜角的测量， 过程简洁， 减少了报废正常液晶显示器面板的数 量， 降低了因切割玻璃而产生的微粒， 避免了人员因切割玻璃而造成公伤 ； 而且本发明实 施例能够在发现金属导线角度发生异常时进行实时有效的监控， 提高了 TFT-LCD 产品的良 率。 0042 请参阅图4， 图4为本发明实施例中信号线倾斜角测量装置的结构示意图。 所述装 置包括光源 40、 承载平台 51、 控制单元 52、 角度记录单元 53、 光线强度获取单元 54 以及结 果生成单元 55。 0043 在对包括有信号线的待。

23、检测基板进行信号新倾斜角测量时， 通过所述承载平台 51 承载待测量基板 30， 譬如请一并参阅图 3A， 所述待检测基板 30 包括待检测基板主体 31 以 及信号线 32， 所述信号线包括有上表面 321、 位于所述上表面 321 一侧的外侧面 322 以及与 说 明 书 CN 103309066 A 6 4/5 页 7 所述上表面 321 相对设置的下表面 323。 0044 在将所述承载待测量基板 30 放置于所述承载平台 51 后， 所述控制单元 52 控制所 述光源 40 旋转并发射光线以照射所述信号线 32 的外侧面 322。 0045 在具体实施过程中， 所述控制单元 52 控。

24、制所述光源 40 以所述信号线 32 的长度方 向 K 为轴 （图 3B） ， 从所述信号线 32 的外侧面 322 与上表面 321 的交汇处 L 开始， 绕所述信 号线 32 的外侧面 322 沿顺时针方向 M 进行旋转 （图 3A） ， 并旋转至所述光源 40 发射的光线 与所述信号线 32 的上表面 321 或者下表面 323 平行为止。当然， 还可以以所述信号线 32 的长度方向 K 为轴， 从所述信号线 32 的外侧面 322 与下表面 323 交汇处 N 开始， 绕所述信 号线 32 的外侧面 322 沿逆时针方向进行旋转。 0046 在所述控制单元 52 控制所述光源 40 旋。

25、转照射所述信号线 32 的外侧面 322 过程 中， 所述角度记录单元 53 实时的记录所述光源 40 的旋转角度。譬如请一并参阅图 3C， 本 发明所指的光源 40 的旋转角度优选为所述光源 40 相对所述信号线上表面垂直线 Q 的角度 ， 其中所述信号线上表面垂直线 Q 垂直于所述信号线 32 的上表面 321。当然所述旋转角 度也可以是其它角度， 譬如所述光源 40 与所述信号线 32 的上表面 321 之间的角度， 只要能 够对应所述信号线倾斜角即可， 所述角度记录单元53譬如为旋转角度传感器， 鉴于所述 旋转角度传感器为现有技术， 此处不再赘述。 0047 在所述控制单元 52 控制。

26、所述光源 40 旋转照射所述信号线 32 的外侧面 322 过程 中， 所述光线强度获取单元 54 实时的接收经所述信号线外侧面反射后的光线， 并根据接收 到的光线计算生成光线强度。本发明实施例所指的光线强度为从所述光源 40 发射， 并经所 述信号线 32 的外侧面 322 反射后的光线的强度。所述光线强度获取单元 54 优选为光线接 收器， 通过所述光线接收器接收经所述信号线 32 的外侧面 322 反射的光线后， 计算生成对 应的光线强度。 0048 所述结果生成单元55用于对所述角度记录单元53以及所述光线强度获取单元54 获取的结果进行处理。具体的， 所述结果生成单元 55 从所述光。

27、线强度获取单元 54 处获取 光线强度最大值， 之后从所述角度记录单元 53 记录的旋转角度中获取所述光线强度最大 值对应的旋转角度， 并根据所述光线强度最大值所对应的旋转角度生成信号线倾斜角。 0049 进一步的， 所述结果生成单元 55 对所述光线强度获取单元 54 获取的光线强度 一一进行对比， 获取所述光线强度最大值， 之后从所述角度记录单元 53 记录的旋转角度中 获取所述光线强度最大值对应的旋转角度。 0050 譬如请一并参阅图 3D， 当从所述光源 40 出射的光线垂直照射所述信号线 32 的外 侧面 322 时， 此时的光线被垂直反射， 因此反射后的光线强度最强。而此时， 所述。

28、光源 40 与 所述垂直线 Q 之间的夹角等于所述信号线倾斜角 ， 因此， 在获取所述光线强度最大值后， 匹配与该光线强度最大值对应的旋转角度， 该旋转角度即为所述信号线倾斜角， 其中该旋 转角度为所述光源 40 相对所述垂直线 Q 的角度。 0051 当然， 如果得出的旋转角度为所述光源 40 相对所述信号线 32 的下表面 323 的角 度， 则将该旋转角度与 90 度进行差值计算， 得出的差值的绝对值即为所述信号线倾斜角。 0052 本发明实施例通过控制光源绕信号线的外侧面进行旋转照射， 获取经所述信号线 外侧面反射后的光线强度， 并匹配光线强度最大值所对应的光源旋转角度， 得到的光源旋。

29、 转角度对应所述信号线倾斜角。 显然， 本发明实施例能够准确的测得信号线倾斜角度， 误差 说 明 书 CN 103309066 A 7 5/5 页 8 小， 而且无需切割待测量基板即可完成对信号线倾斜角的测量， 过程简洁， 能够在发现信号 线倾斜角发生异常时进行实时有效的监控， 提高了 TFT-LCD 产品的良率。 0053 综上所述， 虽然本发明已以优选实施例揭露如上， 但上述优选实施例并非用以限 制本发明， 本领域的普通技术人员， 在不脱离本发明的精神和范围内， 均可作各种更动与润 饰， 因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。 说 明 书 CN 103309066 A 8 1/3 页 9 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 103309066 A 9 2/3 页 10 图 3A 图 3B 说 明 书 附 图 CN 103309066 A 10 3/3 页 11 图 3C 图 3D 图 4 说 明 书 附 图 CN 103309066 A 11 。